DE3802145C1 - Optoelectrical device - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine optoelektrische Einrichtung, insbesondere einen X-Y-Scanner, mit einem beweglich angeordneten, aktiven oder passiven optischen Element, das mittels eines elektromagnetischen Systems auslenkbar ist, das mindestens eine mit Stromsignalen beaufschlagte elektrische Spule und mindestens einen mit dieser zusammenwirkenden magnetisierten Körper umfaßt, die relativ zueinander bewegbar sind.

Es sind bereits optoelektrische Einrichtungen dieser Gattung bekannt (DE 36 13 233 A1), die aus zwei im Abstand zueinander angeordneten und von einem Stromsignal durchflossenen Spulen bestehen, in denen sich jeweils ein magnetisierter Körper befindet. Beide magnetisierten Körper sind an einem Aluminiumträger befestigt, der um seine Längsachse drehbar gelagert ist. Auf dem Aluminiumträger sitzt des weiteren ein Spiegel. Je nach Stärke des durch die beiden Spulen fließenden Stromes erfolgt eine Auslenkung des Spiegels aus seiner Ruhelage, die an einer Skala abgelesen werden kann. Eine derartige optoelektrische Einrichtung, die auch als Spiegelgalvanometer bezeichnet wird, hat den Nachteil, daß eine Auslenkung des Spiegels nur in einer Ebene möglich ist und daß Reibungs- bzw. Torsionskräfte Anzeigefehler hervorrufen. Letzteres ist auch dann der Fall, wenn der Aluminiumträger an einem Spannband oder Spannfaden aufgehängt ist.

Es sind des weiteren optoelektrische Einrichtungen bekannt, die die Ablenkung eines Lichtstrahls in zwei Ebenen erlauben. Diese Einrichtungen sind verhältnismäßig aufwendig, da sie grundsätzlich aus zwei spiegelgalvano­ meterartigen Systemen bestehen, die in Wirkverbindung miteinander stehen. Darüber hinaus treten auch bei diesen Einrichtungen Reibungs- bzw. Torsionskräfte auf, die die Anzeige verfälschen.

Diese Nachteile der bekannten optoelektronischen Einrich­ tung sollen durch die Erfindung beseitigt werden. Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine optoelektrische Einrichtung zu schaffen, die die Bewegung des optischen Elements der Einrichtung sowohl in einer X-Ebene als auch in einer Y-Ebene reibungsfrei gestattet. Zudem soll diese Einrichtung mit einem möglichst geringen Aufwand realisierbar sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das elektromagnetische System aus m Spulensystemen mit m = 3, 4, 5, . . . n besteht, die in einer ersten Ebene ein m-Eck bildend angeordnet sind, daß jedes Spulensystem aus mindestens drei mit ihren Längsachsen sternförmig in der ersten Ebene angeordneten Spulen und einer weiteren im Sternmittelpunkt etwa senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spule besteht, und daß das optische Element in einer zweiten, zur ersten parallelen Ebene auf einer Halterung mit der Anzahl und der Konfiguration der Spulensysteme in der ersten Ebene entsprechenden Armen befestigt ist, die jeweils einen mit den einem Arm zugeordneten Spulen zusammenwirkenden magnetisierten Körper tragen. Dabei ist n eine beliebige natürliche Zahl.

Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung kann die das optische Element tragende Halterung durch Ansteuern der senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spulen mit einem Strom freischwebend gehalten werden, da der durch die senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spulen fließende Strom in den Spulen ein magnetisches Feld aufbaut, das dem magnetischen Feld der magnetisierten Körper entgegengesetzt ist, so daß die magnetisierten Körper durch die Spulenfelder abgestoßen werden. Der durch die senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spule fließende Strom kann ein Gleichstrom oder, was besonders zweckmäßig ist, ein hochfrequenter Wechselstrom sein, dem gegebenenfalls ein Gleichstrom überlagert ist. Dadurch lassen sich Störfeldeinflüsse auf ein vernach­ lässigbares Maß reduzieren. Durch Beaufschlagen der senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spulen mit unterschiedlich starken Strömen läßt sich die Halterung nicht nur in einer X-Ebene und einer Y-Ebene bewegen, sondern auch in einer Z-Ebene. Die Bewegung in der Z-Ebene wird durch Erhöhung oder Verringerung aller durch die senkrecht zu der ersten Ebene angeordneten Spulen fließenden Ströme realisiert. Die Zentrierung des opti­ schen Elements in der X-Y-Ebene erfolgt durch die in der ersten Ebene angeordneten Spulen. Gleichzeitig wird durch das Magnetfeld dieser Spulen die reibungsfreie Lagerung der Halterung, die im wesentlichen durch die senkrecht in der ersten Ebene angeordneten Spulen bewirkt wird, verstärkt und verbessert. Auch läßt sich durch unterschiedliche Bestromung der in der ersten Ebene angeordneten Spulen in einfacher Weise die Eichung des Systems vornehmen, was ein besonderer Vorteil der erfin­ dungsgemäßen Einrichtung ist.

