DE3509838C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrich
tung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Bei Positionsmeßeinrichtungen ist es zur Ermittlung
von Bezugspositionen bekannt, relativ zueinander beweg
liche Maschinenteile oder Meßeinrichtungsteile aus
einer Ausgangsposition bis zu einer Referenzmarke
zu verfahren, um den bis dort zurückgelegten Wert
zu ermitteln und zu speichern oder die Referenz
marke zur Bezugsposition mit dem Wert "Null" zu er
klären. Ein solches Verfahren ist mit einer inkre
mentalen Längen- oder Winkelmeßeinrichtung möglich,
wie sie in der DE-PS 19 64 381 beschrieben wird.
Dieses Verfahren erfordert aber eine ungehinderte
Relativbeweglichkeit der zu messenden Objekte, da
die Bauteile der Meßeinrichtung fest mit den zu
messenden Objekten verbunden sind und gemeinsam
mit diesen zu einer Referenzmarke verstellt werden
müssen.
Aus der DE-OS 16 73 887 ist eine Meßeinrichtung
bei einer Maschine bekannt, die bei einem auf dem
Maschinenbett festgeklemmten Maschinenschlitten
die Ermittlung einer Bezugsposition erlaubt. Zu
erst muß dort der Schlitten in diejenige Position
gefahren werden, die später als Bezugsposition zu
Null erklärt werden soll. Danach wird der Schlit
ten auf dem Maschinenbett festgeklemmt. Anschließend
wird die Abtastplatte der Meßeinrichtung relativ
zum Maßstab verfahren, bis eine Referenzmarke er
reicht ist. Bei Erreichen der Referenzmarke wird
der elektronische Zähler der Meßeinrichtung auf den
Wert Null gesetzt. Sodann kann die Klemmung für den
Maschinenschlitten wieder gelöst und der Schlitten
in die gewünschte Position gefahren werden. Die
Lage der Referenzmarke stellt also die Bezugsposi
tion für die weiteren Arbeitsgänge dar.
Die bekannten Verfahren zur Ermittlung einer als
Ausgangslage definierten Bezugsposition, die vor
den eigentlichen Arbeitsvorgängen erfolgt, sind
mit den beschriebenen inkrementalen Meßeinrichtungen
jedoch dann nicht mehr möglich, wenn bereits Ar
beitsgänge erfolgt sind und beispielsweise laufende
Arbeitsgänge unterbrochen werden. Diese Unterbrechung
eines laufenden Arbeitsvorganges, beispielsweise bei
einem Handhabungsautomaten - im allgemeinen als
Industrieroboter bezeichnet - ist durch Stromausfall
möglich. Der Roboter bleibt dann in seiner momen
tanen Position stehen; der auf seine ursprüngliche
Bezugsposition bezogene Meßwert geht aber durch den
Stromausfall verloren, da auch die Messung unter
brochen wurde. Zur Fortführung des unterbrochenen
Arbeitsvorganges müßte jedoch die Bezugsposition
bekannt sein. Eine Rückbewegung des Roboters aus
seiner Momentanposition in die ursprüngliche Aus
gangslage scheidet aber in der Regel aus, weil
beispielsweise gerade ein Werkzeug im Eingriff ist.
Um dennoch die Bezugslage reproduzieren zu können,
wird in der DE-OS 33 11 203 vorgeschlagen, entwe
der die Teilscheibe oder deren Abtastbaueinheit
von dem zu messenden Objekt abzukoppeln und bis
zu einer Referenzmarke zu verdrehen. Die Verdreh
bewegung wird gemessen und zur Momentanposition
verrechnet.
