DE3538456A1

DE3538456A1 - Vakuumsteuervorrichtung

Info

Publication number: DE3538456A1
Application number: DE19853538456
Authority: DE
Inventors: Yoji Ise; Teruo Kanno; Akira Tokio/Tokyo Yamaguchi
Original assignee: Myotoku Ltd
Current assignee: Convum Ltd
Priority date: 1984-10-29
Filing date: 1985-10-29
Publication date: 1986-06-19
Also published as: US4687021A; JPS61104516A; KR860003639A; FR2572558A1

Description

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VAKUUMSTEUERVORRICHTUNG

Die Erfindung betrifft einen Vakuumsteuervorrichtunginsbesondere einen Vakuumventil-Fühler in einer Vakuumregelvorrichtung, die nicht nur die Größe eines Vakuums, d. h. die Größe des negativen Drucks, messen kann, sondern auch ein Einwegventil enthält, das die Aufrechterhaltung eines Vakuumzustandss selbst dann ermöglicht, wenn die Vakuumerzeugung svorrichtung nicht ständig betrieben wird.

In der folgenden Beschreibung der Erfindung und in den Ansprüchen wird der Ausdruck "Vakuum" mit der Bedeutung von Luft verwendet, deren Druck im wesentlichen unter dem atmosphärischen Umgebungsdruck liegt.

Bei bisherigen Vakuumregelvorrichtungen sind Druckfühler zur Messung des erzeugten Vakuums bekannt. .Somit war eine Messung möglich, ob die benötigte Größe des Vakuums erzeugt wurde oder nicht. Ferner ist es bei bisherigen Vakuumregelvorrichtungen an sich bekannt, eine Vakuumerhaltungsvorrichtung vorzusehen, d. h, ein Einwegventil zur Verringerung des Verbrauchs an Vakuum und zum Halten des Vakuums auf einem hohen Niveau.

Weil jedoch bei derartigen bisherigen Vorrichtungen ein Druckfühler und ein Einwegventil als gesonderte Elemente vorgesehen wurden, mußte die Leitungsanordnung zwischen der Vakuumregelvorrichtung und der Vakuumerzeugungsvorrichtung oder alternativ zwischen der Vakuumregelvorrichtung und der das Vakuum verwendenden Vorrichtung (etwa einem Saugglied zum Anheben von Gegenständen) kompliziert sein.

BAD ORIGINAL

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Auch fällt manchmal der durch das Einwegventil aufrechterhaltene Vakuumzustand oder das Vakuumniveau im Verlauf der Zeit ab auf Grund von Leckverlusten von Luft aus einer ein solches Vakuum verwendenden Vorrichtung oder aus einer Stelle in der hierzu führenden Leitungsanordnung. Wenn in einem solchen Fall ein Abfall des Vakuumniveaus auftritt, muß er sofort durch den Druckfühler ermittelt werden, damit die Vakuumerzeugungsvorrichtung wieder in Betrieb gesetzt wird. Da, wenn das richtige Vakuumniveau nicht aufrechterhalten wird, die das Vakuum aufnehmende Vorrichtung versagen kann, kann für den Fall, daß diese Vorrichtung ein Saughebeglied ist, ein durch das Saughebeglied angehobener Gegenstand oder ein davon angehobenes Werkstück herabfallen.

Hauptaufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung einer Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung, die die oben angegebenen Probleme vermeidet.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer solchen Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung, die durch eine einfache Leitungsanordnung mit einer Vakuumerzeugungsvorrichtung und mit einer ein Vakuum verwendenden Vorrichtung verbunden werden kann.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer solchen Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung, die zugleich durch Verwendung eines Einwegventils und eines Vakuumfühlers ein Vakuum auf einem gewünschten Niveau halten und das aufrechterhaltene Vakuumniveau überwachen kann.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer solchen Vakuümventil-Fühler-Vorrichtung, die ein schnelles Ansprechen auf ein Abfallen des aufrechterhaltenen Vakuumniveaus vorsehen kann.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer

solchen Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung, die gleichzeitig billig und zuverlässig ist.

Gemäß dem allgemeinsten Aspekt der Erfindung werden diese und weitere Aufgaben durch eine Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung gelöst, die an einer Vakuumquelle anzubringen ist und sich auszeichnet durch ein Einweg-ventil, welches das Strömen von Gas ausschließlich zur Vakuumquelle ermöglicht, und durch einen Druckfühler, der entfernt von der Vakuumquelle auf einer Seite des Einweg ventils angeordnet ist.

Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung anhand der Zeichnung beispielsweise beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 einen senkrechten Schnitt der bevorzugten Ausführungsform der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung der Erfindung gesondert von einer Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung, von der sie einen Teil bildet;

Fig. -2 eine Seitenansicht der Vorrichtung von Fig. 1; Fig. 3 eine Draufsicht der Vorrichtung von Fig. 1; Fig. 4 eine Unteransicht der Vorrichtung von Fig. 1;

Fig. 5 eine allgemeine Vorderansicht einer Vakuumregelvorrichtung mit der bevorzugten Ausführungsform der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung der Erfindung.

Fig. 6 eine Draufsicht einer Grundanordnung in der Vakuumregelvorrichtung ;

Fig. 7 einen senkrechten Schnitt der Grundanordnung von Fig. 6;

Fig. 8 eine Vorderansicht der Grundanordnung von Fig. 6;

Fig. 9 einen senkrechten Schnitt einer Filteranordnung in der Vakuumregelvorrichtung;

Fig.10 eine Unteransicht der Filteranordnung von Fig. 9;

Fig.11 einen senkrechten Schnitt einer Vakuumaufhebeventilanordnung in der Vakuumregelvorrichtung;

Fig.12 eine teilweise weggeschnittene Draufsicht der Ventilanordnung von Fig. 11;

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Fig.13 eine Unteransicht der Ventilanordnung von Fig. 11;

Fig.14 eine vergrößerte Ansicht eines Solenoidkern-Spitzenteils und eines hiermit verbundenen Ventilglieds von einer Bauart in der Vakuumaufhebeventilanordnung und auch in einer Vakuumerzeugungsvorrichtung, die in der Vakuumregelvorrichtung enthalten sind, gezeigt in ihren Stellungen, in denen zu einem Solenoid der Vakuumaufhebeventilanordnung keine elektrische Energie geliefert wird;

Fig.15 eine ähnliche Ansicht der Teile in ihren Stellungen kurz nach Aktivierung des Solenoids·;

Fig.16 eine ähnliche Ansicht der Teile in ihren Stellungen, wenn das Solenoid für eine kurze Zeit aktiviert wurde;

Fig.17 einen senkrechten Schnitt der Vakuumerzeugungsvorrichtung in der Vakuumregelvorrichtung von Fig. 5;

Fig.18 eine Seitenansicht der Vakuumerzeugungsvorrichtung von Fig. 17;

Fig.19 eine teilweise weggeschnittene Draufsicht der Vakuumerzeugungsvorrichtung von Fig. 17;

Fig.20 eine Unteransicht der Vakuumerzeugungsvorrichtung von Fig.17.

Die Erfindung wird nun mit Bezug auf eine Anwendung ihrer bevorzugten Ausführungsform und in Verbindung mit der Zeichnung beschrieben. Fig. 5 ist eine allgemeine Vorderansicht einer Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung, die die bevorzugte Ausführungsform enthält. Diese Vakuumerzeugungsund Regelvorrichtung enthält die folgenden Hauptteile und ist eine funktioneile Kombination hiervon. Diese Hauptteile sind auf einer Grundanordnung 100 aufeinanderfolgend übereinander angeordnet und enthalten: eine Filteranordnung 200, eine Vakuumaufhebeventilanordnung 3 00 zum Aufheben des gelieferten Vakuumzustands, wenn dies wünschenswert zu sein scheint, eine Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400, die die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist, und eine Vakuumerzeugungsvorrichtung 500. Alle diese Teile haben ähnliche äußere Ausbildungen und sind in Hauptblöcken untergebracht,

die allgemein als rechteckige Parallelepipede mit flachen Ober- und Unterseiten ausgebildet sind. Sie werden nun alle in aufsteigender Reihenfolge ihres Anbringungsorts beschrieben.

Als erstes wird mit Bezug auf Fig. 6 bis 8 die Grundanordnung 100 beschrieben. Der Hauptblock dieser Grundanordnung 100 hat die Form einer länglichen dicken Platte oder eines abgeflachten rechtwinkeligen Parallelepipeds. In seiner Oberseite sind als mit Hülsen versehenen Bohrungen eine Hochdrucklufteinführungsbohrung 101 und eine Vakuumansaugbohrung 102 ausgebildet. Diese Bohrungen 101 und 102 befinden sich auf der ungefähren Mittellinie der Längsrichtung oder längeren Richtung der rechteckigen Oberseite der Grundanordnung 100 auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt. An den äußeren Enden der Hochdrucklufteinführungsbohrung 101 und der Vakuumansaugbohrung 102, wo sie zur Oberseite des Hauptblocks münden, sind Ansenkungen 103 zur Aufnahme von nicht gezeigten druckdichten Dichtungen ausgebildet. Diese Dichtungen können zum Beispiel Stahlscheiben oder dgl. sein, die etwas zusammengequetscht werden und hermetische Dichtungen bilden, wenn sie durch den Klemmdruck zwischen der Grundanordnung 100 und der auf deren Oberseite montierten Filtervorrichtung 200 verformt werden.

Ferner sind in der Oberseite des Hauptblocks der Grundanordnung 100 längs jeder der Längsseiten des Hauptblocks mehrere (bei der bevorzugten Ausführungsform zwei) Verankerungsbohrungen 104 ausgebildet, die zur Verankerung und Befestigung der anderen oben aufgeführten Hauptelemente der Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung dienen. Diese Verankerungsbohrungen 104 sind mit Innengewinde versehen. An den vier Ecken des Hauptblocks der Grundanordnung 100 sind vier Durchgangsbohrungen 106 durch den Hauptblock ausgebildet, die zur Befestigung der Grundanordnung 100 und hierdurch der Vakuumerzeu-

gungs- und Regelvorrichtung als Ganzes sicher an einem im einzelnen nicht gezeigten äußeren Glied durch Befestigungsschrauben dienen, die ebenfalls nicht im einzelnen gezeigt sind. Ferner ist der Hauptblock mit Ausnehmungen 105 an den oberen Enden der Durchgangsbohrungen 106 versehen zur Aufnahme der Köpfe der Befestigungsschrauben nach Art von Ansenkungen, wodurch die Schraubenköpfe daran gehindert werden, über die Oberseite des Hauptblocks der Grundanordnung überzustehen. Da die Grundanordnung TOO nach Wunsch in irgendeiner festgelegten Stellung durch die Verwendung dieser Befestigungsschrauben verankert werden kann, ist demnach die Montagearbeit der Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung insgesamt vereinfacht.

Aus jeder der Hochdrucklufteinführungsbohrung 101 und der Vakuumansaugbohrung 102 erstrecken sich drei Leitungen 107: Eine erste, die zur Endfläche des Hauptblocks der Grundanordnung 100 in nächster Nähe zur Bohrung 101 oder 102 mündet, während die anderen beiden zu jeder der vorderen und hinteren Flächen des Hauptblocks münden und sich somit im wesentlichen im rechten Winkel zur ersten Leitung 107 erstrecken. Die Enden dieser Leitungen 107 sind an ihrer Mündungsstelle zur Aussenseite des Hauptblocks mit Innengewinde 108 versehen. Es gibt somit viele Möglichkeiten zur Verbindung der im einzelnen nicht gezeigten und von außen kommenden Leitungen mit dieser Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung durch das Vorsehen dieser drei alternativ verwendbaren Leitungen 107 mit ihren Innengewinden 108, die zur Aufnahme der Außengewinde der Befestigungsringe für diese Leitungen dienen. Während des Betriebs der Vakuumerzeugung^- und Regelvorrichtung sollen diejenigen Leitungen 107, mit denen keine Leitungen auf diese Weise verbunden sind, durch Einschrauben von Absperrschrauben in ihre Gewindeenden 108 abgesperrt werden.

Als nächstes wird mit Bezug auf Fig. 9 und 10 die Filteranordnung 200 beschrieben. Diese Filteranordnung 200 enthält

einen Hauptblock 210, der wieder ausgebildet ist in der Form einer länglichen dicken Platte oder eines abgeflachten rechteckigen Parallelepipeds von ungefähr derselben Breite wie der Hauptblock der Grundanordnung 100, um sich an diesen anzupassen, jedoch im wesentlichen kürzer als dieser zu sein. Die Filteranordnung 2 00 enthält eine Hochdruckseitenfilterkappe 230, die durch im einzelnen nicht gezeigte Mittel auf der linken oder Hochdruckseite ihres Hauptblocks 210 befestigt ist, und eine Niederdruckseitenfilterkape 250, die durch im einzelnen nicht gezeigte Mittel auf der rechten oder Niederdruckseite ihres Hauptblocks 210 befestigt ist. In der Unterseite des Hauptblocks 210 (Fig. 9) sind als mit Hülsen versehene Bohrungen eine untere Hochdruckluftbohrung 211 und eine untere Vakuumbohrung 212 ausgebildet. Diese unteren Bohrungen 211 und 212 befinden sich auf der ungefähren Mittellinie in der Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Unterseite der Filteranordnung 200 auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt an Stellen, die der Hochdrucklufteinführungsbohrung 101 bzw. der Vakuumansaugbohrung 102 des Hauptblocks der Grundanordnung 100 entsprechen, wenn die Filteranordnung 200 gemäß Fig. 5 mit der Grundanordnung 100 zusammengeklemmt ist. An den äußeren Enden dieser unteren Hochdruckluf tbohrung 211 und dieser unteren Vakuumbohrung 212 sind, wo sie zur Unterseite des Hauptblocks 210 der Filteranordnung münden, Ansenkungen 215 zur Aufnahme von nicht gezeigten druckdichten Dichtungen ausgebildet. Diese Dichtungen können wieder beispielsweise Stahlscheiben oder dgl. sein, die bei Verformung durch den Klemmdruck zwischen der Filteranordnung 200 und der an ihrer Unterseite befestigten Grundanordnung etwas zusammengequetscht werden und hermetische Dichtungen bilden. Ferner sind in der Oberseite dieses im einzelnen nicht gezeigten Hauptblocks 210 der Filteranordnung als mit Hülsen versehene Bohrungen eine obere Hochdruckluftbohrung 213 und eine untere Vakuumbohrung 214 ausgebildet. Diese oberen Bohrungen 213 und 214 befinden sich wieder auf der ungefähren Mitteillinie in der Längs- oder längeren Richtung der recht-

eckigen Oberseite der Filteranordnung 200 auf irgendeiner Seite ihres Mittelpunkt. An den äußeren Enden dieser oberen Hochdruckluftbohrung 213 und dieser oberen Vakuumbohrung 214 sind dort, wo sie zum Hauptblock 210 der Filteranordnung münden, ähnliche Ansenkungen 215 zur Aufnahme ähnlicher nicht gezeigter druckdichter Dichtungen ausgebildet zum Vorsehen von Druckdichtungen an der Vakuumaufhebeventilanordnung 300, und zwar bei Verformung durch den Klemmdruck zwischen der Filteranordnung 200 und der auf deren Oberseite montierter Vakuumaufhebeventilanordnung 300, vgl. Fig, 5. Wenn auch in den Figuren im einzelnen nicht gezeigt, sind auch~in der Oberseite dieses Hauptblocks 210 der Filteranordnung mehrere Verankerungsbohrungen (vier bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) vorgesehen zum darauf erfolgenden Befestigen der Vakuumaufhebeventilanordnung 300, was im einzelnen weiter unten beschrieben wird.

Ferner ist ein rechteckiger Abschnitt 218 im Boden des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200 auf einem gewissen Hauptabschnitt hiervon zwischen der unteren Hochdruckluftbohrung 211 und der unteren Vakuumbohrung 212 ausgenommen. Innerhalb der Unterseite dieser Ausnehmung 218 sind längs jeder der Längsseiten der Unterseite des Hauptblocks der Filteranordnung 200 ferner mehrere (zwei bei der bevorzugten Ausführungsform) Ausnehmungen 217 ausgebildet, was in Fig. 5 am besten zu sehen ist. Die Positionen dieser Ausnehmungen 217 entsprechen den Positionen der Verankerungsbohrungen 104 in der Oberseite des Hauptblocks der Grundanordnung 100. In die rechteckige jorm dieser Ausnehmung 218 des Hauptblocks 210 ist eine Filterverbindungsplatte 220 eng eingepaßt, die am Hauptblock 210 durch mehrere Schrauben fest befestigt ist. Die sechseckigen Köpfe dieser Schrauben sind in Fig. 10 zu sehen und in Ansenkungen in der Unterseite der Filterverbindungsplatte 220 so aufgenommen, daß sie nicht über die Unterseite überstehen. Bei einer Ausführungsvariante können jedoch alternativ diese Schraubenköpfe überstehen. In diesem Fall sind entsprechende

Vertiefungen in der Oberseite der Grundanordnung 100 des Hauptblocks erforderlich. Durch die Filterverbindungsplatte 220 erstrecken sich vier Durchgangsbohrungen 216, deren jeweilige Position der Position der einen der Verankerungsbohrungen in der Oberseite des Hauptblocks der Grundanordnung 100 entspricht und somit auch der Position der einen der Ausnehmungen 217 des Hauptblocks der Filteranordnung 200. Bevor die Filterverbindungsplatte 220 in der oben beschriebenen Weise an der Filteranordnung 200 des Hauptblocks 210 befestigt wird, wird durch jede dieser Durchgangsbohrungen 21 6 eine Schraube 221 nach unten (Fig. 5) so hindurchgeführt, daß nach der Befestigung der rilterverbindungsplatte 220 am Hauptblock 210 der Filteranordnung 200 die Köpfe dieser Schrauben 221 relativ lose in den Ausnehmungen 217 aufgenommen sind. Wenn anschliessend daran die Filteranordnung 200 an der Grundanordnung 100 befestigt werden soll, positioniert der Arbeiter die Filteranordnung 200, schraubt jede der Schrauben 221 in ihre entsprechende Gewindebohrung 104 in der Oberseite des Hauptblocks der Grundanordnung und zieht dann jede der Schrauben 221 dadurch an, daß er mit einem im einzelnen nicht gezeigten Innensechskantschlüssel auf deren Kopf einwirkt, der vorzugsweise ein Innensechskantkopf ist, und zwar über die Ausnehmung 217, inder der Kopf aufgenommen ist. Da die Filteranordnung 200 durch Anwendung dieser Befestigungsschrauben 221 leicht an der Grundanordnung 100 angepaßt oder entfernt werden kann, ohne das Erfordernis des Befestigens oder Lösens der

Vakuumaufhebeventilanordnung 300, der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 oder der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 von der Filteranordnung 20 0, ist die Montagearbeit für die Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung insgesamt vereinfacht und sind die Zerlegbarkeit und Wartungsfähigkeit hiervon verbessert.

Durch den Hauptblock 210 der Filteranordnung 200 ist von dessen in der Figur linken Seite bis unmittelbar vor die oberen und unteren Vakuumbohrungen 214 und 212 eine Filtergehäuserohr-

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einsetzbohrung 222 gebohrt, zu deren Seitenfläche die oberen und unteren Hochdruckluftbohrungen 213 und 211 münden. Von seiner in der Zeichnung rechten Seite ist durch den Hauptblock 210 eine Vakuumkappeneinsetzbohrung 224 gebohrt, die einen etwas kleineren Durchmesser als die Filtergehäuserohr-Einsetzbohrung 222 hat, im wesentlichen koaxial hierzu ist und sich an den oberen und unteren Vakuumbohrungen 214 und 212 vorbeierstreckt, um das Ende der Filtergehäuserohr-Einsetzbohrung 222 zu treffen und somit eine Stufe 223 zu bilden. In die Filtergehäuserohr-Einsetzbohrung 222 ist ein Filtergehäuserohr 201 eng eingepaßt, das aus einem durchscheinenden Material, wie Kunstharz oder Glas, besteht. Dieses Filtergehäuserohr 201 ist in der Filtergehäuserohr-Einsetzbohrung 222 an der Schulter 223 durch die hochdruckseitige Filterkappe 230 gehalten, die es dadurch axial klemmt, daß es an der in der Figur linken Seite des Hauptkörpers 210 der Filteranordnung 20 0 festlegt. Diese hochdruckseitige Filterkappe 210 ist mit einer zentralen axialen Gewindebohrung 231 versehen, die einen geringfügig größeren Durchmesser als das Filtergehäuserohr 201, jedoch einen kleineren Durchmesser als die Filtergehäuserohr-Einsetzbohrung 222 hat. Eine Filterhaltekappe 24 0 ist mit einem Außengewinde 241 versehen, durch die sie in die Gewindebohrung 231 abnehmbar so eingeschraubt ist, daß sie einen hohlen zylindrischen Filter 202 mit einem zylindrischen Innenraum im Innenraum des Filtergehäuserohrs 201 festhält. Hierbei ist ein gewisser zylindrischer Spalt zwischen der Außenfläche des Filters 202 und der Innenfläche des Filtergehäuserohrs 201 freigelassen. Es ist mit anderen Worten durch Entfernen der Filtergehäusekappe 240 au ε der Gewindebohrung 231 möglich, den Filter 202 aus der in Fig. 5 linken Seite der zusammengebauten Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung herauszunehmen, ohne irgendwelche anderen Teile hiervon zu stören. Wenn andererseits ein neuer Filter 20 2 in die Filteranordnung 20 0 eingesetzt werden soll, wird der alte Filter 202 weggeworfen und der neue Filter 202 in eine axiale zylindrische Bohrung in der Filterhaltekappe

240 so eingesetzt, daß er darin eng gehalten wird und wieder an einem elastischen Ringglied 243 am Boden dieser Bohrung ruht. Dann wird der Filter 20 2 dem Innenraum des Filtergehäuserohr 201 genähert, in diesen eingesetzt und hineingeschoben. Das Außengewinde 241 der Filtergehäusekappe 240 wird in das Innengewinde 231 der hochdruckseitigen Filterkappe 230 so geschraubt, daß das in der Fig. 9 rechte Ende des Filters am inneren Ende der niederdruckseitigen Filterkappe 250 anliegt. Hierbei paßt das innere Ende der Filterkappe 240 eng in das Ende des Filtergehäuserohrs 201 und stellt mit Hilfe eines Dichtungsglieds 245 hiermit eine gute und luftdichte Dichtung her. Dieses Einschrauben des Außengewindes 241 in das Innengewinde 231 wird durch einen an der Außenseite der Filterhaltekappe 24 0 ausgebildeten Flansch 24 2 beendet, der mit der äußeren Endfläche der hochdruckseitigen Filterkappe 230 in Berührung kommt. Die Teile sind so bemessen, daß in dieser Stellung der Glieder der Filter 202 axial etwas auf einen geeigneten Betrag zusammengedrückt wird zwischen der Filtergehäusekappe 24 0 unter Zwischenlage des elastischen Ringglieds 24 3, das eine federnde und dämpfende Wirkung hat, und dem inneren Ende der unterdruckseitigen Filterkappe 250. Hierdurch wird der oben genannte zylindrische Spalt zwischen der Außenfläche des Filters 20 2 und der Innenfläche des Filtergehäuserohrs 201 gebildet.

Die oberen und unteren Hochdruckluft- und Vakuumbohrungen 211, 212, 213 und 214 sind wie folgt unter Zwischenschaltung des Filters 202 miteinander verbunden. Eine Ringnut 203 ist um das Filtergehäuserohr 201 an einer der oberen Hochdruckluftbohrung 213 und der unteren Hochdruckluftbohrung 211 entsprechenden axialen Stellung ausgebildet und verbindet diese um das Filtergehäuserohr 201 miteinander. Die Seiten dieser Ringnut 203 sind durch Ringdichtungen abgedichtet. Eine weitere Ringdichtung ist am Ende des Filtergehäuserohrs 201 zwischen diesem und der Stufe 223 vorgesehen, an der sie anliegt. Auf diese Weise sind die oberen und unteren Hochdruckluftbohrungen

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213 und 211 unmittelbar miteinander, jedoch mit keinem anderen Teil der Verrichtung, verbunden. Ferner sind die Verbindungen der oberen und unteren Vakuumbohrungen 214 und 212 durch die unterdruckseite Filterkappe 250 gebildet, deren zylindrischer Endabschnitt in die Vakuumkappeneinsetzbohrung 224 eingepaßt und gegenüber dieser durch eine Ringdichtung 252 abgedichtet ist. Ein Flansch 251 der Filterkappe 250 liegt an der in Fig. 9 rechten Seite des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200 in der folgenden Weise an. Eine obere radiale öffnung und eine axiale öffnung 253 erstrecken sich durch den zylindrischen Endabschnitt der unterdruckseitigen Filterkappe 250, wobei deren Hintereinanderschaltung die obere Vakuumbohrung

214 mit dem Innenraum im Filter 202 verbindet. Das äußere Ende der axialen Öffnung 253 ist durch eine Verschlußschraube 254 geschlossen, die durch eine aus Innengewinde und Außengewinde bestehende Kombination 255 festgelegt ist.

Am Unterteil des zylindrischen Endteils der ηiederdruckseitigen Filterkappe 250 ist eine axiale Nut 257 ausgebildet, deren axial inneres Ende mit den oben erwähnten zylindrischen Spalt zwischen der Außenfläche des Filters 202 und der Innenfläche des Filteraufnahmerohrs 201 in Verbindung steht, während das axial äußere Ende der Nut 257 mit der unteren Vakuumbohrung 212 in Verbindung steht. Wie aus dem folgenden ersichtlich ist, wird hierdurch Luft durch die untere Vakuumbohrung 212 von der oberen Vakuumbohrung 107 der Grundanordnung 100 eingesaugt und strömt durch die Nut 257 in den Spalt zwischen dem Filter 202 und dem Filteraufnahmerohr 201, durch das Material des Filters 202 bei gleichzeitiger Reinigung hierdurch, in den Raum im Filter 20 2, längs des Raums zum Eintritt in die axiale Öffnung 253 des zylindrischen End-

teils der Niederdruckseitenfilterkappe 250 und von dort aus durch die darin ausgebildete obere radiale Öffnung 256, um in die obere Vakuumbohrung 214 zu strömen. Hierdurch wird für das angesaugte Vakuum (d. h. Luft mit niedrigem Druck) eine Filterwirkung'vorgesehen, wobei darin befindlicher Staub, Schmutz und dgl. wirksam entfernt werden.

In den oberen Teilen der vorderen und hinteren Flächen des Hauptblocks 210 sind, wie insbesondere in Fig. 5 gezeigt* Ausschnitte und Fenster vorgesehen, um einer Bedienungsperson das von der Außenseite der Vorrichtung und ohne Störung von deren Teilen erfolgende Betrachten des durchscheinenden Filtergehäuserohrs 201 und durch dieses hindurch des Filters 202 zu ermöglichen. Dies dient zur Beobachtung des Zustands des Filters 202, um zu sehen, ob dieser verunreinigt ist oder nicht. Hierdurch kann das rechtzeitige Austauschen der Filters 202 ohne die Wahrscheinlichkeit eines Fehlers ausgeführt werden. Da die Strömungsrichtung der Niederdruckluft von der Außenseite des zylindrischen Filters 202 zu dem darin gebildeten Innenraum verläuft, sind Schmutz und Staub oder dgl., die durch den Filter 202 aus dem Luftstrom entfernt werden, be-

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strebt, ..sich auf der äußeren Zylinderfläche des Filters 202 abzulagern, wodurch sie durch die Ausschnitte und das durchscheinende Filtergehäuserohr 201 hindurch sehr leicht sichtbar sind. Demnach ist die Beobachtung des Verunreinigungszustands des Filters 202 von außen her zuverlässiger.

Da der Filter 202, dessen eines Ende an der niederdruckseitigen Filterkappe 250 anliegt, durch sein anderes Ende dadurch gehalten wird, daß dieses Ende eng und verhältnismäßig fest in die Bohrung der Filterhaltekappe 240 eingesetzt ist, bedeutet dies ferner bei der dargestellten Konstruktion, daß, wenn es Zeit für das Wechseln des Filters 202 ist und die Filterhaltekappe 240 aus der hochdruckseitigen Kappe 230 herausgeschraubt ist, dann durch einfaches Ziehen an der Filterhaltekappe 240 der Filter 202 aus dem Hauptkörper der Filteranordnung 200 herausgezogen werden kann. Selbst wenn durch einiges Mißgeschick das Ende des Filters 202 aus seinem Sitz in der Bohrung der Filterhaltekappe 240 herausrutschen sollte, ist es für die Bedienungsperson verhältnismäßig· leicht, an diesem Ende des Filters 202 zu ziehen und diesen somit von Hand aus der Filteranordnung 200 herauszuziehen, da das Ende des Filters 202 weiterhin aus der hochdruckseitigen Filterkappe 230 herausragt. Zusammengefaßt ist bei der dargestellten Konstruktion das Wechseln des Filters 202 äußerst leicht.

Wenn auch ferner bei der dargestellten Konstruktion der Filter 202 in die Verbindungslinie zwischen den oberen und unteren Hochdruckluftbohrungen 213 und 211 eingreift, sind die Hochdruckluftbohrungen 211 und 213 trotzdem sicher miteinander verbunden, da um das Filtergehäuserohr 201 die Ringnut 203 vorgesehen ist, wobei für die dazwischen stattfindende Luftströmung ein extrem geringer Widerstand vorgesehen ist.

Es wird nun die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 in Verbindung mit Fig. 11 bis 13 beschrieben.

Diese Vakuumaufhebeventilanordnung 300 enthält einen Hauptblock 310, der wieder die Form einer länglichen dicken Platte oder eines abgeflachten rechteckigen Parallelepipeds hat, das ungefähr dieselbe Breite wie der Hauptblock der Filteranordnung 200 hat, um darauf zu passen, der jedoch wesentlich kürzer als diese ist. Die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 enthält ferner eine hochdruckseitige Kappe 350, die durch im einzelnen nicht gezeigte Mittel an der linken oder Hochdruckseite ihres Hauptblocks 310 befestigt (vgl. die Zeichnung) und daran durch einen Positionseingriff sstift 346 festgelegt ist, der in den unteren Teil des Hauptblocks 310 eingepaßt und in ein Stiftfestlegungsloch 362 eingesetzt ist, das in der Kappe 350 ausgebildet ist. Die Anordnung 300 enthält ferner eine äußere Endkappe, die an der hochdruckseitigen Kappe 3 50 befestigt ist, und eine niederdruckseitige Kappe 380, die wieder durch im einzelnen nicht gezeigte Mittel an der rechten oder Niederdruckseite ihres Hauptblocks 310 befestigt ist, vgl. die Zeichnung. In der Unterseite des Hauptblocks 310 (Fig. 12) ist als mit einer Hülse versehene Bohrung eine untere Vakuumbohrung 311 ausgebildet . In der Unterseite der hochdruckseitigen Kappe 350 ist als ähnliche mit einer Hülse versehene Bohrung eine untere Hochdruckluftbohrung 3 51 ausgebildet. Diese unteren Bohrungen 351 und 311 befinden sich wie vorher auf der ungefähren Mittellinie in der Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Unterseite der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 auf irgendeiner Seite ihres Mittelpunkts in Positionen, die der oberen Hochdruckluftbohrung 213 bzw. der unteren Vakuumbohrung 214 des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200 entsprechen, wenn die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 mit der Filteranordnung 200 gemäß Fig. 5 zusammengeklemmt ist. An den äußeren Enden dieser unteren Hochdruckluftbohrung 351 und dieser unteren Vakuumbohrung 311 sind dort, wo sie zu den Unterseiten des Hauptblocks 310 bzw. der Seitenkappe 350 münden, Absätze 313 (vgl. Fig. 13) ausgebildet zur Aufnahme

von nicht gezeigten druckdichten Dichtungen. Diese Dichtungen können wiederum beispielsweise Stahlscheiben oder dgl. sein, die bei Verformung durch den Klemmdruck zwischen der Vakuumauf hebeventilanordnung 3 00 und der an deren Unterseite befestigten Filteranordnung 200 etwas zusammengequetscht werden, um hermetische Dichtungen zu bilden. Ferner ist in der Oberseite des Hauptblocks 310 als eine mit einer Hülse versehene Bohrung eine obere Vakuumbohrüng 312 ausgebildet. In der Oberseite der hochdruckseitigen Kappe 350 ist als ähnliche mit einer Hülse versehene Bohrung eine obere Hochdruckluftbohrung 3 52 ausgebildet. Diese oberen Bohrungen 352 und 312 befinden sich wieder auf der ungefähren Mittelllinie in ihrer Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Oberseite der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 auf irgendeiner Seite ihres Mittelpunkts. An den äußeren Enden dieser oberen Hochdruckluftbohrung 352 und dieser oberen Vakuumbohrung 312 sind dort, wo sie zur Oberseite des Hauptblocks 310 bzw. der Seitenkappe 350 münden, ähnliche Ansenkungen 313 ausgebildet zur Aufnahme ähnlicher nicht gezeigter druckdichter Dichtungen zur Bildung von Druckdichtungen gegenüber der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400, wenn sie durch den Klemmdruck zwischen der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 und der an deren Oberseite befestigten Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 zusammengedrückt sind, vgl. Fig. 5. Auch sind in der Oberseite dieses Hauptblocks 310 mehrere (vier bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) Verankerungsbohrungen 314 ausgebildet, die die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 darauf festlegen, was im einzelnen noch beschrieben wird.

Ferner ist ein rechteckiger Abschnitt 316 von der Unterseite des Hauptblocks 310 auf einem gewissen Hauptteil hiervon von dessen linker Seite zur unteren Vakuumbohrung 311 ausgenommen. In der Unterseite dieser Ausnehmung 316 sind längs jeder der Längsseiten der Unterseite des Hauptblocks mehrere (zwei bei der gezeigten bevorzugten Ausführungsform) Ausnehmungen 315 ausgebildet, vgl. Fig. 5. Die Stellungen dieser Ausnehmungen

315 entsprechen den Stellungen der erwähnten nicht gezeigten Verankerungsbohrungen in der Oberseite des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200. In die Rechtecksform dieser Ausnehmung 316 des Hauptblocks 310 ist eine Vakuumaufhebeventil-Verbindungsplatte 318 eng eingepaßt, die durch mehrere Schrauben am Hauptblock 310 fest befestigt sind. Die sechseckigen Köpfe dieser Schrauben (Fig. 13) sind in Ansenkungen in der Unterseite der Verbindungsplatte 318 so aufgenommen, daß sie nicht über die Unterseite ragen. Wieder bei einer Ausführungsvariante können diese Schraubenköpfe alternativ überstehen. In diesem Fall sind entsprechende Vertiefungen in der Oberseite des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200 erforderlich. Durch die Verbindungsplatte 318 erstrecken sich vier Durchgangsbohrungen 317, deren jeweilige Stellungen der Stellung der einen der erwähnten Verankerungsbohrungen in der Oberseite des Hauptblocks 210 der Filteranordnung 200 und somit auch der Position der einen der Ausnehmungen 315 des Hauptblocks der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 entsprechen. Bevor die Verbindungsplatte 318 wie oben am Hauptblock 210 der Filteranordnung 200 durch die Schrauben 394 befestigt wird, wird durch jede dieser Bohrungen 317 eine Schraube 319 nach unten so hindurchgeführt.· (Fig. 5), daß nach der Befestigung der Verbindungsplatte 318 am Hauptblock 310 die Köpfe dieser Schrauben 319 verhältnismäßig lose in den Ausnehmungen 315 aufgenommen sind. Wenn anschließend daran die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 an der Filteranordnung 200 befestigt werden soll, positioniert die Bedienungsperson die Vakuumaufhebeventilanordnung 300, schraubt dann jede der Schrauben 319 in ihre entsprechende im einzelnen nicht gezeigte Gewindebohrung in der Oberseite des Hauptblocks 210 und zieht dann jede der Schrauben 319 dadurch an, daß sie an jedem Schraubenkopf, der vorzugsweise einen Innensechskant aufweist, einen im einzelnen nicht gezeigten Innensechskant-Schlüssel ansetzt. Demnach ist die Montagearbeit für die Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung insgesamt vereinfacht und sind deren Zerlegungsmöglichkeit

und Wartungsfähigkeit verbessert, weil auf diese Weise die Vakuumaufhebeventilanordnung 3 00 durch Anwendung dieser Befestigungsschrauben 319 leicht an die Filteranordnung angepaßt oder davon entfernt werden kann, ohne jegliches Erfordernis des Befestigens oder LÖsens der Filteranordnung 200 von der Grundanordnung 100 oder des Befestigens oder Lösens der Vakuumventil-Fühler -Vorrichtung 400 oder der Vakuumerzeugungsvorrichtung 50 0 von der Vakuumaufhebeventilanordnung 300.

Durch den Hauptblock 310 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 ist von links bis unmittelbar vor die oberen und unteren Vakuumbohrungen 312 und 311 eine Solenoidaufnähmebohrung 320 gebohrt. Gemäß Fig. 11 ist in der linken Seite des Hauptblocks eine Öffnung 321 zur Aufnahme von Teilen ausgebildet, was im einzelnen noch beschrieben wird. Durch den Hauptblock 310 ist von dessen rechter Seite aus eine vakuumseitige Kappeneinsetzbohrung 322 von etwas geringerer Größe als die Solenoidaufnahmebohrung 312 gebohrt, die sich an den oberen und unteren Vakuumbohrungen 312 und 311 vorbei bis zum Ende der Solenoidaufnahmebohrung 312 erstreckt, um somit einen abgestuften Flansch 323 zu bilden, der sich an deren Treffpunkt etwas nach innen erstreckt. In die Solenoidaufnahmebohrung 320 ist ein auf eine Spule 324 gewickeltes Solenoid 325 mit einem als hohles Rohr ausgebildeten Montageglied 329 eingepaßt, das zwischen die Außenfläche des Solenoids 325 und die Innenfläche der Solenoidaufnahmebohrung 320 eingesetzt ist, um einen festen und engen Sitz zwischen diesen Gliedern zu fördern. In das linke Ende der Spule 324 ist gemäß der Figur, d. h. in deren rechtes Hochdruckende ein mit einer axialen Bohrung versehenes Tragglied 328 eingesetzt, das durch den Druck der Befestigung der hochdruckseitigen Kappe 350 an seinem Platz gehalten wird und hierdurch die Spule 324, das Solenoid und das Montageglied 329 innerhalb der Solenoidaufnahmebohrung 3 20 dadurch axial hält, daß es diese gegen den angegebe-

nen abgestuften Flansch 323 drückt . Die Dichtungen 337 dienen zur Herstellung von luftdichten Abdichtungen zwischen den Montagegliedern 3 29 und dem Flansch 323 und zwischen dem Montageglied 329 und dem Tragglied 328. Es ist auch eine Dichtung vorgesehen zur Herstellung einer luftdichten Abdichtung zwischen dem Tragglied 328 und der hochdruckseitigen Kappe 350, wenn diese Kappe 3 50 an den Hauptblock 319 angepaßt ist, was noch kurz erläutert wird. Das Tragglied 328 trägt verschiebbar ein bewegliches Rohrglied 327 in seiner axialen Bohrung. Das Rohrglied 327 erstreckt sich durch die axiale Bohrung der Spule 324 und durch das Solenoid 325, um nach links in eine Kammer 354 innerhalb der hochdruckseitigen Kappe 3 50 zu ragen. Am rechten Ende des Rohrglieds 327 ist ein metallischer Solenoidkern 326 befestigt, wobei zwischen dem Solenoidkern 326 und der Innenfläche der Spule 324 ein geringes Spiel freigelassen ist. Am linken Ende des Rohrglieds 327 ist ein Federaufnahmeglied 344 angepaßt. Eine Schraubendruckfeder 355 ist zwischen das Federaufnahmeglied 344 und die Innenseite der hochdruckseitigen Kappe so gepaßt, daß sie das Rohrglied 327 und den daran montierten Solenoidkern 326 nach rechts vorspannt. In der Seitenwand des linken Endteils des Rohrglieds 327 ist eine seitliche Bohrung 345 so ausgebildet, daß sie den Raum im Rohrglied 327 mit der Kammer 354 verbindet.

Bezüglich der hochdruckseitigen Anordnungen stehen die obere Hochdruckluftbohrung 352 und die untere Hochdruckluftbohrung 351 mit der Kammer 354 in Verbindung, somit in freier Verbindung miteinander mit im wesentlichen keinem Strömungswiderstand dazwischen, so daß ferner Hochdruckluft im wesentlichen frei über die Bohrung 34 5 zum Innenraum des Rohrglieds 327 geliefert wird. In der Öffnung 321, die, wie oben angegeben, in der linken Seite des Hauptblocks 310 ausgebildet ist, ist ein geformtes Teil 339 aufgenommen, an dem ein Anschlußstift 338 befestigt ist. Dieser Anschlußstift 338 dient als ein Anschluß des Solenoids 325, ist mit einer Seite von deren

Wicklung verbunden (die andere Seite dieser Wicklung ist geerdet) und ragt in Längsrichtung der Vorrichtung nach links aus dem Hauptblock 310, um eng in eine in die hochdruckseitige Kappe 350 eingepaßte Buchse 356 eingesetzt zu sein zur Herstellung einer elektrischen Verbindung hiermit. Hierdurch kann die Kappe 3 50 leicht am Hauptblock 310 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 montiert oder demontiert werden, weil sie durch den oben erwähnten Festlegungsstift 346 in der Lage festgelegt ist, ohne daß irgendwelche Probleme bezüglich der Herstellung der elektrischen Verbindungen mit dem Solenoid 325 entstehen. In einer an der Außenseite der hochdruckseitigen Kappe 350 gebildeten Ausnehmung ist eine an sich bekannte innere elektrische Schaltung aufgenommen zur Steuerung des Stromflusses zum Solenoid 325 über die Buchse 3 56 und die Erdung, einschließlich eines Varistors 357, eines Widerstands 358, einer Diode 359 und einer Überwachungslampe 3 60 zum Vorsehen einer sichtbaren Anzeige des Betriebs. Eine äußere Endkappe 370 ist über diesem Hohlraum befestigt, um die darin befindliche elektrische Schaltung zu schützen. Die Kappe 370 ist versehen mit einer öffnung 371, um die Beobachtung der Überwachungslampe 360 zu ermöglichen, und mit einer Buchse 3 72 zur Herstellung einer elektrischen Verbindung von der Außenseite zur elektrischen Schaltung, etwa durch einen Stecker, vgl. Fig. 12.

Es wird nun auf die niederdruckseitigen Anordnungen Bezug genommen, wobei die vakuumseitige Kappe 380, die in der vakuumseitigen Kappeneinsetzbohrung 3 22 auf der rechten oder Niederdruckseite des Hauptblocks 310 befestigt ist, im Sinn ihrer Funktion in Zusammenarbeit mit noch zu beschreibenden Düsenanordnung so ausgebildet ist, daß die Vakuumbedingungen im Fall einer Zufuhr von Hochdruckluft gemäß der Wirkung des Solenois 325 aufgehoben werden, wobei ferner die Geschwindigkeit der Aufhebung der Vakuumbedingungen steuerbar ist. Auch in diesem Fall strömt die Hochdruckluft nicht aus der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 rückwärts zur Vakuumerzeugungsvorrichtung 500. Die konkreten Mittel, durch die

- 26 diese Funktionen erzielt werden, sind die folgenden.

Die vakuumseitige Kappe 380 hat einen größeren Endteil 381, der größer als die Einsetzbohrung 322 ist und demnach außerhalb hiervon bleibt sowie an der Endfläche des Hauptblocks 310 anliegt. Dieser Endteil 381 hat im wesentlichen dieselbe Breite und Höhe wie die Endfläche des Hauptblocks 310, um genau daraufzupassen. Die vakuumseitige Kappe 350 hat auch einen kleineren Einsetzteil· 382, der in die Einsetzbohrung 322 gepaßt ist und eng mit dieser zusammenarbeitet. Der Endteil 381 ist mit einer zylindrischen axialen Gleitbohrung 383 versehen, in die eine Einstellstange 389 eng verschiebbar eingepaßt ist. Das linke Ende dieser Gleitbohrung 383 mündet zum linken Teil 385 mit größerem Durchmesser im Einsetzteil 322 und erstreckt sich durch dessen linkes Ende. Die Gleitbohrung 383 ist im wesentlichen koaxial mit der zentralen Bohrung des Solenoids 325 und mit dem Rohrglied 327, wenn die seitliche Kappe 380 an den Hauptblock 310 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 angepaßt ist. Der linke Teil 386 mit der Bohrung mit größerem Durchmesser im Einsetzteil 382 hat einen größeren Durchmesser als sein rechter Teil 385. Zwischen diesen Teilen 385 und 386 ist eine Stufe gebildet. Der Einsetzteil 382 ist mit einer Öffnung 388 versehen, die die obere Vakuumbohrung 312 mit dem rechten Bohrungsteil 385 mit kleinerem Durchmesser verbindet, und ist auch mit einer Öffnung 387 versehen, die die untere Vakuumbohrung 311 mit dem linken Bohrungsteil 386 mit größerem Durchmesser verbindet. Die Einstellstange 389 ist an ihrem äußeren Endteil mit einem radial erweiterten Schraubenteil 39 0 versehen. Ihr innerer oder linker Endteil ist kegelförmig. Ein Schraubenelement 384 verbindet die Einstellstange 389 mit einem mit Gewinde versehenen Hohlraum in der Außenseite der vakuurrtseitigen Kappe 380, so daß die axiale Position der Einstellstange 389 durch Einstellen des Schraubenelements 384 eingestellt werden kann.

Am linken Endteil des linken Bohrungsteils 386 mit größerem Durchmesser ist ein Ventilsitzglied 340 (Fig.14) angepaßt, _das an seinem Platz dadurch sicher gehalten wird, daß es zwischen dem ganz linken Ende des Einsetzteils 382 der vakuumseitigen Endkappe 380 und dem genannten gestuften Flansch 3 23 eingeklemmt ist, der zwischen der Solenoidaufnahmebohrung 3 20 und der Einsetzbohrung 3 22 eingegrenzt und durch Dichtungen 343 dagegen abgedichtet ist. Das Ventilsitzglied 340 ist mit einer Ventilbohrung 341 durch seinen axialen Mittelteil versehen, der eine konische Gestalt 342 hat, die zur Einstellstange 389 gewandt ist und deren konischem Endteil gegenüberliegt. Somit erfolgt die einzige Verbindung zwischen der Solenoidaufnahmebohrung 320 und der Öffnung im Vakuumkappeneinsetzteil 382 durch diese Ventilbohrung 341. Durch axialen Einstellen der Stellung der btange 389 kann der Abstand zwischen deren konischer opitz.e und der konischen Gestalt 38 2 auf der rechten Seite des Ventilsitzglieds 340 verändert werden, wodurch der Strömungswiderstand durch die Ventilbohrung 341 verändert wird.. Die Position dieser Elemente von Fig. 11 ist von der Art, daß die konische Spitze der Stange 389 die Ventilbohrung 341 vollständig schließt. Über der Einstellstange 389 ist ein bewegliches Ventilelement 39 2 verschiebbar angepaßt, das an seinem rechten Ende einen zylindrischen Gleitteil und an seinem linken Ende einen radialen Flanschteil 391 hat. Dieses Ventilelement 39 2 wird durch eine Schraubendruckfeder 393 so nach links vorgespannt, daß es, wenn es nicht anderweitig nach rechts angetrieben wird und in seiner ganz linken Stellung längs der Einstellstange 389 positioniert ist, auf die ebene Fläche des Ventilsitzglieds 340 drückt, die um die daran ausgebildete konische Gestalt 342 herum gebildet ist, und in Zusammenarbeit mit der Einstellstange 389 den Luftdurchtritt durch die Ventilbohrung 341 von der Solenoidaufnahmebohrung 320 zu den öffnungen im Vakuumkappeneinsetzteil 3 82 absperrt, während es andererseits einen freien Durchtritt der Niederdruckluft (Vakuum) zwischen den linken

Bohrungsteil 386 mit größerem Durchmesser und der Vakuumkappeneinsetzbohrung 3 22 und von dort aus auch zu deren kleineren rechten Teil 385 zuläßt. Dieser Zustand tritt stets ein, wenn keine Luft von der linken Seite der Vorrichtung durch die Ventilbohrung 341 kommt. In diesem Fall stehen die obere Vakuumbohrung 312 und die untere Vakuumbohrung 311 über die Öffnungen 387 und 388 und die Bohrungsteile und 386 frei miteinander in Verbindung. Wenn andererseits das Ventilelement 392 kräftig gegen die Wirkung der Feder 393 so gedrückt wird, daß es längs der Einstellstange 389 in seiner ganz rechten Stellung positioniert ist, dann drückt, wenn auch wie vorher die Luft von der Solenoidaufnahmebohrung 320 zum Bohrungsteil 386 mit größeren Durchmesser durch die Ventilbohrung 341 strömen kann, der Flanschteil 391 des Ventilelements 392 auf die zwischen den Bohrungsteilen und 386 gebildete Stufe und blockiert hierdurch in Zusammenarbeit mit der Einstellstange 389 den Luftdurchtritt vom linken Bohrungsteil 86 mit großen Durchmesser zum kleinen rechten Teil 385 hiervon und blockiert demnach den Luftstrom zwischen der oberen Vakuumbohrung 312 und der unteren Vakuumbohrung 311. In diesem Zustand der Teile besteht eine Verbindung zwischen der Ventilbohrung 341 und der unteren Vakuumbohrung 311 über den linken Bohrungsteil 386 der Vakuumkappeneinsetzbohrung 382 und die öffnung 387, jedoch keine Verbindung zwischen der Ventilbohrung 341 und der oberen Vakuumbohrung 312.

Als nächstes wird in Verbindung mit Fig. 14 bis 16 die besonderen Düsenkonstruktionen am Ende des Solenoidskerns einschließlich des Ventilsitzglieds 340 erläutert. Diese Figuren zeigen dieselben Teile in drei unterschiedlichen Betätigungsstadien. Der rechte Endteil in den Figuren des Solenoidkerns 326 verjüngt sich zunächst an einem Teil 330, an dem der Innenraum im Rohrglied 327 entlüftet wird, und ist von dort aus mit einer Verlängerung versehen, an deren Ende ein erweiterter Teil 331 ausgebildet ist, der in einem

in einem Ventilelement 3 32 gebildeten Hohlraum eingepaßt und darin gehalten ist. Dieses Ventilelement 332 ist mit einem hohlen zylindrischen Körperteil 333 versehen, von dem sich ein Flansch 334 vom linken Ende des Körperteils 333 aus etwas radial einwärts erstreckt. Das Ventilelement 332 ist auch mit einem Spitzenteil 336 mit einer sich hindurcherstreckenden zentralen Bohrung 335 versehen: Dieser Spitzenteil 336 hat eine konische Außenfläche 398, die mit einer konischen Fläche zusammenarbeitet, die an der linken Seite des Ventilsitzglieds 340 um die darin befindliche Ventilbohrung 341 herum ausgebildet ist. Das Ventilelement 332 ist lose auf diesen erweiterten Teil 331 am Spitzenende des Solenoidskerns 326 aufgepaßt, da ein Innenraum etwas größer in Längsrichtung und Querrichtung als der erweiterte Spitzenendteil 331 ist. Dieser Flansch 334 verhindert ferner, daß das Ventilelement 332 vom Solenoidkern 326 abfällt.

Fig. 14 zeigt diese Teile in ihren Stellungen, in denen dem Solenoid 325 keine.elektrische Energie zugeführt wird. Demnach werden durch die: Vorspannwirkung der Schraubendruckfeder 355 der Solenoidkern 326 und das Rohrglied 327 in ihre in den Figuren ganz rechte Stellungen gedrückt. In diesem Zustand schließt.der erweiterte Teil 331 dessen Solenoidkerns 326 das ganz linke Ende der zentralen Bohrung 335 des Spitzenteile 336 des Ventilelements 332. Ferner wird die konische Fläche dieses Spitzenteils 336 gegen die konische Fläche des Ventilsitzglieds 340 gedrückt. Wenn auch reichlich Hochdruckluft zum Volumen um das Ventilsitzelement 332 durch den Innenraum des Rohrglieds 327 aus der Kammer übertragen wird, wird demnach diese Luft im wesentlichen vollständig daran gehindert, in die öffnungen 341 des Ventilsitzglieds 340 zu strömen. Demnach bläst keine Luft von der linken Seite des.Ventilsitzglieds 340 am Spitzenendteil der Einstellstange 389 vorbei. Somit ist keine Blaskraft verfügbar zum Anheben des Ventilelements 382 weg vom Ventilsitzglied 340* Hierdurch sind, wie oben erläutert, die obere

Vakuumbohrung 312 und die untere Vakuumbohrung 311 frei miteinander verbunden und ermöglichen somit eine freie Übertragung des Vakuums ohne Beimischung von Hochdruckluft. Dies ist der normale Arbeitszustand der Vorrichtung.

Fig. 15 zeigt die Teile in ihren Stellungen kurz nach Aktivierung des Solenoids 325 vor dem Druckausgleich. In diesem Zustand wird die Vorspannwirkung der' Schraubendruckfeder 355 durch die Anziehung des Solenoids 325 etwas überwunden, so daß der Solenoidkern 326 und das Rohrglied 327 aus ihren Stellungen von Fig. 14 etwas nach links gezogen werden. In diesem Zustand wird der erweiterte Teil 331 des Solenoidkerns 326 im Hohlraum des Ventilelements 332 nach links gezogen und öffnet hierdurch die Bohrung 335 in dessen Spitzenteil 336. Jedoch wird das Ventilelement 332 noch nicht nach links verschoben, sondern durch den Luftdruck an seiner rechten Seite gehalten, so daß die konische Fläche ihres Spitzenteils 336 weiterhin auf die konische Fläche des Ventilsitzglieds gedrückt wird. Demnach kann die Hochdruckluft in gewissem Ausmaß in die Öffnung 341 des Ventilsitzglieds 340 durch kleine Spalte zwischen dem erweiterten Solenoidkernteil 331 und dem Ventilelement 332 strömen. Demnach bläst diese mäßige Strömung von Hochdruckluft aus der rechten Seite des Ventilsitzglieds 340 vorbei am Spitzenendteil der Einstellstange 389. Dies liefert somit eine ausreichende Blaskraft zum Positionieren des Ventilelements 332 gegen die Wirkung der Feder 39 3, die vollständig überwunden wird, in seine ganz rechte Stellung längs der Stange 389. Daher werden, wie oben erläutert, die obere Vakuumbohrung 312 und die untere Vakuumbohrung 311 vollständig voneinander getrennt, wodurch die Übertragung dieser Beimischung "von Hochdruckluft in die untere Vakuumbohrung 311, jedoch nicht in die obere Vakuumbohrung 312 zugelassen wird. Dieser Zustand der Vorrichtung ermöglicht eine allmähliche und fortschreitende Verminderung der Druckdifferenz zwischen der Hochdruckseite und dem unteren Teil ihrer Niederdruckseite, wodurch eine fortschreitende Aufhebung des Vakuums eingeleitet

wird, das zu der Vorrichtung geliefert wird, mit der diese Vorrichtung verbunden ist, bei gleichzeitiger Beibehaltung des Vakuums im oberen Teil der Niederdruckseite dieser Vorrichtung .

Fig. 16 zeigt die Teile in ihren Stellungen, wenn das Solenoid 3 25 einige Zeit aktiviert wurde. Auf Grund des Druckanstiegs an der rechten Seite des Ventilsitzglieds 340 wird in diesem Zustand das Ventilelement 332 wenigstens teilweise von der Druckbeaufschlagung um seine linken Teile gegen den konischen Ventilsitz freigegeben. Dies ermöglicht nun eine vollständige Überwindung der Vorspannwirkung der Schraubendruckfeder 355 durch die Anziehung des Solenoids 325, so daß der Solenoidkern 326 und das Rohrglied 3 27 in ihre ganz linken Stellungen gezogen werden. In diesem Zustand zieht der erweiterte Teil 331 des Solenoidkerns 326 weiterhin am Flansch 334 des Ventilelements 332 nach links und verschiebt hierdurch das Ventilelement 3=32 gegen die Wirkung des möglichen Luftrestdrucks an seiner linken Seite nach links·, so daß nun die konische Fläche seines Spitzenteils 336 von der konischen Fläche des Ventilsitzglieds 340 zurückgezogen wird. Demnach kann die Hochdruckluft mit großem Volumen in die Öffnung 341 des Ventilsitzglieds 340 strömen. Demnach bläst dieser große Strom von Hochdruckluft aus der rechten Seite des Ventilsitzglieds 340 vorbei am Spitzenendteil der Einstellstange 389, und zwar wieder mit ausreichender Kraft zum Anheben des Ventilelements 39 2 in seine ganz linke Stellung längs der Stange 389. Somit werden die obere Vakuumbohrung 312 und die untere Vakuumbohrung 311 immer noch voneinander getrennt gehalten, wodurch der Zustand der Übertragung von Hochdruckluft in die untere Vakuumbohrung 311 jedoch nicht in die obere Vakuumbohrung 312 aufrechterhalten wird. Dieser Zustand der Vorrichtung gewährleistet, daß der Druck im unteren Teil der Vakuumseite der Vorrichtung, d. h. herausgeliefert durch die untere Vakuumbohrung 311 zur Filteranordnung 200 und zur Grundanordnung 100 und heraus durch die

mit der Vakuumsaugbohrung 102 verbundenen Vakuumsaugleitungen 108 zu einer Vorrichtung, wie einer das Vakuum verwendenden Saugkappe,_χzwangsläufig und endgültig auf Null herabgesetzt wird, während gleichzeitig auf atmosphärischem Druck befindliche Luft daran gehindert wird, aus dem oberen Teil der Vakuumseite der Vorrichtung zu strömen, d. h. heraus durch die obere Vakuumbohrung 312 zur Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 und zur Vakuumerzeugungsvorrichtung 500, wodurch das Vakuum darin beibehalten wird.

Im Vergleich zu einer möglichen Alternative, jedoch mit weniger ausgeklügelter Konstruktion, in der das Ventilelement 332 unmittelbar vom Solenoid 325 gezogen würde, d. h. in typischer Weise einstückig mit dem Solenoidkern 326 ausgebildet wäre, ermöglicht die obige Konstruktion die Bewegung dieses Ventilelements 332 mit beinahe keinem Widerstand auf Grund der vohergehenden Entlüftung in der Stellung der Teile von Fig. 15, weshalb die auf das Solenoid 325 ausgeübte Belastung verhältnismäßig gering ist. Demnach kann die Größe des Solenoids 325 verringert werden, was bedeutet, daß die Vorrichtung weniger Energie benötigt.

Auch wenn das obige Vakuumaufhebeventil den Vakuumzustand in seiner Unterdruckseite durch Aktivierung des Solenoids 325 vermindert und aufhebt, da der bewegliche Metallkern 326 dieses Solenoids 325 am beweglichen Rohrglied 327 befestigt ist, durch welches der gesamte Luftstrom für diese Vakuumaufhebung fließt, bedeutet dies, daß das Solenoid 325 durch den Luftstrom gekühlt wird. Selbst wenn das Solenoid 325 mit hoher Energie betrieben wird, tritt auf Grund seiner Erhitzung keine Verringerung seiner Wirkung ein. Ferner wird auch das Solenoid 325 auf Grund der Wärmeleitung durch das Montageglied 329 zum Hauptblock 310 gekühlt. Demnach wird die gesamte Vakuumaufhebeventilanordnung 300 als Kühler verwendet. Dies gewährleistet umso mehr eine Verhinderung eines Wirksamkeitsverlusts der Vorrichtung auf Grund ihrer Erhitzung.

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Ferner erfolgt gemäß der dargestellten Konstruktion die Regelung des Luftstroms durch die Öffnung 341 des Ventilsitzglieds 340 leicht von der Außenseite der Vorrichtung her durch die Bedienungsperson, die die axiale Stellung der Einstellstange 389 durch Drehen ihres äußeren Schraubenteils 390 einstellt, der die Stellung der konischen Spitze der Einstellstange 389 gegenüber der konischen Gestalt 342 regelt, die am Ventilsitzglied 340 um dessen Öffnung 341 herum ausgebildet ist. Hierdurch kann die Zeitdauer vom Beginn der Aktivierung des Solenoids 325 bis zur Beendigung der Aufhebung der Vakuumbedingungen in der Unterdruckseite der Vorrichtung nach Belieben geregelt werden. Wegen der Anordnungen einschließlich des Ventilelements 392, das in der oben beschriebenen Weise die Verbindung zwischen den Bohrungsteilen 385 und 386 steuert und diese Verbindung unterbricht, wenn Hochdruckluft durch die Ventilöffnung 341 abgegeben wird, bedeutet dies ferner, daß diese abgegebene Luft im wesentlichen vollständig für die allmähliche Aufhebung des Vakuums im Teil der Vorrichtung abwärts von der Vakuumauf hebeventilanordnung 300 verwendet wird, wobei im wesentlichen nichts von dieser Luft aufwärts von der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 strömt, um das Vakuum in diesem Teil der Vorrichtung zu verringern. Demnach ist der Wirkungsgrad des Luft- und Vakuumverbrauchs durch die dargestellte Konstruktion gut.

Als nächstes wird die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400,die die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung darstellt, in Verbindung mit Fig. 1 bis 4 beschrieben. Diese Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 enthält einen Hauptblock 410, der wiederum in der Gestalt einer länglichen dicken Platte oder eines abgeflachten rechteckigen Parallelepipeds gebildet ist, das im wesentlichen dieselbe Breite wie der Hauptblock der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 hat und sich daran anpaßt. Ferner enthält die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 eine hochdruckseitige Kappe 4 50, die durch im einzelnen nicht ge-

zeigte Mittel an der linken oder Hochdruckseite ihres Hauptblocks 410 befestigt ist, vgl. die Zeichnung, und eine niederdruckseitige Kappe 460, die durch wieder im einzelnen nicht gezeigte Mittel an der rechten oder Niederdruckseite ihres Hauptblocks 410 befestigt ist, was in der Zeichnung dargestellt ist. In der Unterseite des Hauptblocks 410 (Fig. 1) sind als mit Hülsen versehene Bohrungen eine untere Hochdruckluftbohrung 411 und eine untere Vakuumbohrung 412 gebildet. Diese unteren Bohrungen 411 und 412 befinden sich wieder auf der ungefähren Mittellinie in der Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Unterseite der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt in Positionen, die den oberen Hochdruck- und Vakuumbohrungen 352 bzw. 312 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 entsprechen, wenn die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 gemäß Fig. 5 mit der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 zusammengeklemmt ist. An den äußeren Enden dieser unteren Hochdruckluftbohrung 411 und unteren Vakuumbohrung 412 sind dort, wo sie zur Unterseite des Hauptblocks· 410 münden, Ansenkungen 415 zur Aufnahme von nicht gezeigten druckdichten Dichtungen ausgebildet. Diese Dichtungen können wiederum beispielsweise Stahlscheiben oder dgl. sein, die bei Verformung durch den Klemmdruck zwischen der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 und der auf deren Unterseite angebrachten Vakuumaufhebeventilanordnung 300 etwas zusammengeguetscht werden und hermetische Dichtungen bilden. Ferner sind in der Oberseite dieses Hauptblocks 410, wie teilweise in Fig. 3 gezeigt, als mit Hülsen versehene Bohrungen eine obere Hochdruckluftbohrung 413 und eine untere Vakuumbohrung 414 ausgebildet. Diese oberen Bohrungen 413 und 414 befinden sich wieder auf der ungefähren Mittellinie in ihrer Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Oberseite der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt. An den äußeren Enden dieser oberen Hochdruckluftbohrung 413 und oberen Vakuumbohrung 414, sind dort, wo sie zur Oberseite des Hauptblocks

münden, ähnliche Ansenkungen 415 ausgebildet zur Aufnahme von ähnlichen nicht gezeigten druckdichten Dichtungen. Diese bilden Druckdichtungen gegenüber der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500, wenn sie durch den Klemmdruck zwischen der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 und der an deren Oberseite angebrachten Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 zusammengedrückt werden, vgl. Fig. 5. In der Oberseite dieses Hauptblocks 410 sind auch mehrere (vier bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) Verankerungsbohrungen 416 ausgebildet, um die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 darauf zu befestigen, was im einzelnen noch beschrieben wird.

Ferner ist ein rechteckiger Teil 418 aus dem Boden des Hauptblocks 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 auf einem gewissen Hauptteil hiervon zwischen der unteren Hochdruckluftbohrung 411 und der unteren Vakuumbohrung 412 ausgenommen. Innerhalb der Unterseite dieser Ausnehmung 418 sind längs jeder der Längsseiten der Unterseite des Hauptblocks der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 ferner mehrere (zwei bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) Ausnehmungen 417 ausgebildet, vgl. Fig. 5. Die Stellungen dieser Ausnehmungen 417 entsprechen den Stellungen der Verankerungsbohrungen 314 in der Oberseite des Hauptblocks 31 0 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300. In die rechteckige Form dieser Ausnehmung 418 des Hauptblocks 410 ist eine Verbindungsplatte eng eingepaßt, die durch mehrere Schrauben am Hauptblock 410 fest befestigt ist. Die sechseckigen Köpfe dieser Schrauben sind in Fig. 4 gezeigt und in Ansenkungen in der Unterseite der Filterverbindungsplatte 420 so aufgenommen, daß sie aus dieser Unterseite nicht überstehen. Jedoch können bei einer Variante dieser Schraubenköpfe alternativ überstehen. In diesem Fall sind entsprechende Vertiefungen in der Oberseite des Hauptblocks 310 erforderlich. Durch die Verbindungspiatte 420 erstrecken sich vier Durchgangsbohrungen 419, deren jeweilige Stellung der Stellung einer der Verankerungsbohrungen 314 in der Oberseite des Hauptblocks 310 der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 und

somit der Stellung einer der Ausnehmungen 417 des Hauptblocks der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 entspricht. Bevor die Filterverbindungsplatte 420 in der oben beschriebenen Weise am Hauptblock 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 befestigt wird, wird durch jede dieser Bohrungen 416 eine Schraube 421 so nach unten hindurchgeführt (Fig. 5), daß nach der Befestigung der Filterverbindungsplatte 4 20 am Hauptblock 410 die Köpfe dieser Schrauben 421 verhältnismäßig lose in der Ausnehmung 417 aufgenommen werden, Wenn anschließend daran die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 an der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 befestigt werden soll, positioniert die Bedienungsperson die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 an ihrem Ort, schraubt dann jede der Schrauben 421 in ihre entsprechende Gewindebohrung 314 in der Oberseite des Hauptblocks 310 und zieht dann jede der Schrauben 421 dadurch an, daß sie an deren Kopf, der vorzugsweise ein Kopf mit Innensechskant ist, einen im einzelnen nicht gezeigten Innensechskantschlüssel ansetzt. Das Festziehen erfolgt über die Ausnehmung 417, in der der Kopf aufgenommen ist. Weil somit die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 unter Verwendung dieser Befestigungsschrauben 421 leicht an die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 angepaßt oder davon entfernt werden kann ohne jedes Erfordernis des Befestigens oder Lösens der Filteranordnung 200 oder der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 von der Grundanordnung 100 oder des Befestigens oder Lösens der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 von der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400, ist demnach der Zusammenbau der Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung insgesamt vereinfacht und sind deren Zerlegbarkeit und Wartungsfähigkeit verbessert.

Durch den Hauptblock 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 ist von deren linker Seite etwas vorbei an ihrem ungefähren Mittelteil eine Fühleraufnahmebohrung 4 20 gebohrt, zu deren Seitenfläche die oberen und unteren Hochdruckluftbohrungen 413 und 411 münden. In dieser Fühleraufnahmebohrung 422

ist ein Vakuumfühler 401 eng eingepaßt, dessen Fühlerteil in eine Bohrung am unteren Ende der Bohrung 4 22 eingesetzt ist. Ein Satz von Leitungsdrähten für den Fühler 401 erstreckt sich von diesem zur Außenseite des Hauptblocks 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 innerhalb der Hochdruckseitenkappe 450 und ist an der Innenseite eines in die Seitenkappe 450 eingesetzten Stopfens befestigt. Um die Mittelteile dieser Leitungsdrähte 404 ist ein Schutzrohr 424 aufgesetzt, wobei der Außenumfang von dessen Enden an der Innenseite der Fühleraufnahmebohrung 4 22 durch Dichtungen 425 abgedichtet ist. Somit stehen die oberen und unteren Hochdruckluftbohrungen 413 und 411 über die Sensoraufnahmebohrung 422 um dieser Rohr 424 herum frei miteinander in Verbindung, während die Luft in ihnen daran gehindert wird, sich mit der gewöhnlichen Atmosphärenluft im Rohr 424 und um den Fehler 401 zu verschmutzen oder zu mischen.

Die oberen und unteren Vakuumbohrungen 414 und 412 sind unter Zwischenschaltung einer Einwegventilanordnung wie folgt miteinander verbunden: Aus der unteren Vakuumbohrung 412 erstreckt sich senkrecht und über eine kurze Strecke zum mittleren Niveau der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 eine Bohrung, von deren oberem Ende aus sich eine Bohrung 434 waagrecht in Längsrichtung zum Hauptblock 410 der Vorrichtung erstreckt und das Fühlerelement des Fühlers 401 erreicht, an dem die Bohrung 434 endet. Ferner erstreckt sich vom oberen Ende der Bohrung 4 33 eine weitere Bohrung 435 waagrecht und quer zum Hauptblock 410 und endet in einer Kammer 436. Inzwischen erstreckt sich von der oberen Vakuumbohrung 414 senkrecht und über einer kurzen Strecke abwärts zu einem Punkt kurz vor dem mittleren Niveau der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 eine Bohrung 441, von derem unteren Ende aus sich eine Bohrung 440 waagerecht und in Längsrichtung zum Hauptblock 410 der Vorrichtung 400 erstreckt. Von dem in Fig. 2 ganz linken Ende der Bohrung 440 erstreckt sich eine weitere Bohrung 439 waagerecht und quer zum Hauptblock 410

und endet durch Verbindung mit einer an die Kammer 4 36 angrenzenden Kammer 437.Zwischen den Kammern 436 und 437 mündet eine Ventilbohrung. Das Öffnen und Schließen dieser Ventilbohrung wird durch einen Dichtring 442 gesteuert, der eine einem nach außen weisenden Buchstaben V ähnliche Querschnittsform hat und im folgenden als V-Ring bezeichnet wird.und am Spitzenteil des Ventilelements 431 angepaßt ist. Dieses Ventilelement 431 hat einen hohlen Körper, der in einer Führungsbohrung 438 im Hauptblock 410 der Vorrichtung koaxial zur Ventilbohrung gleitet. Eine in den hohlen Körper des Ventilelements 431 eingepaßte Schraubendruckfeder 443 spannt das Ventilelement 431 und den daran montierten V-Ring 442 in Fig. 3 nach rechts so vor, daß der V-Ring 44 2 in einer Richtung gedrückt wird, in der er die die Kammern 437 und verbindende Ventilbohrung schließt, wobei die Kammer 437 in der oben beschriebenen Weise mit der oberen Vakuumbohrung 417 verbunden ist. Ferner werden, wie in diesen Figuren angedeutet, alle diese verschiedenen Bohrungen in der Praxis von der Außenseite des Hauptblocks 410 der Vorrichtung 400 gebohrt, wobei die äußeren Enden der jeweiligen relevanten Bohrungen durch Stopfen 44 5 verschlossen werden, die zur Verhinderung von Luftleckverlusten mit Dichtungen 444 versehen sind. Eine unterdruckseitige Kappe 460 ist so auf diesem Stopfen 445 und die Dichtungen 444 befestigt, daß sie diese sicher hält.

Diese Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 arbeitet in folgender Weise. Wenn die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 wie folgt beschrieben in Betrieb ist, um Luft aus der oberen Vakuumbohrung 414 herauszusaugen, senkt dies den Luftdruck in der Kammer 437 über die Bohrungen 441, 440 und 439 in der oben beschriebenen Reihenfolge. Wenn dieser Luftdruck in der Kammer 437 soweit abfällt, daß er wesentlich geringer als der Luftdruck in der Kammer 436 ist, dann bewirkt der Differenzdruck am Ventilelement 431 dessen Bewegung nach links in seiner Führungsbohrung 438 gegen die Vorspannung der Schraubendruckfeder

443, die überwunden wird. Das Ventileleraent 431 bewegt den V-Ring 442 zum Öffnen des Ventils, wodurch die Kammer 436 mit der Kammer 43 7 verbunden wird. Auf diese Weise wird Luft von der unteren Vakuumbohrung 412 durch die Bohrungen 433 und 43 5 in die Kammer 43 6 und von dort aus durch die Ventilbohrung und hinauf zur Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 gesaugt. Demnach empfängt jegliche pneumatisch mit der unteren Vakuumbohrung 412 verbundene Vorrichtung hiervon ein Vakuum.

Nachdem in der unteren Vakuumbohrung 412 und in der oder den in der oben beschriebenen Weise hiermit verbundenen Vorrichtungen ein Vakuum aufgebaut wurde und wenn anschließend daran der Betrieb der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 unterbrochen wird, sodaß sie aufhört, Luft aus der oberen Vakuumbohrung zu saugen, oder alternativ, wenn die Größe des Vakuums an den oberen und unteren Vakuumbohrungen 412 und 414 im wesentlichen gleich groß sind, dann wird der Luftdruck in der Kammer 437 wenigstens gleich oder möglicherweise größer als der Luftdruck in der Kammer 436. Dies ermöglicht es der Schraubendruckfeder 443, das den V-Ring tragende Ventilelement 431 in seiner Führungsbohrung 438 nach rechts zu bewegen (Fig. 3), um die Ventilbohrung zu schließen und demnach die Verbindung der Kammer 436 mit der Kammer 43 7 zu unterbrechen. Somit kann die Luft nicht aus der oberen Vakuumbohrung 414 und aus der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 abwärts gesaugt werden zur unteren Vakuumbohrung 412 und zu der oder den hiermit verbundenen Vorrichtungen. Demnach ist durch diese Konstruktion die Funktion eines Einwegventils vorgesehen. Somit wird ein einmal in der unteren Vakuumbohrung 412 und in der oder den hiermit verbundenen Vorrichtungen aufgebautes Vakuum gut zuverlässig selbst dann aufrechterhalten, wenn die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 während einiger Zeit nicht in Betrieb ist.

Da der einmal aufgebaute Vakuumzustand durch diese Wirkung der Einwegventilanordnung 405 aufrechterhalten wird, ist es somit möglich, die Betriebskosten der Vorrichtung dadurch zu

verringern, daß 'die Wirkung der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 nach dem Erreichen des erforderlichen Vakuumniveaus unterbrochen wird. Da das Einwegventil 431 durch die Wirkung der Feder 443 allein bewegt wird, ist hierdurch die Aufrechterhaltung des Vakuumzustands besonders wirtschaftlich. Da bei dieser Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 sich der Druckfühler 401 auf der Seite des Einwegventils 431 entfernt von der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 befindet, kann hierdurch nach dem Anhalten der Wirkung der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 gemäß der Information von diesem Vakuumfühler 401, zu dem die Bohrung 434 der Vakuumseite reicht, mit der Wirkung, daß das gewünschte Vakuumniveau erreicht wurde, im Anschluß daran der Vakuumsensor 401 noch kontinuierlich den tatsächlichen Betrag des Vakuums messen, das an der unteren Vakuumbohrung 412 vorliegt und das zu der oder den hiermit verbundenen Vorrichtungen geliefert wird, und kann demnach ermitteln, ob diese Vakuumgröße auf ein Niveau abgefallen ist, das eine Erneutung des Vakuums wünschenswert macht. Demnach ist in diesem Zeitpunkt mit der dargestellten Konstruktion möglich,· die Wirkung der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 gemäß dieser Information vom Vakuumfühler 401 neu zu beginnen, wodurch die gelieferte Vakuumgröße erneut auf ein geeignetes Niveau gebracht werden kann. Es wird nun ein konkreter Fall betrachtet. Wenn ein im einzelnen nicht dargestelltes Vakuumansaugglied mit einem geeigneten Sauganschluß auf der Vakuumoder Unterdruckseite der Leitungen 107 der Grundanordnung dieser Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung angeschlossen ist und ein ebenfalls nicht dargestelltes Werkstück durch dieses Vakuumansaugglied angehoben und/oder transportiert wird, dann wird durch die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 ein der Werkstückslast, d.h. dem Gewicht des Werkstücks entsprechendes Vakuum erzeugt. Das Werkstück wird angesaugt und haftet am Vakuumansaugglied. Dann wird die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 abgeschaltet. Dann kann das Werkstück angehoben und transportiert werden, während das zum Vakuumansaugglied gelieferte Vakuum durch Schließen des Einwegventils 431 auf-

rechterhalten wird. Wenn während dieses Transports eine allmähliche Verminderung des zum Vakuumansaugglied gelieferten Vakuums auftritt, wird dies durch den Betrieb des Vakuumfühlers 401 festgestellt. Wenn dieses Vakuum unter ein gewisses vorgegebenes Niveau fällt, kann die Vakuumerzeugungsvorrichtung 50 0 erneut eingeschaltet werden, um das Vakuumniveau auf einen geeignet hohen Wert anzuheben.

Die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500, auch Saugstrahlpumpe genannt, wird nun in Verbindung mit Fig. 17 bis 20 beschrieben. Diese Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 hat einen Hauptblock 510, der wieder in der Form einer länglichen dicken Platte oder eines abgeflachten rechteckigen Parallelepipeds von ungefähr derselben Breite wie der Hauptblock der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 40 0 ausgebildet ist, um darauf zu passen, jedoch wesentlich kürzer als diese ist. Die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 hat ferner eine hochdruckseitige Kappe 560, die an der linken Seite ihres Hauptblocks 510 befestigt ist, eine an der hochdruckseitigen Kappe 560 angebrachte Endkappe 580 und einen an der rechten Seite seines Hauptblocks 510 befestigten Dämpfer 590 zum Abschwächen des Lärms, der von der Hochdruckluft erzeugt wird, die zur Erzeugung des Vakuums ausgetrieben wird, was kurz beschrieben wird. In der Unterseite des Hauptblocks 510 (Fig. 20) ist als mit einer Hülse versehene Bohrung eine untere Vakuumbohrung 511 ausgebildet. In der Unterseite der hochdruckseitigen Kappe 560 ist als ähnliche mit einer Hülse versehene Bohrung eine untere Hochdruckluftbohrung 561 ausgebildet. Diese unteren Bohrungen 561 und 511 befinden sich wie vorher auf der ungefähren Mittellinie in der Längs- oder längeren Richtung der rechteckigen Unterseite der Vakuumerzeugungsvorrichtung auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt an Stellen, die der oberen Hochdruckluftbohrung 413 bzw. der ο beren Vakuumbohrung 414 des Hauptblocks 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 entsprechen, wenn die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 mit der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 zusammengeklemmt ist,

vgl. Fig. 5. An den äußeren Enden dieser unteren Hochdruckluftbohrung 561 und dieser unteren Vakuumbohrung 511 sind dort, wo sie zu den Unterseiten der Seitenkappe 560 bzw. des Hauptblocks 510 münden, Ansenkungen 564 und 514 zur Aufnahme nicht gezeigten druckdichten Dichtungen ausgebildet. Diese Dichtungen können wiederum beispielsweise Stahlscheiben oder dgl. sein, die bei Verformung durch den Klemmdruck zwischen der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 und der an deren Unterseite angebrachten Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 etwas zusammengequetscht werden, um hermetische Dichtungen zu bilden. Ferner ist in der Oberseite dieses Hauptblocks 510 der Vakuumerzeugungsanordnung als mit einer Hülse versehene Bohrung eine obere Vakuumbohrung 512 ausgebildet. In der Oberseite der hochdruckseitigen Kappe 560 ist als ähnliche mit einer Hülse versehene Bohrung eine obere Hochdruckluftbohrung 562 ausgebildet. Diese oberen Bohrungen 56 2 und 512 befinden sich wieder auf der ungefähren Mittellinie in der Längsoder längeren Richtung der rechteckigen Oberseite der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 auf irgendeiner Seite von deren Mittelpunkt. An den äußeren Enden dieser oberen Hochdruckluftbohrung 562 und dieser oberen Vakuumbohrung 512 sind dort, wo sie zu den Unterseiten des Hauptblocks 510 der Vakuumaufhebeventilanordnung bzw. der Seitenkappe 560 münden, ähnliche Ansenkungen 513 und 563 ausgebildet zur Aufnahme von druckdichten Dichtungen 564, die Druckdichtungen gegenüber der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 bilden und daran durch Absperrschrauben 501 gehalten werden, die gemäß Fig. in die oberen Bohrungen 562 und 512 geschraubt sind. In der Oberseite des Hauptblocks 510 der Vakuumerzeugungsvorrichtung sind auch mehrere (vier bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) Verankerungsbohrungen 515 ausgebildet, die bei der vorliegenden Konstruktion für keinen besonderen Zweck verwendet werden, sondern zweckmäßig sind, wenn die verschiedenen hier beschriebenen und in Fig. 5 gezeigten Einheiten in einer alternativen Anwendung abweichend von Fig. 5 übereinander angeordnet werden sollen oder wenn die Vakuumerzeugungs-

vorrichtung 500 entweder selbst oder mit einer oder mehreren der anderen dargestellten Vorrichtungen zusammen hiermit unterhalb der Maschine, an der sie vorgesehen ist, befestigt werden soll. Gemäß diesem Konzept sind die relativen Stellungen der vier Bohrungen jedes der fünf Sätze von Bohrungen 104, 314, 416, 515 und die auf der Oberseite der Filteranordnung 200 vorgesehenen nicht dargestellten Befestigungsbohrungen im wesentlichen identisch.

Ferner ist ein rechteckiger Teil 517 aus dem Boden des Hauptblocks 510 der Vakuumverzeugungsvorrichtung 500 auf einem gewissen größeren Teil hiervon von ihrer linken Seite bis zur unteren Vakuumbohrung 511 ausgenommen. Innerhalb der Unterseite dieser Ausnehmung 517 sind ferner längs jeder Längsseiten der Unterseite des Hauptblocks der Vakuumerzeugung svorrichtung 50 0 ferner mehrere (zwei bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform) Ausnehmungen 516 ausgebildet, vgl. Fig. 5. Die Stellungen dieser Ausnehmungen 516 entsprechen den Stellungen der erwähnten Verankerungsbohrungen in der Oberseite des Hauptblocks 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400. In die rechteckige Form dieser Ausnehmung 517 des Hauptblocks 510 ist eine Verbindungsplatte 519 der Vakuumerzeugungsvorrichtung eng eingepaßt, die durch mehrere Schrauben am Hauptblock 510 fest befestigt ist. Die sechseckigen Köpfe der Schrauben sind in Fig. 20 zu sehen und in Ansenkungen■.. in der Unterseite der Verbindungsplatte 519 so aufgenommen, daß sie nicht von dieser Unterseite überstehen. Diese Schraubenköpfe können alternativ bei einer Ausführungsvariante wieder überstehen. In diesem Fall sind in der Oberseite des Hauptblocks 410 der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 entsprechende Vertiefungen erforderlich. Durch die Verbindungsplatte 519 erstrecken sich vier Durchgangsbohrungen 518, deren jeweilige Stellungen der Stellung einer der oben erwähnten Verankerungsbohrungen in der Oberseite des Hauptblocks 41.0 entsprechen und somit auch der Stellung einer der Ausnehmungen 516 des Hauptblocks dieser Vakuumerzeugungsvor-

richtung 500 entsprechen. Bevor die Verbindungsplatte 519 durch die Schrauben 59 5 am Hauptblock 510 befestigt werden, wird durch jede dieser Bohrungen 518 eine Schraube 520 nach unten so hindurchgeführt (Fig. 5), daß nach der Befestigung der Verbindungsplatte 519 am Hauptblock 510 die Köpfe dieser Schrauben 520 verhältnismäßig lose in den Ausnehmungen 516 aufgenommen werden. Wenn anschließend daran die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 an der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 befestigt werden soll, positioniert die Bedienungsperson die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 an ihrer Stelle, schraubt dann jede der Schrauben 520 in ihre entsprechende Gewindebohrung 516 in der Oberseite des Hauptblocks 410 und zieht dann jede dieser Schrauben 520 dadurch an, daß an ihrem Kopf, der wieder vorzugsweise ein Kopf mit Innensechskant ist, ein im einzelnen nicht gezeigter Sechskant- oder Innensechskantschlüssel angesetzt wird, und zwar über die Ausnehmung 516, in der der Kopf aufgenommen ist.

Da die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 somit durch Verwendung dieser Befestigungsschrauben 520 leicht an die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 angebaut oder davon entfernt werden kann oder jegliches Erfordernis des Befestigens oder Lösens der Filteranordnung 200, der Vakuumaufhebeventilanordnung 300 oder der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 von der Grundanordnung 100 oder voneinander ist demnach der Zusammenbau der Vakuumerzeugungs- und Regelvorrichtung insgesamt vereinfacht und sind deren Zerlegbarkeit und Wartungsfähigkeit verbessert.

Durch den Hauptblock 510 der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 ist von deren linker Seite bis unmittelbar vor die oberen und unteren Vakuumbohrungen 512 und 511 eine Solenoidaufnahmebohrung 521 gebohrt. Gemäß Fig. 19 ist in der linken Seite des Hauptblocks eine öffnung 522 zur Aufnahme von noch zu beschreibenden Teilen ausgebildet. Von seiner linken Seite aus ist durch den Hauptblock 510 eine Vakuumerzeugungsbohrung 523

gebohrt, die etwas größer als die Solenoidaufnahmebohrung 521 ist und sich an den oberen und unteren Vakuumbphrungen 512 und 511 vorbei bis zum Ende der Solenoidaufnahmebohrung 521 erstreckt. Auf diese Weise wird ein gestufter Flansch 540 gebildet, der sich an deren Treffpunkt etwas nach innen erstreckt. Das äußere Ende dieser Vakuumerzeugungsbohrung 523 schließt an eine Dämpfereinsetzbohrung 524 an, die als Innengewinde zur Befestigung des Dämpfers 590 ausgebildet ist. Zwischen der Dämpfereinsetzbohrung 524 und der Vakuumerzeugungsbohrung 523 ist ein Flansch 525 gebildet. In die Solenoidaufnahmebohrung 521 ist ein Solenoid 527 eingepaßt, das auf eine Spule 526 gewickelt ist, wobei ein als hohles Rohr ausgebildetes Montageglied 531 zwischen die Außenfläche des Solenoids 527 und die Innenfläche der Solenoidaufnahmebohrung 521 eingesetzt ist, um den dichten und engen Sitz zwischen diesen Gliedern zu verbessern. In das linke Ende der Spule 526, d. h. in deren Hochdruckende, ist ein mit einer axialen Bohrung versehenes Tragglied 530 eingesetzt. Das Tragglied 530 wird an seinem Ort durch den Druck der Befestigung der hochdruckseitigen Kappe 560 gehalten und hält hierdurch die Spule 526, das Solenoid 527 und das Montageglied 531 in der Solenoidaufnahmebohrung 521 dadurch axial an ihrem Ort, daß sie diese gegen den erwähnten Flansch 540 drückt. Es sind Dichtungen vorgesehen zur Herstellung von luchtdichten Abdichtungen zwischen dem Montageglied 531 und dem Flansch 540 sowie zwischen dem Montageglied 531 und dem Tragglied 530. Ebenso ist eine Dichtung 573 vorgesehen zur Herstellung einer luftdichten Abdichtung zwischen dem Tragglied 530 und der hochdruckseitigen Kappe 560, wenn diese an den Hauptblock 510 angepaßt wird, was kurz erläutert wird. Das Tragglied 530 trägt in seiner axialen Bohrung ein bewegliches Bohrglied 529 verschiebbar, das sich durch die axiale Bohrung der Spule 526 und durch das Solenoid 527 erstreckt und nach links in die in der hochdruokseitigen Kappe ⁵⁶⁰ gebildete Kammer 56 5 ragt. Am rechten Ende des Rohrglieds 529 ist ein metallischer Solenoidkern 528 angebracht, wobei zwischen dem Solenoidkern 528 und der Innen-

fläche der Spule 526 ein geringes Spiel freigelassen ist. Am linken Ende des Rohrglieds 529 ist ein Federaufnahmeglied 532 angepaßt. Eine Schraubendruckfeder ist zwischen dem Schraubenaufnahmeglied 53 2 und der Innenseite der Hochdruckseitenkappe 560 so eingepaßt, daß sie das Rohrglied 529 und den darauf befestigten Solenoidkern 528 nach rechts vorspannt. In der Wand des linken Endteils des Rohrglieds 529 ist eine Seitenbohrung 533 so ausgebildet, daß sie den darin befindlichen Raum mit der Kammer 56 5 verbindet.

Bezüglich der hochdruckseitigen Anordnungen stehen die obere Hochdruckluftbohrung 562 und die untere Hochdruckluftbohrung 561 mit der Kammer 565 in Verbindung, somit in freier Verbindung miteinander, so daß die Hochdruckluft im wesentlichen frei über die Bohrung 533 zum Innenraum des Rohrglieds 529 geliefert wird. Innerhalb der in der linken Seite des Haupt blocks 510 gebildeten Öffnung 522 ist ein geformtes Teil aufgenommen, an dem ein Anschlußstift 541 befestigt ist. Dieser Anschlußstift 541 dient als der eine Anschluß des Solenoids 527, ist mit einer Seite von dessen Wicklung verbunden (die andere Seite der Wicklung ist geerdet) und ragt aus dem Hauptblock 510 in der Längsrichtung der Vorrichtung (links) so heraus, daß er eng in eine Buchse 567 eingepaßt ist, die in die hochdruckseitige Kappe 560 zur elektrischen Verbindung hiermit eingesetzt ist. Hierdurch kann die Kappe 560 am Hauptblock der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 leicht montiert oder demontiert werden und ist durch einen am Hauptblock 510 angepaßten Festlegungsstift 553 in ihrer Lage festgelegt, der in eine in der Kappe 560 ausgebildeten Bohrung 553 paß, ohne daß irgendwelche Probleme bezüglich der Herstellung von elektrischen Verbindungen zum Solenoid 527 entstehen. In einer an der Außenseite der hochdruckseitigen Kappe 560 ausgebildeten Ausnehmung ist eine an sich bekannte innere elektrische Schaltung aufgenommen, die den Stromfluß über die Buchse 557 und die Erde zum Solenoid 527 steuert und folgendes enthält: einen Varistor 568, einen Widerstand 569,

eine Diode 570 und eine überwachungslampe 571 für eine sichtbare Anzeige des Betriebs. Die äußere Endkappe 580 ist auf diesem Hohlraum zürn Schutz dieser darin befindlichen elektrischen Schaltung befestigt und versehen mit einer Öffnung 581 zur Beobachtung der überwachungslampe 571 und mit einer Buchse 582 zur Herstellung einer elektrischen Verbindung von außen zur elektrischen Schaltung.

Bezüglich der Niederdruckseitenanordnungen ist der in die Dämpfereinsetzbohrung 524 eingeschraubte Dämpfer 59 0 als Hauptdämpferkörper 592 ausgebildet, der eine Aufnahmebohrung

591 zur Aufnahme eines noch zu beschreibenden Diffusors hat. Eine Kappe 593 ist am äußeren Ende des Dämpferkörpers

592 befestigt. Die Hochdruckluft, die in noch zu beschreibender Weise zur Erzeugung des Vakuums gedient hat, wird mit einer daran ausgeübten Dämpfungswirkung zur Außenatmosphäre über den Raum zwischen der Kante der Dämpferkappe

593 und dem Hauptdämpferkörper 592 und auch aus dem Raum in der Dämpferkappe 593 abgegeben. In der Vakuumerzeugungsbohrung 523 sind ein Diffusor 544 und ein Ventilsitzglied 543 befestigt, die axial zwischen dem ganz linken Ende des Dämpfers 590 und dem Ende des Montageglieds 531 geklemmt und dagegen durch Dichtungen abgedichtet sind. Das Ventilsitzglied 543 ist mit einer sich durch ihren axialen Mittelteil erstreckenden Ventilbohrung 546 versehen (Fig. 14), die in eine geringfügig konische Düsenform 545 mündet. Somit besteht die einzige Verbindung zwischen der Solenoidaufnahmebohrung 521 und der Niederdruckseite der Vorrichtung über diese Ventilbohrung 546. Diese Düsenform 545 des Ventilsitzglieds 543 mündet in eine Venturibohrung 548 des Diffusors 544 mit einem geringen Spalt dazwischen, wobei die Mündung der Venturibohrung 548 im wesentlichen größer als die Mündung der Düsenform 545 ist. Diese Venturibohrung 548 führt zu einer öffnung 591 des Dämpfers 593, die die Hochdruckluft entlüftet. Um den genannten geringen Spalt zwischen der Düsenbohrung des Ventilsitzglieds 543 und der Venturibohrung

548 des Diffusors 544 ist eine Diffusionskammer 547 gebildet, mit der über Öffnungen 549 und 550 die unteren und oberen Vakuumbohrungen 511 bzw. 513 in Verbindung stehen.

Als nächstes wird Bezug auf die Fig. 14 bis 16 genommen. Da die Anordnung dieser Teile in der Vakuumerζeugungsvorrichtung 500 im wesentlichen identisch mit der Anordnung der vorher beschriebenen Vakuumaufhebeventilanordnung 300 ist, werden die Düsenstrukturen am Ende des Solenoidkerns 528 einschließlich des Ventilsitzes 543 nicht erläutert. Diese Figuren zeigen dieselben Teile in drei unterschiedlichen Arbeitsstadien. Der rechte Endteil des Solenoidskerns 528 verjüngt sich zuerst bis zu einem Teil 534, an dem der Innenraum im Rohrglied 529 entlüftet wird, und ist von dort ab mit einem Fortsatz versehen, an dessen Ende ein erweiterter Teil 535 gebildet ist, der in einen Raum innerhalb eines Ventilelements 536 eingepaßt und darin gehalten ist. Das Ventilelement 536 ist versehen: mit einem hohlen zylindrischen Körperteil 554, von dem sich ein Flansch 537 vom linken Ende des Körperteils 554 etwas radial einwärts erstreckt, und mit einem Spitzenteil 539 in einer sich hierdurch erstreckenden zentralen Bohrung 538. Dieser Spitzenteil 539 hat eine konische Außenfläche, die mit einer konischen Fläche an der linken Seite des Ventilglieds 543 um die darin befindliche Ventilbohrung 546 zusammenarbeitet. Das Ventilelement 536 ist lose auf diesen erweiterten Teil 535 am Spitzenende des Solenoidkerns 528 gepaßt, da sein Innenraum in Längs- und Querrichtung etwas größer als der erweiterte Spitzenendteil 535 ist. Ferner verhindert dieser Flansch 537 das Ventil 536 am Abfallen vom Solenoidkern 528.

Fig. 14 zeigt diese Teile in ihren Stellungen, in denen keine elektrische Energie zum Solenoid 527 geliefert wird. Folglich werden durch die Vorspannwirkung der Schraubendruckfeder 556 der Solenoidkern 528 und das Rohrglied 529 in ihre ganz rechten Stellungen gedrückt. In diesem Zustand schließt der

erweiterte Teil 535 des Solenoidkerns 528 das ganz linke Ende der zentralen Bohrung 535 des Spitzenteils 539 des Ventilelements 536. Ferner wird die konische Fläche dieses Spitzenteils 539 auf die konische Fläche des Ventilsitzglieds 543 gedrückt. Wenn auch reichlich Druckluft durch den Innenraum des Rohrglieds 529 von der Kammer 565 zum Volumen um das Ventilelements 536 übertragen wird, wird demnach diese Luft völlig daran gehindert, in die Öffnung 546 des Ventilsitzglieds 543 zu strömen. Demnach strömt keine Luft aus der Düsenform 54 5 des Ventilsitzglieds 543 durch den Spalt in die Venturibohrung 548 des Diffusors 544. Somit wird kein besonderes Vakuum erzeugt. Hierdurch wird die untere Vakuumbohrung 511 über die Venturibohrung 548 des Diffusors 544 und über den Dämpfer 590 mit auf im wesentlichen Atmosphärendruck befindlicher Luft beliefert. Dies ist der Ruhezustand oder betriebslose Zustand der Vorrichtung.

Fig. 15 zeigt die Teile in ihren Stellungen kurz nach Aktivierung des Solenoids 527 vor dem Druckausgleich. In diesem Zustand wird die Vorspannwirkung der Schraubendruckfeder 566 durch die Anziehung des Solenoids 527 etwas überwunden, so daß der Solenoidkern 528 und das Rohrglied 529 aus ihren Stellungen von Fig. 14 ein wenig nach links gezogen werden. In diesem Zustand wird der erweiterte Teil 535 des Solenoidkerns 528 in dem im Ventilelement 536 befindlichen Hohlraum nach links gezogen und öffnet hierdurch die Bohrung 538 in dessen Spitzenteil 539. Jedoch wird das Ventilelement 536 noch nicht nach links verschoben und durch den Luftdruck an seiner rechten Seite gehalten, so daß die konische Fläche seines Spitzenteils 539 weiterhin auf die konische Fläche des Ventilsitzglieds 543 gedrückt wird. Demnach kann die Hochdruckluft in gewissem Ausmaß durch kleine Spalte zwischen dem erweiterten Solenoidkernteil 53 5 und dem Ventilelement 536 in die Öffnung 546 des Ventilsitzglieds 543 strömen. Demnach bläst diese mäßige Strömung an Hochdruckluft aus der Düsenform 546 des Ventilsitzglieds 543 durch den Spalt in die Venturibohrung 548

des Diffusors 544. Somit wird ein mäßiges Vakuum erzeugt, wodurch die untere Vakuumbohrung 511 mit einem mäßigen Vakuum beliefert wird. Dieser Zustand der Vorrichtung gestattet eine fortschreitende und stetige Zunahme des Vakuums, das zu der Vorrichtung geliefert wird, mit der diese Vorrichtung verbunden ist. Ferner kann die Verschiebung des Ventilelements 536 vom Ventilsitzglied 543 aus nach links leicht durch den Rückdruck der Luft in der Düsenbohrung 546 erfolgen.

Fig. 16 zeigt die Teile in ihren Stellungen, wenn das Solenoid 527 einige Zeit aktiviert wurde. In diesem Zustand ist nun die Vorspannwirkung der Schraubendruckfeder 556 durch die Anziehung des Solenoids 527 vollständig überwunden, so daß der Solenoidkern 528 und das Rohrglied 529 in ihre ganz linken Stellungen gezogen werden. In diesem Zustand zieht ferner der erweiterte Teil 53 5 des Solenoidkerns 528 am Flansch 53 7 des Ventilelements 536 nach links und verschiebt hierdurch das Ventilelement 536 nach links gegen die Wirkung des möglichen Restluftdrucks an dessen linker Seite, so daß nun die konische Fläche eines Spitzenteils 539 von der konischen Fläche des Ventilsitzglieds 543 weggezogen wird. Demnach kann die Hochdruckluft mit großem Volumen in die öffnung 546 des Ventilsitzglieds 543 strömen, weshalb diese starke Strömung an Hochdruckluft aus der Düsenbohrung 546 des Ventilsitzglieds 543 durch den Spalt in die Venturibohrung 548 des Diffusors 544 bläst. Somit wird durch den bekannten Bernoulli-Effekt ein verhältnismäßig hohes Vakuum erzeugt, wodurch die untere Vakuumbohrung 511 mit einem hohen Vakuum beliefert wird. Dieser Zustand der Vorrichtung gestattet eine Maximierung des zu der Vorrichtung gelieferten Vakuums, mit der diese Vorrichtung verbunden ist, d. h. eine Lieferung hinaus durch die untere Vakuumbohrung 511 zur Filteranordnung 200 und zur Grundanordnung 100 und hinaus durch die mit der Vakuumsaugbohrung 50 2 verbundenen Vakuumsaugleitungen 108 zu einem Gerät, wie einer Saugglocke, die das Vakuum verwendet.

Verglichen mit einer möglichen aber in der Konstruktion weniger ausgeklügelten Alternative, in der das Ventilelement 536 durch das Solenoid 52 7 unmittelbar gezogen wird, d. h. in typischer Weise eindrückig mit dem Solenoidkern 528 ausgebildet ist, ermöglicht die oben dargestellte Konstruktion die Bewegung dieses Ventilelements 536 beinahe widerstandslos. Folglich ist die am Solenoid 527 ausgeübte Belastung verhältnismäßig gering. Demnach kann die Größe des Solenoids 527 verringert werden, was bedeutet, daß die Vorrichtung weniger Energie verbrauchen kann.

Wenn die Vakuumerzeugungsvorrichtung 500, wie oben gezeigt, durch die Aktivierung des Solenoids 527 Vakuum erzeugt, und da der bewegliche Metallkern 528 dieses Solenoids 527 am beweglichen Rohrglied 529 befestigt ist, durch welches der gesamte für diese Vakuumherstellung benötigte Luftstrom fließt, bedeutet dies, daß das Solenoid 527 durch den Luftstrom gekühlt wird. Selbst wenn das Solenoid 527 mit hoher Leistung betrieben wird, findet keine Verringerung seiner Wirkung durch seine Erhitzung statt. Ferner wird auch das Solenoid 527 auf Grund von Wärmeleitung durch das Montageglied 531 zum Hauptblock 510 gekühlt. Demnach wird die gesamte Vakuumerzeugungsvorrichtung 50 0 als Kühler verwendet. Dies gewährleistet umso mehr, daß ein Verlust an Wirksamkeit der Vorrichtung durch ihre Erhitzung verhindert wird.

In der dargestellten Vakuumerζeugungs- und Regelvorrichtung wird die beschriebene Anordnung aus der Grundanordnung 100, der Filteranordnung 200, der Vakuumaufhebeventilanordnung 300, der Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 und der Vakuumerzeugungsvorrichtung 500 verwendet. Jedoch können je nach ihrer besonderer Anwendung eines oder mehrere dieser Elemente weggelassen werden, da nur die Vakuümerzeugungsvorrichtung im Hinblick auf die Vakuumerzeugung unbedingt erforderlich ist. Zum Beispiel kann die Grundanordnung 100 weggelassen werden. In diesem Fall erfolgt die Verbindung für die Zufuhr von Hoch-

durckluft und die Entnahme von Vakuum unmittelbar mit der unteren Hochdruckluftbohrung 211 bzw. der unteren Vakuumbohrung 212 der Filteranordnung 200. Wenn die für die Unterdruckseite verwendete Luft besonders rein ist, kann auch die Filteranordnung 200 weggelassen werden. In einigen Fällen kann auch auf die Verwendung der Vakuumaufhebeventxlanordnung 300 verzichtet werden, wenn für das System keine derartige Funktion benötigt wird. Wenn kein Bedarf an einer Messung des vorgesehenen Vakuumniveaus besteht, kann auch die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 nach der Erfindung weggelassen werden. Auch kann die Reihenfolge der Übereinanderanordnung jeder Anordnung der Vorrichtung geändert werden. Zum Beispiel kann die Filteranordnung 200 zwischen die Vakuumaufhebeventilanordnung 300 und die Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung 400 eingebaut werden, um einen Rückstrom des Staubs am Filter 202 zum Vakuumsaugglied zu verhindern, wenn die Vakuumaufhebeventilanordnung aktiviert wird.

Somit ist nach der dargestellten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung eine Vakuumventil-Fühler-Vorrichtung vorgesehen mit einem Einwegventil, das einen Gasstrom ausschließlich in Richtung zur Vakuumerzeugungsvorrichtung ermöglicht, und mit einem Druckfühler auf der von der Vakuumerzeugungsvorrichtung abseits gelegenen Seite des Einweg ventils. Demnach ist nicht nur die Aufrechterhaltung des Vakuumzustands durch das Einwegventil ermöglicht. Wenn aus irgendeiner Anzahl von Gründen ein Abfall des Vakuumniveaus zwischen dem Einwegventil und der mit dem Vakuum belieferten Vorrichtung auftritt, kann der Betrieb der Druckerzeugungsvorrichtung ohne wesentliche Verzögerung erneut gestartet werden, da dieser Abfall des Druckniveaus durch den Druckfühler ermittelt werden kann. Weil das Einwegventil so geformt ist, daß durch die Wirkung einer Feder ein Ventilsitz von der Seite der Vakuumerzeugungsvorrichtung abgeschlossen wird, bedeutet dies bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, daß der Vakuumzustand nur durch die Wirkung einer solchen Feder aufrechter-

halten werden kann. Demnach ist die Vorrichtung billig in der Herstellung und zuverlässig.

Claims

.:;.·.·; :-.-.-.■ .MYOTOKU LTD. - Tokyo, Japan Patentansprüche

1. Vakuumsteuervorrichtung zum Befestigen an

einer Vakuumquelle und zum Aufrechterhalten des durch die Vakuumquelle erzeugten Vakuums auf einem gewünschten Niveau,

gekennzeichnet

durch ein Einwegventil, welches das Strömen von Gas ausschließlich zur Vakuumquelle ermöglicht, und durch einen Druckfühler, der entfernt von der Vakuumquelle auf einer Seite des Einwegventils angeordnet ist.

2. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch T, dadurch gekennzeichnet,

daß das Einwegventil enthält: einen Ventilsitz, durch den der Gasstrom geleitet wird, und ein Ventilglied, das dem Ventilsitz von der Seite der Vakuumquelle her genähert werden kann.

3. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet

durch eine Einrichtung zum Vorspannen des Ventilglieds zum Ventilsitz.

4. Vakuumsteuervorri ch.tung nach Anspruch 1 mit einer Einrichtung zum Filtrieren von Gas, das aus einem

zu entleerenden Raum ausgetrieben wird, gekennzeichnet

BAI* ORIGINAL

durch ein Hauptgehäuse,

durch ein im wesentlichen durchscheinendes Filterhalterohr, das am Hauptgehäuse starr befestigt ist, und durch einen hohlen zylindrischen Filter, der in das Filterhalterohr so eingesetzt ist, daß er zwischen seiner zylindrischen Außenfläche und der zylindrischen Innenfläche des Filterhalterohrs einen zylindrischen Hohlraum bildet, wobei das Hauptgehäuse mit Vakuumeinlaß- und Auslaßöffnungen versehen ist, von denen eine mit dem zylindrischen Hohlraum zwischen der zylindrischen Außenfläche des Filters und der zylindrischen Innenfläche des Filterhalterohrs in Verbindung steht, während die andere der Öffnungen mit dem im Filter gebildeten rohrförmigen Raum in Verbindung steht,

' wobei die zylindrische Außenfläche des Filter von außen her sichtbar ist durch eine im Hauptgehäuse gebildete Öffnung und durch das durchscheinende Filterhalterohr.

5. Vakuutnsteuervorrichtungnach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Vakuumeinlaß- und Auslaßöffnungen im wesentlichen koaxial sind, wobei ihre gemeinsame Achse zur Mittelachse des Filters im wesentlichen senkrecht ist.

6. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, gekennzeichnet

durch eine Einrichtung zum wahlweisen Einsetzen des Filters in ein Ende des Filterhalterohrs und zum anschliessenden Schließen des Filters innerhalb des Filterhalterohrs,

7. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 1

zum wahlweisen Zuführen von Gas zu

einem auf Niederdruck gehaltenen Bereich, wodurch der Niederdruck aufgehoben wird,
gekennzeichnet

BAD ORiGINAL

durch ein das Austreibglied mit einer Gasauslaßbohrung, zu deren einen Seite eine Gaszufuhr wahlweise vorgesehen ist,

durch eine Kammer, mit der die andere Seite der Gasauslaßbohrung in Verbindung steht und zu der eine Steueröffnung mündet, die mit der Vakuumquelle in Verbindung steht, wobei die Kammer mit dem auf Niederdruck gehaltenen Bereich in Verbindung steht, und

durch ein in der Kammer beweglich eingepaßtes Ventilglied, das durch das aus der Gasauslaßbohrung strömende Gas so angetrieben wird, daß es die Steueröffnung schließt, wodurch die Vakuumquelle von dem auf Niederdruck gehaltenen Bereich getrennt wird, während dem Gasstrom ein Eindringen in den auf Niederdruck gehaltenen Bereich gestattet wird.

8. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet,

daß das Ventilglied mit einem Flansch versehen ist, /J?

der größer als die Steueröffnung ist und auf die >

Steueröffnung zu deren Schließen drückt, wenn das Ventilglied auf diese Weise durch das aus der Gasauslaßöffnung strömende Gas angetrieben wird.

9. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 7,

gekennzeichnet

durch eine Feder, die das Ventilglied zur Gasauslaßbohrung hin und von der Steueröffnung weg vorspannt.

10. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 1

zum Entlüften von unter Druck stehendem Gas,

gekennzeichnet

durch ein mit einer Gasauslaßbohrung versehenes Ventilsitzglied,
durch einen Elektromagnet mit einem Anker, der als höh-

les axiales bewegbares Rohr ausgebildet ist, und
durch eine Spitzenanordnung am Ende des Ankers,
wobei das unter Druck stehende Gas über die zentrale axiale Bohrung des Ankers durch den Elektromagnet so strömt, daß es um die Spitzenanordnung herum zugeführt wird,

wobei die Spitzenanordnung bei Positionierung des
Ankers in seiner einen axialen Stellung so gegen die Gasauslaßbohrung gedrückt wird, daß sie diese im wesentlichen schließt, und bei Positionierung des Ankers in seiner anderen axialen Stellung durch die Wirkung des Elektromagnets so aus der Gasauslaßbohrung herausgezogen wird, daß der Durchtritt des unter Druck stehenden Gases hierdurch möglich ist.

11. Vakuumsteuervorrichtung nach Anspruch 1

zum Entlüften von unter Druck stehendem

Gas,

gekennzeichnet

durch ein mit einer Gasauslaßbohrung versehenes Ventilsitzglied,

durch ein Steuerglied, das zur Gasauslaßbohrung hin und davon weg auf einer Seite hiervon bewegbar ist, mit der das unter Druck stehende Gas in Verbindung
steht, und

durch ein Spitzenglied, das am Ende des Steuerglieds in Nähe der Gasauslaßbohrung so angepaßt ist, daß es hiervon nicht entfernbar ist, sondern darauf lose gehalten wird, und das mit einer Verbindungsbohrung versehen ist,

wobei das Spitzenglied bei Positionierung des Steuerglieds zur Gasauslaßbohrung hin so gegen die Gasauslaßbohrung gedrückt wird, daß sie diese im wesentlichen schließt, und bei Positionierung des Steuerglieds weg von der Gasauslaßbohrung so aus der Gasauslaßbohrung herausgezogen wird, daß der Durchtritt des unter Druck

BAD ORIGINAL

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- 5 stehenden Gases hierdurch möglich ist.

12. Vakuumsteuervorrichtnnα
nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Verbindungsbohrung im Spitzenglied bei Positionierung des Steuerglieds zur Gasauslaßbohrung hin im wesentlichen durch einen Teil des Steuerglieds so abgesperrt ist, daß keine wesentliche Gasmenge hindurch zur Gasauslaßbohrung fließen kann, und daß jedoch selbst bei Positionierung des Steuerglieds um einen verhältnismäßig kleinen Betrag weg von der Gasauslaßbohrung die Verbindungsbohrung im Spitzenglied durch den Teil des Steuerglieds so geöffnet ist, daß eine wesentliche Gasmenge durch die Verbindungsbohrung aus dem Raum um das Steuerglied strömen kann und somit durch die Gasauslaßbohrung strömt.

13. VakuumSteuervorrichtung
nach Anspruch 11 öder 12,
gekennzeichnet

durch einen Elektromagnet für den Antrieb des Steuerglieds.

1-⁴ · Vakuumsteu-ervorricntun-g nach den vorhergehenden Ansprüchen,

dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung umfaßt: eine Vakuumventil-Fühler, eine Filtervorrichtung, eine Vakuumaufhebevorrichtung mit einem Vakuumaufhebeventil und eine Vorrichtung zum Entlüften von unter Druck stehendem Gas, wobei alle Glieder übereinander angeordnet und miteinander verbunden sind.