DE3620676C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3620676C2
DE3620676C2 DE19863620676 DE3620676A DE3620676C2 DE 3620676 C2 DE3620676 C2 DE 3620676C2 DE 19863620676 DE19863620676 DE 19863620676 DE 3620676 A DE3620676 A DE 3620676A DE 3620676 C2 DE3620676 C2 DE 3620676C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
substrate
flow
outlet channel
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19863620676
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3620676A1 (de
Inventor
Alfred 8031 Maisach De Pichler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19863620676 priority Critical patent/DE3620676A1/de
Publication of DE3620676A1 publication Critical patent/DE3620676A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3620676C2 publication Critical patent/DE3620676C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02—Local etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Weting (AREA)
DE19863620676 1986-06-20 1986-06-20 Verfahren und vorrichtung zur nasschemischen bearbeitung von substraten in duennschichttechnologie Granted DE3620676A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863620676 DE3620676A1 (de) 1986-06-20 1986-06-20 Verfahren und vorrichtung zur nasschemischen bearbeitung von substraten in duennschichttechnologie

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863620676 DE3620676A1 (de) 1986-06-20 1986-06-20 Verfahren und vorrichtung zur nasschemischen bearbeitung von substraten in duennschichttechnologie

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3620676A1 DE3620676A1 (de) 1987-12-23
DE3620676C2 true DE3620676C2 (es) 1991-01-17

Family

ID=6303317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863620676 Granted DE3620676A1 (de) 1986-06-20 1986-06-20 Verfahren und vorrichtung zur nasschemischen bearbeitung von substraten in duennschichttechnologie

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3620676A1 (es)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3437543A (en) * 1965-03-09 1969-04-08 Western Electric Co Apparatus for polishing
US3640792A (en) * 1970-08-07 1972-02-08 Rca Corp Apparatus for chemically etching surfaces

Also Published As

Publication number Publication date
DE3620676A1 (de) 1987-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69333938T2 (de) Düse zur Verwendung in einer Sprühvorrichtung
EP0408021B1 (de) Vorrichtung zum Transportieren und Positionieren von scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiterscheiben, und Verfahren zur nasschemischen Oberflächenbehandlung derselben
DE19655219C2 (de) Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter
DE2364135A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen der oberflaeche eines gegenstandes
DE2551251A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen behandlung einer fluessigkeit zum waschen eines gases
DE4445985A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Belackung oder Beschichtung eines Substrats
DE3813259C2 (es)
EP0972575B1 (de) Vorrichtung zur Belackung oder Beschichtung eines Substrats
WO1998018155A1 (de) Vorrichtung zum behandeln von substraten
DE3620676C2 (es)
DE1287042B (de) Gaswaescher
EP1844866A1 (de) Hub-Tauchanlage
EP3202709B1 (de) Abformwerkzeug mit magnethalterung
DE2261674C3 (de) Vorrichtung zum Ansaugen und Beimischen von Zusatzstoffen in einen Flüssigkeitsstrom einer Badearmatur od.dgl
DE9316759U1 (de) Vakuum-Durchlauf-Rundum-Beschichtungskammer
DE4337438A1 (de) Verfahren zum Durchlauf-Vakuum-Rundumbeschichten
EP2442078A1 (de) Verschlusseinrichtung und Verfahren zum Betrieb der Verschlusseinrichtung
DE69003182T2 (de) Zerstäuber zur Bildung einer dünnen Schicht.
WO2016062508A1 (de) Wasserstrahl-schneidvorrichtung
EP1792666A2 (de) Automatisierte Reinigung von offenen Behältern
DE3331816A1 (de) Aetzvorrichtung fuer metall- und halbleiterscheiben
DE19857668A1 (de) Reinigungskopf einer Reinigungsvorrichtung für Fenster- und Fassadenflächen
EP0498351B1 (de) Beschichtungseinrichtung
DE10313692B4 (de) Verfahren zur Oberflächen-und/oder Tiefenbehandlung von zumindest einem Halbleitersubstrat und Tauchbadvorrichtung dazu
EP1105030B1 (de) Reinigungsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee