DE3674744D1 - Verfahren zum ziehen von einkristallen mit einer zweitiegelvorrichtung und zweitiegelvorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens. - Google Patents

Verfahren zum ziehen von einkristallen mit einer zweitiegelvorrichtung und zweitiegelvorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens.

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4919901A (en) * 1987-12-31 1990-04-24 Westinghouse Electric Corp. Barrier design for crucibles for silicon dendritic web growth
JP3015656B2 (ja) * 1994-03-23 2000-03-06 株式会社東芝 半絶縁性ＧａＡｓ単結晶の製造方法および製造装置
GB9412629D0 (en) * 1994-06-23 1994-08-10 Secr Defence Improvements in crystal growth
TW430699B (en) * 1995-12-27 2001-04-21 Mitsubishi Material Silicon Co Single crystal pulling apparatus
JP3769800B2 (ja) * 1996-01-12 2006-04-26 株式会社Ｓｕｍｃｏ 単結晶引上装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2892739A (en) * 1954-10-01 1959-06-30 Honeywell Regulator Co Crystal growing procedure
NL112257C (de) * 1958-07-11
US4352784A (en) * 1979-05-25 1982-10-05 Western Electric Company, Inc. Double crucible Czochralski crystal growth apparatus
US4456499A (en) * 1979-05-25 1984-06-26 At&T Technologies, Inc. Double crucible Czochralski crystal growth method
US4246064A (en) * 1979-07-02 1981-01-20 Western Electric Company, Inc. Double crucible crystal growing process
DE3316547C2 (de) * 1983-05-06 1985-05-30 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Kalter Tiegel für das Erschmelzen nichtmetallischer anorganischer Verbindungen
JPS60176997A (ja) * 1984-02-23 1985-09-11 Sumitomo Electric Ind Ltd 低転位密度の３−５化合物半導体単結晶
JPS60251191A (ja) * 1984-05-25 1985-12-11 Res Dev Corp Of Japan 高解離圧化合物単結晶成長方法
JPS6426591A (en) * 1987-07-20 1989-01-27 Yasumitsu Tamura Anthracyclines or anthracyclinones not containing hydroxyl group at 11-position

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