DE3842886A1 - Vakuumpumpstand - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpstand mit mindestens zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen, wobei je­ weils die in Strömungsrichtung nachfolgende Pumpstufe ein ge­ ringeres Saugvermögen als die ihr vorausgehende Pumpstufe auf­ weist.

Zur Erzielung eines niedrigen Enddrucks auf der Ansaugseite werden bei Vakuumpumpständen, die mit Wälzkolben-Vakuumpumpen ausgestattet sind, gewöhnlich mehrere Pumpstufen in Reihe ge­ schaltet. Das Saugvermögen jeder Pumpstufe wird entsprechend dem spezifischen Volumen des von ihr geförderten Mediums be­ stimmt. Eine in der Reihenanordnung nachfolgende Pumpstufe weist daher stets ein kleineres Saugvermögen als die vorausge­ hende Pumpstufe auf.

Zu Beginn eines Auspumpvorganges arbeitet jedoch die jeweils vorgeschaltete Pumpstufe auf einem relativ hohen Druckniveau. Als Beispiel sei der Fall betrachtet, daß ein unter Atmosphä­ rendruck stehender Rezipient gegen Atmosphäre evakuiert werden soll. Die vorgeschaltete Stufe fördert dann einen Volumen­ strom, den die nachgeschaltete Pumpstufe aufgrund ihres klei­ neren Saugvermögens nicht verarbeiten kann, ohne einen Zwi­ schendruck aufzubauen, der über dem Atmosphärendruck liegt. Da der Aufbau eines über Atmosphärendruck liegenden Zwischendrucks unerwünscht ist, wird die nachgeschaltete Pumpstufe durch ein Bypass-Ventil überbrückt, das den überschüssigen Volumenstrom an dieser Pumpstufe vorbeiführt.

Bei Förderung von aggressiven Medien oder solchen Medien, die Ablagerungen bilden, ist ein solches Bypass-Ventil aber ein gefährdetes Bauteil, dessen Funktion durch Korrosion oder Ab­ lagerungen beeinträchtigt werden kann. Durch Wartung oder Re­ paratur eines nicht einwandfrei funktionierenden Bypass-Ven­ tils werden Ausfallzeiten und Arbeitsaufwand verursacht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Vakuumpump­ stand mit mehreren in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen verschiedenen Saugvermögens die Verwendung eines die jeweils nachgeschaltete Pumpstufe überbrückenden Bypass-Ventils über­ flüssig zu machen.

Diese Aufgabe wird bei einem solchen Pumpstand erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die in Strömungsrichtung nachfolgende Pump­ stufe über einen Antrieb mit Freilaufwirkung angetrieben ist. Aufgrund der Freilaufwirkung können die Wälzkolben der nachge­ schalteten Pumpstufe durch den Gasstrom über die Antriebsdreh­ zahl des zugehörigen Antriebs hinaus beschleunigt werden. Da hierfür nur wenig Energie benötigt wird, baut sich ein relativ geringer Zwischendruck vor dieser nachgeschalteten Pumpstufe auf. Liegt beispielsweise eine Abstufung des Saugvermögens zwi­ schen einer Niederdruckpumpstufe und der ihr nachgeschalteten Hochdruckpumpstufe von 2:1 vor, so beschleunigt der Gasstrom die Wälzkolben der Hochdruckstufe auf etwa den doppelten Wert der normalen Antriebsdrehzahl, wenn die Niederdruckpumpstufe zu Beginn eines Auspumpvorganges zunächst Luft oder ein ande­ res Medium unter Atmosphärendruck ansaugt. Je mehr sich aber der Ansaugdruck vor der Niederdruckpumpstufe dem halben Atmo­ sphärendruck nähert, desto mehr nähert sich die Drehzahl der Hochdruckpumpstufe der normalen Antriebsdrehzahl. Etwa bei Er­ reichen des halben Atmosphärendrucks setzt der eigene Antrieb der Hochdruckpumpstufe ein, da der Freilaufeffekt entfällt.

