DE3839194A1 - Inkrementale positionsmesseinrichtung zum messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen - Google Patents
Inkrementale positionsmesseinrichtung zum messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine inkrementale Positions
meßeinrichtung zum Messen der Relativlage zweier
Objekte mittels Ultraschallwellen.
Derartige Positionsmeßeinrichtungen werden insbe
sondere bei Bearbeitungsmaschinen zum Positionieren
eines Werkzeugs bezüglich eines zu bearbeitenden
Werkstücks eingesetzt.
Aus der DE-PS 28 33 369 ist eine inkrementale Posi
tionsmeßeinrichtung zum Messen der Relativlage
zweier Objekte mittels Ultraschallwellen bekannt,
bei der ein magnetostriktiver Leiter in Form eines
Drahtes an dem einen Objekt befestigt ist. Ein mit
dem anderen Objekt verbundenes Sendeelement ist in
Meßrichtung längs dieses magnetostriktiven Leiters
verschiebbar und erzeugt mit seiner Wechselspannung
im magnetostriktiven Leiter eine Ultraschallwelle,
die eine Wechselspannung in einem Empfangselement
induziert, das am Anfang des magnetostriktiven Lei
ters stationär angeordnet ist. Die Phasenlage zwi
schen der Wechselspannung des Sendeelements und der
induzierten Wechselspannung im Empfangselement ist
ein Maß für die relative Lage des Empfangselements
zum Sendeelement und damit ein Maß für die Meß
strecke. Diese Meßeinrichtung bedarf jedoch zur
Gewinnung digitaler Meßwerte für die Relativlage
der beiden Objekte einer aufwendigen Auswerteein
richtung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine in
krementale Positionsmeßeinrichtung der genannten
Gattung anzugeben, die einen einfacheren Aufbau zur
Gewinnung von Meßwerten aufweist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kenn
zeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen
insbesondere darin, daß mit wenigen Elementen ge
naue Meßwerte für die Relativlage der beiden Ob
jekte gewonnen werden können, so daß sich eine
preiswerte Meßeinrichtung ergibt.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt
man den Unteransprüchen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand
der Zeichnung näher erläutert.
In der Figur ist schematisch eine inkrementale Län
genmeßeinrichtung zum Messen der Relativlage zweier
zueinander beweglicher Objekte auf Ultraschallbasis
gezeigt. Ein ringförmig geschlossener Meßkörper MK
weist eine lineare Meßstrecke s mit einer Meßlänge
L auf; am Anfang s=0 der Meßstrecke s sind zwei
Ultraschallsensoren U S a , US b mit einem gegenseiti
gen Abstand d 1 in Meßrichtung X angeordnet. Der
Meßkörper MK und die beiden Ultraschallsensoren
US a , US b sind mit dem nicht dargestellten ersten
Objekt verbunden.
Ein Ultraschallgeber UG, der in Meßrichtung X vom
Anfangspunkt s=0 bis zum Endpunkt s=L der Meß
strecke s verschiebbar und mit dem nicht gezeigten
zweiten Objekt verbunden ist, erzeugt mit einer
Resonanzfrequenz f=kc/l (k=1, 2, 3, ...) im ring
förmig geschlossenen Meßkörper MK eine stehende
Ultraschallwelle, die sich bei einer Verschiebung
des Ultraschallgebers UG in Meßrichtung X ebenfalls
verschiebt; dabei bedeuten c die Schallgeschwindig
keit und l die Länge der Mittelachse des Meßkörpers
MK.
Bei der Meßbewegung des Ultraschallgebers UG in
Meßrichtung X erzeugen die beiden Ultraschallsen
soren U S a , US b zwei amplitudenmodulierte Abtastsi
gnale S a , S b , die jeweils mittels eines Verstärkers
V a , V b verstärkt und jeweils einem Gleichrichter
G a , G b zugeführt werden, der zwei sinusförmige
Meßsignale M S a , MS b mit einer Periode λ/2 und in
Bezug auf die Meßbewegung mit einem gegenseitigen
Phasenversatz von 90° zur Diskriminierung der
Meßrichtung X erzeugt. Zur Erzielung dieses
Phasenversatzes von 90° müssen die beiden
Ultraschallsensoren U S a , US b den gegenseitigen
Abstand d=λ/8 aufweisen, wobei λ die Wellenlänge
der stehenden Ultraschallwelle bedeutet. Diese bei
den sinusförmigen Meßsignale M S a , MS b werden einer
bekannten Auswerteeinrichtung AW zugeführt, die
zwei Meßtrigger M T a , MT b , einen Vorwärts-/Rück
wärtszähler Z mit einem Richtungsdiskriminator so
wie eine Anzeigeeinheit AZ zur digitalen Anzeige
der Meßwerte für die Relativlage der beiden Objekte
aufweist; die beiden Objekte können durch einen
Schlitten und das Bett einer Bearbeitungsmaschine
gebildet sein.
In nicht dargestellter Weise können auch der Meß
körper MK und der Ultraschallgeber UG mit dem
ersten Objekt und die beiden Ultraschallsensoren
U S a , US b in Meßrichtung X verschiebbar mit dem
zweiten Objekt verbunden sein. Der Meßkörper kann
auch kreisringförmig geschlossen für eine Winkel
meßeinrichtung zu Messung der relativen Winkellage
zweier Objekte ausgebildet sein.
