DE3718318A1

DE3718318A1 - METHOD AND DEVICE FOR POLLUTION- AND RESIDUE-FREE VISIBILIZATION OF FLOWS IN PURE AIR WORKING ROOMS

Info

Publication number: DE3718318A1
Application number: DE19873718318
Authority: DE
Inventors: Gustav Duerner
Original assignee: SUEDDEUTSCHE ETNA WERK GmbH
Current assignee: SUEDDEUTSCHE ETNA WERK GmbH
Priority date: 1987-06-01
Filing date: 1987-06-01
Publication date: 1988-12-22
Also published as: EP0293872B1; ATE67023T1; EP0293872A1; DE3864590D1

Abstract

A method and a device are described, which serve to make visible air flows in super-clean working areas or at super-clean working stations. In order that this can take place free of noxious and residual matter, super-clean water is atomised by means of ultrasound in a pre-heated air flow, which is received parallel to the laminar super-clean air flow and released into the super-clean room via a nozzle which can be directed manually. <IMAGE>

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeits räumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen.The present invention relates to a method and a device for pollutant and residue-free Making currents visible in pure air work clear or at clean air workplaces.

Reinsträume werden mit sehr großem Aufwand konzipiert, errichtet, eingerichtet und betrieben. Diese Reinsträume werden in der Medizin, in der Gen- oder Biotechnik und beispielsweise in der Entwicklung und Fertigung hoch integrierter elektronischer Schaltkreise benötigt. Die Luft in diesen Räumen wird im Umlauf gereinigt, gefiltert, befeuchtet, erwärmt, gekühlt und von allen Partikeln freigehalten. In den in diesem Kreislauf liegenden Nutzräumen wird ein laminarer Luftstrom von der Decke zum Boden aufrechterhalten, und Einbauten, arbeitende Personen und Einrichtungen im Nutzraum sollen möglichst wenig Turbulenzen auslösen.Clean rooms are designed with great effort, built, furnished and operated. These clean rooms are used in medicine, in genetic engineering or biotechnology and high in development and manufacturing, for example integrated electronic circuits required. The Air in these rooms is cleaned in circulation, filtered, humidified, heated, cooled and by everyone Keep particles free. In the in this cycle lying usable spaces, a laminar air flow of the ceiling to the floor, and fixtures, working people and facilities in the utility room trigger as little turbulence as possible.

Da die Arbeitsplätze in Reinsträumen vielfach oft umge staltet werden müssen, um sich der neuesten Technik anpassen zu können, sind Messungen des Laminarstroms zur Optimierung der Einrichtung erforderlich. Die Messung bedingt ein Sichtbarmachen der tatsächlichen Strömung. Nur durch das Sichtbarmachen lassen sich die Erkennt nisse für eine optimale Einrichtung und Ausrichtung der Arbeitsplätze erzielen.Since the jobs in clean rooms are often reversed must be designed to keep up with the latest technology To be able to adapt, measurements of the laminar flow are Facility optimization required. The measurement requires the actual flow to be made visible. The knowledge can only be recognized by making it visible for optimal setup and alignment of the Create jobs.

Die normalen Methoden und Möglichkeiten zum Sichtbar machen von Strömungen, nämlich der Einsatz von Rauch oder Ölnebel, führt zu Verschmutzungen, die in diesen Reinsträumen nicht hingenommen werden können. Lediglich zum Simulieren in Modellräumen, die nicht selbst als Reinst-Arbeitsräume benutzt werden, können diese konven tionellen Methoden eingesetzt werden, was sehr aufwendig ist.The normal methods and ways of being visible making currents, namely the use of smoke or oil mist, leads to pollution in these Clean rooms cannot be accepted. Only to simulate in model spaces that are not themselves considered Ultrapure work rooms can be used, they can be convenient tional methods are used, which is very complex is.

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Sichtbarmachen der Strömung in Reinst räumen verfügbar zu machen, welches rückstandsfrei in allen Reinsträumen direkt einsetzbar ist.It is therefore an object of the present invention Process for making the flow visible in Reinst to make available, which is residue-free in can be used directly in all clean rooms.

Die allgemeine Lösung der Aufgabe liegt gemäß der Erfindung in der Verwendung eines Wassernebels aus reinstem Wasser, wobei das Wasser nicht erhitzt oder verdampft, sondern mittels Ultraschall zerstäubt wird.The general solution to the problem lies according to the Invention in the use of a water mist purest water, the water not being heated or evaporates, but is atomized using ultrasound.

Für das Einmischen des auf diese Weise zerstäubten Reinstwassers in die sichtbar zu machende Reinstluft wird die den Nebel tragende Luft beschleunigt und auf diese Weise in den Reinstraum abgegeben.For mixing in the atomized in this way Ultrapure water in the ultrapure air to be made visible the air carrying the fog is accelerated and up released this way into the clean room.

Bei zerstäubtem Wasser ergibt sich der Nachteil, daß beim Eintritt solcher Nebel in die umgebende Luft dieser Umgebungsluft Wärme entzogen wird. Diese Wärmeaufnahme führt zu Eigenbewegungen der Nebel infolge von Wärme zuführung. Zumeist sinken die feinverteilten Wasser partikel sehr schnell unter der Einwirkung der Erd beschleunigung ab. Diese Eigenbewegung der Luftpartikel würde das Strömungsbild der sichtbar zu machenden Strömung verfälschen. Deshalb gehört es zum Erfindungs gedanken, daß die von dem Ultraschallzerstäuber aufge nommene Luft zuvor erwärmt wird.With atomized water there is the disadvantage that when such fog enters the surrounding air Ambient air is extracted. This heat absorption leads to the fog's own movements due to heat feed. The finely divided water mostly sinks particles very quickly under the influence of the earth acceleration off. This own movement of the air particles would be the flow pattern of those to be made visible Distort flow. Therefore it is part of the invention thought that the ultrasonic atomizer air is heated beforehand.

Verneblungsgeräte mit Ultraschallzerstäuber sind an sich bekannt. So beschreibt die DE-OS 32 34 480 ein Verneblungsgerät für kosmetische Gesichtsvorbehandlung, wobei in einem Düsenkopf stromaufwärts des Gebläses eine Heizung für die Gebläseluft angeordnet ist. Hierbei dient die Heizung jedoch ausschließlich dem Zweck, eine angenehme Wirkung auf der menschlichen Hand zu erzeugen. Es findet eine Angleichung an die Körpertemperatur statt, da das Verneblungsgerät unmittelbar für die kosmetische Gesichtsbehandlung eingesetzt wird. Auch eine in der DE-OS 30 40 244 vorbeschriebene Vorrichtung zur Erzeugung eines Flüssigkeitsnebels mittels Ultra schall, bei der ebenfalls eine Heizvorrichtung vorge sehen ist, kann in Richtung der vorliegenden Erfindung keine Anregung abgeben, da auch diese Vorrichtung zu therapeutischen Zwecken, insbesondere zu Inhalations zwecken am menschlichen Körper, bestimmt ist.Nebulizers with ultrasonic atomizers are in themselves known. DE-OS 32 34 480 describes this Nebulizer for cosmetic facial pretreatment, one in a nozzle head upstream of the fan Heating for the fan air is arranged. Here however, the heating only serves the purpose of to produce a pleasant effect on the human hand. There is an adjustment to the body temperature instead because the nebulizer is immediately for the cosmetic facial treatment is used. Also a device described in DE-OS 30 40 244 for generating a liquid mist using Ultra sound, which also featured a heater can be seen towards the present invention make no suggestion as this device too therapeutic purposes, especially for inhalation purposes on the human body.

Demgegenüber werden in der Reinstraumlufttechnik zumeist Ölnebel benutzt, um die Luftströmung sichtbar zu machen, wobei die Ölnebel Rückstände bilden, die in Reinstluft räumen nicht hingenommen werden können.In contrast, clean room technology is mostly used Oil mist used to make the air flow visible, whereby the oil mist form residues in pure air vacations cannot be accepted.

Weitere Erwägungen, Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgen den Beschreibung von zeichnerisch dargestellten Aus führungs- und Anwendungsbeispielen. Additional Considerations, Details, Features, and Benefits the present invention result from the following the description of the graphically represented leadership and application examples.

Es zeigenShow it

Fig. 1 eine schematische Übersichtsskizze eines Reinstluft-Arbeitsraumes, teilweise im Schnitt, Fig. 1 is a schematic overview diagram of a super-clean work space, partly in section,

Fig. 2 in schematischer Perspektive ein Anwendungs beispiel, Fig. 2 shows an application example in a schematic perspective view,

Fig. 3 eine schematische perspektivische Darstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes und Fig. 3 is a schematic perspective view of an embodiment of the device according to the invention and

Fig. 4 ein schematisches Blockschaltbild zur Verdeutlichung des Geräteaufbaus. Fig. 4 is a schematic block diagram to illustrate the structure of the device.

In Fig. 1 ist ein typischer Reinstluft-Arbeitsraum 10 schematisch dargestellt. Neben der sorgfältigen Reini gung aller in den Raum 10 eingebrachten Gegenstände, dem Tragen von Reinstraumkleidung aller im Raum 10 tätigen Personen 11 wird der Raum 10 durch eine turbulenzarme Verdrängungsströmung (laminar flow) ständig mit Reinst luft versorgt, wobei zumeist die Reinstluft von oben über einen Deckenraum 12 zugeführt wird. Die Verteilung und Einführung erfolgt über Luftdüsen 14, welche über die Decke verteilt sind. Unterhalb dieser Luftdüsen 14 entsteht ein laminarer Strom reinster Luft, welcher durch parallele Pfeile 16 in der Zeichnung angedeutet ist. Der Boden besteht aus einer Lochplatte 18, durch welche der ungestörte Reinstluftstrom im Idealfall wieder aus dem Reinstluft-Arbeitsraum 10 austritt. In einem Unterraum 20 wird die Luft gesammelt, einer nicht dargestellten Aufbereitungsanlage zugeführt, in welcher die Luft gereinigt, erwärmt, gekühlt und jeder anderen Weise behandelt und gegebenenfalls mit reinster Frisch luft ergänzt über dem Deckenraum 12 wieder rückgeführt werden kann.A typical ultrapure air working space 10 is shown schematically in FIG. 1. In addition to the careful cleaning of all objects brought into the room 10 , wearing clean room clothing for all persons 11 working in the room 10 , the room 10 is constantly supplied with ultrapure air by a low-turbulence displacement flow (laminar flow), mostly with the ultrapure air from above via one Ceiling room 12 is supplied. The distribution and introduction takes place via air nozzles 14 , which are distributed over the ceiling. Below these air nozzles 14 , a laminar flow of the purest air is created, which is indicated by parallel arrows 16 in the drawing. The floor consists of a perforated plate 18 , through which the undisturbed clean air flow ideally exits the clean air working space 10 . In a subspace 20 , the air is collected, fed to a processing plant, not shown, in which the air can be cleaned, heated, cooled and treated in any other way and, if necessary, supplemented with the purest fresh air and returned via the ceiling space 12 .

Das Innere eines Reinstluftraumes 10 muß so ausgerichtet werden, daß alle notwendigen Arbeitseinrichtungen und Vorrichtungen sowie die im Reinstluftraum 10 tätigen Personen die laminare Luftströmung möglichst wenig stören. So werden Arbeitstische 22 besonders gestaltet, mit gelochter Tischplatte 24 versehen und im Abstand von einer Wand 26 aufgestellt, um die Strömung 28 möglichst wenig zu verwirbeln. Wirbelzonen 30 sind soweit wie möglich zu vermeiden. Da aber gerade in Reinstlufträumen komplizierte Arbeitsprozesse durchgeführt werden, lassen sich Wirbelzonen 30 nicht vollständig vermeiden. So kann beispielsweise auf einem Arbeitstisch 24 eine Wärme platte 32 aufgestellt werden, auf der ein zu behandeln der Gegenstand 34 während einer Aufwärmphase bearbeitet wird. Es liegt auf der Hand, daß bei solchen Einrichtun gen außer der mechanischen Ablenkung allein in diesem einfachen Beispiel von einer Wärmequelle 32 zusätzliche Verwirbelungen 30 thermischer Art erzeugt werden. Die notwendigen Arbeitseinrichtungen erzeugen Stauzonen und die Verwirbelungen 30 nicht sichtbare Toträume, welche die Reinstraumbedingungen sehr nachteilig beeinflussen und Schmutzzonen mit Rückstands- und Schadstoff anhäufungen begünstigen oder ermöglichen. Deshalb ist es wichtig, jede Einrichtung in einem Reinstluftraum auf deren beeinträchtigende Wirkung hin zu untersuchen und überprüfen zu können.The inside of a clean air space 10 must be aligned so that all necessary work facilities and devices as well as the people working in the clean air space 10 interfere as little as possible with the laminar air flow. Work tables 22 are specially designed, provided with a perforated table top 24 and set up at a distance from a wall 26 in order to swirl the flow 28 as little as possible. Whirl zones 30 should be avoided as far as possible. However, since complicated work processes are carried out especially in pure air spaces, vortex zones 30 cannot be completely avoided. For example, on a work table 24, a heat plate 32 can be placed on which to treat the object 34 is processed during a warm-up phase. It is obvious that in such Einrichtun conditions apart from the mechanical deflection alone in this simple example from a heat source 32 additional swirls 30 are generated thermally. The necessary work facilities create stowage zones and the swirls 30 invisible dead spaces, which have a very disadvantageous effect on the clean room conditions and favor or enable dirt zones with accumulations of residues and pollutants. It is therefore important to be able to examine and check every facility in a clean air room for its adverse effects.

Dies ist jedoch nur möglich, wenn die Reinstluftströmung sichtbar gemacht werden kann. Die übliche Methode, Luft strömungen dadurch sichtbar zu machen, daß Verunreini gungen in Form von Rauch oder Ölnebel beigegeben werden, bringt erhebliche Nachteile mit sich, die in Reinst lufträumen nicht hingenommen werden können, weil die Beseitigung dieser Verschmutzung die Filter in der Umluftanlage zu sehr beanspruchen würde. Außerdem würde Rauch oder Ölnebel zu Rückstandsbildungen führen konnen, die sich nicht mehr im Luftstrom abführen lassen. Diese Methoden, mit Rauch oder Ölnebel die Luftströmungen sichtbar zu machen, lassen sich nur in Modellräumen anwenden, aber nicht an wirklich dem Zweck entsprechend eingerichteten und genutzten realen Reinstlufträumen.However, this is only possible if the pure air flow can be made visible. The usual method, air to make currents visible in that Verunreini be added in the form of smoke or oil mist, brings with it considerable disadvantages, which in Reinst airspaces cannot be accepted because the Eliminate this contamination in the filters Recirculation system would take too much. Besides, would Smoke or oil mist can lead to residue formation, which can no longer be removed in the air flow. These Methods with smoke or oil mist the air currents can only be made visible in model rooms apply, but not really for the purpose furnished and used real pure air rooms.

Als Ausweg würde sich aus Reinstwasser erzeugter Wasser dampf oder Wassernebel anbieten. Die Dampferzeugung ist aber energieaufwendig, und die verhältnismäßig hohe Mindesttemperatur von Reinst-Wasserdampf kollidiert mit dem Raumklima in Reinstlufträumen 10, wodurch nicht die tatsächlichen ungestörten, sondern nur die bereits durch den heißen Wasserdampf gestörten Strömungsverhältnisse sichtbar gemacht werden können. Außerdem lassen sich die empfindlichen Einrichtungen in Reinstlufträumen nicht mit heißem Dampf anstrahlen, ohne Schaden zu nehmen. An den Flächen dieser Einrichtungen würden zudem unerwünschte Kondensationen stattfinden.Water or water mist generated from ultrapure water would be a way out. The steam generation is energy-intensive, however, and the relatively high minimum temperature of ultrapure water vapor collides with the room climate in ultrapure air spaces 10 , as a result of which not the actual undisturbed, but only the flow conditions already disturbed by the hot water vapor can be made visible. In addition, the sensitive equipment in clean air rooms cannot be illuminated with hot steam without being damaged. Unwanted condensation would also take place on the surfaces of these facilities.

Einfach kalt zerstäubter Wassernebel hat die Folge, daß sofort aus der Reinstluftumgebung Wärme in den Wasser nebel aufgenommen werden würde, was eigene Strömungs komponenten in den sichtbar zu machenden Luftstrom ein bringen würde und deshalb wiederum nicht die tatsächlichen Strömungsverhältnisse, sondern durch die Meßmethode selbst verfälschte Strömungsbilder sichtbar machen würde. Simply cold atomized water mist has the consequence that immediately into the water from the pure air environment mist would be absorbed what own flow components in the airflow to be made visible would bring and therefore again not the actual flow conditions, but by the Measurement method even falsified flow patterns visible would do.

Aus dieser Erkenntnis entstand als Lösung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Meßmethode, die aus folgen den Stufen besteht:
Reinstwasser, was völlig rückstandsfrei ist, wird mit einem Ultraschallzerstäuber aus einem begrenzten Vorrat reinsten Wassers heraus vernebelt;
Reinstluft, welche in Strömungsrichtung dem Reinst luftstrom entnommen ist, wird zunächst um die Temperaturdifferenz erwärmt, die der möglichen Aufnahmewärme des abgegebenen Nebels entspricht und
von einem Luftbeschleuniger beschleunigt;
die beschleunigte Luft nimmt vom Ultraschall zerstäuber zerstäubten Nebel mit und
über ein Verteilungsorgan wird der erwärmte Wasser nebel in den Reinstluftstrom abgegeben, wodurch die vom Wassernebel durchsetzte Reinstluftströmung sichtbar wird.From this knowledge, a measurement method was developed as a solution according to the present invention, which consists of the following steps:
Ultrapure water, which is completely residue-free, is atomized with an ultrasonic atomizer from a limited supply of the purest water;
Ultrapure air, which is taken from the ultrapure air flow in the direction of flow, is first heated by the temperature difference which corresponds to the possible absorption heat of the emitted mist and
accelerated by an air accelerator;
the accelerated air takes away atomized fog from the ultrasonic atomizer and
The heated water mist is released into the ultrapure air flow via a distribution element, which makes the ultrapure air flow permeated by the water mist visible.

Ein Gerät 40, welches diesem Zweck dient, ist in den Fig. 2 bis 4 schematisch angegeben. Dieses Gerät 40 (Fig. 3) wird im Betriebszustand (Fig. 2) von einer Bedienungsperson 42 so gehalten, daß ein Luftstrom 16 reinster Luft parallel zu deren normalen Strömungs richtung aufgenommen und über einen Luftbeschleuniger 44 einem Ultraschallzerstäuber 46 zugeführt, welcher sich im Inneren des Gerätes 40 befindet. Die derart aufge nommene Luft wird zuvor über eine geregelte oder ungeregelte elektrische Widerstandsheizung 48 aufgeheizt. Zur Temperaturkontrolle kann ein Thermostat 50 vorgesehen werden, welcher über einen Schalter 54 die Widerstandsheizung 48 bei Überhitzung abschalten kann. Eine Leuchtanzeige 56 kann den Betriebszustand der Heizung 48 und eine Leuchtanzeige 58 den Betriebszustand des Luftbeschleunigers 44 anzeigen. Ein Hauptschalter 60 vor oder hinter einer Steuer- und Kontrolleinheit 62 dient zur Inbetriebnahme des Gerätes 40.A device 40 which serves this purpose is shown schematically in FIGS. 2 to 4. This device 40 ( Fig. 3) is held in the operating state ( Fig. 2) by an operator 42 so that an air stream 16 of purest air is taken parallel to their normal flow direction and supplied via an air accelerator 44 to an ultrasonic atomizer 46 , which is located inside of the device 40 is located. The air thus taken up is previously heated via a regulated or unregulated electrical resistance heater 48 . A thermostat 50 can be provided for temperature control, which can switch off the resistance heater 48 in the event of overheating via a switch 54 . A light indicator 56 can indicate the operating state of the heater 48 and a light indicator 58 the operating state of the air accelerator 44 . A main switch 60 in front of or behind a control and monitoring unit 62 serves to start up the device 40 .

Der Ultraschallzerstäuber 46 steht mit einem Vorrat 64 reinsten Wassers, welcher sich im Gerät 40 befindet, über eine Leitung 66 so in Verbindung, daß ständig Reinstwasser zum Vernebeln zur Verfügung steht. Die Menge des Reinstwassers zwischen einem oberen Pegel 67 und einem unteren Pegel 68 wird von einer Schaltung 70 überwacht, welche zunächst eine Wassermangelwarnlampe 72 und später über eine elektrische Leitung 74 ein Signal an die Kontrolleinheit 62 abgibt, welches das Gerät 40 bei Wassermangel stillsetzt. Damit das Gerät 40 leicht am Körper einer Bedienungsperson 42 getragen werden kann, ist die Stromversorgungseinheit 76 über ein genügend langes, abriebfestes Kabel 78 mit dem Gerät 40 verbunden. Die Versorgungsspannung von beispielsweise 48 Volt kann entweder dem Netz über ein Kabel 80 oder einer Pufferbatterie in der Stromversorgungseinheit 76 entnommen werden. Ein Auslaß 92 am Ultraschallzerstäuber führt zu einer aufsteckbaren Verteilungseinheit 84 mit einer Mündung 86, aus welcher der erwärmte Wassernebel 88 sichtbar so austritt, daß er von Hand von der Bedienungsperson 42 an die zu untersuchenden Stellen im Reinstluftraum 10 gelenkt werden kann. Turbulenzzonen oder Toträume 30 lassen sich so schadstoff- und rückstandsfrei sichtbar machen und fotografieren. Damit wird eine Methode und ein Gerät verfügbar gemacht, mit dem sich Einrichtungen in Reinstluft-Arbeitsräumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen in einfacher Weise und kostengünstig optimieren lassen. The ultrasonic atomizer 46 is connected to a supply 64 of the purest water, which is located in the device 40 , via a line 66 so that ultrapure water is constantly available for atomizing. The amount of ultrapure water between an upper level 67 and a lower level 68 is monitored by a circuit 70 , which first emits a low water warning lamp 72 and later, via an electrical line 74, a signal to the control unit 62 which stops the device 40 in the event of low water. So that the device 40 can be easily carried on the body of an operator 42 , the power supply unit 76 is connected to the device 40 via a sufficiently long, abrasion-resistant cable 78 . The supply voltage of, for example, 48 volts can either be taken from the network via a cable 80 or a backup battery in the power supply unit 76 . An outlet 92 on the ultrasonic atomizer leads to an attachable distribution unit 84 with an opening 86 , from which the heated water mist 88 emerges so that it can be manually directed by the operator 42 to the locations to be examined in the clean air space 10 . Turbulence zones or dead spaces 30 can thus be made visible and photographed free of pollutants and residues. This makes a method and a device available that can be used to optimize facilities in clean air workrooms or at clean air workplaces in a simple and cost-effective manner.

Das Gerät 40 kann bei abgenommenem Luftbeschleuniger 44 und Verteilerorgan 84 in einem Gerätekoffer 90 neben der Stromversorgungseinheit 76 mit allen Kabel usw. leicht untergebracht werden und wird dadurch zu einer transportablen Einheit.With the air accelerator 44 and the distributor member 84 removed, the device 40 can easily be accommodated in a device case 90 next to the power supply unit 76 with all the cables etc., and thus becomes a transportable unit.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist der innere Wasservorrat 64 eine Naßzelle aus Edelstahl und bildet eine Einheit mit einem Ultraschallschwingkörper. Die elektronische Steuerung und Frequenzumrichtung befindet sich auf einer Platine in der Steuereinheit 62. Die Verdampfungsleistung liegt bei einer praktischen Ausführungsform etwa zwischen 0,4 bis 0,6 kg pro Stunde. Die elektrische Leistungsaufnahme kann auf etwa 85 VA begrenzt werden. Der Ultraschallschwingkörper wird mit einer Betriebsspannung von 48 Volt betrieben und arbeitet mit einer Frequenz von 1,65 MHz. Das Reinst wasser hat einen elektrischen Leitwert von weniger als 20 us. Im Koffer 90 kann noch ein Kunststoffbehälter für Vorratswasser mitgeführt werden.In a preferred embodiment, the inner water reservoir 64 is a stainless steel wet cell and forms a unit with an ultrasonic vibrating body. The electronic control and frequency conversion is located on a board in the control unit 62 . In a practical embodiment, the evaporation capacity is approximately between 0.4 and 0.6 kg per hour. The electrical power consumption can be limited to approximately 85 VA. The ultrasonic vibrating body is operated with an operating voltage of 48 volts and works at a frequency of 1.65 MHz. The ultrapure water has an electrical conductivity of less than 20 us. A plastic container for storage water can also be carried in the case 90 .

Claims

1. A process for pollutant-free and residue-free visibility of flows in clean air workrooms or at clean air workplaces, characterized in that ultrapure water is atomized in a preheated air stream, which is removed in parallel with the laminar clean air flow, by means of ultrasound and can be aligned by hand Distribution organ is released into the clean air space.

2. Apparatus for carrying out the method according to claim 1, characterized in that in a closed, on the body of an operator ( 42 ) portable device ( 40 ) has an ultrapure water supply ( 64 ) with an ultrasonic atomizer ( 46 ) in connection from which Air taken from the laminar flow ( 16 ) of the ultrapure air can be fed via an accelerator ( 44 ) and an electrical resistance heater ( 48 ), the atomized mist ( 88 ) emerging from a flexible delivery unit ( 84 , 86 ).

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the device ( 40 ) is connected via an abrasion-free cable ( 78 ) to a separately deployable power supply unit ( 76 ).

4. Apparatus according to claims 2 and 3, characterized in that the air accelerator ( 44 ) and the resistance heater ( 48 ) are a unit which can be plugged onto the device ( 40 ).