Die Freilaufwirkung des Antriebs einer Pumpstufe läßt sich auf verschiedene Weise erzielen. Wird ein mit konstanter Drehzahl arbeitender Antrieb verwendet, beispielsweise ein Elektromo­ tor, so kann zwischen diesem und der Pumpstufe eine mechani­ sche Freilaufkupplung eingefügt werden. Eine solche Freilauf­ kupplung kann als Klemmrollenkupplung ausgebildet sein, die sich durch Wartungsfreiheit und geringe Verluste auszeichnet.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Weiterbildung der Erfin­ dung ist der Antrieb jeder Pumpstufe durch einen Hydraulikmo­ tor gebildet. Die Hydraulikmotoren der aufeinanderfolgenden Pumpstufen sind in Reihe geschaltet und werden von einer ge­ meinsamen Druckmittelquelle gespeist. Die Verwendung von in Reihe geschalteten Hydraulikmotoren als Antrieb für die Pump­ stufen ist besonders vorteilhaft, weil die für das jeweilige Saugvermögen einer Pumpstufe geeignete Drehzahl sich durch entsprechende Dimensionierung des Hydraulikmotors erzielen läßt. Da die Hydraulikmotoren ebenso wie die Pumpstufen in Reihe geschaltet sind, bleibt im normalen Betrieb die gewünsch­ te Drehzahlabstufung zwischen den Pumpstufen stets erhalten. Herkömmliche Vakuumpumpstände mit mehreren in Reihe geschalte­ ten Wälzkolben-Pumpstufen verfügen über einen Antrieb mit ei­ nem Elektromotor und einem Zahnradgetriebe, über das die Dreh­ zahlabstufung für die einzelnen Pumpstufen erzielt wird. Ein solcher Antrieb ist jedoch aufwendig. Aufwendig wäre auch ein Direktantrieb jeder Pumpstufe über einen zugehörigen Elektro­ motor.

Um nun jede in Strömungsrichtung nachfolgende Pumpstufe mit dem oben beschriebenen Freilaufeffekt auszustatten, ist wei­ terhin vorgesehen, daß der Einlaß jedes zu einer in Strömungs­ richtung nachfolgenden Pumpstufe gehörenden Hydraulikmotors außer mit dem Auslaß des vorausgehenden Hydraulikmotors auch über ein zum Sammelbehälter für die Hydraulikflüssigkeit hin sperrendes Rückschlagventil mit diesem Sammelbehälter verbun­ den ist. Der Freilaufeffekt kommt dadurch zustande, daß jeder Hydraulikmotor, der durch die angekoppelte Pumpstufe über die normale Antriebsdrehzahl hinaus beschleunigt wird, den wegen der erhöhten Drehzahl zusätzlich benötigten Flüssigkeitsstrom über das Rückschlagventil widerstandsarm aus dem Sammelbehäl­ ter nachsaugen kann. Gesonderte Freilaufkupplungen werden da­ her nicht benötigt, wodurch der Gesamtaufwand erheblich ver­ mindert wird.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung mehrerer Ausführungsformen und aus der Zeichnung, auf die Bezug genommen wird. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Skizze, welche die herkömmliche Ausbildung eines Vakuumpumpstandes mit zwei in Reihe geschalteten Walzkolben-Pumpstufen zeigt;

Fig. 2 die erfindungsgemäße Ausführung eines Vakuumpumpstan­ des mit zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pump­ stufen;

Fig. 3 eine dreistufige Ausführung des erfindungsgemäßen Va­ kuumpumpstandes;

Fig. 4 eine schematische Schnittansicht einer Pumpstufe;

Fig. 5 eine teilweise im Schnitt gezeigte Seitenansicht ei­ nes dreistufigen Pumpstandes;

Fig. 6 eine schematische Gesamtansicht eines dreistufigen Pumpstandes;

Fig. 7 eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform einer Freilaufkupplung;

Fig. 8 eine Schnittansicht der in Fig. 7 gezeigten Freilauf­ kupplung;

Fig. 9 ein Hydraulikschema des Antriebs eines dreistufigen Pumpstandes nach einer besonderen Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 10 eine Seitenansicht eines Auslaßventils einer der nachfolgenden Pumpstufen; und

Fig. 11 eine Draufsicht desselben Auslaßventils.

Der in Fig. 1 schematisch gezeigte Vakuumpumpstand besteht aus zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen 1, 2. Die der Pumpstufe 1 nachfolgende Pumpstufe 2 ist durch ein Bypass- Ventil 3 überbrückt. Jede Pumpstufe 1, 2 verfügt über einen zugeordneten Antrieb 4, der mit einer bestimmten Antriebsdreh­ zahl arbeitet. Die Pumpstufen 1, 2 sind jeweils starr an den zugehörigen Antrieb 4 angekoppelt. Die Pumpstufe 1 besitzt beispielsweise das doppelte Saugvermögen wie die Pumpstufe 2. Wenn zu Beginn eines Auspumpvorganges die Pumpstufe 1 Luft un­ ter atmosphärischem Druck ansaugt, während beide Pumpstufen 1, 2 mit der vorgesehenen Antriebsdrehzahl angetrieben werden, kann die nachfolgende Pumpstufe 2 aufgrund ihres geringeren Saugvermögens das vom Auslaß der Pumpstufe 1 übernommene Volu­ men nicht fördern, ohne daß sich ein über Atmosphärendruck liegender Zwischendruck zwischen den beiden Pumpstufen aufbaut. Um die unerwünschte Erzeugung eines Zwischendrucks zwischen den beiden Pumpstufen zu vermeiden, ist das Bypass-Ventil 3 vorgesehen, welches einen überhöhten Zwischendruck zum Auslaß der nachfolgenden Pumpstufe 2 abführt.

Bei der erfindungsgemäßen Ausbildung des Vakuumpumpstandes kann ein solches Bypass-Ventil 3 entfallen.

Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform sind gleichfalls zwei Pumpstufen 1, 2 in Reihe geschaltet. Das Saugvermögen der nachfolgenden Pumpstufe 2 ist beispielsweise halb so groß wie das der Pumpstufe 1. Die Pumpstufe 1 ist starr an ihren An­ trieb 4 angekoppelt. Die nachfolgende Pumpstufe 2 ist hingegen nicht starr, sondern mit Freilaufwirkung angetrieben. Bei der gezeigten Ausführungsform ist zwischen die Pumpstufe 2 und ih­ ren Antrieb 4 eine Freilaufkupplung eingefügt. Ferner ist die Pumpstufe 2 nicht durch ein Bypass-Ventil überbrückt. Zu Be­ ginn eines Auspumpvorganges, wie er oben unter Bezugnahme auf Fig. 1 erläutert wurde, bewirkt der von der Pumpstufe 1 an die nachfolgende Pumpstufe 2 übergebene Volumenstrom eine Be­ schleunigung der Wälzkolben dieser nachfolgenden Pumpstufe auf einen Wert, der im vorliegenden Beispiel doppelt so groß ist wie die normale Antriebsdrehzahl dieser Pumpstufe. Die Frei­ laufkupplung 5 ist dabei in Funktion, so daß die Wälzkolben der Pumpstufe 2 vom Antrieb 4 abgekoppelt und nur über den von der vorausgehenden Pumpstufe 1 abgegebenen Volumenstrom ange­ trieben werden. Zwischen den beiden Pumpstufen 1, 2 baut sich kein überhöhter Zwischendruck auf, da die nachfolgende Pump­ stufe 2 aufgrund der erhöhten Drehzahl ihrer Wälzkolben den erhöhten Volumenstrom verarbeiten kann. Mit abnehmendem Volu­ menstrom am Auslaß der vorausgehenden Pumpstufe 1 nähert sich aber die Drehzahl der nachfolgenden Pumpstufe 2 ihrer normalen Arbeitsdrehzahl, die durch ihren Antrieb 4 bestimmt wird. Wenn beispielsweise die Pumpstufe 2 gegen Atmosphäre arbeitet, so ist die Drehzahl ihrer Wälzkolben auf etwa die normale An­ triebsdrehzahl abgesunken, sobald der Druck zwischen den bei­ den Pumpstufen 1, 2 im vorliegenden Beispiel dem halben Atmo­ sphärendruck entspricht. Die Freilaufkupplung 5 verliert dann ihre Freilauffunktion, so daß die Wälzkolben der Pumpstufe 2 über den zugehörigen Antrieb 4 angetrieben werden.

Bei der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform sind drei Pump­ stufen 1, 2, 6 in Reihe geschaltet. Jede Pumpstufe 1, 2, 6 verfügt über einen eigenen Antrieb 4. Während die Pumpstufe 1 starr an ihren Antrieb 4 angekoppelt ist, sind die nachfolgen­ den, jeweils ein geringeres Saugvermögen aufweisenden Pumpstu­ fen 2, 6 an den zugehörigen Antrieb 4 jeweils über eine Frei­ laufkupplung 5 angekoppelt. Die Wirkungsweise ist bei dieser Ausführung prinzipiell dieselbe wie bei der zweistufigen Aus­ führung nach Fig. 2 und wird daher nicht erneut beschrieben.