Eine weitere Möglichkeit zur Reproduktion der Be
zugslage besteht nach der DE-OS 33 11 204 darin,
eine zweite Teilscheibe vorzusehen, die Markierungen
trägt und relativ zur ersten Teilscheibe und der
Abtasteinrichtung verdrehbar ist. Durch die Koinzi
denz von Markierungen auf der zweiten Scheibe und
zugehörigen Abtastfeldern läßt sich die Bezugslage
ermitteln und zur Momentanposition verrechnen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Posi
tionsmeßeinrichtung der genannten Gattung anzugeben,
die die Nachteile der bekannten Einrichtungen be
seitigt und es bei einfacherem Aufbau ermöglicht,
nach Verlust der Lageinformation in unbekannten
Momentanpositionen ohne Bewegung der zu messenden
Objekte eine Bezugsposition zu reproduzieren. Dabei
soll die Positionsmeßeinrichtung im Aufbau möglichst
weitgehend den herkömmlichen Meßeinrichtungen ent
sprechen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kenn
zeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen
insbesondere darin, daß die vorgeschlagene Posi
tionsmeßeinrichtung auf einfache und schnelle Weise
die Reproduktion einer Bezugsposition nach unter
brochenen Messungen und Bewegungen aus unbekannten
Momentanpositionen erlaubt, ohne daß die zu messen
den Objekte bewegt werden müssen. Ein solches zu
messendes Objekt in Form eines Werkzeuges kann so
mit bei einer Unterbrechung des Meßvorganges und
des Bearbeitungsvorganges durch eine Störung im Ein
griff am Werkstück verbleiben, so daß nach Behebung
der Störung und Wiederermittlung der Bezugsposition
der unterbrochene Bearbeitungsvorgang unverzüglich
wieder fortgesetzt werden kann. Ein Zurückziehen
des Werkzeuges von der Eingriffstelle am Werkstück
und ein erneutes genaues Wiederanfahren dieser Ein
griffstelle ist zeitaufwendig und schwierig und kann zu
Beschädigungen des Werkstückes führen. Ferner sind
beispielsweise bei Industrierobotern programmge
steuerte Überprüfungen der jeweiligen Bezugsposi
tionen zwischen einzelnen Arbeitsabläufen möglich,
wodurch die Betriebssicherheit derartiger Systeme
erheblich erhöht wird.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt
man den Unteransprüchen.
Mit Hilfe von Ausführungsbeispielen soll die Er
findung anhand der Zeichnungen noch näher erläutert
werden.
Es zeigt
Fig. 1 eine Längenmeßeinrichtung an den
zu messenden Maschinen-Bauteilen;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Längenmeß
einrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 3 einen Ausschnitt einer Maßverkör
perung aus der Längenmeßeinrichtung
gemäß Fig. 1 und 2 in vergrößer
ter Darstellung;
Fig. 4 eine Seitenansicht der Maßverkör
perung gemäß Fig. 3 mit zwei sche
matisierten Abtastbaueinheiten;
Fig. 5 eine Maßverkörperung mit zwei In
krementalteilungen und Referenz
marke;
Fig. 6 zwei Maßverkörperungen mit je
einer Inkrementalteilung, davon
eine mit Referenzmarke;
Fig. 7 eine Maßverkörperung mit einer
Inkrementalteilung und einer Re
ferenz-Codeteilung.
Mit der in Fig. 1 dargestellten Positionsmeßeinrichtung
1 wird die relative
Lage zweier Objekte 2 und 3 zueinander gemessen.
Diese Objekte 2 und 3 können Bett und Schlitten
einer nicht dargestellten Maschine, beispielsweise
einer Werkzeugmaschine sein.
Am Schlitten 3 ist ein Hohlkörper 4 mittels Winkeln
5 a und 5 b befestigt. Innerhalb des Hohlkörpers 4
ist in bekannter Weise eine Maßverkörperung 6 ange
ordnet. Diese Maßverkörperung 6 trägt eine Inkremen
talteilung T 1, die in ebenfalls bekannter Weise von
einer Abtastbaueinheit A 1 abgetastet wird. Die Ab
tastbaueinheit A 1 ist fest mit dem Bett 2 der Ma
schine verbunden und wird bei Relativbewegungen
zwischen Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßver
körperung 6 bewegt. Da die Maßverkörperung die be
sagte Inkrementalteilung T 1 trägt, auf die später
noch näher eingegangen wird, kann ständig die Posi
tion des bewegten Schlittens 3 zum stillstehenden
Bett 2 ermittelt werden, denn die von der Abtastbau
einheit A 1 während der Bewegung abgetasteten In
tervalle der Inkrementalteilung T 1 werden in einer
nicht dargestellten Auswerteeinrichtung erfaßt und
als Weg- bzw. Positionswert angezeigt.
Zusätzlich zur Abtastbaueinheit A 1 ist eine weitere
Abtastbaueinheit vorgesehen, die als Referenz-Ab
tastbaueinheit RA bezeichnet und unabhängig von
Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßverkörperung
6 verschiebbar ist. Mit Hilfe dieser Referenz-Ab
tastbaueinheit RA kann jederzeit die Position der
Abtastbaueinheit A 1 zu einem Bezugspunkt der Maß
verkörperung 6 ermittelt werden. Der Bezugspunkt
wird durch eine Referenzmarke R 1 bestimmt, deren
Lage zur Inkrementalteilung T 1 der Maßverkörperung
absolut festgelegt ist. Diese Bezugspunktermitt
lung wird anhand der Fig. 3 und folgende noch
näher beschrieben.
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die Anordnung ge
mäß Fig. 1. Es ist ersichtlich, daß der Hohlkör
per 4 an seiner Oberseite mit Dichtelementen 4 a
und 4 b abgedichtet ist, die im Bereich der Abtast
baueinheiten A 1 und RA durchgriffen werden, wozu
diese Abtastbaueinheiten A 1 und RA in bekannter
Weise nicht näher bezeichnete Mitnehmer aufweisen.
Im Bereich dieser Mitnehmer werden die Dichtele
mente 4 a und 4 b aufgespreizt und schmiegen sich an
die Außenbereiche der Mitnehmer an, deren Querschnitt
etwa dem eines zweischneidigen Schwertes gleicht.
In Fig. 3 ist ein Ausschnitt der Maßverkörperung 6
vergrößert dargestellt. Die Maßverkörperung 6 besteht
aus Glas und ist mit einer für Strahlung undurchläs
sigen Schicht versehen. Unter Strahlung sei hier
Strahlung im optischen Bereich verstanden, obwohl
die Erfindung nicht auf optisch-elektrische Posi
tionsmeßeinrichtungen beschränkt sein soll.
Mit Hilfe von photolithographischen Verfahren ist
auf der Maßverkörperung 6 eine Inkrementalteilung
T 1 angebracht, die allgemein bekannt ist. An einem
als Bezugspunkt definierten Ort ist in gleicher
Weise eine Referenzmarke R 1 auf der Maßverkörperung
6 angeordnet. Selbstverständlich können auch mehre
re Referenzmarken vorgesehen werden.
Die Abtastung der Inkrementalteilung T 1 erfolgt in
bekannter Weise; anhand der Fig. 4 soll erläutert
werden, wie die Bezugsposition ermittelt wird.
Auf der nun in Seitenansicht gezeigten Maßverkör
perung 6 tastet die Abtastbaueinheit A 1 die Inkre
mentalteilung T 1 ab. An beliebiger Stelle sollen
die Abtastbaueinheit A 1 und die Maßverkörperung 6
sich in einer Ruhestellung befinden. Diese Ruhe
stellung kann durch Unterbrechung der Energiever
sorgung der Maschine verursacht worden sein. Durch
Stromunterbrechungen gehen bei inkrementalen Meß
einrichtungen jedoch auch die Positionswerte ver
loren.
