DE3825671A1

DE3825671A1 - Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben

Info

Publication number: DE3825671A1
Application number: DE3825671A
Authority: DE
Inventors: Joachim Dr Szczyrbowski; Anton Dr Dietrich; Klaus Dr Hartig
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1987-08-08
Filing date: 1988-07-28
Publication date: 1989-03-02

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Scheiben mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung und niedrigem Flächenwiderstand nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 8.

Derartige Scheiben sollen einen möglichst großen Anteil des sichtbaren Lichts durchlassen und einen möglichst großen Anteil des nichtsichtbaren spektralen Anteils der Sonnenstrahlung zurückhalten. Diese Maßnahme soll im Sommer verhindern, daß die unerwünschte Wärmestrahlung des Sonnenlichts in Räume eindringt. Besonders bei Kraftfahrzeugen ist dieser Effekt wegen der schrägge stellten und dadurch sehr großen Front- und Heckscheiben besonders unerwünscht.

Durch die DE-OS 33 07 661 und die EP-OS 1 04 870 ist es bekannt, eine Silberschicht und eine unmittelbar auf das Silber aufgebrachte sehr dünne Metallschicht zwischen zwei Oxidschichten einzuschließen, wobei die dünne Metallschicht die Silberschicht gegen einen chemisch thermischen Angriff beim Herstellen der obersten Oxid schicht schützt. Setzt man ein derartiges Schichtsystem jedoch Temperaturen oberhalb 150°C aus, so erfolgt eine Diffusion des Silbers in die angrenzende Oxid- und/oder Metallschicht, wobei ein starker Anstieg des Flächen widerstandes und eine entsprechende Verringerung der Transmissionswerte des Schichtsystems zu beobachten ist, d.h. zwei der wesentlichen Eigenschaften des Schicht systems werden verschlechtert.

Durch die EP-PS 35 906 ist es bekannt, auf einer Seite oder beiden Seiten einer Silberschicht eine dünne metal lische Schicht anzuordnen und dieses Schichtsystem gleichfalls zwischen zwei Oxidschichten einzubetten. Durch die dünne metallische Schicht soll eine größere Langzeitstabilität erreicht werden, wobei sich die Untersuchungen jedoch auf einen Temperaturbereich bis 120°C beschränken. Da weiterhin durch das Absorptions verhalten der metallischen Schichten eine Verschlechte rung der optischen Transparenz der beschichteten Sub strate eintritt, ist die Gesamtdicke der metallischen Schichten zur Erzielung eines bestinmten Transmissions verhaltens begrenzt, und es soll daher bevorzugt nur eine einzige metallische Schicht auf der dem Substrat abge wandten Seite der Silberschicht angebracht werden, damit die Verschlechterung der Transmissionswerte in Grenzen gehalten werden kann. Es hat sich jedoch bei Verwendung von Substraten aus Mineralglas und einem derartigen Schichtsystem gezeigt, daß bei einer Erwärmung auf Temperaturen merklich oberhalb 150°C gleichfalls eine Verschlechterung der Schichteigenschaften eintrat, und zwar nicht nur durch eine an sich wünschenswerte Erhöhung der Transmissionswerte im sichtbaren Bereich, sondern gleichzeitig auch durch einen unerwünschten Anstieg des Flächenwiderstandes, so daß die Bordspannung eines normalen Kraftfahrzeuges nicht mehr ausreicht, um im Winter eine ausreichende Beheizung durchzuführen. Weiter hin wurden Flecken und unerwünschte Lichtstreuungen beobachtet, die offensichtlich auf eine teilweise Agglo meratbildung sowie auf eine teilweise Diffusion des Silbers in die Oxidschichten hinein zurückzuführen ist.

Dieses Verhalten läßt nur den Schluß zu, daß die Dicke der metallischen Schicht bzw. Schichten im Hinblick auf die angestrebten hohen Transmissionswerte im sichtbaren Bereich, die teilweise auf gesetzlichen Vorschriften zurückzuführen sind (Kraftfahrzeugscheiben), für einen wirksamen Schutz der Silberschicht, inbesondere bei höheren Temperaturen, nicht mehr ausreichend ist.

Es ist auch bekannt, gekrümmte oder gewölbte Scheiben mit annähernd ähnlichem spektralen Verhalten dadurch herzu stellen, daß man eine in andere Schichten eingebettete Silberschicht auf bereits verformte Glassubstrate auf bringt. Dies setzt jedoch spezielle Beschichtungsanlagen voraus, die der unterschiedlichen Formgebung der Substra te Rechnung tragen und durch komplizierte Blendenanord nungen die Einflüsse unterschiedlicher Abstände von Flächenelementen des Substrats von den Beschichtungs quellen und unterschiedlicher Auftreffwinkel des Schicht materials kompensieren.

Schließlich lassen sich mit einem Verfahren nach einer älteren Pastentanmeldung (P 35 43 178.4) Substrate aus Mineralglas mittels eines Vakuumbeschichtungsverfahrens mit einem fünfschichtigen System versehen, wodurch der Scheibe ein hohes Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung bei gleichzeitig hohem Transmissionsverhalten für sicht bares Licht verliehen wird. Das aufgebrachte Schicht system ist dabei so gewählt, daß die zunächst flache, beschichtete Scheibe einem Biegeprozeß unterzogen werden kann, bei dem die Erweichungstemperatur des Glases von ca. 650°C erreicht wird, ohne die Eigenschaften der beschichteten Scheibe im negativen Sinne zu verändern. Die so behandelte Scheibe weist infolge der Beschichtung außerdem einen niedrigen elektrischen Widerstand auf, so daß die Scheibe durch Anlegen einer elektrischen Strom quelle beheizbar ist.

Werden derartige Scheiben mit einer weiteren unbeschich teten Scheibe zu Verbundscheiben in Sandwich-Bauweise verarbeitet, eignen sie sich insbesondere für den Einsatz in Kraftfahrzeugen als heizbare Front- oder Heckscheibe mit zusätzlicher Schutzfunktion gegen intensive Sonnen einstrahlung. Bei derartigen Verbundglasscheiben (VSG- Scheiben) befindet sich - ohne Lufteinschluß - zwischen den zwei dünnen Scheiben aus Mineralglas ein zäh elastische Zwischenlage aus einem Kunststoff (z.B. Poly vinylbutyrat). Im Fall der beschichteten Scheibe nach der älteren Patentanmeldung steht die beschichtete Seite in direktem Kontakt mit dem Kunststoff. Die Aufgabe der Kunststoffzwischenlage besteht darin, die beiden Scheiben dauerhaft miteinander zu einer stabilen Einheit zu ver binden, die eine deutlich höhere Bruchfestigkeit aufweist als eine einzelne Scheibe. Dazu ist eine bestimmte Haftung des Kunststoffes auf der Glas- bzw. Schichtober fläche erforderlich.

Weiterhin soll durch die intensive Verbindung des zähen Kunststoffes mit der Glasscheibe im Falle eines Bruches der Scheibe, z.B. bei einem Unfall, die Bildung und die Ablösung von großen Glassplittern verhindert werden, um Verletzungen so gering wie möglich zu halten.

Um diese Eigenschaften sicherzustellen, sind für den Einsatz derartiger Verbundscheiben in Kraftfahrzeugen bestimmte Prüfvorschriften erstellt worden und zu erfül len. Diese Vorschriften und Testmethoden sind in Normen festgehalten. Bei der Durchführung dieser Prüfungen an VSG-Scheiben, die nach dem in der älteren Patentanmeldung angegebenen Verfahren hergestellt wurden, zeigte sich, daß der Verbund des Schichtsystems nicht ausreicht, da die Glasbruchstücke beim Zerschlagen der Scheibe an der Kunststoff-(Plast)Folie haften sollten.

Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Schichtaufbau zu schaffen, der zu einer wesentlich verbesserten Haftung des Schichtpaketes unter einander führt, ohne die anderen notwendigen physikali schen Daten für die geplante Anwendung zu verschlechtern, insbesondere die hohe Lichttransmission, die elektrische Leitfähigkeit und die Beständigkeit des Schichtpaketes gegenüber dem Biegeprozeß.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß für die zweite und vierte Schicht eine Legierung aus etwa 80 Gewichtsprozenten Nickel und etwa 20 Gewichtsprozenten Chrom Verwendung findet, wobei man das Substrat mit dem gesamten Schichtpaket auf mindestens die Erweichungs temperatur des Glases erwärmt, in erwärmtem Zustand plastisch verformt und in verformten Zustand abkühlt.

Vorzugsweise werden die zweite und vierte Schicht in einer Dicke aufgebracht, die zu einer größeren Absorption im sichtbaren Bereich führt, als dies dem Endzustand ent spricht, wobei die Temperaturbehandlung in oxidierender Atmosphäre durchgeführt wird, bis die mittlere Transmis sion im sichtbaren Bereich gegenüber derjenigen vor der Temperaturbehandlung um mindestens 5%, vorzugsweise um mindestens 8%, zugenommen hat.

Zweckmäßigerweise stellt man den maximalen Transmissions wert im sichtbaren Bereich durch Wahl der Dicke der Schicht zwei, drei und vier vor der Temperaturbehandlung auf 70-80% und erhöht ihn durch die Temperaturbehand lung auf 80-87%.

Mit Vorteil stellt man die Dicke der dritten Schicht (Silber) so ein, daß sich nach der Temperaturbehandlung ein Flächenwiderstand zwischen 2 und 10 Ohm/Quadrat ergibt.

Weitere Verfahrensschritte und Merkmale ergeben sich durch die in den Unteransprüchen gekennzeichneten Maßnahmen.

Scheiben, die mit der genannten Materialkombination her estellt wurden, zeigen auch nach dem Biegeprozeß eine Haftfestigkeit, die vergleichbar mit den Werten ist, die bei unbeschichteten Scheiben erzielt wurden. Die Zusam mensetzung der gewählten Legierung sollte eingehalten werden, da beispielsweise bei zu hohen Anteilen von Nickel die für eine Windschutzscheibe geforderten Trans missionswerte für sichtbares Licht, die beispielsweise 80 ± 5% beträgt, nicht erreicht werden können oder bei zu hohen Chromanteilen die Temperaturstabilität nicht ausreicht, um die Belastungen des Biegeprozesses ohne Schaden für das Schichtpaket zu überstehen.

Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmog lichkeiten zu; eine davon ist nachstehend anhand einer den Schichtaufbau darstellenden Zeichnung und zweier Diagramme näher beschrieben.

In Fig. 1 ist mit S das Substrat bezeichnet, das aus einem Mineralglas wie beispielsweise einem übliche Float- Glas wie einem Natrium-Silikat-Glas besteht. Auf dieses Substrat ist eine erste Schicht 1 aus einem Oxid aus der Gruppe Zinnoxid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantal oxid und Zirkonoxid oder deren Mischoxide aufgebracht. Darauf befindet sich eine zweite Schicht 2 aus etwa 80 Gewichtsprozenten Nickel und etwa 20 Gewichtsprozenten Chrom. Als nächstes folgt eine dritte Schicht 3 aus Sil ber oder einer Silberlegierung mit mindestens 50 Ge wichtsprozent Silberanteil und hierauf wiederum eine vierte Schicht 4 aus etwa 80 Gewichtsprozenten Nickel und etwa 20 Gewichtsprozenten Chrom, und als Abschluß- oder Deckschicht folgt eine fünfte Schicht 5, die wie die er ste Schicht wiederum aus einem Oxid aus der Gruppe Zinn oxid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantaloxid und Zir konoxid oder deren Mischoxide besteht. Es versteht sich, daß im Hinblick auf die dritte Schicht 3 aus Silber kein symmetrischer Schichtaufbau vorliegen muß, sondern daß die Schichtmaterialien innerhalb der in einer Gruppe angegebenen Metalle bzw. Oxide auch variiert werden können.

Bei dem in den Diagrammen dargestellten praktischen Aus führungsbeispielen werden in einer Vakuumbeschichtungs anlage für Flachglas, die mit Hochleistungs-Zerstäubungs kathoden (Magnetron-Kathoden) ausgerüstet ist, Glasschei ben aus Float-Glas mit einer Schichtenfolge SnO₂ - NiCr - Ag - NiCr - SnO₂ gemäß Fig. 1 beschichtet, wobei die einzelnen Schichten folgende Dicken aufweisen:

Die optischen Daten der ungetemperten und getemperten beschichteten Scheiben sind in Fig. 2 dargestellt. Diese Scheiben wurden zusammen mit einer unbeschichteten Float- Glasscheibe gleicher Abmessungen in einem Temperofen bei gleichmäßiger Temperaturverteilung einem Biegeprozeß unterzogen, bei dem Spitzentemperaturen von ca. 640°C über einen Zeitraum von etwa 5 Minuten auftreten. Die Lichttransmission der beschichteten Scheibe nach diesem Prozeß beträgt nach dem Erkalten 85%, und der Flächen widerstand zeigt einen Wert von 4,2 Ohm/Quadrat. Danach werden die beiden jeweils zusammengebogenen Scheiben zu VSG-Verbundscheiben weiterverarbeitet, was durch Zwi schenlegen einer Kunststoffolie aus Polyvinylbutyrat und Anwendung eines thermischen Prozesses unter Vakuum erfolgte. Werden die resultierenden VSG-Scheiben nun untersucht, dann ergeben sich Werte von 77% für die Lichttransmission und 14% für die Lichtreflexion; Werte, die innerhalb der Grenzen liegen, die für eine Zulassung der Scheibe als Automobilfrontscheibe gefordert werden. Gleichzeitig werden bei den Sicherheitsprüfungen nach den einschlägigen Normen (i.e. Kugelfalltest etc.) die gefor derten Werte erreicht, insbesondere ist dabei die Haftung des beschichteten Glases an der Folie ausreichend, um die Ablösung von größeren Glasbruchstücken zu verhindern.