Eine weitere Verbesserung der reibungsfreien magnetischen Lagerung der Halterung mit dem darauf befindlichen optischen Element läßt sich in vorteilhafter Weise dadurch erreichen, daß jeder magnetisierte Körper zapfen­ artig ausgebildet und in längsaxialer Richtung magneti­ siert ist, und daß jede im Sternmittelpunkt angeordnete Spule eine Ausnehmung zur magnetischen Führung des ihr zugeordneten magnetisierten Körpers aufweist. Der zapfen­ artige Körper ragt hierbei in diese Ausnehmung hinein, wobei die Ausnehmung dergestalt ausgebildet ist, daß ein genügend großes Spiel zwischen dem zapfenartigen Körper und der Ausnehmung vorhanden ist, um die Eichung des Systems vornehmen zu können und keine Behinderung bei der Verschwenkung des Spiegels zu erhalten.

Als zweckmäßig hat es sich erwiesen, jeden magnetisierten Körper als Dauermagnet mit hoher Koerzitivkraft auszubil­ den. Insbesondere empfiehlt sich die Verwendung von gesinterten oxydischen Dauermagneten, da diese bei verhältnismäßig geringem Gewicht hohe Koerzitivkräfte liefern.

Die reibungsfreie magnetische Lagerung der Halterung kann darüber hinaus hinsichtlich ihres Wirkungsgrades dadurch verbessert werden, daß jede Spule einen ferro­ magnetischen Kern aufweist. Im Vergleich zu Spulensystemen mit kernlosen Spulen läßt sich die reibungsfreie magne­ tische Lagerung dann mit geringer elektrischer Energie realisieren. Aus dem gleichen Grunde empfiehlt es sich, jeden ferromagnetischen Kern an seinem dem magnetischen Körper zugewandten Ende mit einem der Form des Körpers angepaßten Polschuh zu versehen.

Bei einem magnetisierten Körper kreisförmigen Querschnitts wird der Polschuh eine Ausnehmung mit einem kreisab­ schnittförmigen Querschnitt aufweisen.

Bei einem aus drei Spulen bestehenden Spulensystem sind diese am zweckmäßigsten um 120 Winkelgrade zueinander versetzt angeordnet. Eine derartige Anordnung erlaubt eine einfachere Ansteuerung der Spulen als dies bei einer Anordnung der Fall ist, bei der die Spulen um unterschiedliche Winkel zueinander versetzt sind. Eine weitere Vereinfachung der Ansteuerung, die allerdings mit einem erhöhten Aufwand an Spulen erkauft werden muß, besteht darin, daß jedes Spulensystem aus vier um jeweils 90 Winkelgrade zueinander versetzten Spulen und der weiteren Spulen besteht. Welche dieser beiden oder einer anderen ebenfalls möglichen Ausführungsformen letztendlich realisiert wird, ist von Fall zu Fall und unter Abwägung der unterschiedlichen Kosten für Spulen und Ansteuer­ schaltung zu entscheiden. Eine weitere Vereinfachung der Ansteuerung besteht darin, daß zumindest die in einer Ebene angeordneten Spulen aller Spulensysteme gleichen Aufbaus sind. Es können dann für die Ansteuerung der Spulen gleiche Bausteine verwendet werden. Aus dem gleichen Grunde - Vereinfachung in der Ansteuerung - kann es empfehlenswert sein, vier um 90 Winkelgrade versetzte Spulensysteme vorzusehen anstelle der zuvor beschriebenen drei Spulensystemen. Die Vereinfachung in der Ansteuerung wird auch hier durch einen Mehraufwand im mechanischen Teil der Einrichtung erkauft, so daß in jedem Einzelfall zu prüfen ist, welcher der möglichen Wege gegangen wird.

In vorteilhafter Weise sind die Arme der das optische Element aufnehmenden Halterung gleich lang ausgebildet. Dann nämlich ist die Empfindlichkeit in der X-Ebene und der Y-Ebene gleich groß. Es kann jedoch in Sonderfällen auch von Vorteil sein, die Arme der das optische Element aufnehmenden Halterung unterschiedlich lang auszubilden, also die Empfindlichkeit in der einen Ebene gegenüber der anderen Ebene zu erhöhen bzw. zu verringern. Werden die Spulensysteme verschieblich auf einer Trägerplatte angeordnet und werden die Arme der Halterung ausziehbar ausgebildet, so kann die erfindungsgemäße Einrichtung ohne besonderen Aufwand an die verschiedensten Empfind­ lichkeitsanforderungen angepaßt werden.

Um insbesondere bei einer Halterung mit verhältnismäßig kurzen Armen eine Beeinflussung der verschiedenen magne­ tischen Systeme über die Halterung zu unterbinden, empfiehlt es sich, für die Arme der Halterung ein para- oder diamagnetisches Material zu verwenden.

Insbesondere wenn die optoelektrische Einrichtung als X-Y-Scanner arbeiten soll, besteht das optische Element aus einem Spiegel in Form eines Glasspiegels oder einer polierten metallischen Fläche. In einem solchen Fall sitzt die auf den Spiegel strahlende Lichtquelle ortsfest in oder außerhalb der Einrichtung. Da dies in gewissen Anwendungsfällen wegen des erhöhten Raumbedarfs zu Problemen führen kann, besteht in einer anderen vorteil­ haften Ausführungsform das optische Element aus einer Lichtquelle und einer Spannungsquelle in Kleinstausfüh­ rung. Dieses optische Element besitzt zwar ein wesentlich höheres Gewicht als ein Spiegel, jedoch läßt sich das höhere Gewicht durch entsprechende Dimensionierung der Spulensysteme wieder kompensieren, so daß bei einer solchen Ausführungsform lediglich mit einer höheren Trägheit des Systems gerechnet werden muß. Dies kann aber in bestimmten Anwendungsfällen in Kauf genommen werden. Ein Einfluß auf die Genauigkeit der Anzeige tritt jedoch insofern nicht auf, als auch bei einem höheren Gewicht des optischen Elements nach wie vor eine reibungsfreie Lagerung vorhanden ist, die Reibung also nicht in die Anzeige einfließen kann. Dies ist ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Einrichtung, daß nämlich das Gewicht des optischen Elements die Genauigkeit der Anzeige nicht beeinflußt.

Wie bereits oben erwähnt, ist es für ein ordnungsgemäßes Arbeiten der Einrichtung von grundsätzlicher Bedeutung, daß die Einrichtung in etwa horizontaler Lage betrieben wird und eine Gravitationskraft auf sie ausgeübt wird. Dies bedeutet, daß die erfindungsgemäße Einrichtung beispielsweise nicht in Satelliten betrieben werden kann. Dieser Nachteil kann nach einem weiteren Gedanken der Erfindung dadurch beseitigt werden, daß in einer dritten Ebene, die parallel zur ersten Ebene ist und sich auf der der ersten Ebene abgewandten Seite der Halterung befindet, ein weiteres elektromagnetisches System mit im wesentlichen gleichen Aufbau wie dasjenige in der ersten Ebene vorhanden ist, und daß die Arme der das optische Element tragenden Halterung auf ihren der ersten Ebene abgewandten Seiten mit magnetisierten Körpern versehen sind, die mit den senkrecht zu der dritten Ebene angeordneten Spulen zusammenwirken. Bei gleichzeitiger Bestromung beider elektromagnetischer Systeme wird die das optische Element tragende Halterung in jeder Lage der Einrichtung in ihrer durch die verschie­ denen Ströme gegebenen Position zwischen den beiden elektromagnetischen Systemen gehalten, so daß bei einer solchen Ausführungsform auf einen Betrieb in horizontaler Lage oder unter Einfluß einer Gravitationskraft verzichtet werden kann.

Die Erfindung sei anhand der Zeichnung, die in zum Teil schematischer Darstellung Ausführungsbeispiele enthält, näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Aufsicht auf eine optoelektronische Einrichtung mit drei Spulensystemen,

Fig. 2 einen Schnitt durch die Einrichtung nach Fig. 1 entlang der Linie II-II,

Fig. 3 eine Aufsicht auf eine optoelektronische Einrichtung mit vier Spulensystemen,

Fig. 4 einen Schnitt durch die Einrichtung nach Fig. 3 entlang der Linie IV-IV, und

Fig. 5 einen Schnitt durch eine optoelektroni­ sche Einrichtung mit zwei elektromagne­ tischen Systemen.

Wie aus den Fig. 1 und 2 ersichtlich ist, besteht die optoelektrische Einrichtung aus drei Spulensystemen 1, 2 und 3, die in einer ersten Ebene 4 angeordnet sind. Jedes dieser Spulensysteme umfaßt vier Spulen 5, 6, 7 und 8, von denen die Spulen 5 bis 7 jeweils sternförmig in der ersten Ebene 4 angeordnet sind und die Spulen 8 etwa senkrecht zu der ersten Ebene 4 ausgerichtet ist.

Sowohl die drei Spulensysteme 1 bis 3 als auch die Spulen 5 bis 7 jedes Systems können grundsätzlich irregu­ lär angeordnet sein, wobei lediglich die Spulensysteme 1 bis 3 ein wie auch immer geartetes Dreieck bilden müssen und die Spulen 5 bis 7 jedes Spulensystems ein wie auch immer geartetes sternförmiges Gebilde. Die dadurch bedingten unterschiedlichen Auswirkungen auf die Halterung 9 mit dem Spiegel 10 können durch unterschiedliche Bestromung der einzelnen Spulen bzw. Spulensysteme wieder ausgeglichen werden. Falls die drei Spulensysteme um jeweils 120 Grad zueinander versetzt und die einzelnen Spulen der Spulensysteme ebenfalls um 120 Winkelgrade versetzt zueinander angeordnet sind, ergeben sich beson­ ders einfache Ansteuerungsmöglichkeiten, dies umso mehr, wenn die einzelnen Spulen 5 bis 7 den gleichen Aufbau besitzen.

Die Halterung 9 besteht aus drei Armen 11, 12 und 13, die entsprechend der Anordnung der Spulensysteme 1 bis 3 in der ersten Ebene 4 miteinander verbunden sind. An ihrer Verbindungsstelle tragen die drei Arme 11 bis 13 den Spiegel 10. Jeder der drei Arme 11 bis 13 trägt an seinem freien Ende einen Dauermagneten 14, 15 bzw. 16. Die Dauermagnete sind in Längsrichtung magnetisiert, so daß sie an ihrem dem Arm zugewandten Ende den einen Pol und an ihrem freien Ende den anderen Pol tragen.

Wie insbesondere aus Fig. 2 hervorgeht, erstrecken sich die drei Dauermagneten 14 bis 16 jeweils entlang der Stirnseiten der Spulen 5 bis 7 in eine Ausnehmung 17 der Spulen 8.

Die einzelnen Spulen 5 bis 7 bestehen jeweils aus einem ferromagnetischen Kern 18, der an seiner dem Dauermagneten 14, 15 bzw. 16 zugewandten Ende einen der zylindrischen Form des Dauermagneten angepaßten Polschuh aufweist. Die mit der Ausnehmung 17 versehene Spule 8 ist ebenfalls aus einem ferromagnetischen Kern hergestellt. Als Dauer­ magnete haben sich insbesondere solche aus einem Material hoher Koerzitivkraft als zweckmäßig erwiesen, da diese Dauermagnete nur eine äußerst geringe Selbstentmagneti­ sierung aufweisen.

Um Beeinflussungen eines Spulensystems durch die den anderen Spulensystemen zugeordneten Dauermagneten mög­ lichst gering zu halten, sind die Arme 11, 12 und 13 der Halterung 9 aus Aluminium hergestellt.

Zur Verschwenkung des Spiegels 10 werden die Spulen 8 der drei Spulensysteme 1 bis 3 gestromt, und zwar derart, daß sich in den Spulen ein Magnetfeld aufbaut, das denjenigen des Dauermagneten an seinem der Spule 8 zugewandten Ende entgegengesetzt ist. Durch unterschied­ lich starkes Beaufschlagen der Spulenart mit Strom werden dann die Dauermagnete 14 bis 16 unterschiedlich stark aus den Ausnehmungen 17 der Spulen 8 hinausgedrückt - durch die sich abstoßenden gleichnamigen Polen an der Spule 8 und dem dieser zugewandten Ende der Dauermagnete. Durch die ebenfalls bestromten Spulen 5 bis 7 jedes Spulensystems 1 bis 3 erfolgt eine gewisse Zentrierung der Halterung 9 und damit des Spiegels 10, wobei durch unterschiedliche Beaufschlagung der Spulen 5, 6 und 7 jedes Spulensystems die Halterung 9 in der Ebene 4 verschoben werden kann.

Die in den Fig. 3 und 4 dargestellte optoelektrische Einrichtung besteht aus vier Spulensystemen, von denen jedes fünf Spulen umfaßt, nämlich die Spulen 25, 26, 27 und 28, die in einer ersten Ebene 4 angeordnet sind, und die Spule 29, die senkrecht zu der ersten Ebene 4 ausge­ richtet ist.

Jede der Spulen 25 bis 28 besteht wiederum aus einem ferromagnetischen Kern 18 und einer darauf befindlichen Wicklung 30. In gleicher Weise wie bei der vorbeschrie­ benen Einrichtung enthalten auch die Spulen 29, die senkrecht zu der ersten Ebene 4 ausgerichtet sind, Ausnehmungen 17, in die die Dauermagnete 31 hineinragen.

Die Dauermagnete 31 sind jeweils an einem Arm 32 einer vierarmigen Halterung 33 befestigt. Diese Halterung 33 trägt ein optisches Element 34, das aus einer Lichtquelle 35 und einer Spannungsquelle 36 in Kleinstausführung besteht.

Die Wirkungsweise dieser optoelektrischen Einrichtung ist grundsätzlich die gleiche wie bei der zuvor beschrie­ benen Einrichtung nach den Fig. 1 und 2. Auch hier wird durch Bestromung der Spulen 29 bzw. deren Wicklungen 30 ein Magnetfeld aufgebaut, das dem Magnetfeld der Dauermagnete 31 entgegengesetzt ist, so daß die Halterung 33 mit ihren vier Armen schwebend gehalten wird. Durch unterschiedlich starkes Bestromen der einzelnen Wicklungen der Spulen 29 kann ein Kippen der Halterung 33 gegenüber der Ebene 4 erreicht werden. Der von der Lichtquelle 35 ausgehende Lichtstrahl kann somit in jede gewünschte Position innerhalb eines Abstrahlungskegels gebracht werden, dessen Öffnungswinkel durch die Abmessungen der Mechanik bestimmt ist. Die Basisposition des Abstrah­ lungskegels kann durch unterschiedliche Bestromung der in der ersten Ebene 4 angeordneten Spulen der Spulen­ systeme 21 bis 24 verändert werden; die Lichtquelle 35 kann damit zentriert wie auch dezentriert werden.

Die vorbeschriebenen Einrichtungen lassen sich nur dann sinnvoll anwenden, wenn die erste Ebene 4 in etwa horizon­ tal ausgerichtet ist. Andernfalls kann es geschehen, daß die Halterung 9 bzw. 33 bei bestromten Spulen 8 bzw. 29, wenn sich also die von den Spulen 8 bzw. 29 erzeugten magnetischen Feldern und diejenigen der Dauermagnete 14, 15, 16 oder 31 abstoßen, gänzlich aus dem Wirkungskreis der Spulen der Spulensysteme 1 bis 3 bzw. 21 bis 24 entfernt. Dieser Nachteil der erfindungsgemäßen opto­ elektrischen Einrichtung kann dadurch umgangen werden, daß, wie dies in Fig. 5 dargestellt ist, dem elektroma­ gnetischen System in der ersten Ebene 4 ein entsprechendes elektromagnetisches System in einer dazu parallelen Ebene 38 gegenübergestellt wird. Dies bedingt, daß die Arme 32 an ihren freien Enden nicht nur mit dem einen elektromagnetischen System zusammenwirkende Dauermagnete 31 sondern auch mit dem anderen elektromagnetischen System zusammenwirkende Dauermagnete 39 tragen. Die Dauermagnete 39 stehen dann, ebenso wie die Dauermagnete 31 mit den Spulen 29 mit Spulen 40 in Wirkverbindung und ebenso mit in der Ebene 38 angeordneten Spulen, 41, 42, 43 und 44, die den Spulen 25, 26, 27 und 28 entsprechen.

Es ist ohne weiteres ersichtlich, daß bei Bestromung aller Spulen einer solchen optoelektrischen Einrichtung diese in jeder gewünschten Lage betrieben werden kann und im übrigen auch dann arbeiten kann, wenn keine Gravitationskraft vorhanden ist.

Claims (15)

1. Optoelektrische Einrichtung, insbesondere X-Y- Scanner, mit einem beweglich angeordneten, aktiven oder passiven optischen Element, das mittels eines elektromagnetischen Systems auslenkbar ist, das mindestens eine mit Stromsignalen beaufschlagte elektrische Spule und mindestens einen mit dieser zusammenwirkenden magnetisierten Körper umfaßt, die relativ zueinander bewegbar sind, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das elektromagnetische System aus m Spulensystemen (1, 2, 3; 21 bis 24) mit m = 3, 4, 5, . . . n besteht, die in einer ersten Ebene (4) ein m-Eck bildend angeordnet sind, daß jedes Spulensystem (1 bis 3; 21 bis 24) aus minde­ stens drei mit ihren Längsachsen sternförmig in der ersten Ebene (4) angeordneten Spulen (5 bis 7; 25 bis 28) und einer weiteren im Sternmittelpunkt etwa senkrecht zu der ersten Ebene (4) angeordneten Spule (8; 29) besteht, und daß das optische Element (10; 34) in einer zweiten, zur ersten parallelen Ebene (37) auf einer Halterung (9; 33) mit der Anzahl und der Konfiguration der Spulensysteme (1 bis 3; 21 bis 24) in der ersten Ebene (4) ent­ sprechenden Armen (11 bis 13; 32) befestigt ist, die jeweils einen mit den einem Arm (11 bis 13; 32) zugeordneten Spulen (5 bis 7; 25 bis 28) zusammen­ wirkenden magnetisierten Körper (14 bis 16; 31) tragen.

2. Optoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder magnetisierte Körper (14 bis 16; 31) zapfenartig ausgebildet und in längs­ axialer Richtung magnetisiert ist, und daß jede im Sternmittelpunkt angeordnete Spule (8; 29) eine Ausnehmung (17) zur magnetischen Führung des ihr zugeordneten magnetisierten Körpers (14 bis 16; 31) aufweist.

3. Optoelektronische Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder magnetisierte Körper (14 bis 16; 31) als Dauermagnet hoher Koerzi­ tivkraft ausgebildet ist.

4. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Spule (5 bis 8; 25 bis 28; 29) einen ferromagne­ tischen Kern (18) aufweist.

5. Optoelektronische Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeder ferromagnetische Kern (18) an seinem dem magnetisierten Körper (14 bis 16; 31) zugewandten Ende mit einem der Form des Körpers (14 bis 16; 31) angepaßten Polschuh (19) versehen ist.

6. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Spulensystem (1; 2; 3) aus drei Spulen (5, 6, 7) besteht, die um 120 Winkelgrade zueinander versetzt angeordnet sind.

7. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Spulensystem (21 bis 24) aus vier um jeweils 90 Winkelgrade zueinander versetzten Spulen (25, 26, 27, 28) und der weiteren Spule (29) besteht.

8. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zumin­ dest die in einer Ebene (4) angeordneten Spulen (5 bis 7; 25 bis 28) aller Spulensysteme (1 bis 3; 21 bis 24) gleichen Aufbaus sind.

9. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß vier um 90 Winkelgrade zueinander versetzte Spulensysteme (21 bis 24) vorgesehen sind.

10. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (11 bis 13; 32) der das optische Element (10; 34) aufnehmenden Halterung (9; 33) gleich lang sind.

11. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (11 bis 13; 32) der das optische Element (10; 34) aufnehmenden Halterung (9; 33) unterschiedlich lang ausgebildet sind.

12. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (11 bis 13; 32) der Halterung (9; 33) aus einem para- oder diamagnetischen Material bestehen.

13. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element als Spiegel (10) ausgebildet ist.

14. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element aus einer Lichtquelle (35) und einer Spannungsquelle (36) in Kleinstausführung besteht.

15. Optoelektronische Einrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß in einer dritten Ebene (38), die parallel zur ersten Ebene (4) ist und sich auf der der ersten Ebene (4) abgewandten Seite der Halterung (33) befindet, ein weiteres elektromagnetisches System mit im wesent­ lichen gleichen Aufbau wie dasjenige in der ersten Ebene (4) vorhanden ist, und daß die Arme (32) der das optische Element (34) tragenden Halterung (33) auf ihren der ersten Ebene (4) abgewandten Seiten mit magnetisierten Körpern (39) versehen sind, die mit den senkrecht zu der dritten Ebene (38) ange­ ordneten Spulen (40) zusammenwirken.