DE3808605A1 - Druckaufnehmer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Druckaufnehmer gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Die DE-OS 29 40 441 offenbart einen Druckaufnehmer, bei dem eine runde Membran aus Keramik entlang ihres gesamten Randes gehaltert ist. Auf der Membran sind mittels Siebdrucktechnik, also Druck und Brennen, Widerstände aufgebracht, deren Widerstandswert sich bei Ausübung eines Druckes oder einer Kraft auf die Keramikmembran auf Grund der Verformung ändert. Die Widerstände können als Wheatstone-Brücke geschaltet sein. Probleme ergeben sich bei dem bekannten Druckaufnehmer insofern, als die Anbringung und Halterung der Membran fertigungstechnisch schwierig zu lösen ist. Ferner sind die aufgebrachten Schichtwiderstände äußeren Einflüssen ausgesetzt, die zu erheblichen Alterungserscheinungen führen können, wenn etwa aggressive Stoffe auf die Membran einwirken. Auch sind besondere Maßnahmen erforderlich, um den Drucksensor für seinen Einsatz passend zu befestigen. Ferner ist bei einem derartigen Befestigen, insbesondere Einspannen der Membran es nicht zu verhindern, daß diese sich verzieht, was zu erheblichen Nichtlinearitäten bei der Messung führt.

Es ist ferner bekannt, Druckaufnehmer in Form von Dickfilm- Dehnungsmeßstreifen in Siebdrucktechnik oder mittels eines Dickfilmgriffels oder -schreibers auf eine Keramikmembran aufzubringen; nach Trocknen der aufgebrachten Widerstandsmasse und Brennen wird ebenfalls im Siebdruckverfahren eine Glasschicht auf dem Rand der Membran und einer Basisplatte angebracht. Die Membran und die Basis werden nach einer gewissen Stabilisierung zusammengefügt und erneut in einem Mehrzonenofen gebrannt. Nach Überschreiten des Schmelzpunktes des Glases verbinden sich Membran und Basis untrennbar, wodurch gleichzeitig der Druckaufnehmer vollständig verkapselt wird. Der zwischen Basis und Membran auf Grund des Glasrandes gebildete Zwischenraum kann entweder evakuiert werden oder bleibt bei Überdrucksensoren offen. Auch bei dieser Art von Druckaufnehmern ist die Fertigung verhältnismäßig kompliziert. Je nach aufgetragener Glasmasse können sich sehr unterschiedliche Hohlräume zwischen der Membran und der Basis bilden. Für die Enlüftung muß eigens eine Bohrung durch die Basis geführt werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druckaufnehmer anzugeben, der sich sehr einfach herstellen und für den Einsatz anbringen läßt. Ferner sollen die Widerstandselemente gegen Umwelteinflüsse gut geschützt sein und die Meßempfindlichkeit soll gesteigert werden. Insbesondere soll der erfindungsgemäße Druckaufnehmer dafür geeignet sein, praktisch schwimmend in einem Medium angeordnet zu werden, auf das ein zu messender Druck ausgeübt wird.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst durch einen Druckaufnehmer mit den Merkmalen des Kennzeichens des Patentanspruchs 1.

Bevorzugte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Druckaufnehmers sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. Es zeigen

Fig. 1a u. 1b einen Druckaufnehmer gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung in unterschiedlichen Herstellungsverfahrensstufen in Seitenschnittansicht,

Fig. 2 in schematischer Darstellung eine Draufsicht auf den Druckaufnehmer nach Fig. 1,

Fig. 3 eine Draufsicht auf den Druckaufnehmer nach Fig. 1a nach entferntem Oberteil,

Fig. 4 eine Kraftmeßeinrichtung, bei der der erfindungsgemäße Druckaufnehmer mit besonderem Vorteil anwendbar ist,

Fig. 5 eine symmetrische Erweiterung des Druckaufnehmers nach Fig. 1a,

Fig. 6 einen Vertikalschnitt durch eine Druckmeßeinrichtung, bei der ein gegenüber der Fig. 1a modifizierter Druckaufnehmer Verwendung findet,

Fig. 7 eine weitere Druckmeßeinrichtung unter Verwendung eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers und

Fig. 8 einen Radlastsensor für Fahr- oder Flugzeuge unter Verwendung eines Druckaufnehmers gemäß einem der vorhergehenden Beispiele in einem Vertikalschnitt.

Fig. 1a zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Druckaufnehmers unter Verwendung zweier symmetrisch zueinander in Opposition angeordneter Druckaufnehmerelemente 10 mit folgendem Aufbau:

Jedes Druckaufnehmerelement 10 besteht aus einem Ring oder Rahmen 14, dessen Öffnung 18 an der Oberseite von einer im Vergleich zur Stärke des Rings 14 dünnen Membran 16 abgedeckt ist. Rahmen 14 und Membran 16 sind bevorzugt einstückig ausgebildet und aus Keramikmaterial (ggf. aus anderem nichtkriechenden, gegen höhere Temperaturen beständigen Material) hergestellt. Die einfachen Konturen erlauben eine Massenproduktion mit einem einfachen Werkzeug.

Gemäß Fig. 2 ist auf der Außenfläche (ggf. alternativ oder zusätzlich auf der Innenfläche) der Membran 16 eine an sich bekannte Wheatstone-Brücke aus Dickfilmwiderständen 22 mittels Siebdruck oder mittels eines anderen bekannten Dickfilm- Auftragungsverfahrens, etwa mittels eines Dickfilmschreibers oder -griffels aufgebracht, die in Fig. 1a allgemein mit 12 bezeichnet ist. Die Enden der Dickfilmwiderstände 22 sind in bekannter Weise mittels gedruckter Leitungen 23 mit Anschlüssen 24 verbunden, an denen entsprechende Zuleitungen, z. B. 26, angebracht sind.

Die Dickfilmschichten enthalten als leitende Komponenten Edelmetalle, deren Oxide oder dergleichen, die vermischt sind mit einer Glasfritte aus der Gruppe der Borsilikate, Alluminiumsilikate oder Bleisilikate. Die Masse wird als Glasfritte in geschmolzenem Zustand mittels Siebdruck oder einem Dickfilmschreiber nach Art eines Griffels auf die Membran 16 aufgetragen. Bezüglich weiterer Einzelheiten über die Zusammensetzung und Aufbringung derartiger Dickfilmwiderstände wird auf die bereits genannte DE-OS 29 40 441 und die US-PS 38 76 560 verwiesen.

Wie nachstehend noch anhand anderer Ausführungsbeispiele dargestellt wird, läßt sich jedes Druckaufnehmerelement 10 bereits als solches mit Vorteil einsetzen, wobei die einfache Herstellung des einstückigen Elements im Vordergrund steht. Zu beachten ist auch die bei dem Ausführungsbeispiel gewählte rechteckige, insbesondere quadratische Ausbildung der Öffnung 18 bzw. der Membran 16 mit dem Vorteil einer höheren Empfindlichkeit.

Falls erwünscht, kann bei Aufbringung der Dickfilmwiderstände 22 auf der Außenoberfläche der Membran 16 über die Dickfilmwiderstände 22 eine Schutzschicht 17 aus Glas oder ähnlichem Material unter Temperaturanwendung aufgebracht, insbesondere aufgeschmolzen werden, was der Anordnung eine besondere Stabilität und einen Schutz gegen äußere Einflüsse verleiht (vgl. Fig. 1a).

Eine besonders bevorzugte Ausbildung ergibt sich dann, wenn wie in den Fig. 1a und 1b gezeigt, zwei Druckaufnehmerelemente 10 in Opposition zueinander angeordnet werden, wobei die Stirnflächen der Rahmen 14 mittels einer Glasfritte 15 zusammengeschmolzen werden. Gegebenenfalls kommt auch eine andere Art der Verbindung, etwa dichtes Verkleben in Frage. Der von den Öffnungen 18 gebildete Hohlraum steht über eine Öffnung 13 bei Überdruck mit der Atmosphäre in Verbindung. Er kann auch evakuiert oder mit Gas gefüllt und durch Verschließen der Öffnung 13 versiegelt werden. Die Öffnung 13 ergibt sich dadurch, daß beim Auftragen der Glasfritte 15 eine radial sich erstreckende Durchführung freigelassen wird. Es ist somit nicht erforderlich, eine Bohrung im Glaskörper oder der Membran anzubringen. Die Öffnung 13 ist insbesondere aus Fig. 3 zu entnehmen.

In diesem Zusammenhang sei darauf hingewiesen, daß gemäß Fig. 1b bei der Verschmelzung der beiden Druckaufnehmerelemente 10 miteinander auch gleichzeitig die Glasschutzschicht 17 aufgebracht und gebrannt werden kann.

Der besondere Vorteil des erfindungsgemäßen Druckaufnehmers besteht darin, daß er schwimmend in flüssigem oder elastomerem Material ohne weitere komplizierte Befestigungen angebracht werden kann. Es genügen praktisch die Zuleitungen 26 (Fig. 2) oder einfachste Abstützelemente ohne jegliche Kraftaufnahme, um den erfindungsgemäßen Druckaufnehmer in Position zu halten. Hierdurch wird gewährleistet, daß die sich sonst zwangsläufig ergebenden Verspannungen der Membran absolut vermieden werden.

Es sei darauf hingewiesen, daß eine Kompensation von Nichtlinearitäten auch dadurch erreicht werden kann, daß zwei oder mehrere der Druckaufnehmerelemente gleichsinnig, d.h. nicht wie in Fig. 1a und 1b gezeigt in Opposition zueinander, angeordnet werden können. Hier ergibt sich bei Druckanwendung die Dehnung der Dickfilmwiderstände auf der einen Membran und eine Stauchung der Dickfilmwiderstände auf der anderen Membran. Durch entsprechende Verschaltung der Widerstände lassen sich Nichtlineariäten erheblich reduzieren. Hierbei können entweder die Widerstände auf den einzelnen Membranen jeweils zu einer Brücke vereinigt sein oder ein Teil der Widerstände der einen Membran wird mit einem Teil der Widerstände der anderen Membran verschaltet.

Es sei ferner bemerkt, daß auch vier Druckaufnehmerelemente in einer Anordnung ähnlich Fig. 5 entweder paarweise in Opposition zueinander oder aber wie unmittelbar vorstehend beschrieben symmetrisch aufeinandergesetzt angeordnet werden können. Selbstverständlich ist eine Vervielfachung der Nebeneinanderanordnung möglich.

Zur Kompensation von Nichtlinearitäten kann ferner in Fig. 5 auch die Aufbringung von der Dehnung bzw. Stauchung unterworfenen Dickfilmwiderständen innerhalb der Auswerteschaltung 32 dienen. Die jeweiligen Hohlräume 34 bzw. 44 können auch zur Unterbringung integrierter Schaltungen dienen, wie auch die Dickfilmwiderstände auf der Innenseite der jeweiligen Membranen angebracht werden können. Wichtig ist bei der Vervielfachung der Anordnungen, daß auch ein entsprechend vervielfachtes Signal abgenommen werden kann, was die Verarbeitung erleichtert und die Empfindlichkeit bzw. Genauigkeit der Messung erhöht und Hysterese-Effekte verringert.

Als Beispiel dafür sei auf Fig. 4 verwiesen, die eine elastische Verbindung zwischen zwei konzentrischen rohrförmigen Teilen zeigt, wobei gleichzeitig diese elastische Verbindung als Kraftmeßzelle 110 wirkt.

Im einzelnen ist ein inneres rohrförmiges Teil 112 vorgesehen, dessen Außendurchmesser über einen bestimmten Bereich erweitert ist, so daß sich eine vorzugsweise angeschrägte Stufe 114 ergibt. Dieses Innenteil 112 ist von einem Außenteil 116 umgeben mit einer durchgehenden zentralen Öffnung, deren Kontur komplementär zur Außenmantelfläche des Innenteils ist, wobei ein schmaler umlaufender Spalt 118 gelassen ist, der mit vorzugsweise blasenfreiem elastomeren Material gefüllt ist. Im Bereich der Stufe 114 des Innenteils 112 ist der umlaufende Spalt etwas erweitert, so daß sich ein konisch umlaufender Zwischenraum 120 ergibt, der ebenfalls mit elastomerem Material gefüllt ist, in dem mindestens ein Druckaufnehmer 130 eingebettet ist.

Wird bei vertikal abgestütztem Innenteil 112 auf das Außenteil 116 von oben eine Kraft oder ein Druck ausgeübt, so wird diese(r) praktisch reibungsfrei auf den Druckaufnehmer 130 übertragen. Querkräfte werden auf Grund des in dem schmalen Ringspalt befindlichen elastomeren Materials vollkommen abgeleitet. Der Fachmann erkennt, daß mit dem Druckaufnehmer 130 der über der Ringkolbenfläche zwischen dem Innenteil und Außenteil anstehende Druck gemessen wird.

Es sei erwähnt, daß mehrere Druckaufnehmer 130 in den Zwischenraum 120 umfangsmäßig verteilt in dem elastomeren Material eingebettet sein können, die über entsprechende elektrische Leitungen, die beispielsweise in das Innere des Innenteils 112 geführt sein können, oder auch drahtlos mit einer Auswertevorrichtung in Verbindung stehen können.

Es sei ferner erwähnt, daß der Spalt 118 an den Stirnseiten des Innen- bzw. Außenteils 112, 116 durch Ringdichtungen 126 bzw. 128 abgedichtet ist.

Wenn auf den Druckaufnehmer gemäß Fig. 1a bzw. 1b ein Druck ausgeübt wird, dann versucht sich der Ring oder Rahmen 14 bei der Durchbiegung der Membran 16 zu verwinden. Dies kann zu erheblichen Nichtlinearitäten des Druckaufnehmers führen. Da jedoch bei dem erfindungsgemäßen Druckaufnehmer zwei gleiche Druckaufnehmerelemente 10 zueinander in Opposition fest miteinander verbunden sind, wirkt auf die beiden Rahmen bzw. Ringe 14 die gleiche Kraft, jedoch in entgegengesetzter Richtung, so daß sich diese Kräfte auf Grund der Symmetrie vollkommen aufheben und die Widerstandsänderung der Dickfilmwiderstände 22 bei beiden Druckaufnehmerelementen 10 lediglich durch die Durchbiegung der beiden Membranen 16 bestimmt wird. Es zeigt sich somit, daß diese einstückige und symmetrische Ausführung der Druckaufnehmerelemente 10 nicht nur zu einer erheblichen Vereinfachung der Herstellung führt, sondern daß mit diesen Druckaufnehmerelementen eine gute Fehlerkompensation erzielt werden kann.

Fig. 5 zeigt eine gegenüber dem Druckaufnehmer nach Fig. 1a erweiterte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers, bei dem für eine zusätzliche Symmetrie die Anordnung nebeneinanderliegend verdoppelt ist. Hierbei ist neben einem Druckaufnehmer 31 eine Zelle 32 mit gleicher Struktur ausgebildet, wobei auf einer Membran 37 eine integrierte Schaltung 38 aufgebracht sein kann, die über Leitungen 36 mit den Dickfilmwiderständen 22 des eigentlichen Druckaufnehmers 31 in Verbindung steht. Über Leitungen 40 können dann bereits verarbeitete Signale abgenommen werden. Auch hier erfolgt die Verbindung der beiden Druckaufnehmerelemente 30 mittels Glasfritte 42 unter Beibehaltung der radialen Öffnungen 13 bzw. 25 für die beiden Hohlräume 34 bzw. 44.

Die symmetrische Ausbildung des Druckaufnehmers gemäß Fig. 5 ergibt eine weitere Verbesserung des Ansprechverhaltens und eine besonders einfache Möglichkeit, Verarbeitungsschaltungen möglichst unmittelbar in der Nähe des eigentlichen Sensors anzubringen.

Die Fig. 6 und 7 zeigen zwei Möglichkeiten des vorteilhaften Einsatzes von einzelnen Druckaufnehmerelementen, wie sie bereits im Zusammenhang mit den Fig. 1a und 1b beschrieben wurden.

Insbesondere zeigt Fig. 6 ein Druckaufnehmerelement 60, das dem Druckaufnehmerelement 10 der Fig. 1a bzw. 1b entspricht und auf einer Platte 61 mit seinen Ringstirnflächen abgedichtet befestigt, insbesondere mittels Glasfritte aufgeschmolzen oder ggfs. entsprechend verklebt ist. Die Platte 61 ist beispielsweise zwischen zwei Teilen 62 und 63 gehalten, die rohr- bzw. ringförmig ausgebildet sein können und etwa miteinander verschraubt sind, wodurch eine abgedichtete Befestigung der Platte 61 zwischen den Teilen 62 und 63 gewährleistet wird.

Der im Inneren des Teiles 62 wirkende Druck wird wie im Zusammenhang mit Fig. la beschrieben, auf die Membran 16 und die Dickfilmwiderstände 22 übertragen. Die Membran biegt sich entsprechend durch und die Änderung der Widerstandswerte der Dickfilmwiderstände 22 ist ein Maß für den im Inneren des Teils 62 herrschenden Druck.

Ein durch den Ring 14 gebildeter Raum 64 unterhalb der Membran 16 kann über eine durch die Platte 61 geführte Öffnung 65 mit der Atmosphäre in Verbindung stehen, wenn eine Überdruckmessung vorgenommen wird.

Die Dickfilmwiderstände 22 sind über eine entsprechende Leitung 66, die isoliert durch die Platte 61 geführt ist, mit einer entsprechenden Auswertevorrichtung verbunden.

Gemäß Fig. 7 wird ein Druckaufnehmerelement 80 umgekehrt gegenüber dem Ausführungsbeispiel der Fig. 6 auf einer Platte 81 angeordnet, die eine zentrale Öffnung 85 besitzt. Die Platte 81 ist wiederum zwischen Teilen 82 und 83 abgedichtet eingespannt.

Wird über eine Öffnung 86 auf das Innere des Teils 82 und damit auf die Membran des Druckaufnehmerelements 80 ein Druck ausgeübt, so biegt sich die Membran nach unten durch und die entsprechende Änderung der Widerstandswerte der Dickfilmwiderstände wird ausgewertet.

Bei beiden Ausführungsbeispielen ist wiederum vorteilhaft, daß ein sehr einfaches Druckaufnehmerelement auf äußerst einfache Weise befestigt angeordnet werden kann. Da ferner der jeweilige Ring 14 großflächig an seinen Stirnflächen mit der Oberfläche der Platte 61 bzw. 81 fest verbunden ist, wird die Verwindung des Ringes 14 bei Druckausübung auf die Membran des Druckaufnehmerelements 60 bzw. 80 vermieden bzw. erheblich reduziert.

Die Fig. 8 zeigt ein konkretes Ausführungsbeispiel der Verwendung eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers 221, der in der Schwingmetall-Verbindung zwischen einem Federbein 210 und dem Fahrzeugaufbau 200 angeordnet ist, so daß der Drucksensor 221 als Radlastsensor wirkt.

Dieser Radlastsensor umfaßt ein allgemein mit 203 bezeichnetes Schwingmetall mit einer vornehmlich zylindrischen Außenwand 224, die das elastische Material, etwa Gummi umgibt und eine radiale Erweiterung in Form eines Randes 237 besitzt. Das Schwingmetall 203 ist in einem Gehäuse 222 untergebracht, das im wesentlichen zur Schwingmetallaußenwand 224 komplementäre Formen besitzt. Hierbei wird über einen wesentlichen Teil der Umfangsfläche ein verhältnismäßig schmaler Spalt gelassen und nur im Bereich der Erweiterung 237 umfangsmäßig eine ggf. mehrere Taschen 238 ausgebildet. In den Zwischenraum zwischen dem Gehäuse 222 und der Außenwand 224 des Schwingmetalls ist elastomeres Material 223 eingebracht, wobei ein oder mehrere Druckaufnehmer 221 praktisch frei schwimmend bzw. lediglich durch ihre elektrischen Zuleitungen abgestützt, angeordnet sind.

Über Flansche 213 ist das Gehäuse 222 mit dem Fahrzeugaufbau etwa mittels Schrauben 226 befestigt.

Der Vollständigkeit halber sei noch erwähnt, daß ein von den Rädern abgestütztes Federbein 210 in üblicher Weise von einer Feder 229 umgeben ist, die sich an einem Federteller 228 abstützt, die wiederum an einem Ansatz 257 des Federbeins 210 anliegt. Ein Rillenkugellager 227 sorgt für eine Drehbeweglichkeit zwischen Federbein und Kraftmeßeinrichtung.

Es ist ersichtlich, daß diese besonders bevorzugte Ausführungsform eines Radlastsensors durch die Verschachtelung des Schwingmetalls mit dem Gehäuse 222 und der freischwimmenden Anordnung des oder der Druckaufnehmer 221 besonders kompakt ist. Die integrierte Ausführung der gesamten Anordnung erlaubt einen äußerst günstigen Aufbau ohne spezielle Befestigung des Druckaufnehmers, wobei die erheblichen Vorteile zum Tragen kommen, die sich aus der freischwimmenden Anordnung des Druckaufnehmers ergeben und im Rahmen der vorangehenden Beschreibung im einzelnen erläutert wurden.

Gerade das letzte Beispiel zeigt, welche vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten sich für den erfindungsgemäßen Druckaufnehmer ergeben, wobei insbesondere auf die äußerst kostengünstige Ausbildung und Anbringung, den kompakten Aufbau und die hohe Meßgenauigkeit zu beachten sind.

Claims (22)

1. Druckaufnehmer mit einer längs ihres Randes gehaltenen Membran, auf der Dickfilmwiderstände aufgebracht sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (16) einstückig über der Stirnöffnung eines Rahmens (14) aus nichtkriechendem Material ausgebildet ist und eine gegenüber der axialen Stärke des Rahmens (14) verhältnismäßig geringe Dicke besitzt.

2. Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das nichtkriechende Material ein Keramikmaterial ist.

3. Druckaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (14) an der der Membran gegenüberliegenden Stirnseite parallel zur Membran großflächig ausgebildet ist.

4. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (18) des Rahmens (14) und damit die Membran (16) rechteckig ausgebildet und die Dickfilmwiderstände (22) mit ihrer Längserstreckung parallel zu einer Kante verlaufen.

5. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Druckaufnehmerelemente in Opposition zueinander angeordnet und miteinander fest verbunden sind.

6. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Druckaufnehmerelemente (10) gleichsinnig übereinander angeordnet und miteinander fest verbunden sind.

7. Druckaufnehmer nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung mittels Verschmelzen einer Glasfritte (15) oder durch Verkleben der Stirnflächen erfolgt.

8. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine radiale Öffnung (13) vorgesehen ist, über die das Innere (18) des Druckaufnehmers mit der Atmosphäre bzw. einer Druck-/Vakuumvorrichtung verbindbar ist.

9. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung in Nebeneinanderanordnung verdoppelt ist und auf den Membranen (37) des verdoppelten Teils (32) eine integrierte Auswerteschaltung (38) angeordnet ist, die einerseits mit den Dickfilmwiderständen (22) über Leitungen (36) und zum anderen über weitere Leitungen (40) mit einer Auswerteschaltung in Verbindung steht.

10. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Paare von Druckaufnehmerelementen (10) in Nebeneinanderanordnung vorgesehen sind.

11. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckaufnehmer im wesentlichen freischwebend in Flüssigkeit oder elastomerem Material angeordnet ist, auf die bzw. das der zu messende Druck ausgeübt wird.

12. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dickfilmwiderstände auf der Innenseite der Membran angeordnet sind.

13. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß elektrische Schaltungen im Hohlraum des Rahmens (14) untergebracht sind.

14. Kraft- oder Druckmeßeinrichtung unter Verwendung eines Druckaufnehmers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Abstützteil (112), ein Krafteinleitungsteil (116), elastomeres Material, das in einem Zwischenraum (120) zwischen dem Abstützteil (112) und dem Krafteinleitungsteil (116) angeordnet ist, auf das die auf das Krafteinleitungsteil (116) ausgeübte Kraft wirkt, und mindestens einen in dem elastomeren Material im wesentlichen freischwebend angeordneten Druckaufnehmer (130), auf den der in dem elastomeren Material durch die Kraft erzeugt Druck wirkt.

15. Einrichtung nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch ein rohrförmiges Innenteil (112), dessen Außendurchmesser über einen bestimmten Bereich unter Bildung einer vorzugsweise schrägen Stufe (114) erweitert ist, und ein Außenteil (116) mit einer zentralen Öffnung, in der das Innenteil (112) angeordnet ist und die eine Kontur komplementär zur Außenmantelfläche des Innenteils (112) aufweist unter Belassung eines umlaufenden schmalen Spalts (118), der mit blasenfreiem elastomerem Material gefüllt ist, in dem mindestens einer der Druckaufnehmer (130) angeordnet ist, der den über der zwischen dem Innenteil und dem Außenteil, gebildeten Ringkolbenfläche feststellt.

16. Einrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß Signal- und/oder Versorgungsleitungen von dem oder den Druckaufnehmern (130) durch die Wand des Innenteils (112) in das rohrförmige Innere desselben geführt sind.

17. Druckmeßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine ebene Platte (61), die gegen einen Druckraum hin abgedichtet befestigt ist, einem Druckaufnehmer (60; 80), der mit einer seiner beiden parallel zur Membran des Druckaufnehmers verlaufenden großflächigen Stirnfläche an der Fläche der Platte (61; 81) festhaftend befestigt ist.

18. Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckaufnehmer (60) mit der der Membran (16) gegenüberliegenden Stirnfläche mit der Platte (61) befestigt ist, der Druck von der anderen Seite auf die Membran (16) ausgeübt wird und die vom Rahmen (14) der Membran (60) gebildete Öffnung (64) bevorzugt über eine Öffnung (65) mit der Atmosphäre oder einer Druck-/Vakuumvorrichtung verbindbar ist.

19. Einrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (81) eine Öffnung (85) besitzt, die zumindest die Abmessungen der Membran (16) aufweist und daß die planparallel zur Membran (16) verlaufende Stirnfläche des Rahmens (14) großflächig mit der längs der Öffnung (85) verlaufenden Stirnfläche der Platte (81) festhaftend befestigt ist, wobei der Druck auf die Innenseite der Membran (16) ausgeübt wird.

20. Kraft- oder Druckmeßeinrichtung unter Verwendung mindestens eines Druckaufnehmers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der oder die Druckaufnehmer in elastomerem Material praktisch frei schwimmend angeordnet sind, das zwischen einem Federbein und einem Schwingmetall zur Abstützung des Federbeins eines Fahrzeugs angeordnet ist bzw. sind.

21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das elastomere Material (2, 23) zwischen der äußeren Metallfassung (224) des Schwingmetalls und einem diese Wand umgebenden Gehäuse (222) angeordnet ist.

22. Verfahren zum Herstellen eines Druckaufnehmers nach einem der vorhergehenden Ansprüche unter Aufbringen von Dickfilmwiderständen mittels Siebdruck oder einem ähnlichen Verfahren auf einer Membran aus nichtkriechendem Material und Befestigen der Membran längs ihres Randes, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran einstückig über einer zentralen Öffnung eines Rahmens mit diesem in einem Herstellungsschritt gefertigt wird.