DE3775477D1 - Vorrichtung zur erzeugung von nebel fuer die beschichtung einer flaeche mit einer duennen schicht. - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung von nebel fuer die beschichtung einer flaeche mit einer duennen schicht.

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Iida Hideyo
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5316579A (en) * 1988-12-27 1994-05-31 Symetrix Corporation Apparatus for forming a thin film with a mist forming means
JPH0390578A (ja) * 1989-08-31 1991-04-16 Taiyo Yuden Co Ltd 薄膜形成装置
JPH0390579A (ja) * 1989-08-31 1991-04-16 Taiyo Yuden Co Ltd 薄膜形成装置
JPH07100864B2 (ja) * 1990-01-13 1995-11-01 太陽誘電株式会社 霧化薄膜形成装置
WO1992015112A1 (en) * 1991-02-25 1992-09-03 Symetrix Corporation Methods and apparatus for material deposition
DE4406863A1 (de) * 1994-03-02 1995-09-07 Gruenzweig & Hartmann Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen einer Substanz in ein Fasermaterial, insbesondere in ein Mineralfasermaterial
JP4038557B2 (ja) * 2002-04-16 2008-01-30 リアライズ・アドバンストテクノロジ株式会社 レジスト除去装置及びレジスト除去方法
WO2006095816A1 (ja) * 2005-03-11 2006-09-14 Akira Tomono 霧発生装置、および、霧放出演出装置
WO2014098905A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-26 Clearedge Power Corporation Deposition cloud tower with adjustable field

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE591481A (de) * 1959-06-03
BE758803A (fr) * 1969-11-12 1971-04-16 Jones & Laughlin Steel Corp Procede pour controler le revetement d'un substrat
FR2542636B1 (fr) * 1983-03-14 1985-07-12 Saint Gobain Vitrage Procede et dispositif de distribution reguliere d'un solide pulverulent sur un substrat en vue de son revetement et substrat ainsi revetu
JPS613885A (ja) * 1984-06-18 1986-01-09 Taiyo Yuden Co Ltd 霧化薄膜作製方法
JPS6169962A (ja) * 1984-09-13 1986-04-10 Agency Of Ind Science & Technol 霧化薄膜作製装置
GB2170122B (en) * 1985-01-26 1988-11-30 Glaverbel Process of forming a refractory mass and lance for spraying particulate exothermically oxidisable material
US4624213A (en) * 1985-08-27 1986-11-25 Armstrong World Industries, Inc. Curtain coating apparatus and method of use

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