DE3823267C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Kon­ trollmeßtechnik, nämlich auf die Untersuchung von Werk­ stoffen mit Hilfe von Wirbelströmen, und betrifft Einrichtungen zur Messung der Dicke von Metall­ überzügen.

Die Erfindung kann zur Kontrolle der Dickenparame­ ter von reflektierenden und absorbierenden Dünnmetallüber­ zügen in der Spiegelindustrie, in der Optik, in der UHF- Technik, in der Weltraumtechnik, zur Kontrolle von Kon­ taktüberzügen an Halbleitern und Dielektriken, in der Mikroelektronik sowie im Kondensatorenbau benutzt werden.

Bekannt sind Einrichtungen zur Messung der Dicke von dünnen Metallüberzügen unter Ausschaltung des Einflusses des Arbeitsabstandes zwischen einem parametrischen Zwei­ wicklungswandler und einem Dünnmetallüberzug (SU, A Nr. 5 08 734, SU, A Nr. 8 62 063), bei welchen ein positiver Effekt durch Gegenphasenschaltung der Wicklungen des pa­ rametrischen Zweiwicklungswandlers mit nachfolgender Signalverarbeitung erreicht wird.

Bei den bekannten Einrichtungen ist eine Verminder­ ung der Abhängigkeit des Wertes des Nutzsignals von dem Arbeitsabstand möglich. Jedoch ruft dies wegen der Kom­ pliziertheit ihrer Konstruktion und Einstellung eine Senk­ ung der Beständigkeit und Zuverlässigkeit dieser Einricht­ ungen hervor, was die Schaffung von industriellen Gerä­ ten auf deren Grundlage unmöglich macht.

Am nächsten kommt der vorliegenden Erfindung nach ihrem technischen Wesen eine Einrichtung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen (SU, A Nr. 5 38 213), die einen Generator, einen in einem Abstand h von dem zu messenden Metallüberzug liegenden Auflage-Wirbelstromwandler, der - axial angeordnet - eine an den Generator angeschlossene Erregerwicklung und eine erste und zweite Meßwicklung, die in Gegenreihenschaltung liegen, umfaßt, eine Reihen­ schaltung aus einem Anzeiger und einer Signalverarbeit­ ungseinheit, deren Eingang mit dem Ausgang des Auflage- Wirbelstromwandlers verbunden ist, eine Einheit zur Nachbildung von Dickennormalen, die an die Signalverar­ beitungseinheit angeschlossen ist, enthält.

Kennzeichnend für die bekannte Einrichtung auf der Grundlage eines Auflage-Wirbelstromwandlers ist die Ab­ hängigkeit des summarischen Nutzsignals von der Weite des zwischen dem Auflagewirbelstromwandler und dem Metallüber­ zug herrschenden Arbeitsabstandes im Laufe der Messun­ gen sowie die Notwendigkeit einer manuellen Nullpunktein­ stellung während des Betriebes, was wesentlich die Meß­ genauigkeit herabsetzt und folglich den Anwendungsbereich von Geräten, die die bekannten Einrichtungen enthalten, ein­ schränkt (die Kontrolle von bewegten Erzeugnissen, die Überwachung unter einer Dielektrikumschutzschicht, schließt die Realisierungsmöglichkeit der Ziffernanzei­ ge aus.)

Bekannt ist ferner ein Verfahren zur berührungslosen Messung der erstarrten äußeren Schicht und eine Wirbelstromvorrichtung zu dessen Durchführung (DE-OS 34 23 977), wobei als Meßspule zwei Spulen verwendet werden, die gegenläufig geschaltet und in unterschiedlicher Entfernung von dem zu messenden Gegenstand (Fig. 4) angeordnet sind. Eine derartige Schaltung wird zur gegenseitigen Unterdrückung von Temperatureinflüssen von jeder Spule verwendet, was jedoch nicht ohne zusätzliche Veränderungen sowohl der Konstruktion der Spulen als auch der Schaltung, die für die Kompensation des Einflusses des Spalts verwendet wird, möglich ist.