In nicht dargestellter Weise kann der Meßkörper
auch stabförmig ausgebildet sein. Der Ultraschall
geber wird so angeordnet, daß er im stabförmigen
Meßkörper mit einer Resonanzfrequenz eine stehende
Ultraschallwelle erzeugt, die von zwei Ultraschall
sensoren in der oben beschriebenen Weise abgetastet
wird.
Claims (5)
1. Inkrementale Positionsmeßeinrichtung zum Messen
der Relativlage zweier Objekte mittels Ultra
schallwellen, dadurch gekennzeichnet, daß in
einem mit dem einen Objekt verbundenen Meßkörper
(MK) von wenigstens einem Ultraschallgeber (UG)
eine stehende Ultraschallwelle erzeugt wird, die
von wenigstens einem Ultraschallsensor (US) zur
Bildung von Meßwerten für die Relativlage der
beiden Objekte abgetastet wird.
2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Meßkörper (MK) ringförmig ge
schlossen ausgebildet ist und eine lineare Meß
strecke (s) aufweist.
3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Meßkörper kreisringförmig ge
schlossen ausgebildet ist.
4. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Meßkörper stabförmig ausgebil
det ist.
5. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der wenigstens eine Ultraschall
sensor (US) ein amplitudenmoduliertes Abtast
signal (S) erzeugt, das mittels eines Gleich
richters (G) in ein sinusförmiges Meßsignal (MS)
umgewandelt wird, das einer Auswerteeinrichtung
(AW) zur Bildung der Meßwerte zugeführt wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883839194 DE3839194A1 (de) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | Inkrementale positionsmesseinrichtung zum messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen |
DE8817088U DE8817088U1 (de) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | Inkrementale Positionsmeßeinrichtung zum Messen der Relativlage zweier Objekte mittels Ultraschallwellen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883839194 DE3839194A1 (de) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | Inkrementale positionsmesseinrichtung zum messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3839194A1 true DE3839194A1 (de) | 1990-05-23 |
Family
ID=6367513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883839194 Ceased DE3839194A1 (de) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | Inkrementale positionsmesseinrichtung zum messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3839194A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996027777A1 (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-12 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Method and apparatus for measuring a displacement of a magnetic object |
DE10006379C1 (de) * | 2000-02-12 | 2001-06-07 | Schmersal K A Gmbh & Co | Einrichtung und Verfahren zur Längenmessung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1222688B (de) * | 1955-11-24 | 1966-08-11 | Ferranti Ltd Electrical & Gene | Messvorrichtung zum Bestimmen der Groesse und Richtung der Bewegung eines Objektes relativ zu einem Bezugsobjekt |
DE2833369A1 (de) * | 1978-07-29 | 1980-02-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und anordnung zum inkrementalen messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen |
EP0024495A1 (de) * | 1979-06-29 | 1981-03-11 | International Business Machines Corporation | Akustisches Impuls-Verzögerungsleitungssystem zur Abstandsmessung längs eines magnetostriktiven Drahtes |
GB1594372A (en) * | 1976-12-02 | 1981-07-30 | Draper Lab Charles S | Distance measurement system |
EP0149745A1 (de) * | 1983-11-30 | 1985-07-31 | Gebhard Balluff Fabrik feinmechanischer Erzeugnisse GmbH & Co. | Ultraschall-Wegmesser |
EP0182960A2 (de) * | 1984-10-26 | 1986-06-04 | Zellweger Uster Ag | Vorrichtung zur mindestens näherungsweisen Bestimmung des Querschnittes von langgestreckten Gebilden |
-
1988
- 1988-11-19 DE DE19883839194 patent/DE3839194A1/de not_active Ceased
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1222688B (de) * | 1955-11-24 | 1966-08-11 | Ferranti Ltd Electrical & Gene | Messvorrichtung zum Bestimmen der Groesse und Richtung der Bewegung eines Objektes relativ zu einem Bezugsobjekt |
GB1594372A (en) * | 1976-12-02 | 1981-07-30 | Draper Lab Charles S | Distance measurement system |
DE2833369A1 (de) * | 1978-07-29 | 1980-02-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und anordnung zum inkrementalen messen der relativlage zweier objekte mittels ultraschallwellen |
EP0024495A1 (de) * | 1979-06-29 | 1981-03-11 | International Business Machines Corporation | Akustisches Impuls-Verzögerungsleitungssystem zur Abstandsmessung längs eines magnetostriktiven Drahtes |
EP0149745A1 (de) * | 1983-11-30 | 1985-07-31 | Gebhard Balluff Fabrik feinmechanischer Erzeugnisse GmbH & Co. | Ultraschall-Wegmesser |
EP0182960A2 (de) * | 1984-10-26 | 1986-06-04 | Zellweger Uster Ag | Vorrichtung zur mindestens näherungsweisen Bestimmung des Querschnittes von langgestreckten Gebilden |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996027777A1 (en) * | 1995-03-06 | 1996-09-12 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Method and apparatus for measuring a displacement of a magnetic object |
DE10006379C1 (de) * | 2000-02-12 | 2001-06-07 | Schmersal K A Gmbh & Co | Einrichtung und Verfahren zur Längenmessung |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |