DE3500043C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen einachsigen Multisensor nach
dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Es sind bereits Versuche durchgeführt worden, um eine
Trägheitsmasse zur Anzeige der Drehgeschwindigkeit eines
Körpers zu verwenden. Derartige Versuche basieren auf der
Coriolis-Beschleunigung, die ein vibrierender oder drehender
Körper erfährt, der mit einem zweiten Körper befestigt ist,
dessen Drehung gemessen werden soll. Die Coriolis-Beschleunigung
ist durch folgende Gleichung bestimmt:
= 2 × ,
wobei
= Coriolis-Beschleunigung
= Winkelgeschwindigkeit des sich drehenden Koordinatensystems (zweiter Körper), die gemessen werden soll, und
= Geschwindigkeitskomponente senkrecht zur Drehachse.
= Winkelgeschwindigkeit des sich drehenden Koordinatensystems (zweiter Körper), die gemessen werden soll, und
= Geschwindigkeitskomponente senkrecht zur Drehachse.
Vorstehende Gleichung bringt das Grundprinzip zum Ausdruck,
auf dem alle Vibrationskreisel wie auch Kreisel mit eine
Spinnbewegung ausführenden Rädern basieren. Dabei tritt eine
Coriolis-Beschleunigungskraft auf, wenn eine sich bewegende
Masse eine rechtwinklig zur Drehachse
eines zugeordneten drehenden Koordinatensystems verlaufende Geschwindigkeitskomponente hat. Dieses
Prinzip ermöglicht die Messung der Winkelgeschwindigkeit
mit einem oszillierenden Pendel, wie dies zuerst von Leon
Foucault um 1850 gezeigt worden ist. Seit dieser Zeit gab es
zahlreiche Versuche, um das Prinzip der Coriolis-Beschleunigung
auf die Konstruktion von Geschwindigkeitskreiseln und
geschwindigkeitsintegrierenden Kreiseln anzuwenden.
Aus diesen Versuchen zur Erzeugung eines die Geschwindigkeit
messenden Kreisels nach den vorgenannten Prinzipen sind
folgende Lösungen für Trägheitssensoren interessant: "Gyrotron"
der Firma Sperry Gyroscope Corporation (1940); "A5
Gyro" der Firmal Royal Aircraft Establishment; "Vibrating
String Gyro" der Firma North American Rockwell Corporation
(Autonetics Division, Anaheim, California); "Viro" der Firma
General Electric Corporation und "Sonic Bell Gyro" der Firma
General Motors Corporation (Delco Division). Mit Ausnahme des
"Gyrotron" liegen die Entwicklungen dieser Trägheitssensoren
in den früher 60er Jahren.
Die vorgenannten Systeme gehen entweder von einem sich
drehenden Körper oder einem freien, vibrierenden Körper aus,
um die Geschwindigkeitskomponente senkrecht zur Drehachse
des zweiten Körpers einzuführen. Die Beschleunigungskraft,
die auf einen solchen drehenden oder vibrierenden Körper
einwirkt, wird dann so gemessen, daß die Coriolis-Beschleunigung
erzielt wird. Kenn man die Coriolis-Beschleunigung
und die Geschwindigkeit eines die Kraft messenden Elementes,
läßt sich die Drehgeschwindigkeit des Körpers auf
einfache Weise bestimmen.
Vibrierende Körper haben entscheidende Vorteile gegenüber
Drehanordnungen, soweit es die mechanische Einfachheit
betrifft. Um ein drehbares Trägheitsinstrument, das auf
Coriolis-Beschleunigung anspricht, z. B. einen Beschleunigungsmesser
zu erzielen, sind Kugellager, Schleifringe,
Spinnrotoren und dergl. erforderlich. Ferner muß eine Drehanordnung
in der Phase auf das Gehäuse bezogen sein, in
welchem sie befestigt ist, um die Eingangswinkelgeschwindigkeit
in die orthogonalen empfindlichen Achsen aufzulösen,
wodurch derartige Anordnungen zusätzlich komplizierter
werden.
Aus der US-PS 32 06 986 ist ein schwingender, stimmgabelartiger
Rotationssensor bekannt. Aufgrund ihrer Trägheit schwingen
die Abstimmgabeln und die Z-Achse oder um Achsen parallel
zu dieser Z-Achse in der XY-Ebene. Wenn auf eine solche
Abstimmgabel ein Drehmoment um eine Achse parallel zur
Y-Achse einwirkt,
wird über einen Querbalken ein Signal
abgegeben.
Aus der Literaturstelle IEEE Transactions on Aerospace and
Electronic Systems, Vol. AES-3, Nr. 3, Mai 1967, Seiten 465-471,
ist bekannt, daß die Messung von Drehgeschwindigkeiten
mit Hilfe von linearen Beschleunigungsmessern möglich ist,
wobei mathematisch durch Lösen der Beschleunigungsgleichungen
die Winkelrotationen wie auch die lineare Beschleunigung
berechnet werden.
Schließlich ist aus der DE-OS 34 44 142, die auf eine ältere Anmeldung
zurückgeht, ein Multisensor mit zwei Beschleunigungsmessern
bekannt, deren Abfühlachsen senkrecht aufeinander
stehen.
Ein Problem, das bei Multisensoren auftreten kann, die einen
oder mehrere in Vibrationen versetzte Sensoren vom Trägheitsmassentyp
aufweisen, ergibt sich daraus, daß die Beschleunigungsinformation
längs der Eingangsachse des Sensors oder der
Sensoren im Ausgang des Sensors enthalten ist. Während bei
vielen Anwendungsfällen und unter vielen Bedingungen die
Beschleunigungsfrequenz vorhersagbar ist und außerhalb der
interessierenden Bandbreite liegt, treten Schwierigkeiten
auf, wenn die Frequenz der linearen Beschleunigung längs der
Eingangsachse nahe der Vibrationsfrequenz des Sensors ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen einfachen und billigen
einachsigen Multisensor zu schaffen, der für Kurzzeit-Navigation
eine ausreichende Genauigkeit ergibt, und dessen
Herstellung auf einfache
Weise möglich sein soll.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des
Kennzeichens des Anspruches 1 gelöst. Ausgestaltungen
der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wird ein Multisensor vom Vibrationstyp
erzielt, mit dem eine erhöhte Empfindlichkeit sowohl in
bezug auf Beschleunigung als auf Drehung erreicht wird, der
nicht Fehlern ausgesetzt ist, welche induziert werden, wenn
die Frequenz der Beschleunigung mit der modulierten Frequenz
des in Vibrationen versetzten Sensors zusammenfällt oder
dieser Frequenz sehr nahekommt.
Nachstehend wird die Erfindung in Verbindung mit der Zeichnung
anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es
zeigt
Fig. 1 eine Aufsicht auf einen Einachsen-Multisensor, bei dem
der besseren Übersicht wegen Teile entfernt sind,
Fig. 2 einen Teilschnitt durch den Einachsen-Multisensor
längs der Schnittlinie 2-2 der Fig. 1, und zusätzlich
bestimmte Bauteile, die in Fig. 1 weggelassen worden
sind,
Fig. 3 einen Teilquerschnitt in vergrößertem Maßstab längs
der Linie 3-3 der Fig. 1, woraus sich ergibt, wie die
Vibration der rechten und linken Beschleunigungsmesser
erzielt wird, und
Fig. 4 ein Funktionsblockschaltbild einer Schaltung für die
Signalverarbeitung.
Fig. 1 zeigt eine Aufsicht auf einen Multisensor.
Eine Reihe von Teilen der Ausführungsform sind aus
der Fig. 1 entfernt. Diese Teile sind in den anderen Figuren
dargestellt und werden nachstehend beschrieben.