Bekannt ist auch eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Messung und Auswertung von Stahlrohren mit nicht- ferromagnetischen Schichten (DD-PS 1 03 962), in der in Reihe geschaltete Wicklungen einer Primär- und einer Sekundärmeßspule mit einer Fixierung der Entfernung zum zu messenden Erzeugnis (Spalt) mit Hilfe eines fixierenden Stahlkügelchens und mit der Möglichkeit der Verarbeitung des Signals von den Meßspulen verwendet werden. In dieser bekannten Vorrichtung ist keine Kompensation des Einflusses des Spalts vorgesehen.

Bekannt ist weiterhin eine Vorrichtung zur Messung der Schichtdicke (DD-PS 80 325) mit Hilfe einer Brückenschaltung mit als Brückenzweig geschalteten Meßwicklungen, die zur Messung bei starrem Kontakt mit dem zu messenden Erzeugnis mit Hilfe einer besonderen mechanischen Vorrichtung bestimmt ist.

Bekannt ist ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke durch Wirbelströme und eine Vorrichtung zu dessen Durchführung (DE-OS 29 23 066), wobei eine von Wechselstrom durchflossene Spule auf den Prüfkörper aufgesetzt wird und die Meßspulen zur Gewährleistung der erhöhten Empfindlichkeit in einer Brückenschaltung angeordnet sind.

Die bekannten Verfahren und Vorrichtungen weisen ferner keine Vorkehrungen zur Stabilisierung des Nullpegels auf, insbesondere während der Pausen zwischen den Messungen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ein­ richtung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen zu schaffen, deren schaltungsgemäße Lösung und konstrukti­ ve Ausführung des Auflage-Wirbelstromwandlers es gestat­ ten, die Abhängigkeit des Ausgangssignals vom Wert des zwischen dem Auflagewirbelstromwandler und dem zu messenden Metallüberzug herrschenden Arbeitsabstandes wesentlich herabzusetzen bei gleichzeitiger Einhaltung des Nullpegels des Ausgangssignals in den Pausen zwischen den Messungen, was eine Steigerung der Meßgenauigkeit der Dicke des Metallüberzuges und der Stabilität der Ge­ räte auf der Grundlage einer solchen Einrichtung sichert.

Das Wesen der Erfindung besteht darin, daß die Ein­ richtung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen, die einen Generator, einen in einem Abstand h von dem zu messenden Metallüberzug angeordneten Auflage-Wirbelstrom­ wandler, der - axial angeordnet - eine an den Ausgang des Generators angeschlossene Erregerwicklung sowie in Gegen­ reihenschaltung liegende Meßwicklungen aufweist, einen Anzeiger und eine mit diesem in Reihe geschaltete Einheit zur Ver­ arbeitung des Signals des Auflage-Wirbelstromwandlers, die mit dem Auflagewirbelstromwandler elektrisch verbun­ den ist, enthält, gemäß der Erfindung einen ohmschen-ka­ pazitiven Spannungsteiler aufweist, der in Form einer Wheatstone-Brücke ausgeführt ist, bei der in das eine Paar gegenüberliegen­ der Brückenarme ein Widerstand und ein Kondensator und in das andere Paar gegenüberliegender Brückenarme ein Wider­ stand und eine Varikapdiode, deren freier Anschluß mit der Nullpotentialleitung in Verbindung steht, geschaltet sind, wobei der in den miteinander gekoppelten Wider­ standszweigen des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers vor­ handene Verbindungspunkt der Widerstände über einen Kon­ densator mit einem Verbindungspunkt der Varikapdiode und des Kondensators in seinen miteinander gekoppelten Kapazitäts­ zweigen verbunden ist, der über einen Trennkondensator an den Mittelpunkt der Meßwicklungen gelegt ist, daß eine Einheit zur Umwandlung geringer Abweichungen des Aus­ gangssignals in eine Gleichspannung vorhanden ist, deren Eingang an den Ausgang der Signalverarbeitungseinheit des Auflage- Wirbelstromwandlers und deren Ausgang an den Verbin­ dungspunkt der Varikapdiode und des Kondensators in dem mit­ einander gekoppelten Kapazitätszweigen des ohmschen-kapa­ zitiven Spannungsteilers angeschlossen sind, daß der Auflage-Wirbelstromwandler eine weitere Meß­ wicklung aufweist, die mit der Meßwicklung in Reihe und gleichsinnig geschaltet ist, wobei der Aus­ gang des Auflage-Wirbelstromwandlers mit dem Eingang der Einheit zur Verarbeitung des Signals des Auflagewirbel­ stromwandlers und mit dem Verbindungspunkt des Widerstands- und des Kapazitätszweiges des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers verbunden ist, und daß die Meßwicklungen auf der Seite der Erregerwicklung mit einem Durchmesser d und in Abständen von 0,4 bis 0,6 d bzw. von 0,8 bis 1,2 d angeordnet sind, während die gesamte Windungszahl der Meßwicklungen um mehr als das zweifache die Windungszahl der Meßwicklung, die oberhalb der Erregerwicklung angebracht ist, übersteigt.

Die Benutzung der Erfindung gestattet es, eine neue Generation von Geräten für die zerstörungsfreie Kontrolle von Parametern (Dicke) dünner Metallüberzüge auf ebenen Dielektriken zu entwickeln und zu schaffen, deren Benutz­ ung in Spiegelbetrieben die Möglichkeit bietet, die Aus­ beute an brauchbaren Erzeugnissen und die Arbeitspro­ duktivität zu erhöhen.

Im weiteren wird die Erfindung an einem konkreten Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein Blockschema der erfindungsgemäßen Einrich­ tung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen;

Fig. 2 ein Prinzipschaltbild der Einheit zur Umwandlung geringer Abweichungen des Ausgangssignals in eine Gleich­ spannung.

Die Einrichtung zur Messung der Dicke eines Metall­ überzuges 1 (Fig. 1), z. B. auf einem Dielektrikum 2, ent­ hält einen Generator 3 (ausgeführt nach einer bekannten Schaltung), einen in einem Abstand h vom Metallüber­ zug 1 angeordneten Auflage-Wirbelstromwandler 4, der - axial angeordnet - eine an den Generator 3 angeschlosse­ ne Erregerwicklung 5 und Meßwicklungen 6, 7, 8 umfaßt. Die Meßwicklungen 7, 8 sind gleichsinnig in Reihe ge­ schaltet, während die Meßwicklung 6 mit den Wicklungen 7, 8 in Reihe und gegensinnig geschaltet ist. Die freien Enden der Wicklungen 5, 6 sind an die Nullpotentialleit­ ung 9 gelegt.

Die Einrichtung zur Messung der Dicke von Metall­ überzügen enthält auch einen ohmschen-kapazitiven Spannungs­ teiler, der in Form einer Wheatstone-Brücke ausgeführt ist, bei der in das eine Paar gegenüberliegender Brücken­ arme ein Widerstand 10 und ein Kondensator 11 und in das andere ein Widerstand 12 und eine Varikapdiode (Kapazitätsdiode bzw. Varaktor) 13 geschaltet ist. Der in den miteinander gekoppelten Widerstandszwei­ gen vorhandene Verbindungspunkt 14 der Widerstände 10 und 12 ist über einen Kondensator 15 mit dem Verbindungspunkt der Varikapdiode 13 und des Kondensators 11 in den miteinan­ der gekoppelten Kapazitätszweigen verbunden. Der Punkt 16 ist über einen Trennkondensator 17 mit dem Mittelpunkt 18 der Meßwicklungen 6, 7, 8 verbunden. Die freien An­ schlüsse der Varikapdiode 13 und des Widerstandes 10 sind mit der Nullpotentialleitung 9 verbunden.

Die Einrichtung zur Messung der Dicke von Metall­ überzügen enthält außerdem eine in bekannter Schaltung ausgeführte Signalverarbeitungseinheit 19, deren Eingang an den Ausgang der Meßwicklungen 6, 7, 8 und der Verbindungspunkte 20 des Kondensators 11 und des Widerstandes 12 des Kapazi­ täts- bzw. des Widerstandszweiges angeschlossen ist.

Die Einrichtung zur Messung der Dicke von Metall­ überzügen enthält einen Anzeiger 21, dessen Eingang mit dem Ausgang der Signalverarbeitungseinheit 19 des Aufla­ ge-Wirbelstromwandlers verbunden ist, eine Einheit 22 zur Umwandlung geringer Abweichungen des Ausgangssignals in eine Gleichspannung, deren Eingang an den Ausgang der Signalverarbeitungseinheit 19 und deren Ausgang an den Verbindungspunkt 16 der Varikapdiode 13 und des Kondensators 11 in den miteinander gekoppelten Kapazitätszweigen des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers angeschlossen sind.

Die Einheit 22 zur Umwandlung geringer Abweichungen des Ausgangssignals in eine Gleichspannung enthält einen Operationsverstärker 23 (Fig. 2), dessen nichtinvertie­ render Eingang über einen Widerstand 24 mit dem Ausgang der Signalverarbeitungseinheit 19 (Fig. 1) und dessen invertierender Eingang über einen Widerstand 25 (Fig. 2) mit der Nullpotentialleitung 9 und über eine Diode 26 mit seinem Ausgang verbunden sind, der über einen Wider­ stand 27 und eine Diode 28 an den einen Anschluß eines Kondensators 29 angeschlossen ist, dessen anderer An­ schluß mit der Nullpotentialleitung 9 in Verbindung steht. Der Kondensator 29 ist über einen Widerstand 30 mit dem Punkt 16 (Fig. 1) verbunden.

Nachstehend sei die Funktion der Einrichtung mit einem freien Wirbelstromwandler (in Abwesenheit des zu messenden Metallüberzuges 1) betrachtet. Beim Einschal­ ten der Einrichtung wird der Erregerwicklung 5 des Auf­ lage-Wirbelstromwandlers 4 eine Hochfrequenzspannung vom Generator 3 zugeführt. In den mit der Wicklung 5 in­ duktiv gekoppelten Meßwicklungen 6, 7, 8 werden HF-Sig­ nale induziert, die proportional der Windungszahl in jeder Wicklung und den Abständen jeder Wicklung von der Erregerwicklung 5 sind. Durch entsprechende Wahl der Ka­ pazitätswerte der Kondensatoren 11, 15, 17 und der Wider­ standswerte der Widerstände 10, 12 erstrebt man ein Null­ signal am Ausgang der Einheit 19. Folglich ist am Anzei­ ger 21 das Signal auch gleich Null.

Beim Erscheinen einer geringen negativen Gleichspan­ nung am Ausgang der Einheit 19, bedingt durch Änderung des Nullpegels des Ausgangssignals der Einrichtung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen wegen Änderung der äußeren Bedingungen bzw. der Temperaturbedingungen, wird diese Spannung am Eingang der Einheit 22 zugeführt. Die Einheit wandelt diese Spannung in eine negative Steuer­ gleichspannung der Varikapdiode 13 um, die den Kapazitätswert der Varikapdiode 13 ändert (d. h. die Einstellung des ohmschen- kapazitiven Spannungsteilers ändert), bis am Ausgang der Einheit die Nullspannung wiederhergestellt wird. Die Ein­ heit 22 wird in diesem Falle abgeschaltet, am Kondensator 29 (Fig. 2) bleibt eine Arbeitsspannung, die dem Nullaus­ gangssignal der Einrichtung entspricht und die langsam infolge der Ent­ ladung des Kondensators 29 über den Widerstand 30 und die Diode 28 abnimmt. Hierbei erscheint nach einer gewissen Zeit (etwa einige Sekunden) am Ausgang der Ein­ heit 19 (Fig. 1) erneut eine geringe negative Spannung, so daß die Einheit 22 anspricht, die den Kondensator 29 (Fig. 2) auflädt, und der Vorgang wiederholt sich. Beim Erscheinen geringer positiver Spannungen am Ausgang der Einheit 19 (wegen Änderung der äußeren Bedingungen und der Thermostabilität) spricht die Einheit 22 nicht an, aber wegen der Entladung des Kondensators 29 (Fig. 2) fin­ det eine Wiederherstellung des Nullausgangssignals statt.

