DE3822910A1 - Auf der basis der coriolis-kraft arbeitender massestroemungsmesser - Google Patents

Auf der basis der coriolis-kraft arbeitender massestroemungsmesser

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitenden Massenströmungsmesser.
Ein Massenströmungsmesser ist ein Instrument zur Messung der pro Zeiteinheit durch eine Leitung strömenden Masse eines Strömungsmittels. Die meisten Strömungsmesser für diesen Zweck messen eine Größe, aus der die Masse abgeleitet werden kann, nicht jedoch die Masse direkt. So ist die Massenströ­ mungsgeschwindigkeit mit einem volumetrischen Strömungsmes­ ser messbar, wobei auch der Druck, die Temperatur und andere Parameter zur Berechnung der Masse berücksichtigt werden müssen.
Ein auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitender Massenströ­ mungsmesser, welcher auch als Coriolis-Gyroskop-Strömungs­ messer bezeichnet wird, liefert ein zur Massenströmung direkt proportionales Ausgangssignal, so daß Druck, Tempe­ ratur, Dichte und andere Parameter nicht gemessen werden müssen. Bei dieser Art von Strömungsmesser befinden sich im Weg des strömenden Strömungsmittels keine Hindernisse, so daß die Genauigkeit des Instrumentes durch Erosion, Korro­ sion oder durch Bildung von Ablagerungen nicht beeinflußt wird.
Die auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitenden Massenströmungsmesser sowie die dabei zu erreichenden Vorteile sind in "Mechanical Engineering", März 1979, Seiten 36 bis 39 im einzelnen beschrieben.
Eine Coriolis-Kraft ist generell einem kontinuierlich rotie­ renden System zugeordnet. Beispielsweise erzeugt die Erdro­ tation Winde aus einer Hochdruckzone auf der nördlichen Halbkugel im Uhrzeigersinn spiralförmig nach außen und auf der südlichen Halbkugel im Gegenuhrzeigersinn spiralförmig nach außen. Auf eine sich auf einem Karussell bewegende Person wirkt eine Querkraft, so daß sie sich beim Gehen längs eines Radius nach außen zur Vorwärtsbewegung zur Seite lehnen muß.
In einem Gyroskop ergibt sich aus dem gleichen Grund eine Coriolis-Kraft und -präzesion. Wirkt in einem Gyroskop ein Drehmoment rechtwinklig zur Achse der Rotordrehung, so ergibt sich daraus eine Präzesions-Rotation rechtwinklig zur Drehachse sowie zur Achse des aufgeprägten Drehmomentes. Eine Coriolis-Kraft bewirkt die Radialbewegung von Masse von einem Punkt auf einem rotierenden Körper zu einem zweiten Punkt, so daß die Umfangsgeschwindigkeit der Masse beschleu­ nigt wird. Diese Beschleunigung der Masse führt zur Erzeu­ gung einer Kraft in der Rotationsebene, welche senkrecht auf der Augenblicks-Radialbewegung steht.
Bei einer bekannten Form eines auf der Basis der Coriolis- Kraft arbeitenden Massenströmungsmessers fließt das zu messende Strömungsmedium durch ein C-förmiges Rohr, das zusammen mit einer Blattfeder wie die Zinken einer Stimmga­ bel wirkt. Diese Gabel wird elektromagnetisch erregt, wo­ durch jedes sich im Rohr bewegende Teilchen eine Coriolis- Beschleunigung erfährt. Die resultierenden Kräfte lenken das C-förmige Rohr winkelmäßig umgekehrt proportional zu seiner Steifigkeit und direkt proportional zur Massenströmungsge­ schwindigkeit in ihm aus.
Die Auslenkung bzw. Verdrehung des Rohres wird während jeder Periode der Stimmgabel-Oszillation, welche mit der Eigenre­ sonanzfrequenz der Vorrichtung erfolgt, zweimal erfaßt. Das Ausgangssignal des optischen Detektors ist ein Impuls, dessen Breite als Funktion der Massenströmungsgeschwindig­ keit moduliert ist. Diese Impulsbreite wird digitalisiert und angezeigt, um eine numerische Anzeige der Massenströ­ mungsgeschwindigkeit zu gewinnen.
Die US-PS 31 32 512 beschreibt einen auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitenden Massenströmungsmesser, bei dem eine mit ihrer Resonanzfrequenz schwingende Strömungsschlei­ fe einer Oszillation um eine Drehmomentachse unterworfen wird, welche sich mit der Strömungsmittelströmung in der Schleife ändert. Diese Torsionsoszillation wird durch sich bewegende Spulenwandler erfaßt.
Die US-PS 41 27 828 und 41 92 184 beschreiben auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitende Massenströmungsmesser mit zwei U-förmigen Strömungsschleifen, die so angeordnet sind, daß sie wie die Zinken einer Stimmgabel schwingen, wobei die Torsionsoszillation dieser Schleifen als Funktion der Masse des durchtretenden Strömungsmittels durch Lichtdetektoren erfaßt wird. Die US-PS 42 22 338 beschreibt die Erzeugung eines linearen Analogsignals durch elektromagnetische Senso­ ren, das die Oszillationsbewegung eines U-förmigen Rohres repräsentiert. Auch in einem Strömungsmesser nach der US-PS 44 91 025 werden elektromagnetische Sensoren verwendet, wobei das Strömungsmittel, dessen Masse gemessen werden soll, in Serie durch zwei parallele U-förmige Rohre strömt, die zusammen als Zinken einer Stimmgabel wirken.
Weitere Strömungsmesser der in Rede stehenden Art sind in den US-PS 34 85 098, 41 87 721 und 42 52 028 sowie in der PCT-Anmeldung 85/05 677 beschrieben.
Da ein auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitender Strö­ mungsmesser als Stimmgabel wirkt, ist weit weniger Leistung erforderlich, um die beiden Schleifen mit ihrer Resonanzfre­ quenz oszillieren zu lassen, als dies bei einer einzigen Schleife der Fall ist. Schwingen die beiden Schleifen als Stimmgabel in Bezug auf ein verankertes Zentrum an der Verbindungsstelle der beiden Schleifen, so nähern sie sich alternierend bis zu einem minimalen Abstand aneinander an und trennen sich sodann bis zu einem maximalen Abstand. Daher ist der Winkelgeschwindigkeitsvektor für eine Schleife dem Winkelgeschwindigkeitsvektor der anderen Schleife immer entgegengerichtet. Da die Strömung durch die beiden Schlei­ fen die gleiche ist, werden sie aufgrund der gegensinnigen Winkelgeschwindigkeitsvektoren gegensinnigen Drehmomenten unterworfen. Die beiden Schleifen werden daher abwechselnd aufeinander zu und voneinander weg verdreht.
Eine Doppelschleifen-Stimmgabelkonfiguration gewährleistet einen stabileren Betrieb als ein Massenströmungsmesser mit einer einzigen Schleife. Dies beruht darauf, daß sich bei Änderung der Masse einer Schleife aufgrund einer erhöhten Strömungsmitteldichte die Masse der anderen Schleife ebenso verhält. Dies führt zu einem dynamischen Abgleich des Schleifenpaares sowie zu einer wesentlichen Verringerung der Empfindlichkeit gegenüber äußeren Schwingungskräften.
Da die Schleifen der Stimmgabel jedoch in ihrem Zentrum, das ihren Verbindungspunkt darstellt, sowie am Einlaß- und am Auslaßende verankert sind, ergibt sich durch diese Veranke­ rung eine starke Sperrung der Auslenkung der Schleifen. Bekannte Geschwindigkeitssensoren dieser Art sind daher nicht ausreichend empfindlich, um ein geeignetes Signal für eine Massenströmungsmessung zu erzeugen.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitenden Doppel­ schleifen-Massenströmungsmesser anzugeben, der effizient, zuverlässig und genau arbeitet.
Diese Aufgabe wird bei einem Massenströmungsmesser der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.
Beim erfindungsgemäßen Massenströmungsmesser handelt es sich also um einen eine Doppelschleife ausnutzenden Strömungsmes­ ser, bei dem die Doppelschleife als Stimmgabel wirkt und durch einen synchron mit den Stimmgabelschwingungen erregten elektromagnetischen Treiber zu Schwingungen mit ihrer Eigen­ resonanzfrequenz angeregt wird.
Torsionsoszillationen der schwingenden Schleifen werden dabei durch ein Paar von hochempfindlichen kapazitiven Sensoren erfaßt, welche symmetrisch auf den beiden Schleifen montiert sind.
Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteran­ sprüchen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine Endansicht eines auf der Basis der Corio­ lis-Kraft arbeitenden Doppelschleifen-Massenströ­ mungsmessers gemaß der Erfindung;
Fig. 2 eine Seitenansicht des Stromungsmessers;
Fig. 3 eine schematische Darstellung des Strömungsmes­ sers sowie eine kapazitiven Sensoren der Schlei­ fen zugeordnete Meß-Schaltungsanordnung.
Fig. 4 ein Vektordiagramm der die Sensorverschiebung bestimmenden Vektoren;
Fig. 5 eine bevorzugte Ausführungsform eines kapazitiven Schleifensensors;
Fig. 6 eine weitere Ausführungsform von kapazitiven Schleifensensoren;
Fig. 7 ein Diagramm der Gesamtempfindlichkeit der Schleifensensoren; und
Fig. 8 ein Blockschaltbild einer Schaltungsanordnung zur Erregung eines Schleifen-Treibers synchron mit den kombinierten Ausgangssignalen der Sensoren.
Ein erfindungsgemäßer, auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitender Strömungsmesser gemäß den Fig. 1 und 2 enthält ein Metallrohr aus rostfreiem Stahl oder einem anderen Material, das nicht mit dem zu messenden Strömungsmittel reagiert und dem Strömungsdruck standhalten kann. Dieses Rohr ist derart gewunden, daß eine Doppelschleife in Form von identischen kreisförmigen Schleifen 10 und 11 mit dem gleichen Durchmesser gebildet wird.
Die Doppelschleife ist in einem starren, stationären recht­ eckförmigen Gehäuse bzw. Rahmen 12 mit einer Basis 12 A und parallelen Seiten 12 B und 12 C gehaltert. Eine Massenströmung kann in beiden Strömungsrichtungen im Rohr gemessen werden. Für die folgenden Erläuterungen sei angenommen, daß ein mit einem Ende des Rohres gekoppeltes Rohrverbindungsstück 13, das durch eine Öffnung in der Seite 12 B verläuft und mit dieser verschweißt ist, ein Einlaß-Rohrverbindungsstück sei, und ein Rohrverbindungsstück 14, das durch eine Öffnung in der Seite 12 C verläuft und mit dieser verschweißt ist, ein Auslaß-Rohrverbindungsstück sei. Der Einlaß und der Auslaß des Doppelschleifenrohres sind am Rahmen verankert.
Ein die Verbindung der Schleifen 10 und 11 darstellendes Zentrum C der Doppelschleife ist mittels eines Zapfens 15, der mit der Basis 12 A und der Doppelschleife verschweißt ist, am Rahmen verankert.
Die Doppelschleifenkonfiguration, bei der das Einlaß- und das Auslaßende sowie das Zentrum verankert sind, stellt eine Stimmgabel dar, deren Zinken durch die identischen Schleifen 10 und 11 gebildet werden. Diese Zinken können gegenphasig mit der Eigenfrequenz der Stimmgabel frei schwingen. Da die schwingenden Schleifen gegensinnigen Coriolis-Kraft-Drehmo­ menten unterworfen werden, wenn ein Strömungsmittel durch sie strömt, werden die Schleifen 10 und 11 alternierend aufeinander zu und voneinander weg verdreht.
Im Scheitel der Doppelschleife ist ein elektromagnetischer Treiber 16 montiert, der durch eine externe Wechselspan­ nungsquelle 17 gemäß Fig. 3 erregt wird, um die Stimmgabel­ schleifen zu Schwingungen mit einer Frequenz entsprechend der Eigenfrequenz der Gabel anzuregen, wodurch die beiden Schleifen in Bezug auf das Zentrum gegensinnig hin- und herschwingen.
Der Treiber 16 gemäß Fig. 3 kann ein Permanentmagnet 16 M mit einer Spule 16 C sein, welche durch die Spannungsquelle 17 so erregt werden, daß der Magnet alternierend von der Spule angezogen und von dieser abgestoßen wird, wobei die Frequenz der Resonanzfrequenz der Stimmgabel entspricht. Für diesen Zweck kann ein an sich bekannter Treiber benutzt werden.
Auf der Schleife 10 ist an einer Stelle zwischen dem veranker­ ten Zentrum C und einem Abstand von 45° vom Zentrum ein ka­ pazitiver Sensor 18 mit einem Paar von Platten montiert, von denen eine an einem Schenkel der Schleife und die andere am anderen Schenkel befestigt ist; diese Platten des kapaziti­ ven Sensors sind von den Metallschenkeln isoliert. Ebenso ist auf der Schleife 11 an einer entsprechenden Stelle ein kapazitiver Sensor 19 derart montiert, daß das Sensorpaar symmetrisch auf der Doppelschleife montiert ist.
Die Kapazität eines Kondensators, der durch zwei durch ein Dielektrikum getrennte Platten gebildet ist, ist durch die Formel C = KA/d gegeben. Darin bedeuten:
C die Gesamtkapazität, K die Dielektrizitätskonstante des Materials zwischen den Platten (das im Falle der Sensoren 18 und 190 Luft ist) A die Plattenfläche und d den Abstand zwischen den Platten.
Im Falle des Sensors 18 ist eine Platte auf dem Schenkel der Schleife 10 montiert, welche im Zentrum C verankert ist, während die andere Platte 19 auf dem anderen Schenkel der gleichen am Einlaßende 13 verankerten Schleife montiert ist. Die Platten des Sensors 19 stehen in einem entsprechenden Zusammenhang zu den Schenkeln der Schleife 11.