Der Multisensor weist einen rechten
Beschleunigungsmesser 10 und einen linken Beschleunigungsmesser
12 auf, die in einem Gehäuse 14 angeordnet sind,
dessen Deckseite in Fig. 1 weggelassen ist. Mindestens einer
der Beschleunigungsmesser kann so ausgebildet sein, daß eine
Trägheitsmasse in der Weise angeordnet ist, daß sie auf
Beschleunigungskräfte längs einer vorbestimmten Richtung
anspricht und dadurch eine Anzeige dieser Beschleunigungskräfte
ergibt. Des weiteren kann der Beschleunigungsmesser
mit unfreier Masse arbeiten. Andererseits können Beschleunigungsmesser
mit offener Schleife oder eine Kombination von
Sensoren mit offener und geschlossener Schleife im Multisensor
verwendet werden. Zusätzlich kann der Multisensor
mit Beschleunigungsmessern ausgeführt sein, die Elemente
aufweisen, deren optische Eigenschaften während einer
Beschleunigung geändert werden.
Die Beschleunigungsmesser sind innerhalb eines Hohlraumes 16
angeordnet, der im Inneren des Gehäuses 14 ausgebildet ist.
Jeder Beschleunigungsmesser ist mit einem dreiteiligen Bügel
befestigt; der rechte Beschleunigungsmesser 10 ist mit dem Bügel
befestigt, der den Finger 18 und den Träger 19 aufweist,
während der linke Beschleunigungsmesser 12 mit dem Bügel
befestigt ist, der den Finger 20 und den Träger 21 enthält.
Seitenträger sind in Fig. 1 nicht gezeigt, damit jeder
Beschleunigungsmesser und jede Bügelanordnung einwandfrei
sichtbar gemacht werden kann. Wie in den anderen Figuren der
Zeichnung dargestellt, ist jedoch jede kombinierte Bügel-Beschleunigungsmesser-Anordnung
sandwichartig zwischen zwei
im Abstand versetzte flexible Seitenträger eingesetzt, die
piezoelektrische Elemente aufweisen, welche zur Erzielung
einer vorbestimmten Vibrationssensorbewegung verklebt sind.
Die Beschleunigungsmesser 10 und 12 sind innerhalb des
Hohlraumes 16 so angeordnet, daß im Ruhezustand ihre Eingangsachsen
22 und 24 im wesentlichen kollinear verlaufen.
Dies ist in Fig. 2 dargestellt, die eine Querschnittsansicht
längs der Linie 2-2 der Fig. 1 ist und die einige Elemente
aufweist, die in Fig. 1 der besseren Übersicht wegen nicht
dargestellt sind. Fig. 2 zeigt die rechten und linken
parallelen Trägeraufhängungen, die voneinander versetzte
Seitenträger in Paaren 25, 26 und 27, 28 besitzen, die die
rechten und linken Anordnungen auf Beschleunigungsmesser und
Bügel sandwichartig aufnehmen. Die rechte Bügelanordnung wird
durch einen unteren Finger 30 und die linke Bügelanordnung
durch einen unteren Finger 32 vervollständigt.
Die Massen der rechten und linken Anordnungen aus Beschleunigungsmesser,
Bügel und Seitenträgerpaaren sind im wesentlichen
die gleichen, um die Belastung an den Gehäusebefestigungen
34, 36, 38 und 40 so gering wie möglich zu halten. Eine
derartige Paarbildung von Massen hat die Tendenz, in erster
Linie lineare (reine Translations-)Vibrationskräfte zu
kompensieren. In den Trägern 19 und 21 sind identische Löcher
42 und 44 vorgesehen, wobei das Loch 42 im wesentlichen nur
zum Ausgleich der Masse dient, während das Loch 44 einen
Magneten 46 aufnimmt, der dem Magneten 48 entspricht, welcher
mit dem rechten Beschleunigungsmesser 10 befestigt ist.