Fig. 4 zeigt schematisch die Ausbildung der Pumpstufen 2 und 6. In einem Gehäuse 10 ist eine Arbeitskammer 12 gebildet, in der zwei Wälzkolben 14, 16 gegensinnig rotieren. Einlaß 18 und Auslaß 20 liegen koaxial, wodurch der mechanische Zusammenbau eines mehrstufigen Pumpstandes, dessen Pumpstufen in Reihe ge­ schaltet sind, erleichtert wird. Der Auslaß 20 ist mit zwei Rückschlagventilen versehen, die je einem Auslaßkanal zugeord­ net sind, welcher aus einer zugehörigen Hälfte der Arbeitskam­ mer 12 herausführt. Die Pumpstufe 1 ist prinzipiell wie die Pumpstufen 2, 6 ausgebildet, jedoch nicht mit Rückschlagventi­ len versehen. Die Fig. 5 und 6 zeigen einen dreistufigen Pumpstand, dessen Pumpstufen 2 und 6 in der in Fig. 4 gezeig­ ten Weise ausgebildet sind. Die Pumpstufen 1, 2 und 6 sind übereinander angeordnet, wobei jeweils Einlaß und Auslaß auf­ einanderfolgender Pumpstufen unmittelbar miteinander verbunden sind. Eine Besonderheit des Pumpstandes ist aus Fig. 6 er­ sichtlich. Die drei in Reihe geschalteten Pumpstufen 1, 2, 6 sind jeweils durch einen zugeordneten Hydraulikmotor 22, 24, 26 angetrieben. Die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sind ihrerseits in Reihe geschaltet. Eine gemeinsamen Druckmittelquelle, die durch einen Elektromotor 28 und eine durch diesen angetriebene Druckpumpe 30 mit Sammelbehälter für die Hydraulikflüssigkeit gebildet ist, versorgt über eine Rohrleitung 32 den Hydraulik­ motor 22, dessen Auslaß mit dem Einlaß des Hydraulikmotors 24 verbunden ist, dessen Auslaß mit dem Einlaß des Hydraulikmo­ tors 26 verbunden ist, von dessen Auslaß eine Rohrleitung 34 zur Druckmittelquelle zurückführt.

Das Hydraulikschema des in Fig. 6 gezeigten Pumpstandes ist in Fig. 9 gezeigt. Man erkennt dort den Elektromotor 28, die durch diesen angetriebene Druckpumpe 30, die Rohrleitung 32, die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sowie die Rohrleitung 34, die in den Sammelbehälter 31 zurückführt. Die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 sind jeweils so dimensioniert, daß sie die für das Saugvermögen der zugehörigen Pumpstufe geeignete Antriebsdreh­ zahl erzeugen. Da die Hydraulikmotoren 22, 24, 26 in Reihe ge­ schaltet sind, bleibt das Verhältnis der Antriebsdrehzahlen bei stationärem Betrieb konstant.

Um nun zu erreichen, daß die Pumpstufen 2, 6 in gleicher Weise wie bei Fig. 3 mit Freilaufwirkung angetrieben werden und so­ mit zu Beginn des Auspumpvorganges mit einer Drehzahl laufen können, die höher ist als ihre normale Antriebsdrehzahl, be­ steht eine Strömungsverbindung zwischen dem Sammelbehälter 31 und dem Verbindungspunkt zwischen den Hydraulikmotoren 22, 24 einerseits sowie 24, 26 andererseits. Diese Strömungsverbin­ dung erfolgt über ein Rückschlagventil 36 bzw. 38, das in Richtung vom Sammelbehälter 31 zu den Hydraulikmotoren hin wi­ derstandsarm durchströmt werden kann, in der entgegengesetzten Richtung jedoch sperrt. Wenn zu Beginn des Auspumpvorganges die Pumpstufen 2, 6 über ihre normale Antriebsdrehzahl hinaus beschleunigt werden, so können die Hydraulikmotoren 24, 26, die gleichfalls mit erhöhter Drehzahl laufen, das hierfür be­ nötigte Flüssigkeitsvolumen über die Rückschlagventile 36, 38 aus dem Sammelbehälter 31 nachsaugen.