Da jede Schleife hin- und herschwingt und torsionsmäßig oszilliert, ändert sich der Abstand zwischen den Platten des kapazitiven Sensors in einem durch den resultierenden Vektor aus Vibrations- und Torsionsbewegung festgelegten Ausmaß. Die Kapazitätsänderung der Sensoren wird über eine Verbin­ dung des jeweiligen Kondensators mit einer Gleichspannungs­ quelle in Serie mit einem strombegrenzenden Widerstand in ein entsprechendes Spannungssignal überführt, wie dies im folgenden noch erläutert wird.
Die Signalspannung des Sensors 18 wird in einen Vorverstär­ ker 20 und die Signalspannung vom Sensor 19 in einen Vorver­ stärker 21 eingespeist. Der Ausgang des Vorverstärkers 21 ist über einen festen Widerstand 23 in Serie zu einem verän­ derbaren Verstärkungsriegelwiderstand 24 mit dem invertie­ renden Eingang eines Differenzverstärkers 22 verbunden. Das Ausgangssignal des Differenzverstärkers 22, das die Diffe­ renz zwischen den Amplituden der Sensorsignale darstellt, wird in einen Mikroprozessor 26 eingegeben.
Das Ausgangssignal des Vorverstärkers 21 wird weiterhin über einen festen Widerstand 27 in den Eingang eines Summations­ verstärkers 28 eingespeist, der weiterhin über einen festen Widerstand 29 am Ausgang des Vorverstärkers 20 liegt. Daher stellt das Ausgangssignal des Summationsverstärkers 28 die Summe der Sensorsignale dar, welche in einen weiteren Ein­ gang des Mikroprozessors 26 eingegeben wird.
Der Mikroprozessor 26 berechnet auf der Basis der Summen- und Differenzsignaldaten die Massenströmungsgeschwindigkeit des durch die Strömungsschleife fließenden Strömungsmittels zwecks Erzeugung eines ein Maß für die Massenströmungsge­ schwindigkeit darstellenden Digitalwertes. Dieser wird auf einer visuellen Anzeige 30 angezeigt.
Die Verdrehempfindlichkeit des kapazitiven Sensors ändert sich mit der dritten Potenz der Drehverschiebung (X 3), während sich die Vibrationsoszillations-Empfindlichkeit mit der dritten Potenz der Vibrationsverschiebung (Y 3) ändert. Diese gleichzeitig auftretenden Verschiebungen stehen gemäß dem Vektordiagramm nach Fig. 4 rechtwinklig aufeinander. Die tatsächliche Bewegungsrichtung des kapazitiven Sensors ist daher der resultierende Vektor aus X 3 und Y 3. Um die maxi­ male Empfindlichkeit des kapazitiven Sensors für Torsions­ oszillationen zu erreichen (diese Oszillationen ergeben eine Massenströmungsablesung), muß das Verhältnis des Verdrehvek­ tors zum Vibrationsvektor so beschaffen sein, daß sich eine optimale Verschiebung des Kapazitätsensors ergibt. Dies ist der Fall, wenn der Sensor auf der Schleife möglichst nahe an einer Stelle zwischen dem Verankerungszentrum C und einem Ab­ stand von 45° von diesem Zentrum angeordnet ist.
Die Art der Überführung der Kapazitätsänderung in eine Signal­ spannungsänderung ist in den Fig. 5 und 6 dargestellt. Beim kapazitiven Sensor nach Fig. 5 wird dieser durch ein Paar von Metallplatten P 1 und P 2 gebildet, die durch Isolations­ stücke 31 und 32 auf den Schenkeln L 1 und L 2 einer Strö­ mungsschleife so montiert sind, daß der Luftspalt zwischen den Platten sich bei Auslenkung der Schleife entsprechend ändert.
Die Platte P 1 ist über einen strombegrenzenden Widerstand 33 mit der positiven Klemme einer Gleichspannungsquelle 34 ver­ bunden, deren negative Klemme geerdet ist. Die Platte P 2 ist mit dem invertierenden Eingang eines gegengekoppelten Opera­ tionsverstärkers 35 verbunden, dessen nicht invertierender Ein­ gang geerdet ist. Ändert sich der Spalt zwischen den Platten P 1 und P 2 als Funktion einer Schleifenauslenkung, so ändern sich die Größe der in den Verstärker eingespeisten negativen Spannung entsprechend.
Bei der Sensoranordnung nach Fig. 6 ist eine Platte P 3 durch einen Isolationszapfen 36 am Schenkel L 2 der Schleife be­ festigt, während ein Paar von parallelen Platten P 4 und P 5 durch einen Isolationsrahmen 37 am Schenkel L 1 befestigt ist. Die Platte P 3 ist so zwischen den parallelen Platten angeordnet, daß sie sich in Abhängigkeit von der Richtung der Auslenkung näher zur Platte P 4 hin und weiter von der Platte P 5 weg bewegt (oder umgekehrt).
