DE3703666C2 - Mikromechanischer Druckschalter - Google Patents
Mikromechanischer DruckschalterInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Druck
knopfschalter, in welchem ein auf einem Siliziumchip
geschaffener mikromechanischer Druckmeßwertwandler als
Schaltelement dient, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Als Druckschalter werden die verschiedensten herkömm
lichen mechanischen Druckknöpfe und neuerdings auch
elektronische Berührungsknöpfe benutzt. Ein mechani
scher Druckknopf besteht aus einem Knopf, einer Feder,
die die Information des Drückens übermittelt, sowie aus
metallischen Kontakten. Der Druckknopf kann entweder
als Unterbrecher- oder Schließschalter wirken. Manch
mal ist mit dem Druckknopf ein Lämpchen verbunden, um
den Zustand des Schalters anzuzeigen. Bei diesen Lämp
chen handelte es sich früher um Glühlämpchen, während
heutzutage Leuchtdioden verwendet werden.
Elektronische Berührungsschalter messen üblicherweise
die Kapazität zwischen dem Schalter und Erde. Bei einer
Änderung dieser Kapazität wird der Schalter getriggert.
Schalter dieser Art enthalten keine beweglichen Teile
und sind deshalb grundsätzlich zuverlässiger als
gleichwertige mechanische Druckschalter.
Der Nachteil mechanischer Druckknöpfe, wie der elektro
mechanischer Schalter insgesamt besteht in ihrer gerin
gen Dauerhaftigkeit bei fortgesetzter Benutzung. Außer
dem erfordern mechanische Druckknopfschalter eine ziem
lich große Drückbewegung. Die Zuverlässigkeit von Be
rührungsschaltern wird durch ihre Empfindlichkeit gegen
über Entladungen statischer Elektrizität beeinträchtigt.
So geschieht es häufig, daß ein kapazitiver Berührungs
knopf in Zimmern, die mit Teppichboden aus Kunstfaser
material ausgelegt sind, spontan getriggert wird. Außerdem
bestehen sowohl mechanische als auch elektroni
sche Rufknöpfe aus einer Anzahl von Bauelementen, die
einzeln zusammengesetzt werden müssen.
Unter Anwendung moderner Mikroschaltungstechniken kön
nen sehr kleine Druckmeßwertwandler hergestellt werden,
bei denen das Erkennen einer Druckänderung auf einer
reversiblen Verformung des Materials beruht. Aufnehmer
dieser Art sind im Betrieb höchst zuverlässig und ver
läßlich.
Aus dem Aufsatz von Angell J.B. et al. "Mikromechanik aus Sili
cium" in Spektrum der Wissenschaft, Juni 1983, S. 38-50, ist
ein mikromechanischer Druckfühler auf Siliciumbasis beschrie
ben, bei dem die elektronische Schaltung, die die Information
des Druckfühlers auswertet, auf demselben Silicium-Chip inte
griert ist. Bei einer Verwendung eines derartigen Druckfühlers
in einem Aufzugsystem besteht die Gefahr, daß das Bauteil durch
übermäßige Beanspruchung, insbesondere durch Vandalismus, be
schädigt wird.
Die DE-A 29 12 049 zeigt einen Taschenrechner, bei dem der Chip
zur Auswertung der Druckimpulse und die druckempfindliche Foli
entastatur auf einer Leiterplatte angeordnet sind. Bei einer
derartigen Tastatur ist eine Zerstörung des Drucksensors durch
übermäßige Beanspruchung weniger zu befürchten, da die Auswer
teeinrichtung und die Drucksensoren nicht auf einem einzigen
Chip integriert sind. Daher besteht bei einer übermäßigen Bean
spruchung der Tastatur keine Gefahr der Zerstörung der Auswer
teeinheit, andererseits ist die Vorrichtung voluminös und auf
wendig.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Druckschalter zu schaffen, der leicht installiert werden kann,
der klein und zuverlässig und unempfindlich gegen übermäßige
Belastung ist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des An
spruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung
sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung beruht auf der Verwendung eines mikrome
chanischen Schalters auf einem Silizium
chip, auf dem die nötige elek
tronische Schaltung integriert ist.
Die elektronische Schaltung kann so
wohl analoge als auch digitale Techniken umfassen und
durch eine der bekannten Herstellungstechniken für in
tegrierte Schaltungen verwirklicht werden (z. B. CMOS).
Der erhaltene integrierte Druckschalter ist klein und
zuverlässig und kann gegebenenfalls so intelligent ge
staltet werden, daß er den Einbau und die Wartungsarbei
ten erleichtert und die Verwirklichung der Idee dezen
tralisierter Steuerung ermöglicht. Der Druckknopf gemäß
der Erfindung ist nicht empfindlich gegenüber Entla
dungen statischer Elektrizität und eignet sich beson
ders gut für die Massenfertigung. Was die Bequemlichkeit
bei seiner Benutzung betrifft, so liegt der mikromecha
nische Druckknopf gleichauf mit dem herkömmlichen Be
rührungsknopf.
Erfindungsgemäß ist zur Aufnahme des Drucksignals eine elasti
sche Druckmembran vorgesehen, die die Druckinformation an einen
Meßwertwandler überträgt. Unter der Druckmembran ist ein Druck
begrenzer vorgesehen, der verhindert, daß übermäßig starker
Druck den Druckmeßwertwandler aus Silicium erreicht. Auf diese
Weise kann der erfindungsgemäße mikromechanische Druckschalter
gegen Vandalismus im Aufzugbereich abgesichert werden.
Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel des Druckschal
ters gemäß der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß
das Schaltelement aus einem an sich bekannten kondensa
torartigen, kapazitiven Druckmeßwertwandler mit Vakuum-
oder Luftisolierung besteht und in einem Siliziumchip
durch Bearbeiten desselben hergestellt ist. Dabei ist
mindestens das dünne Kondensatorplättchen, welches sich
unter dem Drücken des Schalters biegt, Teil des glei
chen Siliziumchips, auf dem integriert die elektronische
Schaltung vorhanden ist. In diesem Fall beruht also die
Arbeitsweise des Schalters auf der Überwachung der
Änderung der Kapazität.
Ein weiteres vorteilhaftes Ausführungsbeispiel des
Druckschalters gemäß der Erfindung zeichnet sich da
durch aus, daß das Schaltelement aus einem dünnen,
durch Bearbeitung in an sich bekannter Weise in einem
Stück Silizium hergestellten Bereich besteht, an des
sen Rändern oder in der Mitte Fremdatome eingearbeitet
wurden, um eine Dehnungsmeßbrücke zu bilden. Der sich
unter dem Einfluß des Drückens des Schalters biegende
Bereich bildet einen Teil des gleichen Siliziumchips,
auf dem integriert die elektronische Schaltung vorhanden
ist. Die Arbeitsweise der Dehnungsmeßbrücke kann auf
der sogenannten piezoresistiven Erscheinung beruhen,
und die Herstellung kann in bekannter Weise
durch Eindiffundieren oder Implantieren von Ionen er
folgen. In diesem Fall verursacht das Drücken des Schal
ters, daß die Brücke ihren Gleichgewichtszustand aufgibt.
Der Schalter ist besonders gut geeignet zur Verwendung
im Zusammenhang mit Aufzügen, bei denen ein Schalter,
der auf dem Niveau eines Absatzes angeordnet ist, Rufe
von außen verzeichnet und ein Schalter, der im Aufzug
korb angeordnet ist, Rufe im Innern verzeichnet und
beide die Informationen an das Aufzugsteuersystem wei
tergeben und die den Zustand des Aufzugs anzeigenden
Leuchtdioden kontrollieren.
Weitere vorteilhafte Ausführungsbeispiele der Erfindung
gehen aus den Ansprüchen hervor.
Im folgenden ist die Erfindung mit weiteren vorteilhaf
ten Einzelheiten anhand schematisch dargestellter Aus
führungsbeispiele näher erläutert. In den Zeichnungen
zeigt:
Fig. 1 das Prinzip eines Druckschalters gemäß einem Aus
führungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 2 das Prinzip eines Druckschalters gemäß einem wei
teren Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 3 eine Seitenansicht eines Druckschalters gemäß
der Erfindung;
Fig. 4 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäß ver
wirklichten Rufknopfsystems für einen Aufzug;
Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel des Rufknopfsystems gemäß
Fig. 4 für die Praxis.
In Fig. 1a ist das Prinzip eines kapazitiven Druckmeß
wertwandlers gezeigt. In ein Siliziumchip 1 ist ein
von zwei Seiten geschwächter Bereich 2 eingearbeitet,
der einem von zwei Kondensatorplättchen bildet. Das
anderem ähnlich bearbeitete, aber nicht gezeigte oder
glatte Kondensatorplättchen 3 ist mit dem zuerst genann
ten Plättchen so verbunden, daß in dem Zwischenraum 4
zwischen beiden Luft oder ein Vakuum verbleibt. Die
Plättchen 1 und 3 aus Silizium sind an der Stelle, an
der der Kondensator gebildet ist, mit einer Schicht aus
Isoliermaterial 5 isoliert. In dem so geschaffenen Kon
densator werden die Kondensatorplättchen durch Druck
änderungen näher zueinander oder weiter voneinander be
wegt, wodurch sich die Kapazität des Kondensators
ändert. In Fig. 1b ist die Ersatzschaltung für diesen
Aufbau gezeigt.
Fig. 2a zeigt die Oberflächengestaltung einer piezore
sistiven Widerstandsbrücke 6. Die Brücke ist auf einer
Siliziumscheibe durch Eindiffundieren oder Einpflanzen
von Ionen ausgearbeitet. Es ist von Vorteil, am Ort der
Widerstandsbrücke 6 in der Siliziumscheibe einen ähnli
chen geschwächten Bereich wie in Fig. 1a auszuarbeiten.
Im Ruhezustand sind alle Widerstände R1-R4 der Brücke
gleich. Wenn Druck auf die Siliziumscheibe wirkt, wer
den in ihr Spannungen und Dehnungen hervorgerufen. In
Übereinstimmung mit der piezoresistiven Erscheinung
ändern sich dann die Kennwiderstandswerte der Widerstän
de R1-R4 proportional zu den in ihnen vorhandenen mecha
nischen Spannungen, wodurch die Widerstandsbrücke ihren
Gleichgewichtszustand verliert. Das ist in bekannter
Weise meßbar, um das Ausmaß des Drucks festzustellen.
Fig. 2b zeigt die Ersatzschaltung für die Widerstands
brücke 6.
In Fig. 3 ist ein Druckschalter gemäß der Erfindung
dargestellt, der eine vordere Tafel 7 aufweist, an der
eine elastische Druckmembran 8 befestigt ist. Unter der
Druckmembran 8 ist ein Druckbegrenzer 9 vorgesehen, der
verhindert, daß übermäßig starker Druck den Druckmeß
wertwandler aus Silizium erreicht. Ferner ist unter
der Membran eine am Druckbegrenzer 9 befestigte Hybrid
schaltung 10 des Druckschalters befestigt. Der Schalter
arbeitet wie folgt. Die Druckinformation wird über
die Druckmembran 8 beispielsweise an einen kapazitiven
Druckmeßwertwandler aus Silizium übertragen, der in der
Hybridschaltung 10 angeordnet ist. Die vom Meßwertwandler
gesteuerte Elektronik auf der Schaltungstafel führt
dann die nötigen Aufgaben aus, um die Schalterfunktion
zu verursachen und die Druckinformation weiterzuleiten,
wie im nachfolgenden Beispiel noch näher erläutert wird.
In Fig. 4 ist in Form eines Blockschaltbildes ein Druck
schaltersystem zur Anwendung bei einem Aufzug darge
stellt, welches die folgenden hauptsächlichen Bauelemente
aufweist: einen kapazitiven oder piezoresistiven Druck
meßwertwandler 11 aus Silizium, Druckmeßelektronik 12,
intelligente Halte- und Kommunikationslogik 13, einen
Treiber 14 für Leuchtdioden 15 und eine Schnittstellen
anpassung 16 für den Aufzug. Eine Druckänderung wird
mit Hilfe der Druckmeßelektronik 12 festgestellt.
Die Halteschaltung 13 verzeichnet einen Ruf, und ihre
Kommunikationslogikübermittelt die entsprechende Infor
mation seriell oder parallel durch die Schnittstellen
anpassung 16 an eine Aufzugsteuerung 17. Diese Steuerung
nimmt daraufhin den Ruf an oder weist ihn zurück und
überträgt eine Bestätigung zurück durch die Schnitt
stellenanpassung 16 an die Halte- und Kommunikationslo
gik 13. Wurde der Ruf von der Aufzugsteuerung angenom
men, so leuchten auf dem Weg über den Treiber 14 die
Leuchtdioden 15 auf. Nach Bedienung des Rufs überträgt
die Aufzugsteuerung einen Ruflöschbefehl über die
Schnittstellenanpassung 16 an die Halte- und Kommunika
tionslogik 13.
In Fig. 5 ist ein Ausführungsbeispiel für die Praxis der
Druckschalteranlage gemäß Fig. 4 dargestellt. Die in
fig. 5 gezeigte Einheit ist eine Rufknopfstation für
einen Aufzug zur Anbringung auf einem Absatz. Sie be
steht hauptsächlich aus zwei Druckschaltern 18 und zwei
Pfeilen 19, welche die Richtung des aufgenommenen Rufs
angeben. Die Einheit ist teilweise im Schnitt darge
stellt, wobei im oberen Teil das äußere Gehäuse der Sta
tion mit einer Druckmembran 20 des Druckschalters zu se
hen ist. Unterhalb ist die ganze Druckknopfstation 18
erkennbar, die auf einer Basis 21 aus Keramik angebracht
ist. Die Basis kann aber auch aus einer Platte aus einem
anderen dauerhaften Spezialwerkstoff, beispielsweise
Epoxyharz bestehen. Der Schalter selbst ist mit 22 be
zeichnet und in seiner Mitte ist der Druckmeßwertwand
ler 23 zu erkennen. Die auf dem gleichen Stück Silizium
wie der Druckmeßwertwandler integrierte Elektronik ist
ebenso wenig dargestellt wie der Druckbegrenzer des
Schalters. Das aus Leuchtdioden zusammengesetzte Symbol
des Pfeils 19 ist ebenso wie der Druckschalter 22 auf
der gleichen Basis 21 aus Keramik angebracht. Mit 24
ist ein Speisespannungsfilter bezeichnet, dessen Aufgabe
es ist, die dem Schalter zugeführte Spannung von Wel
ligkeit und Störspitzen zu befreien. Bezugszeichen 25
bezeichnet die Schnittstelle, über die die Rufknopfsta
tion mit der Aufzugsteuerung in Verbindung steht. Wenn
einer der Druckknöpfe 20 betätigt wird, leuchtet der
entsprechende Pfeil 19 aus Leuchtdioden auf, nachdem
die Aufzugsteuerung zunächst den Ruf angenommen und die
entsprechenden Schritte zu seiner Bedienung unternommen
hat.
Claims (6)
1. Mikromechanischer Druckschalter, in dem ein auf einem
Siliziumchip gebildeter mikromechanischer Druckmeßwertwandler
als Schaltelement (2, 3, 6) dient, das zumindest teilweise auf
demselben Siliziumchip (1) gebildet ist, auf welchem die
elektronische Schaltung (12, 13, 16) integriert ist, die die
Schaltinformationen empfängt und auswertet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Druckschalter eine vordere Tafel (7) aufweist, an der eine elastische Druckmembran (8) befestigt ist, und
daß unter der Druckmembran (8) ein Druckbegrenzer (9) vorgesehen ist, der verhindert, daß der Druckmeßwertwandler mit übermäßig starkem Druck beaufschlagt wird.
daß der Druckschalter eine vordere Tafel (7) aufweist, an der eine elastische Druckmembran (8) befestigt ist, und
daß unter der Druckmembran (8) ein Druckbegrenzer (9) vorgesehen ist, der verhindert, daß der Druckmeßwertwandler mit übermäßig starkem Druck beaufschlagt wird.
2. Druckschalter nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Druckmeßwertwandler in einer Hybridschaltung (10) angeordnet ist, und
daß die Hybridschaltung (10) am Druckbegrenzer (9) befestigt ist.
daß der Druckmeßwertwandler in einer Hybridschaltung (10) angeordnet ist, und
daß die Hybridschaltung (10) am Druckbegrenzer (9) befestigt ist.
3. Druckschalter nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das das
Schaltelement (23) und die elektronische Schaltung (12, 13, 16) ent
haltende Siliziumchip auf einer geeigneten Basis, z. B.
einer Platte (21) aus Keramik oder Epoxyharz befestigt
ist, an dem auch Leuchtdioden (19) angebracht sind, wel
che den Zustand des Schalters anzeigen, und daß der
Druckschalter als eine einzige, die genannten Bauele
mente aufweisende Einheit ausgebildet ist.
4. Druckschalter nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, daß der Schalter
zum Aufzeichnen der Außenrufe eines Aufzugs auf Absätzen
und zum Aufzeichnen der Innenrufe in einem Aufzugkorb
und zur Eingabe der Rufe in die Aufzugsteuerung ge
staltet ist.
5. Druckschalter nach einem der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Schalt
element aus einem an sich bekannten kondensatorartigen,
kapazitiven Druckmeßwertwandler mit Vakuum- oder Luft
isolierung besteht, der in das Stück Silizium eingear
beitet ist, und in dem mindestens das sich unter der
Wirkung des Drückens des Schalters biegende dünne Kon
densatorplättchen (2) Teil des gleichen Siliziumchips
(1) ist, auf welchem die Elektronik (12, 13, 16) inte
griert ist.
6. Druckschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das Schalt
element aus einem dünnen Bereich besteht, der in be
kannter Weise in dem Stück Silizium ausgearbeitet ist,
und an dessen Rändern oder in dessen Mitte Fremdatome
zur Schaffung einer Dehnungsmeßbrücke (6) eingearbeitet
sind, und daß der sich unter der Wirkung des Schalter
drückens biegende Bereich Teil des gleichen Silizium
chips (1) ist, auf dem die Elektronik (12, 13, 16) inte
griert ist.
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