DE3810929C2 - - Google Patents

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Description

Diese Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vor­ richtung zum Erfassen eines fehlenden Drahtes gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 4.
Ein Verfahren und eine Vorrichtung entsprechend dem Oberbe­ griff der Ansprüche 1 und 4 ist beispielsweise aus der US 42 13 556 bekannt. Bei dieser bekannten Vorrichtung wird nach einer erfolgten Bond-Verbindung Draht nachgeführt, in­ dem das Bonderwerkzeug mit dem Bonddraht relativ zu dem Werkstück mit den Bond-Verbindungen bewegt wird. Während dieser Bewegung wird der Draht kurz festgeklemmt und übt, sofern der Draht nicht gebrochen ist, ein Drehmoment auf einen drehbar gelagerten Arm aus. Wird dieses Drehmoment ausgeübt ist Draht vorhanden, falls nicht, wird dieses als Indikator für fehlenden Draht betrachtet. Das Nicht- Zustandekommen einer unmittelbar vor dem Unterbrechungs­ schritt herzustellenden Bond-Verbindung wird durch einen Kurzschluß zwischen einem überstehenden Drahtrest und einer Flammen- Schmelzvorrichtung erfaßt. Dieses Verfahren ist beim soge­ nannten Thermo-Kompressions-Verfahren und dabei insbesondere beim Nagel-Kopf-Verfahren anwendbar.
Aus der DE 32 33 629 A1 ist eine Ultraschall-Drahtverbindung bekannt, bei der die Zuverlässigkeit der Drahtverbindung durch Bestimmen und Überwachen der Kraft, die zur Trennung des Verbindungswerkzeuges von einem der an der Verbindung teilnehmenden Bauelemente nach Beendigung des Verbindungsvorganges erforderlich ist, überprüft wird. Bei einem solchen Vorgehen besteht jedoch der Nachteil, daß beim Abheben des Schweißwerkzeuges auf den Draht und folglich auch auf das Substrat eine nach aufwärts gerichtete Kraft ausgeübt wird, bevor die Verbindung zwischen dem Schweißwerkzeug und dem Draht aufgetrennt ist. Dies führt zu einer übermäßigen Belastung der Drahtverbindung auf dem Sub­ strat und daher letztendlich zu qualitativ schlechteren und unzuverlässigeren Verbindungen.
Aus dem Abstract zur JP 59-229 833 (A) und dem Abstract zur JP 57-166 042 (A) sind Ultraschall-Draht-Bonder be­ kannt, die über ein durch einen Wandler getriebenes Bond- Werkzeug verfügen, deren Impedanz durch Ermitteln von Strom­ stärke, bzw. Wellenform, für die Erregung des Wandlers wäh­ rend des Bondens in Abhängigkeit von der auf den Wandler ausgeübten Kraft ermittelt wird.
Aus dem Abstract zur JP 57-60 848 (A) ist ferner eine Bond-Vorrichtung bekannt, bei der zur Vermeidung fehlerhaf­ ter Chips eine automatische Vorrichtung vorgesehen ist, mit Hilfe derer der Bewegungszustand des Bond-Werkzeuges erfaßt, gemessen und abgespeichert wird, und mit den Daten eines Bond-Bezugspunktes verglichen wird.
Aus der US 46 00 138 ist ein Ultraschall-Drahtbonder be­ kannt, bei dem der Draht nach erfolgten Bond-Verbindungen durch seitliches Wegziehen des Bonderwerkzeuges von der Bond-Verbindung abgetrennt wird.
Bei Ultraschall-Drahtbondern wird der Draht zum und unter das Bonder-Werkzeug geführt, welches den Draht nach unten gegen ein Schaltkreis-Element preßt, um eine Ul­ traschall-Bond-Verbindung an diesem Punkt durchzuführen.