Die Haftfestigkeit des Schichtsystems am Glas wurde in Abhängigkeit von der Temperatur getestet. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 zu sehen. Die Temperzeit beträgt jeweils 10 Minuten. Die besten Ergebnisse wurden mit NiCr (80/20 Gewichtsprozent) als Schicht 2 und 4 erzielt (Fig. 3, Kurve 3). Für dieses Material ist die Haftung unabhängig von der Tempertemperatur. Der ermittelte Wert von ca. 400 kp/cm² ist vergleichbar mit der Haftfestigkeit einer Oxidschicht auf Glas.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen von Scheiben mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit niedrigem Flächenwiderstand und hohem Refle xionsverhalten für Wärmestrahlung durch Beschichtung von aus Mineralglas bestehenden Substraten mit

a) einer ersten Schicht aus einem Oxid aus der Gruppe Zinnoxid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantaloxid und Zirkonoxid oder deren Misch oxide, mit
b) einer zweiten Schicht aus Nickel oder einer Legierung mit mindestens 50 Gewichtsprozent Anteil dieses Metalls, mit
c) einer dritten Schicht aus Silber oder einer Silberlegierung mit mindestens 50 Gewichtspro zent Silberanteil, mit
d) einer vierten Schicht aus Nickel oder aus der die zweite Schicht bildenden Legierung und mit
e) einer fünften Schicht aus einem Oxid aus der die erste Gruppe bildenden Oxide, dadurch gekennzeichnet, daß für die zweite und vierte Schicht eine Legierung aus etwa 80 Gewichts prozenten Nickel und etwa 20 Gewichtsprozenten Chrom Verwendung findet, wobei man das Subsrat mit dem gesamten Schichtpaket a) bis 3) auf mindestens die Erweichungstemperatur des Glases erwärmt, in erwärm tem Zustand plastisch verformt und im verformten Zustand abgekühlt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man

a) die Schichten b) und d) in einer Dicke auf bringt, die zu einer größeren Absorption im sichtbaren Bereich führt, als dies dem Endzu stand entspricht und
b) die Temperaturbehandlung in oxidierender Atmos phäre durchführt, bis die mittlere Transmission im sichtbaren Bereich gegenüber derjenigen vor der Temperaturbehandlung um mindestens 5%, vorzugsweise um mindestens 8%, zugenommen hat.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man den maximalen Transmissionswert im sichtba ren Bereich durch Wahl der Dicke der Schichten b),

c) und d) vor der Temperaturbehandlung auf 70-80% einstellt und ihn durch die Temperaturbehandlung auf 80-87% erhöht.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Dicke der Schicht c) (Silber) so ein stellt, daß sich nach der Temperaturbehandlung ein Flächenwiderstand zwischen 2 und 10 Ohm/Quadrat ergibt.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die fünfte Schicht e) aus Zinnoxid mit Anteilen von 4 bis 6 Gewichtsprozenten Antimon oder Fluor oder aus Indiumoxid mit 5 bis 15 Gewichtsprozenten Zinn versehen wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die erste a) und die fünfte e) Schicht durch Kathodenzerstäubung von Targets aus den metallischen Oxidbildern in reaktiver Atmosphäre (O₂ und Edelgas) erzeugt und die zweite b), dritte c) und vierte d) Schicht durch Kathodenzerstäubung von Targets aus den genannten Metallen bzw. Metallegierungen in neutraler Atmosphäre (Edelgas).

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die zweite b) und die vierte d) Schicht aus mindestens einem der genannten Metalle, insbesondere Nickel, erzeugt, das mit mindestens einem metalli schen Zusatz aus der Gruppe 4b, 5b, 6b des periodi schen Systems versetzt ist, wobei der Gesamtzusatz 30 Gewichtsprozente nicht überschreitet.

8. Scheibe mit hohem Transmissionsverhalten im sichtba ren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhal ten für Wärmestrahlung und niedrigem Flächenwider stand, mit einem aus Mineralglas bestehenden Sub strat, mit einer ersten Schicht aus einem Oxid aus der Gruppe Zinnoxid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantaloxid und Zirkonoxid oder deren Mischoxide, mit einer zweiten Schicht aus etwa 80 Gewichtsteilen Nickel und 20 Gewichtsteilen Chrom, mit einer drit ten Schicht aus Silber oder einer Silberlegierung mit mindestens 50 Gewichtsprozenten Silberanteil, mit einer vierten Schicht aus einer Nickel-Chrom- Legierung und mit einer fünften Schicht aus einem Oxid aus der die erste Gruppe bildenden Oxide, da durch gekennzeichnet, daß die Scheibe gebogen ist.