Jeder der Magneten 46 und 48 wirkt mit einem gehäusefesten
Paar von Spulen zusammen, die zusammen als die Multisensor-Geschwindigkeitsabnahme
wirken. Im Falle des Magneten 48
induziert seine Vibration mit dem rechten Beschleunigungsmesser
10 einen Strom in den Geschwindigkeits-Abnahmespulen
50 und 52, die mit einem gehäusefesten Bügel 54 verbunden
sind. Der Bügel 54 ergibt zusätzlich die Lage des rechten,
die Beschleunigung wieder herstellenden Verstärkers 56. Die
Vibration des linken Beschleunigungsmessers 12 und des
Magneten 46 induziert einen Strom in den Geschwindigkeits-Abnahmespulen
58 und 60, die dem Bügel 62 zugeordnet sind.
Der linke, die Beschleunigung wieder herstellende Verstärker
64 ist an einem weiteren gehäusefesten Bügel festgelegt.
Fig. 3 ist eine Teilschnittansicht in vergrößertem Maßstab
längs der Linie 3-3 der Fig. 1 und zeigt die Vorrichtung, die
eine Vibration der Beschleunigungsmesser 10 und 12 ergibt.
Wie dieser Ansicht entnommen werden kann, wird der rechte
Beschleunigungsmesser 10 in fester Zuordnung zwischen den
Seitenwänden 25 und 26 der rechten parallelen Schienenaufhängung
mit Hilfe der im Abstand versetzten Finger 18 und 30 des
Haltebügels gehalten. Die Seitenträger 25 und 26 erstrecken
sich über die Länge des Hohlraumes 16 und sind an ihren Enden
mit den entgegengesetzten Trägerabstützgelenken 66 und 68
befestigt. Die Seitenträger haben jeweils einen etwa W-förmigen
Querschnitt mit nach außen gerichteten verstärkten
Teilen, die einstückig mit dünnen, stegartigen Bauteilen
ausgebildet sind.
Piezoelektrische Elemente 70, 72, 74, 76 sind mit den
stegförmigen Teilen der Seitenträger mittels Klebstoff, z. B.
Epoxydkleber oder dergl. verbunden. Metallisierte bzw.
Metallkontakte sind auf die piezoelektrischen Elemente
paarweise aufplattiert. Derartiges piezoelektrisches Material
wird in an sich bekannter Weise einer voraussagbaren und
reproduzierbaren Deformation aufgrund von positiven und
negativen elektrischen Potentialen unterzogen. Werden
negative und positive elektrische Potentiale beispielsweise
an in geeigneter Weise polarisierte Elemente nach der in Fig. 3
angezeigten Kombination angelegt, werden den Seitenträgern
nutzbare Kräfte aufgegeben, um jeden an seinem Mittelpunkt
nach oben zu drücken. Durch Umkehr der Vorzeichen der
angegebenen Potentiale werden umgekehrt die Kombinationen aus
Seitenband, Bügel und Beschleunigungsmesser nach unten
gedrückt. Damit wird durch entsprechende Folge von Polaritäten
der elektrischen Signale, die den Seitenwänden aufgegeben
werden, der Beschleunigungsmesser 10 (und der Beschleunigungsmesser
12) mit einer vorbestimmten Frequenz und Amplitude
nach oben und unten in Vibration versetzt.
Nach Fig. 2 werden die Vibrationen der Beschleunigungsmesser
10 und 12 mit einer Phasendifferenz von 180° so induziert,
daß sie längs der parallelen Achsen 78 und 80 auftreten.
Aufgrund der vorbeschriebenen Coriolis-Beschleunigungskräfte,
die in einem vibrierenden System induziert werden, induzieren
die Vibrationen der Beschleunigungsmesser 10 und 12
meßbare Beschleunigungskräfte proportional
der Drehgeschwindigkeit des Multisensors in der Richtung der
Eingangsachse eines jeden Beschleunigungsmessers. Somit
enthalten die Ausgänge der Beschleunigungsmesser 10 und 12
ein Maß für die Drehgeschwindigkeit des Systems um die Achse
82, wie in Fig. 1 gezeigt.