Draht wird von einer Drahtversorgung zugeführt, welche so angeordnet ist, daß sie mit dem Werkzeug relativ zur vorher­ gehenden Verbindung, bei der der Draht weiterhin befestigt ist, bewegt wird, wenn sich das Werkzeug und die Versorgung bewegen. Dann wird eine zweite Verbindung an einem zweiten Punkt oder Schaltkreiselement durchgeführt, wonach eine Länge von neuem Draht durch erneu­ tes Bewegen des Werkzeuges ausgegeben wird, um sich für das nächste Paar von Verbindungen vorzubereiten. Dann wird der Draht an das Werkzeug geklemmt, und durch Bewe­ gen des Werkzeugs, mit dem daran geklemmten Draht, re­ lativ zu den Verbindungen wird der Draht an der letzten Verbindung unterbrochen. Der Draht und das Werkzeug werden dann zum nächsten Ort für die nächste Verbindung geführt. Manchmal, wenn der Draht unsauber geführt wird, kann er zwischen der ersten und zweiten Verbindung bre­ chen, oder aus manchen anderen Gründen ist die Vorrich­ tung nicht in der Lage, einwandfrei Draht zu und unter die Spitze des Bondwerkzeuges zu führen, wobei jegliches nachfolgendes Bonden verhindert wird, bis das Drahtzu­ führproblem erkannt und korrigiert worden ist. Bei einer automatischen Bond-Vorrichtung kann die fehlerhafte Zuführung von Draht unerkannt bleiben, was dazu führt, daß die Vorrichtung weiterhin ihr Programm ausführt, ohne die ihr zugedachte, eigentliche Aufgabenstellung zu erfüllen.
Bei den sogenannten Kugelbondern, welche eine Kugel am führenden Ende des Drahtes für die erste Verbindung benötigen, wird durch Zuführen eines Stromes durch den Draht eine Kugel am Ende des Drahtes erzeugt, welcher zeitweise mit einem Bereich eines Schaltkreises zum Bilden einer "Drahtendekugel" verbunden ist. Ein fehlen­ der Draht wird in einer solchen Anordnung durch Fest­ stellen der Abwesenheit des Stromes in dem kugelbilden­ den Schritt umgehend erkannt. Jedoch wird in vielen Bondern dieser kugelbildende Schritt nicht verwendet, und in solchen Bondern gibt es keine bekannten Verfahren oder Anordnungen zum Feststellen eines fehlenden Drah­ tes. Deshalb wird, wenn Draht nicht einwandfrei in einer automatischen Bondvorrichtung zugeführt wird, die Vor­ richtung, wie vorstehend erwähnt, kontinuierlich durch ihre verschiedenen Positionen weiterlaufen, aber, da kein Draht an der Spitze des Bondwerkzeuges vorhanden ist, ohne einen nützlichen Effekt.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vor­ richtung zum Erfassen eines fehlenden Drahtes der eingangs erwähnten Art zu schaffen, die für beliebige Typen von Bondern, und insbesondere für Ultra­ schall-Bondern anwendbar ist.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch das im Pa­ tentanspruch 1 gekennzeichnete Verfahren, und durch die in Patentanspruch 4 gekennzeichnete Vorrichtung.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren be­ schrieben.
Es zeigt:
Fig. 1 eine vereinfachte, teilweise schematische Darstellung eines beispielhaften Bonders und Arbeitstisches;
Fig. 2 die Spitze des Bondwerkzeuges und einen Draht in einer Anzahl von aufeinanderfolgenden Positionen in einer Sequenz, welche während des Bondens und Drahtunterbrechens ausgeführt wird; und
Fig. 3 einen Schaltkreis zum Beobachten der Wandlerim­ pedanz.
Obwohl das Prinzip der vorliegenden Erfindung bei vielen unterschiedlichen Typen von Bondern anwendbar ist, ist dieses Prinzip zunächst in einem Ultraschalldrahtbonder ausgeführt worden, von dem die Hauptfunktionskomponenten in Fig. 1 dargestellt sind. Deshalb ist das Prinzip der Erfindung hier als Anwendung in solch einem Bonder beschrieben. Ein Bonderrahmen 10 enthält eine Wandler­ haltevorrichtung 12, welche einen Ultraschallwandler 14 fest trägt. Der Bonderrahmen ist mittels einer vertika­ len Positioniervorrichtung, welche schematisch als Be­ zugszeichen 16 gezeigt ist, an eine feste Bonder-Trä­ gerstruktur 18 befestigt, welche einen sich nach vorne erstreckenden Trägertisch 20 hat, auf den ein Arbeits­ tisch 22 mittels einer schematisch dargestellten hori­ zontalen X, Y Positioniervorrichtung 24 befestigt ist. Ein Werkstück in Form eines Chips 26 oder dergleichen, welches elektrische Schaltkreiselemente trägt, an die ein elektrisch leitender Draht gebondet wird, wird fest durch den Arbeitstisch 22 getragen. Die X, Y Positio­ niervorrichtung 24 bewegt den Arbeitstisch 22 und das Chip 26 horizontal unter dem Bonderrahmen in zwei zuein­ ander orthogonal stehende Richtungen.
Ein Wandlerträgerarm 30 ist befestigt an und erstreckt sich horizontal von einer Seite des Wandlers 14 und trägt starr ein Bonderwerkzeug in der Form eines star­ ren, schlanken Stabes 32. Das Werkzeug weist eine sich verjüngende Werkzeugspitze 34 auf, an die ein Drahtführungs­ element 36 befestigt ist, durch welches ein Draht 40 geführt werden kann, der sich längs des unteren Endes des Werkzeuges und unter der Werkzeugspitze erstreckt, wie am besten in Fig. 2 zu sehen. Der Bonderrahmen 10 trägt eine Drahtversorgungsspule (nicht gezeigt), von der der Draht 40 gezogen wird, um sich längs eines Pfades parallel zum Bonderwerkzeug 32 zu erstrecken. Der Draht erstreckt sich vertikal abwärts durch eine Drahtklemme 44, welche durch eine Klemmenzylinderspule 46 betrieben wird, welche von dem Bonderrahmen getragen wird. Wenn die Zylinderspule erregt wird, preßt die Klemme den Draht fest an die Bonderrahmenstruktur und an das Werk­ zeug, um eine Bewegung des Drahtes relativ zu der Bon­ derrahmenstruktur und dem Werkzeug zu verhindern. Wenn die Klemmenzylinderspule nicht erregt wird, ist der Draht längs seines vertikalen Pfades zur und unterhalb der Spitze 34 des Bonderwerkzeuges frei beweglich. Eine Vertikal- Positioniervorrichtung 16 ermöglicht dem Bonderrahmen und dem Werkzeug 32, auf und nieder bewegt zu werden, vertikal abwärts zum Tisch, um eine Verbindung zu bil­ den, und aufwärts vom Tisch weg, um die auf dem Tisch befestigten Komponenten während der horizontalen Bewe­ gung des Tisches freizugeben.
Fig. 2 zeigt eine typische Sequenz der Bonderwerkzeug­ spitzen- und Drahtposition bezüglich einem Paar von Punkten auf Schaltkreiselementen, welche von dem Ar­ beitstisch getragen werden. Die Verbindungen A bzw. B werden an voneinander räumlich getrennten Punkten auf dem Schaltkreiselement hergestellt. Die aufeinanderfolgenden Positionen, die von der Bonderwerkzeugspitze beim Aus­ führen und Vervollständigen eines Paars von Verbindungen A und B erreicht werden, werden als Positionen mit den Bezeichnungen (a) bis (f) dargestellt. Aufeinanderfol­ gende Positionen und Bewegungen der Bonderwerkzeug­ spitze, welche zur Zuführung von neuem Draht und zum Abschneiden des Drahtes bei der letzten Verbindung vollständig ausgeführt werden, werden mit den Bezeich­ nungen (g), (h) und (i) dargestellt.
Mit dem Draht 40, der sich gerade unter der Spitze 34 des Bonderwerkzeuges und durch die Drahtführung 36 an der Werkzeugspitze erstreckt und mit dem Tisch, der ho­ rizontal unter dem Werkzeug positioniert ist, wird das Werkzeug vertikal zur Position (a) abgesenkt. Die Werk­ zeugspitze wird mit dem Draht 40 dazwischen gegen das Werkstück gepreßt, während der Wandler erregt wird, um die erste Verbindung A auszuführen. Nach dem Fertig­ stellen der ersten Verbindung wird das Bonderwerkzeug vertikal auf Position (b) gehoben durch eine Operation der Vertikal-Positionssteuerung 16, und dann beginnt das Werkzeug sich abwärts zu bewegen, während die X, Y Ar­ beitstisch-Positioniervorrichtung 24 gleichzeitig den Arbeitstisch und die Schaltkreiselemente horizontal nach rechts bewegt, wie in Fig. 2 dargestellt. Dies ver­ anlaßt den Draht und die Bonderwerkzeugspitze relativ zu der ersten Verbindung sich nach links zu bewegen, wie in der Figur gezeigt. Während dieser Operationen und Bewegungen ist die Klemme, die schematisch in Fig. 2 durch einen Bereich der Klemme 44 gezeigt wird, nicht aktiviert, so daß der Draht relativ zu dem Bonderwerk­ zeug und durch die Drahtführung 36 frei bewegbar ist. Mit der Fertigstellung der ersten Verbindung A und mit der Deaktivierung der Drahtklemme wird jede nachfolgende Bewegung des Bonderwerkzeuges relativ zu der Verbindung zusätzlichen Draht von der Drahtversorgungsspule ziehen, so daß als Wirkung das Bonderwerkzeug sich längs des Drahtes bewegt, so daß mehr Draht von der Versor­ gungsspule ausgegeben wird. Während der Arbeitstisch sich horizontal bewegt, bewegt sich das Werkzeug konti­ nuierlich durch die Positionen (c), (d) und (e) abwärts. Bei (e) wird die Horizontalbewegung des Werkzeugtisches gestoppt, und die Vertikalbewegung des Bonderwerkzeuges wird zur Position (f) fortgesetzt, wo die Verbindung B ausgeführt wird. Beide Verbindungen werden an demsel­ ben oder einem unterschiedlichen Schaltkreiselement, welches auf dem Arbeitstisch angeordnet ist, hergestellt.
Nach Fertigstellen der zweiten Verbindung ist es not­ wendig, neuen Draht unter die Bonderspitze zu bringen und den Draht an der zweiten Verbindung abzutrennen. Hierzu wird das Draht-Bonderwerkzeug einen kleinen Abstand zu (g) gehoben, wobei der Draht nicht geklemmt ist, um zu­ sätzlichen Draht abzuziehen. Das Werkzeug wird dann ab­ gesenkt, während der Tisch nach rechts bewegt wird, wie in Fig. 2 dargestellt, um neuen Draht un­ ter die Werkzeugspitze zu biegen, wie in Position (h) dargestellt. Somit wurde neuer Draht von der Ver­ sorgung abgezogen und unter der Spitze 34 des Werkzeuges angeordnet, wie mit dem Bezugszeichen 50 in Fig. 2, La­ ge (h) dargestellt ist. Nun wird der Draht an der zwei­ ten Verbindung abgetrennt. Dies wird zunächst durch Be­ tätigung der Klemme durchgeführt, wie es durch die Posi­ tion der Klemme 44 in Position (i) angezeigt wird, wobei das Bonderwerkzeug leicht angehoben wird und der Ar­ beitstisch leicht nach rechts bewegt wird. Diese Bewe­ gung führt eine relative Linkswärts­ bewegung des Werkzeuges und des geklemmten Drahtes aus, wie durch den Pfeil 52 angezeigt wird, und trennt den Draht an der zweiten Verbindung B ab.
Falls bei einem beliebigen Zeitpunkt während der Sequenz der oben be­ schriebenen und in Fig. 2 dargestellten Schritte der Draht nicht einwandfrei positioniert ist, und/oder keine korrekten Verbindungen gemacht werden, wird der Draht vom unteren Ende der Werkzeugspitze 34 verschoben werden, was einen "verlorenen" oder "fehlenden" Draht zur Folge hat. Wenn der Draht verloren ist, wird die sehr kleine Bewegung des Abtrennschrittes, die Bewegung von Position (h) zur Position (i), eine geringe oder keine Zugkraft auf den Draht ausüben. Wenn der Draht vorhergehend un­ beabsichtigt unterbrochen wurde, kann weder eine zweite Verbindung hergestellt werden, noch sich irgendein Draht durch die Führung 36 unter die Werkzeugspitze er­ strecken. Wenn der Draht nicht mehr in seinem Führungs­ pfad unter die Werkzeugspitze vorhanden ist, wird die sehr kleine Bewegung von Position (h) zu Position (i) nicht ausreichen, um eine signifikante Spannung an den Draht insgesamt anzulegen. In jedem Fall kann keine adäquate Spannungskraft angelegt werden, und kein Unter­ brechen tritt auf, wenn der Draht nicht einwandfrei un­ ter dem Ende der Werkzeugspitze während des Drahtab­ trennschrittes positioniert ist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein eines einwandfrei positionierten Drahtes durch Beobachten der auf dem Draht während des Abtrennschrittes ausgeübten Kraft, welche die Bewegung von Position (h) zu Position (i) ist, bestimmt. Die auf den Draht ausgeübte Kraft wird durch das niedrigste Ende der Werkzeugspitze 34 ausgeübt und wird in einer im we­ sentlichen horizontalen Richtung auf die Werkzeugspitze ausgeübt, wobei die Kraft axial längs des Drahtes zur letzten Verbindung gerichtet ist. Demgemäß erzeugt die Zugkraft des Drahtes eine Kraft auf das untere Ende der Werkzeugspitze, welche senkrecht zur Werkzeugachse ge­ richtet ist. Dies übt ein Drehmoment auf das Werkzeug 32 aus, welches bewirkt, daß sich das Werkzeug in Gegen­ uhrzeigerrichtung um seine feste Verbindung mit dem vorderen Ende des Werkzeugträgerarms 30 biegt und dreht (wie in Fig. 1 gezeigt), so daß letzteres, welches freitragend an der vorderen Seite 56 des Wandlers 14 befestigt ist, eine physische Belastung auf den Wandler ausübt. Die physische Belastung, die auf den Wandler durch die über den Werkzeugträgerarm 30 angelegte Kraft ausgeübt wird, wird die Wandlerimpedanz verändern. Bei einem zu dieser Zeit erregten Wandler wird die Änderung der Impedanz gleich beim Erscheinen eines Signals einer einwandfreien Abtrennkraft festgestellt. Wenn dort kein Draht vorhanden ist, so daß die einwandfreie Zugab­ trennkraft nicht auf den Draht ausgeübt wird, wird diese Kraft nicht auf den Wandler übertragen, der somit keine Impedanzänderung erfährt. Somit signalisiert eine fehlende Impedanzänderung des erregten Wandlers während dieses Abtrennschrittes, daß ein Draht fehlt.
Es ist leicht verständlich, daß viele unterschiedliche Anordnungen verwendet werden können, um die auf den Draht ausgeübte Kraft zu beobachten, oder um die auf das Biegewerkzeug ausgeübte Kraft zu beobachten oder um die Impedanz des Wandlers zu beobachten. Zur Zeit wird das Beobachten der Drahtkraft mittels Beobachtung der Wand­ lerimpedanz gegenüber anderen Anordnungen bevorzugt, zum direkten oder indirekten Feststellen von Kräften, welche durch den Draht, das Werkzeug, den Werkzeugträgerarm oder die Verbindung selbst erfahren werden. Ein bei­ spielhafter Schaltkreis zum Beobachten der Wandlerimpe­ danz wird in Fig. 3 dargestellt, welche schematisch das Bonderwerkzeug 32, den Werkzeugträgerarm 30 und den Wandler 14 zeigt. Die Stromquelle kann die Quelle sein, die schon zum Erregen des Wandlers während des Bondens vorhanden ist. Der Wandler wird über einen Transformator 60, welcher mit einer Wechselspannungsquelle (nicht ge­ zeigt) verbunden ist, um einen Erregungsstrom über Lei­ tungen 62, 64 an den Wandler zu liefern, mit einem Wechselstrom erregt. Der Wandler-Erregungsstrom wird durch einen Strom-Detektions-Transformator 66 festge­ stellt, welcher eine Primärwindung 68 hat, welche in Serie mit der Wandler-Erregungsstromleitung 62 geschal­ tet ist, und eine Sekundärwindung 70 hat, welche an den Eingang eines Gleichrichters 72 geschaltet ist, welcher ein gleichgerichtetes Gleichspannungsausgangssignal an die Ausgangsleitung 74 davon liefert.
Beim normalen Drahtabtrennbetrieb erhöht die Unterbre­ chungs-Zugkraft, die auf den Draht ausgeübt wird, die Wandlerimpedanz und verringert gleichzeitig den Wandler­ erregungsstrom. Diese Erhöhung der Impedanz und Verrin­ gerung des Stromes enden nach einem Bruch des Drahtes, wenn die auf den Draht, das Werkzeug und den Wandler ausgeübten Kräfte enden. Somit bewirkt die Ausübung einer ein­ wandfreien Unterbrechungskraft, daß der Gleichrichter 72 ei­ nen negativen Stromimpuls 76 liefert, welcher mittels eines Kondensators 80 an einen Verstärker 78 gekoppelt ist. Der Impuls wird durch den Verstärker 78 invertiert, wie durch den Impuls 82 dargestellt, und zu einem Eingang eines Komparators geführt, der durch einen Differentialverstärker 84 gebildet wird, dessen zweiter Eingang ein Abgriff 86 eines variablen Potentiometers 88 darstellt, welches zwischen Masse und einer Quelle eines Referenzpotentials geschaltet ist. Das Po­ tentiometer setzt eine Referenzschwelle zum Vergleich mit dem Impuls 82 fest, welcher zu dem Eingang des Ver­ gleichsverstärkers 84 geführt wird. Wenn der Eingangs­ impuls 82 den Referenzeingang des Verstärkers über­ schreitet, erzeugt letzterer einen positiven Ausgangsimpuls 90, welcher zum Setzen eines bistabilen Schaltkreises geführt wird, welcher ein Flip-Flop 92 enthält, welches, wenn es gesetzt wird, über eine Leitung 94 zu einem geeigneten visuellen Display oder Audio- Alarmelement 96 einen Ausgang liefert. Nach Beenden des Abtrennschrittes wird der Wandler durch ein Signal von einem geeigneten Steuerschaltkreis (nicht gezeigt) über eine Flip-Flop-Resetleitung 98 zurückgesetzt.
Wenn ein Draht fehlt, liegt keine Veränderung der Kraft vor, wie sie bei einem Drahtbruch auftritt, und gleich­ zeitig wird keine entsprechende Kraft an das Bondwerk­ zeug oder an den Wandler angelegt. Deshalb wird weder die Wandlerimpedanz, noch sein Erregungsstrom variieren, und vom Vergleichsverstärker 84 wird kein Ausgang ge­ liefert. Das Flip-Flop 92 bleibt zurückgesetzt, und das Display oder der Alarm 96 wird einen fehlenden Draht signalisieren. Wenn es für nötig oder wün­ schenswert erachtet wird, kann das Auftreten eines feh­ lenden Drahtes auch dazu verwendet werden, den Betrieb des Bonders automatisch zu stoppen, während der Fehler vi­ suell angezeigt wird.

Claims (11)

1. Verfahren zum Erfassen eines fehlenden Drahtes in einem Drahtbonder, bei dem ein Bonderwerkzeug (32) mit einer Werkzeugspitze (34) und einer Drahtklemme (44) zum Festhalten des Drahtes (40) an dem Bonderwerkzeug (32) relativ zum Draht (40) und relativ zu einem Werkstück (26) bewegbar ist, mit den Schritten:
  • - Zuführen von Draht (40) zum Bonderwerkzeug (32);
  • - Bewegen des Bonderwerkzeuges (32) an wenigstens eine Position des Werkstückes (26) zum Durchführen einer Bond-Verbindung (A) des Drahtes (40) mit dem Werkstück (26);
  • - Bewegen des Bonderwerkzeuges (32) an eine weitere Position des Werkstückes (26) zum Durchführen einer weiteren Bond-Verbindung (B) des Drahtes (40) mit dem Werkstück (26);
  • - Feststellen des fehlenden Drahtes durch Erfassen eines Drehmoments, gekennzeichnet durch:
  • - Abtrennen des Drahtes (40) nach der weiteren Bond­ verbindung durch Betätigen der Drahtklemme (44) und im wesentlichen seitliches Bewegen (52) von Bonderwerkzeug (32) und Werkstück (26) relativ zueinander;
  • - Erfassen des auf das Bonderwerkzeug (32) ausgeüb­ ten Drehmomentes, welches aufgrund der während des Ab­ trennschrittes des Drahtes (40) entstehenden Zugkraft des Drahtes (40) auf das Bonderwerkzeug (32) erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Bonderwerkzeug (32) mit einem Wandler (14) verbun­ den ist, wobei das während des Abtrennens des Drahtes (40) auftretende Drehmoment eine Kraft auf den Wandler (14) ausübt, die erfaßt wird, um das Fehlen von Draht festzustellen.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzänderung des Wandlers (14) während des Ab­ trennens des Drahtes (40) erfaßt wird.
4. Vorrichtung zum Erfassen eines fehlenden Drahtes, ins­ besondere für Ultraschallbonder mit:
  • - einem Bonderwerkzeug (32), welches eine Werkzeug­ spitze (34) zum Bonden des Drahtes (40) an ein Werk­ stück (26) und eine Drahtklemme (44) zum Festhalten des Drahtes (40) an dem Bonderwerkzeug (32) aufweist;
  • - einem Arbeitstisch (22) zum Tragen des Werkstückes (26);
  • - einer Vorrichtung (16, 24) zum Bewegen des Bonder­ werkzeuges (32) relativ zu dem Arbeitstisch (22);
  • - eine Sensorvorrichtung zum Feststellen des fehlenden Drahtes, dadurch gekennzeichnet:
  • - daß die Sensorvorrichtung (60 bis 98) das auf das Bonderwerkzeug (32) ausgeübte Drehmoment erfaßt, wel­ ches aufgrund der während des Abtrennens des Drahtes (40) durch Betätigen der Drahtklemme (44) und durch im wesentlichen seitliches Bewegen des Arbeitstisches (22) relativ zum Bonderwerkzeug (32) entstehenden Zugkraft des Drahtes (40) auf das Bonderwerkzeug (32) erzeugt ist, und
  • - daß eine Vorrichtung (96) zum Signalisieren eines fehlenden Drahtes (40) vorgesehen ist, wenn der Wert der auf den Draht (40) ausgeübten Zugkraft kleiner als ein vorbestimmter Wert ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Bonderwerkzeug (32) durch einen Wandler (14) getrieben wird, wobei die Bewegung des Arbeitstisches (22) und der Bond-Verbindung relativ zum Bonderwerkzeug (32) den Draht (40) und das Werkzeug veranlaßt, auf den Wandler (14) eine Kraft auszuüben, und wobei die Sen­ sorvorrichtung (60 bis 98) eine Vorrichtung zum Be­ obachten der Kraft auf den Wandler (14) aufweist, die durch den Draht (40) und das Bonderwerkzeug (32) wäh­ rend der Bewegung des Arbeitstisches (22) und der Bond- Verbindung relativ zu dem Bonderwerkzeug (32) zum Ab­ trennen des Drahtes (40) ausgeübt wird.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorvorrichtung (60 bis 98) eine Vorrichtung zum Erregen des Wandlers (14), während der Arbeitstisch (22) und die Bond-Verbindung relativ zu dem Bonderwerk­ zeug (32) bewegt werden, und eine Vorrichtung zum Be­ obachten der Impedanzänderung des Wandlers (14), wäh­ rend er erregt ist, aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Sensorvorrichtung (60 bis 98) eine Vorrichtung zum Erregen des Wandlers (14) mit einem Er­ regerstrom, während der Arbeitstisch (22) und die Bond- Verbindung relativ zu dem Bonderwerkzeug (32) zum Ab­ trennen des Drahtes (40) bewegt werden, und eine Vor­ richtung zum Feststellen einer Änderung des Erreger­ stroms aufweist, die von einer auf den Wandler (14) als Antwort auf die Bewegung des Arbeitstisches (22) und der Bond-Verbindung relativ zu dem Bonderwerkzeug (32) ausgeübten Kraft herrührt, wobei der Verlust des Drahtes (40) durch die Abwesenheit einer festgestellten Änderung in dem Strom angezeigt wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum Feststellen einer Änderung des Erregerstroms auf eine relativ scharfe Änderung des Erregerstroms anspricht.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorvorrichtung (60-98) einen Erregungsschaltkreis (60, 62, 64) zum An­ legen eines Erregerstromes an den Wandler (14), eine Impulsdetektionsvorrichtung (68 bis 80) zum Feststellen einer Änderung des Erregerstromes, eine Vergleichsvor­ richtung (84), welche auf die Impulsdetektionsvorrich­ tung (68 bis 80) anspricht, zum Vergleich der Änderung des Erregerstromes mit einer Referenz, und eine Vor­ richtung (92 bis 98), welche auf die Vergleichsvorrich­ tung (84) anspricht, zum Liefern einer Anzeige eines fehlenden Drahtes, aufweist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (60, 62, 64) zum Anlegen eines Erregungs- Wechselstromes an den Wandler (14), einen Stromsensor (66, 68, 70), der mit der Vorrichtung (60, 62, 64) zum Anlegen des Erregungsstromes verbunden ist, einen Gleichrichter (72), der mit dem Stromsensor (66, 68, 70) zum Liefern eines gleichgerichteten Stromes verbun­ den ist, einen Komparator (84) mit einer festgelegten Schwelle, der einen Eingang und einen Ausgang hat, wo­ bei der Ausgang das Verhältnis von dem Eingang zu der Schwelle anzeigt, eine Vorrichtung (78, 80), welche auf den Gleichrichter (72) anspricht, zum Koppeln einer Än­ derung des gleichgerichteten Stromes an den Kompara­ toreingang, und eine Vorrichtung (92, 96, 98) zum An­ zeigen von fehlendem Draht (40), welche geschaltet ist, um den Ausgang des Komparators (84) zu empfangen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (92, 96, 98) zum Anzeigen eines fehlenden Drahtes (40) einen bistabilen Schaltkreis (92) aufweist, der geschaltet ist, um nach dem Empfang eines Ausgangssignales von dem Komparator (84) in einen ersten stabilen Zustand gesetzt zu werden, und eine Vorrichtung (98) zum Rücksetzen des bistabilen Schalt­ kreises (92) in einen zweiten stabilen Zustand auf­ weist.
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