Eine mit einem Mittelabgriff am nicht invertierenden geerdeten Eingang 35 des Verstärkers liegende Gleichspannungsquelle 38 liefert in Bezug auf Erde eine konstante positive Spannung für die Platte P 4 über einen strombegrenzenden Widerstand 39 sowie eine konstante negative Spannung in Bezug auf Erde für die Platte P 5 über einen strombegrenzenden Widerstand 40. Zwischen den Platten P 3 und P 4 ist daher ein positiver Spannungsunterschied und zwischen den Platten P 3 und P 5 ein negativer Spannungsunterschied vorhanden. Die Platte P 5 ist mit dem invertierenden Eingang des Verstärkers 35 verbunden. Bewegt sich die Platte P 3 zur Platte P 4 hin, so wird daher die in den Verstärker 35 eingespeiste Spannung positiver, während diese Spannung negativer wird, wenn sich die Platte P 3 zur Platte P 5 hin bewegt.
Fig. 7 zeigt ein Diagramm der Gesamtempfindlichkeit eines Sensors mit einem (+)-Spalt und eines Sensors mit einem (-)-Spalt. Ersichtlich geht bei einem kapazitiven Spaltbe­ reich von 0 bis 20 das Ausgangssignal des (+)-Spaltes von einem Punkt unterhalb 1 bis 5, während das Ausgangssignal des (-)-Spaltes, welches invers zu demjenigen des (+)-Spal­ tes ist, im gleichen Maßstab von einem Punkt unterhalb 1 bis 5 geht. Aus dem Diagramm geht hervor, daß die Gesamtsensor­ empfindlichkeit im gesamten Bereich wesentlich größer ist.
Eine bevorzugte Ausführungsform zur Einspeisung von Wechsel­ spannung in den Treiber 16 des Doppelschleifen-Strömungsmes­ sers ist in Fig. 8 dargestellt, wobei dem Treiber 16 Span­ nung über einen Treiberverstärker 41 zugeführt wird, so daß die Doppelschleifen-Stimmgabel mit einer Frequenz entspre­ chend ihrer Eigenfrequenz zu Schwingungen angeregt wird. Die in der oben beschriebenen Weise symmetrisch auf den Schlei­ fen montierten kapazitiven Sensoren 18 und 19 sind mit einem Verstärker 42 bzw. 43 verbunden, deren Ausgangssignale über Widerstände 44 und 45 auf einen Summationspunkt 46 geführt werden, so daß Sensorausgangssignale S 1 und S 2 additiv kombiniert werden. Die kombinierte Signalspannung (S 1 und S 2) im Summationspunkt 46 wird in den Eingang eines Verstärkers 47 eingespeist, dessen Ausgangssignal über ein variables Dämpfungsglied 38 in den Eingang des Treiberver­ stärkers 41 eingespeist wird. Das Ausgangssignal des Ver­ stärkers 47 für die kombinierte Signalspannung wird weiter­ hin über einen Gleichrichter 49 in den nicht invertierenden Eingang eines Komparatorverstärkers 50 eingespeist, an dessen invertierendem Eingang eine positive Referenzspannung liegt.
Der Verstärker 50 vergleicht das gleichgerichtete Ausgangs­ signal des Verstärkers 47 mit der Referenzspannung zwecks Erzeugung eines Fehlersignals, das von der Spannungsdiffe­ renz abhängt. Dieses am Ausgang des Verstärkers 50 auftre­ tende Fehlersignal wird in das variable Dämpfungsglied 48 eingespeist und ändert die durch den Treiberverstärker 41 erzeugte Spannung für die Schwingungserregung der Stimmgabel derart, daß das gleichgerichtete Ausgangssignal des Verstär­ kers 47 für das Sensorspannungssignal gleich der Referenz­ spannung wird.
Die Summe der durch die Sensoren 18 und 19 erzeugten Span­ nungssignale liegt daher fest. Die Doppelschleifen-Stimmga­ bel schwingt selbst an und wird mit ihrer Resonanzfrequenz erregt.
An Stelle einer Doppelschleife mit zwei in Serie liegenden Schleifen gemäß den oben beschriebenen Ausführungsformen kann im erfindungsgemäßen Massenströmungsmesser auch eine Doppelschleife mit einem Paar von parallelen Schleifen verwendet werden. Um das Verhältnis des Verdrehvektors zum Vibrationsvektor zwecks Verbesserung der Empfindlichkeit der kapazitiven Sensoren auf Torsionsoszillationen weiter zu erhöhen, können die Sensoren näher am Einlaß bzw. Auslaß des Rohres angeordnet werden, wie dies durch Stellen S′1 und S′ 2 in Fig. 3 angedeutet ist. Damit ergibt sich eine unter­ schiedliche Anordnung der Sensoren 18 und 19 gegenüber den Darstellungen in den Figuren.

Claims (12)

1. Auf der Basis der Coriolis-Kraft arbeitender Masseströ­ mungsmesser mit folgenden Merkmalen:
  • A) ein ein Einlaß- und ein Auslaßende aufweisendes Rohr, das zur Bildung einer Doppelschleife mit zwei identischen Schleifen (10, 11) gewunden ist,
  • B) einen stationären Rahmen (12) zur Halterung der Dop­ pelschleife (10, 11) am Einlaß- und am Auslaßende sowie in ihrem die Verbindung der Schleifen (10, 11) darstellenden Zentrum (C) zwecks Bildung einer Stimm­ gabel, in der die identischen Schleifen (10, 11) auf den beiden Seiten des Zentrums (C) als Zinken wirken, die in Bezug auf das Zentrum frei hin- und herschwin­ gen sowie sich verdrehen können,
  • C) einen im Scheitel der Doppelschleife (10, 11) mon­ tierten elektromagnetischen Treiber (16), der bei elektrischer Erregung die Schleifen (10, 11) mit der Eigenfrequenz der Stimmgabel gegensinnig schwingen läßt,
  • D) eine Einrichtung zur Durchleitung eines Strömungsmit­ tels durch das Rohr vom Einlaß- zum Auslaßende, wo­ durch die Doppelschleife (10, 11) Coriolis-Kräften unterworfen wird, welche die schwingenden Schleifen (10, 11) als Funktion der Massenströmung des Strö­ mungsmittels torsionsmäßig oszillieren läßt,
  • E) ein Paar von symmetrisch auf beiden Seiten des Zen­ trums (C) auf den Schleifen (10, 11) montierten kapa­ zitiven Sensoren (18, 19), welche bei Fehlen einer Strömung gleiche Signale und bei Strömung als Funktion der Massenströmung Signale unterschiedlicher Größe liefern, und
  • F) eine Anordnung (20, 21, 23 bis 25, 27, 29) zur Ein­ speisung der Signale von den Sensoren (18, 19) in einen Differenzverstärker (22), dessen Ausgangssignal im wesentlichen proportional zur Massenströmungsge­ schwindigkeit ist.
2. Strömungsmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifen (10, 11) generell kreisförmig ausgebildet sind und daß der jeweilige Sensor (18 bzw. 19) auf seiner Schleife (10 bzw. 11) an einer Stelle zwischen dem Zentrum (C) und einem Abstand von 45° vom Zentrum (C) montiert ist.
3. Strömungsmesser nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (12) durch ein rechteckförmiges Gehäuse gebildet ist, in dem die Doppelschleife (10, 11) gehaltert ist und das eine Basis (12 A) sowie ein Paar von parallelen Seiten (12 B, 12 C) aufweist, daß das Zentrum (C) auf der Basis (12 A) verankert ist und daß das Einlaß- und das Auslaß­ ende sich durch die Seiten (12 B, 12 C) erstrecken und an diesen verankert sind.
4. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Einlaß- und Auslaßende jeweils mit einem Rohrverbindungsstück (13, 14) versehen ist, das sich durch die Seiten (12 B, 12 C) des Gehäuses (12) erstreckt und mit diesen ver­ schweißt ist.
5. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifen (10, 11) durch einen vom verankerten Ende des Rohres ausgehenden Bogenschenkel (L 1) sowie einen weiteren vom verankerten Zentrum (C) ausgehenden Bogenschenkel (L 2) gebildet sind und daß die Sensoren jeweils durch eine auf dem einen Schenkel (L 1) montierte Platte (P 1) und eine weitere auf dem anderen Schenkel (L 2) montierte Platte (P 2) gebildet sind, wobei sich der Spalt zwi­ schen den Platten (P 1, P 2) als Funktion der Torsionsos­ zillation der Schleife ändert.
6. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Platte (P 1) des Sensors über einen Strom begrenzenden Wider­ stand mit der positiven Klemme einer Gleichspannungs­ quelle (34) verbunden ist, deren negative Klemme mit dem nicht invertierenden Eingang eines Operationsverstärkers (35) verbunden ist, dessen invertierender Eingang mit der anderen Platte (P 2) des Sensors verbunden ist, wodurch die sich ändernde Kapazität des Sensors in eine Signalspannung überführt wird, welche am Ausgang des Verstärkers (35) auftritt.
7. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifen (10, 11) durch jeweils einen vom verankerten Ende des Rohres ausgehenden Bogenschenkel (L 1) und einen weiteren vom verankerten Zentrum (C) ausgehenden Bogenschenkel (L 3) gebildet sind und daß die Sensoren (18, 19) jeweils durch ein Paar paralleler Platten (P 4, P 5), welche in einem an dem einen Schenkel (L 1) befestigten isolieren­ den Rahmen (37) gehaltert sind, sowie eine einzige zwischen den parallelen Platten (P 4, P 5) angeordnete und von einem am anderen Schenkel (L 3) befestigten Isolationszapfen (36) gehalterte Platte (P 3) gebildet ist, wobei die Torsionsoszillation der Schleife (10, 11) zwecks Änderung der Spalte zwischen den Platten eine Bewegung der einzigen Platte (P 3) abwechselnd zur einen oder zur anderen der parallelen Platten (P 4, P 5) hin bewirkt.
8. Strömungsmesser nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Gleichspannungs­ quelle (37), deren Mittelabgriff mit dem nicht invertie­ renden Eingang eines Operationsverstärkers (35) verbun­ den ist und deren positive und negative Klemme auf jeweils einer Seite des Mittelabgriffs mit den paralle­ len Platten (P 4, P 5) verbunden sind, von denen eine (P 5) mit dem invertierenden Eingang des Verstärkers (35) verbunden ist.
9. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Aus­ gangssignale der Sensoren (18, 19) zur Erzeugung eines Eingangssignals additiv kombiniert werden, und daß der Treiber (16) durch einen Treiberverstärker (41) erregt wird, dessen Eingang das Eingangssignal über ein variab­ les Dämpfungsglied (48) gespeist wird, das als Funktion eines aus einem Vergleich des Eingangssignals mit einer Referenzspannung variabel ist, wodurch die Doppelschlei­ fe (10, 11) im Sinne der Gleichheit von Eingangssignal und Referenzspannung angesteuert wird.
10. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Doppel­ schleife durch ein Paar von hintereinanderliegenden Schleifen (10, 11) gebildet ist.
11. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Doppel­ schleife durch ein Paar von parallelen Schleifen (10, 11) gebildet ist.
12. Strömungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sensor (18) benachbart zum Einlaß und der andere Sensor (19) benachbart zum Auslaß montiert ist.
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GB (1) GB2208181B (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0462711A1 (de) * 1990-06-16 1991-12-27 Imperial Chemical Industries Plc Massendurchflussmessgerät
WO1998040702A1 (en) 1997-03-11 1998-09-17 Micro Motion, Inc. Dual loop coriolis effect mass flowmeter

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5423221A (en) * 1986-02-11 1995-06-13 Abb K-Flow Inc. Mass flow measuring device
US4911020A (en) * 1986-10-28 1990-03-27 The Foxboro Company Coriolis-type mass flowmeter circuitry
KR960000099B1 (ko) * 1986-10-28 1996-01-03 더폭스보로 컴패니 코리올리 유형의 질량유량계
US5343764A (en) * 1986-10-28 1994-09-06 The Foxboro Company Coriolis-type mass flowmeter
US5050439A (en) * 1986-10-28 1991-09-24 The Foxboro Company Coriolis-type mass flowmeter circuitry
US5271281A (en) * 1986-10-28 1993-12-21 The Foxboro Company Coriolis-type mass flowmeter
US5216490A (en) * 1988-01-13 1993-06-01 Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Bridge electrodes for microelectromechanical devices
DE3829059A1 (de) * 1988-08-26 1990-03-08 Danfoss As Nach dem coriolis-prinzip arbeitendes stroemungsmessgeraet
US5115683A (en) * 1988-09-27 1992-05-26 K-Flow Division Of Kane Steel Co., Inc. Coriolis mass flow meter adapted for low flow rates
GB8829825D0 (en) * 1988-12-21 1989-02-15 Schlumberger Ind Ltd A combined output and drive circuit for a mass flow transducer
US4957005A (en) * 1989-10-05 1990-09-18 Fischer & Porter Company Coriolis-type flowmeter
EP0456789A4 (en) * 1989-11-24 1992-03-11 Hyok Sang Lew Convective acceleration flowmeter
US5048350A (en) * 1989-12-05 1991-09-17 The Foxboro Company Electromagnetic driver and sensor
US5126812A (en) * 1990-02-14 1992-06-30 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Monolithic micromechanical accelerometer
US5473945A (en) * 1990-02-14 1995-12-12 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical angular accelerometer with auxiliary linear accelerometer
US5605598A (en) * 1990-10-17 1997-02-25 The Charles Stark Draper Laboratory Inc. Monolithic micromechanical vibrating beam accelerometer with trimmable resonant frequency
US5408119A (en) * 1990-10-17 1995-04-18 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Monolithic micromechanical vibrating string accelerometer with trimmable resonant frequency
US5425277A (en) * 1991-01-22 1995-06-20 Lew; Hyok S. Inertia force flowmeter with symmetrized looped conduit
US5129983A (en) * 1991-02-25 1992-07-14 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Method of fabrication of large area micromechanical devices
US5203208A (en) * 1991-04-29 1993-04-20 The Charles Stark Draper Laboratory Symmetrical micromechanical gyroscope
US5635639A (en) * 1991-09-11 1997-06-03 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical tuning fork angular rate sensor
US5331852A (en) * 1991-09-11 1994-07-26 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Electromagnetic rebalanced micromechanical transducer
US5408877A (en) * 1992-03-16 1995-04-25 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical gyroscopic transducer with improved drive and sense capabilities
US5349855A (en) * 1992-04-07 1994-09-27 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Comb drive micromechanical tuning fork gyro
US5767405A (en) * 1992-04-07 1998-06-16 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Comb-drive micromechanical tuning fork gyroscope with piezoelectric readout
US5650568A (en) * 1993-02-10 1997-07-22 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Gimballed vibrating wheel gyroscope having strain relief features
JPH0791999A (ja) * 1993-09-21 1995-04-07 Fuji Electric Co Ltd コリオリ式質量流量計
US5646348A (en) * 1994-08-29 1997-07-08 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical sensor with a guard band electrode and fabrication technique therefor
US5581035A (en) * 1994-08-29 1996-12-03 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical sensor with a guard band electrode
US5725729A (en) * 1994-09-26 1998-03-10 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Process for micromechanical fabrication
US5546814A (en) * 1994-10-26 1996-08-20 The Foxboro Company Parallel-flow coriolis-type mass flowmeter with flow-dividing manifold
US5817942A (en) * 1996-02-28 1998-10-06 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Capacitive in-plane accelerometer
DE59700779D1 (de) * 1996-04-27 2000-01-05 Flowtec Ag Coriolis-Massedurchflussaufnehmer
US5854430A (en) * 1996-05-07 1998-12-29 Endress + Hauser Flowtec Ag Coriolis mass flow sensor
US5892153A (en) * 1996-11-21 1999-04-06 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Guard bands which control out-of-plane sensitivities in tuning fork gyroscopes and other sensors
US5911156A (en) * 1997-02-24 1999-06-08 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Split electrode to minimize charge transients, motor amplitude mismatch errors, and sensitivity to vertical translation in tuning fork gyros and other devices
US5783973A (en) * 1997-02-24 1998-07-21 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Temperature insensitive silicon oscillator and precision voltage reference formed therefrom
US5952574A (en) * 1997-04-29 1999-09-14 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Trenches to reduce charging effects and to control out-of-plane sensitivities in tuning fork gyroscopes and other sensors
EP2088403A3 (de) 1998-12-08 2018-01-31 Emerson Electric Co. Coriolis-Massendurchflussregler
US6748813B1 (en) 1998-12-08 2004-06-15 Emerson Electric Company Coriolis mass flow controller
US6513392B1 (en) * 1998-12-08 2003-02-04 Emerson Electric Co. Coriolis mass flow controller
US6526839B1 (en) 1998-12-08 2003-03-04 Emerson Electric Co. Coriolis mass flow controller and capacitive pick off sensor
WO2003083492A1 (en) * 2002-03-26 2003-10-09 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microelectromechanical sensors having reduced signal bias errors and methods of manufacturing the same
US8187902B2 (en) * 2008-07-09 2012-05-29 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. High performance sensors and methods for forming the same
SG11201502038SA (en) * 2012-09-18 2015-05-28 Micro Motion Inc Vibrating sensor assembly with a one-piece conduit mount
CN106802278B (zh) * 2017-01-06 2019-07-23 山西大学 双波腹激发的石英增强光声光谱测声器及气体探测装置
CN109425401B (zh) * 2017-08-25 2024-02-13 罗凡 流体流动管、传感器组件及科里奥利质量流量计

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4311054A (en) * 1978-11-13 1982-01-19 Halliburton Company Mass flowmeter with sensor gain control
US4192184A (en) * 1978-11-13 1980-03-11 Halliburton Company Mass flowmeter
EP0185709A4 (de) * 1984-06-04 1987-11-02 Exac Corp Vorrichtung zum messen der massenflussrate und -dichte.
DE3585222D1 (de) * 1984-07-11 1992-02-27 Exac Corp Geraet zum messen des massenflussdebits und der dichte.

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0462711A1 (de) * 1990-06-16 1991-12-27 Imperial Chemical Industries Plc Massendurchflussmessgerät
WO1998040702A1 (en) 1997-03-11 1998-09-17 Micro Motion, Inc. Dual loop coriolis effect mass flowmeter

Also Published As

Publication number Publication date
US4747312A (en) 1988-05-31
JPS6488219A (en) 1989-04-03
GB2208181B (en) 1991-10-16
GB8816076D0 (en) 1988-08-10
FR2617962A1 (fr) 1989-01-13
GB2208181A (en) 1989-03-08
CA1311943C (en) 1992-12-29
FR2617962B3 (fr) 1989-10-27

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