DE3622527A1 - - Google Patents

Description

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Absperrvorrichtung für Gasbehälter mit einer aus dem Behälter zu einer Ventilkammer führenden Gasdruckleitung, die durch ein Verschlußventil von einer Gasabführungsleitung abschließbar ist.

Für Fälle, in denen höchstreine Gase zu verschiedenen Produktionszwecken, wie z. B. die Halbleiterfertigung, benötigt werden, sind übliche Verschlußventile für Gasbehälter wenig geeignet. Die Verwendung reinster Gase läßt keine Verunreinigung durch auch die geringsten Mengen zu, die in der Ventilkammer oder der Gasabführungsleitung dieser Ventile vorhanden sein könnten. Darüber hinaus sind spezielle Reinstgase mit Luft unverträglich, korrosiv oder toxisch. So würde beispielsweise Silan bei Berührung mit Luftresten in der Ventilkammer verpuffen. Toxische Gase würden das Arbeitspersonal gefährden. Es ist zwar möglich, sämtliche abgangsseitigen Versorgungsleitungen über einen getrennten Spülkreislauf mit einem dafür geeigneten Gas zu spülen, um beim Start, nach Unterbrechungen oder Öffnungen des gasführenden Systems die Anlagen zunächst zu inertisieren, jedoch bleibt bei diesen Spülvorgängen das Verschlußventil unzureichend gespült, weil es nicht im direkten Spülstrom angeordnet, sondern nur durch die Gasabführungsleitung zugänglich ist; denn auf der Zuströmseite befindet sich ja der Gasvorrat. Zur Spülung der sackartigen Räume des Verschlußventils selbst sind gesonderte Handhabungen wie aufwendige und im Erfolg unsichere Intervallspülung notwendig, zu denen die Gasabfüi.rungsleitung von den übrigen Verbraucherleitungen jetrennt werden muß. Die danach verbleibenden Verunreinigungen entsprechen dann immer noch nicht den hohen Anforderungen an die Reinstgas-Atmosphäre.

Aus der DE-PS 6 67 378 ist ein Verschlußventil bekanntgeworden, das zum Abschluß von Hochdruckgasbehältern dient und gleichzeitig als Entlüftungsventil für die Gasabführungsleitung ausgebildet ist. Ein Schließbolzen öffnet und schließt wechselweise sowohl ein Hochdruckventil als auch ein Entlüftungsventil. Bei geöffnetem Hochdruckventil strömt Gas aus dem Behälter in die Gasabführungsleitung zu einem Verbraucher. Soll der Behälter verschlossen werden, wird der Schließbolzen gegen das Hochdruckventil gedrückt und gibt dabei gleichzeitig das Entlüftungsventil frei. Der in der Ventilkammer und der Gasabführungsleitung befindliche Unterdruck kann dann über das geöffnete Entlüftungsventil in die Umgebung entweichen.

Dieses bekannte Verschlußventil ist für die Verwendung mit Reinstgasen nicht geeignet, weil bei jeder Betriebsunterbrechung und Schließen des Hochdruckventils die Ventilkammer und die Gasabführungsleitung über das Entlüftungsventil mit der Umgebung in Verbindung gebracht werden und von dorther dann erneut verunreinigt würden. Ein weiterer Übelstand ist, daß während einer Übergangsphase beim öffnen oder Schließen, in der Hochdruck- und Entlüftungsventil gleichzeitig offenstehen, Gasvorrat und Umgebung verbundensind.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Absperrvorrichtung der genannten Art so auszubilden, daß in seinem betriebsfertigen Gebrauchszustand Ventilkammer und Gasabführungsleitung sowie sonstige gasführenden abgangsseitige Räume bis hin zu dem Ventilsitz gespült werden können, wobei Zugang und Abgang des Spülstromes auf verschiedenen Wegen erfolgen und die Spülung unabhängig vom Betätigen des Verschlußventils erfolgen kann.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt dadurch, daß eine in die Ventilkammer mündende, mit einem Spülventil ausgestattete Spülleitung vorgesehen ist.

Über die Spülleitung kann nunmehr bei geschlossenem Verschlußventil das Inertgas durch die Ventilkammer in die Gasabführungsleitung gebracht werden, so daß eine Durchspülung des gesamten gasführenden Systems bis hin zum jeweiligen Verbraucheranschluß durchgeführt wird, wobei auch solche Verunreinigungen vollständig ausgetrieben werden können, die in der Ventilkammer und dort besonders um den Ventilsitz herum eingefangen sind.

Eine besonders günstige Ausführungsform wird dadurch erzielt, daß das Spülventil in dem Ventilkörper eingebaut ist und die Spülleitung dessen Spülventilkammer durchsetzt. Dadurch wird das hinter dem Spülventil verbleibende Totraumvolumen deutlich verringert, als wenn das Spülventil an irgendeiner Stelle innerhalb der Spülleitung zwischengeschaltet ist.

Um ein geringstmögliches Totraumvolumen zu erhalten, ist die Mündung der Spülleitung als Durchlaßkanal des Spülventilsitzes ausgebildet, so daß Spülventil und Ventilkammer des Verschlußventils in unmittelbarer Nachbarschaft zueinander angeordnet sind. Die Länge des Durchlaßkanals wird dann nur noch durch die notwendige Wanddicke der Ventilkammer bestimmt.

Die Anordnung der Ventile erlaubt eine Spülung sowohl mit Brauchgas, läßt aber auch eine gefahrlose Spülung mit Inertgasen zu, um z. B. bei Verwendung von sehr giftigen und aggressiven Gasen vor und nach dem Wechsel des Gasbehälters eine ungefährliche Atmosphäre zu schaffen. Im letzten Fall wird bereits nach kurzem Strömen oder Intervallabfluß des Brauchgases dessen erforderliche Reinheit erreicht, weil Toträume wie der Durchlaßkanal möglichst klein gehalten sind.

Eine weitere vorteilhafte Anordnung für die Mündung der Spülleitung wird darin gesehen, daß sie diametral gegenüber der Gasabführungsleitung in die Ventilkammer eintritt. Dadurch wird erzielt, daß selbst engste Räume innerhalb der Ventilkammer im Durchströmungsverfahren wirkungsvoll gespült werden.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand einer schematischen Zeichnung dargestellt und im folgenden näher erläutert.

Die einzige Figur zeigt die Schnittdarstellung einer Absperrvorrichtung. Sie besitzt einen Ventilkörper (1), in welchem ein Verschlußventil (2, 3) zwischen einer Gasdruckleitung (4) und einer Gasabführungsleitung (5) angeordnet ist. Weiterhin befindet sich in dem Ventilkörper (1) ein Spülventil (6,7), in dessen Spülventilkammer (8) eine Spülleitung (9) eingeführt ist. Der Spülventilsitz (7) ist gleichzeitig die Öffnung für einen Durchlaßkanal (10), der als Mündung der Spülleitung (9) in der Ventilkammer (11) des Verschlußventils (2, 3) endet. Beide Ventile sind als Kugelventile ausgebildet, deren Ventilkugeln (2, 6) in geschlossenem Zustand der Ventile auf ihre entsprechenden Ventilsitze (3, 7) gedrückt sind. Sowohl das Verschlußventil (2,3) als auch das Spülventil (6, 7) sind durch Verschlußspindel (12) und Spülspindel (13) über entsprechende Bolzen (14,15) betätigbar. Für eine entsprechende Gasabdichtung sorgen Membranen (16,17). Die Verschlußspindel (12) ist über ein Handrad (18) und die Spülspindel (13) über einen Vierkantanschluß (19) beispielsweise mit Hilfe eines nicht dargestellten Schlüssels bedienbar. Die Spülleitung (9) kann über einen Spülanschluß (20) an eine nicht dargestellte Spülgasversorgung angeschlossen werden. Die Gasabführungsleitung (5) ist mit einem Vehtilseitenanschluß (21) versehen, an welchen der Verbraucher angeschlossen werden kann. Die Verbindung des Ventilkörpers (1) mit dem nicht dargestellten Gasbehälter stellt ein Einschraubstutzen (22) her.

Zum Spülen der Absperrvorrichtung wird bei geschlossenem Verschlußventil (2, 3) das Spülventil (6, 7) geöffnet, so daß das Spülgas aus der Spülleitung (9) in die Spülventilkammer (8) und von dort über den Durchlaßkanal (10) in die Ventilkammer (11) und aus der Gasabführungsleitung (5) zu dem Versorgungsanschluß (21) austreten kann. Die notwendige Dauer der Spülung kann dadurch ermittelt werden, daß die Reinheit des Gases durch Kontrolle in der Gasabführungsleitung ermittelt wird, so daß bei Erreichen der gewünschten Gasqualität das Spülventil (6,7) wieder geschlossen werden kann. Durch öffnen des Verschlußventils (2, 3) kann jetzt das Brauchgas über die Gasdruckleitung (4) in die Gasabführungsleitung (5) geführt werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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Claims (3)

Patentansprüche

1. Absperrvorrichtung für Gasbehälter mit einer aus dem Behälter zu einer Ventilkammer führenden Gasdruckleitung, die durch ein Verschlußventil von einer Gasabführungsleitung abschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine in die Ventilkammer (11) mündende, mit einem Spülventil (6,7) ausgestattete Spülleitung (9,10) vorgesehen ist.

2. Absperrvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spülventilkammer (8) im Ventilkörper (1) mit ihrem Spülventilsitz (7) in unmittelbarer Nachbarschaft zur Ventilkammer (11) des Verschlußventils (2, 3) angeordnet, und die Mündung der Spülleitung (9) als Durchlaßkanal (10) des Spülventilsitzes (7) ausgebildet ist.

3. Absperrvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mündung (10) der Spülleitung (9) in die Ventilkammer (11) diametral gegenüber der Gasabführungsleitung (5) angeordnet ist.