Die Fig. 7 und 8 zeigen eine mechanische Ausführung einer Freilaufkupplung. Es handelt sich um eine an sich bekannte Klemmrollenkupplung. Diese Klemmrollenkupplung besteht aus ei­ nem Außenring 40, der den Ausgang der Freilaufkupplung bildet und triebschlüssig an die zugehörige Pumpstufe 2, 6 angekop­ pelt ist, aus einem an den Antrieb 4 angekoppelten Innenläufer 42 und aus Wälzkörpern 44, die zwischen der Innenfläche des Außenrings 40 und rampenförmigen Außenflächen des Innenläufers 42 liegen. Bei Drehung des Innenläufers 42 entgegen dem Uhr­ zeigersinn in Fig. 7 wird der Außenring 40 über die Wälzkör­ per 44 mitgenommen, da diese zwischen Innenläufer und Außen­ ring verklemmt werden. Der Außenring 40 kann jedoch den Innen­ läufer 42 überholen, da eine Relativdrehung des Außenringes 40 im Uhrzeigersinn zum Innenläufer 42 dazu führt, daß die Wälz­ körper 44 freikommen.

Die in Fig. 8 gezeigte Schnittansicht zeigt, daß die Wälzkör­ per 44 zylindrisch ausgebildet sind. Es sind aber auch Ausfüh­ rungen mit kugelförmigen Wälzkörpern möglich.

In Fig. 4 sind im Bereich des Auslasses 20 der Pumpstufe zwei Rückschlagventile gezeigt. Durch diese Rückschlagventile wird eine Rückströmung des gepumpten Mediums verhindert, um so die zwischen Einlaß und Auslaß erzielte Druckdifferenz zu vergrö­ ßern. Insbesondere wird die bei herkömmlichen Wälzkolbenpumpen auftretende Rückströmung in die vom Einlaß herkommende und den Einlaßdruck aufweisende Arbeitskammer, wenn diese Arbeitskam­ mer in den Bereich des Auslasses gelangt, unterbunden. Wenn nun, wie im Stand der Technik üblich, jede nachfolgende Pump­ stufe entsprechend ihrem Saugvermögen kleiner dimensioniert wird als die ihr vorausgehende Pumpstufe, damit alle Pumpstu­ fen mit derselben Drehzahl betrieben werden können, so ergibt sich eine derart hohe Arbeitsfrequenz für etwa vorhandene Aus­ laßventile, daß die Öffnungs- und Schließphasen nicht mehr einwandfrei aufgelöst werden, die angestrebte Unterbindung einer Rückströmung also in Frage gestellt ist. Bei dem erfin­ dungsgemäßen Vakuumpumpstand sind aber die jeweils nachfolgen­ den Pumpstufen gleich groß dimensioniert wie die vorausgehen­ den Pumpstufen und laufen mit einer entsprechend ihrem kleine­ ren Saugvermögen verminderten Drehzahl, wodurch die Arbeits­ frequenz der Rückschlagventile entsprechend niedrig ist.

Überdies wird erfindungsgemäß ein besonders schnell arbeiten­ des, einfaches und wartungsfreies Auslaßventil vorgeschlagen, das eine hohe Lebensdauer aufweist. Dieses Auslaßventil ist in den Fig. 10 und 11 dargestellt. Es besteht aus einer Ven­ tilzunge 60, die an ihrem einen Ende mittels einer Schraube 62 fest am Gehäuse der Pumpstufe eingespannt ist und mit ihrem anderen, freien Ende über der zugehörigen Auslaßöffnung 64 liegt. Die Ventilzunge 60 besteht vorzugsweise aus einem dün­ nen Federstahl. Sie ist in Fig. 10 mit durchgezogenen Linien in der Schließstellung und gestrichelt in der Öffnungsstellung gezeigt, die sie einnimmt, sobald der Druck auf der Seite der Auslaßöffnung den Druck auf der Außenseite übersteigt. Vorzugs­ weise ist der Ventilzunge 60 eine Dichtlamelle 61 zugeordnet, die in der Schließstellung durch die Ventilzunge 60 dichtend gegen die Auslaßöffnung 64 gedrückt wird. In der Öffnungsstel­ lung begrenzt die Ventillamelle den Öffnungshub der Dichtla­ melle 61, die aus Kunststoff besteht.

Claims (11)

1. Vakuumpumpstand mit mindestens zwei in Reihe geschalteten Wälzkolben-Pumpstufen, von denen jeweils die in Strömungsrich­ tung nachfolgende Pumpstufe ein geringeres Saugvermögen als die ihr vorausgehende Pumpstufe aufweist, dadurch gekennzeich­ net, daß die in Strömungsrichtung nachfolgende Pumpstufe (2, 6) über einen Antrieb (4) mit Freilaufwirkung angetrieben ist.

2. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Freilaufwirkung (5) angetriebene Pumpstufe (2, 6) nicht durch ein Bypass-Ventil (3) überbrückt ist.

3. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß bei dreistufiger Ausführung die Mitteldruckstufe (2) und die Hochdruckstufe (6) jeweils mit Freilaufwirkung an­ getrieben sind.

4. Vakuumpumpstand nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in Strömungsrichtung nachfol­ gende Pumpstufe (2, 6) über eine mechanische Freilaufkupplung (5) an ihren Antrieb (4) angekoppelt ist.

5. Vakuumpumpstand nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Freilaufkupplung als Klemmrollenkupplung (40, 42, 44) ausgebildet ist.

6. Vakuumpumpstand nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die als Hydraulikmotoren (22, 24, 26) aus­ gebildeten Antriebe der Pumpstufen (1, 2, 6) in Reihe geschal­ tet sind und der Einlaß jedes zu einer in Strömungsrichtung nachfolgenden Pumpstufe gehörenden Hydraulikmotors außer mit dem Auslaß des vorausgehenden Hydraulikmotors auch über ein zum Sammelbehälter (31) für die Hydraulikflüssigkeit hin sper­ rendes Rückschlagventil (36, 38) mit diesem Sammelbehälter (31) verbunden ist.

7. Vakuumpumpstand mit mehreren in Reihe geschalteten Wälz­ kolben-Pumpstufen, von denen jeweils die in Strömungsrichtung nachfolgende Pumpstufe ein geringeres Saugvermögen als die ihr vorausgehende Pumpstufe aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß jede Pumpstufe (1, 2, 6) einen als Hydraulikmotor (22, 24, 26) ausgebildeten Antrieb aufweist, daß die Hydraulikmotoren (22, 24, 26) in Reihe geschaltet sind und von einer einzigen Druck­ mittelquelle (30) gespeist werden und daß die Hydraulikmotoren (22, 24, 26) so dimensioniert sind, daß sie für die zugehörige Pumpstufe (1, 2, 6) jeweils die ihrem Saugvermögen entspre­ chende Antriebsdrehzahl erzeugen.

8. Vakuumpumpstand nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung zwischen dem Auslaß eines in der Reihenan­ ordnung vorausgehenden Hydraulikmotors (22, 23) und dem Einlaß des nachfolgenden Hydraulikmotors (23, 24) jeweils über ein Rückschlagventil (36, 38) mit dem Sammelbehälter (31) für die Hydraulikflüssigkeit verbunden ist und das Rückschlagventil (36, 38) in der Richtung von dem Sammelbehälter (31) zu den Hydraulikmotoren (23, 24) öffnet bzw. in der entgegengesetzten Richtung sperrt.

9. Vakuumpumpstand nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in Reihe geschalteten Pump­ stufen (1, 2, 6) gleich dimensioniert sind und die Abstufung des Gangvermögens dieser Saugstufen durch Verminderung der Drehzahl jeder Pumpstufe (2, 6) gegenüber der jeweils vor­ ausgehenden Pumpstufe (1, 2) bewirkt ist.

10. Vakuumpumpstand nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß mindestens die letzte Pumpstufe (6) der Reihenan­ ordnung, vorzugsweise jede der nachfolgenden Pumpstufen (2, 6), an ihrem Auslaß mit einer Rückschlagventilanordnung ver­ sehen ist.

11. Vakuumpumpstand nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die Rückschlagventilanordnung durch mindestens eine Ventilzunge gebildet ist, die an ihrem einen Ende fest ein­ gespannt ist und mit ihrem anderen, freien Ende über einer Auslaßöffnung liegt, sich aber von dieser Auslaßöffnung ab­ hebt, sobald der Druck im Inneren der Pumpstufe den Außen­ druck übersteigt.