Um diese Positionswerte wieder zu gewinnen, ist es
beim Stand der Technik (siehe u. a. eingangs aufge
führte Druckschriften) erforderlich, den Schlitten
so weit zu verfahren, daß die Referenzmarke mit
einem entsprechenden Abtastfeld der Abtastbauein
heit koinzidiert, und so ein Referenzimpuls erzeugt
wird, der die Auswerteeinrichtung auf einen bestimm
ten Wert, z. B. "Null" setzt. Nun kann der Schlitten
wieder positioniert werden. Die aus dieser Vorge
hensweise resultierenden Nachteile wurden bereits
abgehandelt, so daß nun die Er
mittlung der Bezugsposition dargelegt werden soll:
Der Schlitten 3 mit der Maßverkörperung 6 nimmt
eine unbekannte Position zum Bett 2 und der Abtast
baueinheit A 1 ein, und keines dieser Elemente kann
relativ zu einem der anderen von der Stelle bewegt
werden. Zur Ermittlung der Position der Abtastbau
einheit A 1 relativ zur Referenzmarke R 1 und damit
des Schlittens 3 zum Bett 2 muß der Abstand der Re
ferenzmarke R 1 von der Abtastbaueinheit A 1 bestimmt
werden. Dazu wird nun manuell oder mittels eines
nicht dargestellten Antriebes eine zusätzliche
Referenz-Abtastbaueinheit RA relativ zur Maßver
körperung 6 verfahren. Sowohl die Referenz-Ab
tastbaueinheit RA als auch die Abtastbaueinheit
A 1 weisen Indikatorbausteine 7 und 8 auf. Wenn
diese Indikatorbausteine 7 und 8 in Koinzidenz
gebracht werden, bilden sie einen sogenannten
Null-Indikator. Ein Null-Indikator kann die
unterschiedlichsten Bauformen aufweisen, auch
eine abgetastete Referenzmarke ist in gewissem
Sinn ein Null-Indikator.
Nachdem einer der Null-Indikatoren (die Referenz
marke R 1 oder der Null-Indikator, der durch die
beiden Indikatorbausteine 7 und 8 gebildet wird)
überfahren worden ist, wird die Auswerteeinrichtung
auf einen bestimmten Positionswert, z. B. "Null"
gesetzt. Anschließend wird die Referenz-Abtastbau
einheit RA in Richtung des anderen Null-Indikators
verfahren und es werden von der Referenz-Abtast
baueinheit RA die dabei überfahrenen Teilungsin
kremente ermittelt und in der Auswerteeinrichtung
aufsummiert. Beim Überfahren des anderen Null-In
dikators wird diese Zählung gestoppt
und der Abstand der Referenzmarke R 1 vom Null-Indi
kator - also der ersten Abtastbaueinheit A 1 -
wird als Bezugswert angezeigt.
Damit ist eine Bezugsposition reproduziert, ohne
daß eines der Maschinen-Bauteile bewegt worden ist.
Es versteht sich, daß die Referenz-Abtastbaueinheit
RA den Anforderungen entsprechend geführt werden
muß. Das kann - wie im Beispiel gezeigt - inner
halb der Positionsmeßeinrichtung 1 geschehen, aber
die Referenz-Abtastbaueinheit RA kann selbstver
ständlich auch außerhalb der Positionsmeßeinrich
tung 1 direkt an der Maschine geführt werden.
In Fig. 5 ist eine der Fig. 3 entsprechende
Maßverkörperung 65 gezeigt, bei der neben der In
krementalteilung T 5 noch eine weitere Inkremental
teilung TR 5 vorgesehen ist. Diese Inkrementalteilung
TR 5 kann, muß aber nicht die gleiche Gitterkonstante
haben, wie die Inkrementalteilung T 5. Falls beide
Inkrementalteilungen T 5 und TR 5 die gleiche Gitter
konstante haben, empfiehlt es sich, anstelle zweier
getrennter Inkrementalteilungen T 5 und TR 5 - abwei
chend von Fig. 5 - eine einzige breite Inkremental
teilung vorzusehen.
Zur Abtastung der Inkrementalteilung T 5 sind außer
der Abtastbaueinheit A 15 noch weitere Abtastbauein
heiten vorgesehen, von denen hier nur die Abtast
baueinheit A 25 gezeigt ist. Mehrere Abtastbauein
heiten, die eine gemeinsame Inkrementalteilung ab
tasten, sind bei sehr langen Maschinen üblich, die
mehrere Maschinenschlitten in einer Achse unabhän
gig voneinander verfahren. Jede der Abtastbauein
heiten A 15 und A 25 hat demgemäß eine andere Bezugs
position inne, bezogen auf den Teilungsnullpunkt
bzw. die Referenzmarke R 15. Jede der Abtastbauein
heiten A 15 bzw. A 25 hat auch einen eigenen Indika
torbaustein 85 bzw. 95. Mit Hilfe einer entspre
chend geschalteten Auswerteeinrichtung kann auf
die vorbeschriebene Weise für jede Abtastbauein
heit A 15, A 25 usw. der Abstand von dem Teilungs
nullpunkt bzw. der Referenzmarke R 15 ermittelt wer
den.
Es liegt auch im Rahmen der Erfindung, mehrere Re
ferenzmarken auf der Maßverkörperung vorzusehen,
wenn die Verfahrwege für die Referenz-Abtastbau
einheit RA 5 kurz gehalten werden sollen, oder
wenn jeder der Abtastbaueinheiten A 15, A 25 usw.
eine eigene Referenzmarke zugeordnet sein soll.
Für diesen Fall müßten die einzelnen Referenzmar
ken kodiert werden, d. h., von jeder der einzelnen
Referenzmarken muß die individuelle Entfernung
vom Teilungsnullpunkt bekannt sein und von der
Referenz-Abtastbaueinheit RA 5 dekodiert werden kön
nen.
Das Beispiel in Fig. 6 zeigt eine besonders vor
teilhafte Ausgestaltung der Erfindung. Die Inkre
mentalteilung T 6 ist auf einer Maßverkörperung 66
angeordnet und wird von Abtastbaueinheiten A 16 und
A 26 abgetastet. Die Maßverkörperung 66 weist keine
Referenzmarke auf und bildet damit eine inkremen
tale Positionsmeßeinrichtung in einfachster Bau
weise. Sie kann, muß aber ebensowenig wie die vor
beschriebenen in einem Gehäuse gekapselt sein.
Die Bezugsposition der Abtastbaueinheiten A 16 und
A 26 zum Teilungsnullpunkt wird mit Hilfe einer
weiteren Positionsmeßeinrichtung ermittelt, die
eine eigene Maßverkörperung 106 mit einer Inkre
mentalteilung TR 6 und einer Referenzmarke R 16 auf
weist, die von einer Referenz-Abtastbaueinheit
RA 6 abgetastet werden. Die beiden Maßverkörperun
gen 66 und 106 bzw. die beiden entsprechenden
Positionsmeßeinrichtungen sind an der Maschine
so zueinander montiert, daß die Referenzmarke R 16
der Maßverkörperung 106 genau dem Teilungsnull
punkt der Inkrementalteilung T 6 der anderen Maß
verkörperung 66 zugeordnet ist. Die Abtastbau
einheiten A 16 und A 26 sowie die Referenz-Abtast
baueinheit RA 6 tragen ebenfalls Indikatorbaustei
ne 86, 96 und 76. Die Bezugspunktermittlung gleicht
den vorbeschriebenen Vorgängen, so daß zur Vermei
dung von Wiederholungen hier nicht mehr näher da
rauf eingegangen werden muß.
Der zur Fig. 6 geltend gemachte besondere Vor
teil äußert sich darin, daß die
Positionsmeßeinrichtung 1 aus zwei einfachen,
standardmäßigen inkrementalen Meßeinrichtungen
aufgebaut werden kann, von denen lediglich eine
eine Referenzmarke aufweisen muß, die zur Teilung
der anderen absolut festgelegt ist. Durch entspre
chende Justierung ist diese Forderung leicht zu
erfüllen.
In Fig. 7 ist schließlich noch ein Ausführungs
beispiel gezeigt, in dem die separate Teilung als
Referenz-Codeteilung TRC ausgebildet ist. Anstelle
einer Inkrementalteilung mit einer die Bezugsposi
tion definierenden Referenzmarke ist eine soge
nannte Absolutteilung als Referenz-Codeteilung TRC
neben der zur eigentlichen Messung benutzten In
krementalteilung T 7 auf der Maßverkörperung 67 an
gebracht. Abtastbaueinheiten sind hier nicht ge
zeigt, weil sie den vorbeschriebenen entsprechen,
wobei die Abtastung der Referenz-Codeteilung TRC
mit einer entsprechend ausgebildeten Abtastbauein
heit erfolgt. Die Absolutposition - bezogen auf
den Nullpunkt der Referenz-Codeteilung TRC - ist
jedesmal sofort an der nicht gezeigten Auswerte
baueinheit ablesbar, wenn die Indikatorbausteine
der Abtastbaueinheiten für die Inkrementalteilung
T 7 mit dem Indikatorbaustein der Abtastbauein
heit für die Referenz-Codeteilung koinzidiert.
Wie schon die unterschiedlichen Teilungsausbil
dungen zeigen, ist die Erfindung nicht auf rein
inkrementale Positionsmeßeinrichtungen beschränkt,
sondern es können auch Mischformen zur Anwendung
kommen.
Claims (9)
1. Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Lage
zweier relativ zueinander beweglicher Objekte
und zum Reproduzieren einer Bezugsposition bei
beliebiger unbekannter Momentanposition der zu
messenden Objekte, bei der wenigstens eine Maß
verkörperung mit dem ersten Objekt und wenigstens
eine Abtastbaueinheit zur Abtastung einer In
krementalteilung einer Maßverkörperung fest mit
dem zweiten Objekt verbunden ist, und bei der
der Inkrementalteilung der Maßverkörperung wenigstens
eine Referenzmarke oder Referenz-Codeteilung fest zu
geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Re
ferenz-Abtastbaueinheit (RA, RA 5, RA 6) wenigstens
eine weitere Abtastbaueinheit vorgesehen ist,
die unabhängig von der wenigstens einen Abtast
baueinheit (A 1) und somit von den beiden Objek
ten (2, 3) relativ zur Maßverkörperung (6, 65,
66, 106, 67) verschiebbar ist, und durch Ab
tastung einer Teilung (T 1, TR, TR 6, TRC) den
Abstand der wenigstens einen Abtastbaueinheit
(A 1) von der wenigstens einen Referenzmarke
(R 1) oder dem Nullpunkt der Referenz-Codeteilung
(TRC) ermittelt, wobei die erste Abtastbaueinheit
(A 1) und die Referenz-Abtastbaueinheit (RA)
Indikatorbausteine (8, 7) aufweisen, die bei
Koinzidenz einen Null-Indikator bilden.
2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß zur Abtastung der
Teilung (T 5, T 6) der Maßverkörperung (65, 66)
mehrere unabhängig voneinander bewegliche Ab
tastbaueinheiten (A 15, A 16, A 25, A 26) mit In
dikatorbausteinen (85, 86, 95, 96) vorgesehen
sind, und daß der Indikatorbaustein (75, 76)
der Referenz-Abtastbaueinheit (RA 5, RA 6) mit
jeder der anderen Abtastbaueinheiten (A 15, A 16,
A 25, A 26) in Koinzidenz bringbar ist.
3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die Referenz-Abtast
baueinheit (RA, RA 5, RA 6) manuell oder selbst
tätig mittels eines separaten Antriebes rela
tiv zur Maßverkörperung (6, 65, 106) verschieb
bar ist.
4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß für die Referenz-Ab
tastbaueinheit (RA 5, RA 6) eine separate Teilung
(TR 5, TR 6) mit Referenzmarke (R 15, R 16) oder
eine Referenz-Codeteilung (TRC) vorgesehen ist,
wobei die Referenzmarke (R 15, R 16) bzw. der Null
punkt der Referenz-Codeteilung (TRC) jedoch der
ersten Teilung (T 5, T 6, T 7) absolut zugeordnet
ist.
5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, daß die separate Teilung
(TR 6) auf einer eigenen Maßverkörperung (106)
angeordnet ist.
6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 5, da
durch gekennzeichnet, daß zur Abtastung der
ersten Teilung (R 5, T 6) mehrere unabhängig
voneinander bewegliche Abtastbaueinheiten
(A 15, A 16, A 25, A 26) vorgesehen sind, daß zur
Abtastung der separaten Teilung (TR 5, TR 6)mit
Referenzmarke (R 15, R 16) die Referenz-Abtast
baueinheit (RA 5, RA 6) vorgesehen ist, deren
Indikatorbaustein (75, 76) mit jedem Indikator
baustein (85, 86, 95, 96) der jeweiligen Abtast
baueinheit (A 15, A 16, A 25, A 26) in Koinzidenz
bringbar ist.
7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, daß die Abtastbauein
heiten der ersten Teilung (T 7) Indikatorbau
steine aufweisen, die mit einem Indikatorbau
stein der Abtastbaueinheit für die Referenz-
Codeteilung (TRC) in Koinzidenz bringbar sind.
8. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß die Abstandsermitt
lung während der Bewegung eines der Objekte
stattfindet.
9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, 5, 6
oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils
eine der Teilungen mit ihrer zugehörigen Ab
tastbaueinheit eine Notfunktion bei Ausfall der
anderen übernimmt.
Priority Applications (5)
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EP85104316A EP0165392B1 (de) | 1984-04-21 | 1985-04-10 | Positionsmesseinrichtung |
DE8585104316T DE3562948D1 (en) | 1984-04-21 | 1985-04-10 | Position-measuring device |
AT85104316T ATE34610T1 (de) | 1984-04-21 | 1985-04-10 | Positionsmesseinrichtung. |
US06/724,189 US4631404A (en) | 1984-04-21 | 1985-04-17 | Position measuring system |
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---|---|---|---|
DE19853509838 DE3509838A1 (de) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3509838A1 DE3509838A1 (de) | 1986-10-02 |
DE3509838C2 true DE3509838C2 (de) | 1989-02-02 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853509838 Granted DE3509838A1 (de) | 1984-04-21 | 1985-03-19 | Positionsmesseinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3509838A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10030038A1 (de) * | 2000-06-17 | 2002-01-03 | Sew Eurodrive Gmbh & Co | Verfahren zum Betreiben verschiedener Absolutwertgeber für einen Umrichter und Umrichter |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD284772A5 (de) * | 1989-06-02 | 1990-11-21 | Veb Carl Zeiss Jena,Dd | Verfahren und anordnung zur ueberwachung eines winkel- oder laengenmesssystems an einer maschine |
DE202017107880U1 (de) * | 2017-12-22 | 2019-01-24 | Schneeberger Holding Ag | Lineare Wegmessvorrichtung zum Bestimmen einer absoluten Position und Linearführung mit einer derartigen Wegmessvorrichtung |
TWI815834B (zh) | 2017-12-22 | 2023-09-21 | 瑞士商施內貝格爾控股公司 | 用來確定絕對位置的線性路線測量儀和用這種路線測量儀進行線性導引 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1673887A1 (de) * | 1968-01-16 | 1972-01-20 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Anordnung zur Bestimmung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Teile |
DE1933254C3 (de) * | 1969-07-01 | 1979-08-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE3311204A1 (de) * | 1983-03-26 | 1984-10-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung |
DE3311203A1 (de) * | 1983-03-26 | 1984-10-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Verfahren zum reproduzieren einer bezugsposition |
-
1985
- 1985-03-19 DE DE19853509838 patent/DE3509838A1/de active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10030038A1 (de) * | 2000-06-17 | 2002-01-03 | Sew Eurodrive Gmbh & Co | Verfahren zum Betreiben verschiedener Absolutwertgeber für einen Umrichter und Umrichter |
DE10030038B4 (de) * | 2000-06-17 | 2020-10-01 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Betreiben verschiedener Absolutwertgeber für einen Umrichter und Umrichter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3509838A1 (de) | 1986-10-02 |
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