Es soll nun auf die Funktion der Einrichtung bei einem Arbeitsabstand h des Metallüberzuges 1 am Dielektri­ kum 2 von dem Auflage-Wirbelstromwandler 4 (Fig. 1) ein­ gegangen werden. Das elektromagnetische HF-Feld des Auf­ lage-Wirbelstromwandlers 4 induziert in dem Metallüber­ zug 1 Wirbelströme, deren Wert durch die Dicke und die elektrische Leitfähigkeit des Metallüberzuges 1 sowie durch den Wert des Arbeitsabstandes h bestimmt wird. Diese Wirbelströme rufen eine proportionale Änderung der HF-Spannungen in den Meßwicklungen 6, 7, 8 des Auflagewirbelstromwandlers 4 hervor. Die Änderung des Spannungswertes in jeder Meß­ wicklung 6, 7 bzw. 8 hängt von der Dicke des Metallüber­ zuges 1 und dem Wert des Arbeitsabstandes h ab. Die Ab­ hängigkeiten der Änderung der Spannungswerte an jeder Meßwicklung 6, 7, 8 von der Weite des Arbeitsabstandes h sind nichtlinear und unterscheiden sich voneinander wegen asymmetrischer Anordnung der Meßwicklungen 6, 7, 8 zur Erregerwicklung 5 (verschiedene Abstände von dem Me­ tallüberzug 1). Die Meßwicklungen 7 und 8 haben Durch­ messer, die gleich dem Durchmesser d der Erregerwicklung 5 sind. Bei einer solchen asymmetrischen Anordnung der Meßwicklungen 6, 7, 8 zur Erregerwicklung 5 kompensie­ ren die Änderungen der Spannungswerte an jeder Meßwick­ lung 6, 7, 8 durch Änderung des Arbeitsabstandes h bei dem abgestimmten ohmschen-kapazitiven Spannungsteiler ein­ ander in einem gewissen Änderungsbereich Δ h des Ar­ beitsabstandes, z. B. bei d = 0,5 cm, h = 0,5 mm.

Betrachten wir eine Variante, bei der die Wicklung 6 neben der Erregerwicklung 5 angeordnet ist.

Ist die Meßwicklung 6 auf der anderen Seite der Erregerwicklung 5 als die Meßwicklungen 7, 8 angeord­ net, dann nimmt die Änderung des Spannungswertes an der Meßwicklung 6 bei Änderung des Arbeitsabstandes h zu und an den Meßwicklungen 7, 8 ab, weil sich der relati­ ve Abstand jeder Meßwicklung 6, 7, 8 vom Metallüberzug 1 ändert. Die Abhängigkeit der Ausgangsspannung des ohmschen- kapazitiven Spannungsteilers von dem Wert des Arbeits­ abstandes h wird nicht kompensiert (es überwiegt die Ab­ hängigkeit der Änderung des Spannungswertes für die Meß­ wicklung 6 von der Änderung des Arbeitsabstandes h.)

Ist die Meßwicklung 7 in bezug auf die Erreger­ wicklung 5 in einem Abstand von 0,7 oder 0,3 d angeord­ net, dann nimmt die Abhängigkeit der Änderung des Span­ nungswertes an dieser Wicklung von der Änderung des Ar­ beitsabstandes h ab oder zu, da der Abstand von dem Me­ tallüberzug 1 geändert wird. Bei einer solchen Anordnung der Meßwicklung 7 hängt der Wert des Ausgangssignals des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers von der Änderung des Wertes des Arbeitsabstandes h ab, da die Änderung des Spannungswertes an den Meßwicklungen 6, 7, 8 in Ab­ hängigkeit von dem Wert des Arbeitsabstandes nicht kom­ pensiert wird. Ein ähnlicher Effekt findet bei Änderung der Anordnung der Meßwicklung 8 oder bei Änderung des Verhältnisses der Windungszahl der Meßwicklungen 7, 8 zur Windungszahl der Meßwicklung 6 statt. Die Windungs­ zahl der Wicklung 6 wird durch den Meßbereich der Dicke der Metallüberzüge und die Frequenz des Generators 3 be­ stimmt. So ist beispielsweise bei einer Frequenz des Ge­ nerators 3 von 200 kHz, bei Messung von Metallüberzügen im Bereich von 0,01 bis 1 µm und bei der Erregerwicklung 5 mit einem Durchmesser von 0,5 cm die optimale Windungs­ zahl der Meßwicklung 6 gleich 46.

Somit bieten die vorgeschlagene Anordnung der Meß­ wicklungen 6, 7, 8 zur Erregerwicklung 5 und das Schal­ ten des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers mit einer Varikapdiode als Steuermittel, das mit Hilfe der Einheit 22 gesteuert wird, zwischen den Meßwicklungen 6, 7, 8 und der Einheit 19 die Möglichkeit, die Abhängigkeit des Ausgangssignals am Anzeiger 21 von dem Wert des Arbeits­ abstandes h zwischen dem Auflage-Wirbelstromwandler und dem zu messenden Metallüberzug mit gleichzeitiger Auf­ rechterhaltung des Nullpegels des Ausgangssignals zwi­ schen den Messungen wesentlich zu senken.

Die Benutzung der erfindungsgemäßen Einrichtung zur Messung der Dicke von Metallüberzügen in Geräten zur zerstörungsfreien Kontrolle gibt die Möglichkeit, die Meßgenauigkeit und Stabilität wesentlich zu erhöhen.

Claims (1)

1. Einrichtung zur Messung der Dicke von Metallüberzü­ gen, die einen Generator (3), einen in einem Arbeitsab­ stand h von dem zu messenden Metallüberzug (1) angeord­ neten Auflage-Wirbelstrom-Wandler (4), der - axial angeord­ net - eine an den Ausgang des Generators (3) angeschlos­ sene Erregerwicklung (5) sowie in Gegenreihenschaltung liegende Meßwicklungen (6, 7) aufweist, einen Anzeiger (21) und eine mit diesem verbundene Einheit (19) zur Ver­ arbeitung des Signals des Auflage-Wirbelstromwandlers (4), die mit dem Auflage-Wirbelstromwandler (4) elektrisch verbunden ist, enthält, dadurch gekennzeich­ net, daß sie einen ohmschen-kapazitiven Spannungsteiler aufweist, der in Form einer Wheatstone-Brücke ausgeführt ist, bei der in das eine Paar gegenüberliegender Brückenarme ein Wi­ derstand (10) und ein Kondensator (11) und in das andere Paar gegenüberliegender Brückenarme ein Widerstand (12) und eine Varikapdiode (13), deren freier Anschluß mit der Nullpotentialleitung (9) in Verbindung steht, geschaltet sind, wobei der in den miteinander gekoppelten Wider­ standszweigen des ohmschen-kapazitiven Spannungsteilers vor­ handene Verbindungspunkt (14) der Widerstände über einen Kondensator (15) mit einem Verbindungspunkt (16) der Varikapdiode (13) und des Kondensators (11) in seinen mit­ einander gekoppelten Kapazitätszweigen verbunden ist, der über einen Trennkondensator (17) an den Mittelpunkt (18) der Meßwicklungen (6, 7) gelegt ist, daß eine Einheit (22) zur Umwandlung geringer Abweichungen des Ausgangs­ signals in eine Gleichspannung vorhanden ist, deren Eingang an den Aus­ gang der Signalverarbeitungseinheit (19) des Auflage- Wirbelstromwandlers und deren Ausgang an den Verbindungs­ punkt (16) der Varikapdiode (13) und des Kondensators (11) in den miteinander gekoppelten Kapazitätszweigen des ohmschen- kapazitiven Spannungsteilers angeschlossen sind, daß der Auflage-Wirbelstromwandler (4) eine weitere Meßwick­ lung (8), die mit der Meßwicklung (7) in Reihe und gleichsin­ nig geschaltet ist, aufweist, wobei der Ausgang des Auf­ lage-Wirbelstromwandlers (4) mit dem Eingang der Einheit (19) zur Verarbeitung des Signals des Auflage-Wirbel­ stromwandlers (4) und mit dem Verbindungspunkt (20) des Widerstands- und des Kapazitätszweiges des ohmschen-kapa­ zitiven Spannungsteilers verbunden ist, und daß die Meßwicklungen (7, 8) auf der Seite der Erregerwick­ lung (5) mit einem Durchmesser d und in Abständen im Be­ reich von 0,4 bis 0,6 d bzw. von 0,8 bis 1,2 d angeordnet sind, während die gesamte Windungszahl der Meßwicklungen (7, 8) um mehr als das zweifache die Windungszahl der Meßwicklung (6), die oberhalb der Erregerwicklung (5) angebracht ist, übersteigt.