Fig. 4 ist ein schematisches Schaltbild einer elektrischen
Schaltung zur Bestimmung sowohl der linearen Beschleunigung
längs der Eingangsachsen der Beschleunigungsmesser 10 und 12
als auch der Drehung um die Achse 82 mit hoher Genauigkeit,
indem der von einem Multisensor nach der vorausgehenden
Erörterung erzeugte Ausgang verwendet wird. Durch Verarbeitung
der Signale in der dargestellten Weise wird eine
Meßgenauigkeit erzielt, die sonst in einem Coriolis-Multisensor
gefährdet würde, wenn Beschleunigungen längs der Eingangsachse
des Beschleunigungsmessers bei Frequenzen auftreten,
die der Modulationsfrequenz der Vibration des Beschleunigungsmessers
angenähert sind.
Die Signale, die die Vibrationen der Beschleunigungsmesser
erzeugen, werden in Stromleitern 88 und 90 durch eine
Treiberschaltung 86 geführt. In die rechten und linken
Abnahmespulenpaare induzierte Ströme betätigen die Treiberschaltung
86 in einer Eigenresonanzanordnung. Beispielsweise
ist die abgefühlte Vibration des linken Beschleunigungsmessers,
die in einen entsprechenden sinusförmigen Strom
proportional der Geschwindigkeit durch Zusammenwirken des
Magneten 46 mit den linken Abnahmespulen 58, 60 umgewandelt
wird, in Fig. 4 so dargestellt, daß sie als Eingang in die
Treiberschaltung 86 aufgegeben wird. Zusätzlich dient das in
den Abnahmespulen induzierte Signal als Demodulationsbezugssignal
durch Anlegen an einen Demodulator 92. Das Coriolis-Beschleunigungssignal,
ein Vektorprodukt, schwingt mit einer
Frequenz gleich der der Vibrationsfrequenz des abfühlenden
Beschleunigungsmessers und der Amplitude proportional der
Eingangswinkelgeschwindigkeit. Somit erfordert das Extrahieren
des Winkelgeschwindigkeits- oder Geschwindigkeitsinformation
eine Demodulation eines sinusförmigen Signales.
Die Ausgänge der rechten und linken Beschleunigungsmesser
werden parallel sowohl einem Differentialverstärker 94 als
auch einem Summierverstärker 96 zugeführt. Wenn die Beschleunigungsmesser
um 180° phasenverschoben in Vibrationen
versetzt werden, haben die Bestandteile ihrer Signalausgänge,
die sich auf die Messung der Coriolis-Beschleunigung beziehen,
entgegengesetztes Vorzeichen, während die Teile, die
sich auf die lineare Beschleunigung beziehen, nicht in dieser
Weise beeinfluß werden und gleiches Vorzeichen haben. Somit
ist der Ausgang des Differentialverstärkers 94, ein Maß der
Differenz zwischen den Beschleunigungsmesserausgängen,
lediglich ein Maß für die Coriolis-Beschleunigung und somit
die Drehung, da die Teile der Ausgänge, die auf eine lineare
Beschleunigung ansprechen, unabhängig von der Beziehung
zwischen den Frequenzen dieser beiden individuellen Bestandteile
des Beschleunigungsmesserausganges aufgehoben werden.
Als weitere Folge des gleichen und entgegengesetzten Richtungssinns
der Coriolis- oder Geschwindigkeitskomponenten der
Sensorausgänge ergibt der Ausgang des Differentialverstärkers
94 ein doppelt so empfindliches Maß der Drehung wie der
Ausgang eines Beschleunigungsmessers mit einer einzigen
Komponente des Multisensors.
Der Geschwindigkeitsausgang wird dann dem Demodulator 92
aufgegeben, der in der oben erwähnten Weise den induzierten
sinusförmigen Strom der Geschwindigkeitsabnahmespulen als
Demodulationsbezug verwendet. Der demodulierte Geschwindigkeitsausgang
wird dann einem Filter 98 zur endgültigen
Extraktion des Geschwindigkeitssignales aufgegeben.
Als weitere Folge des entgegengesetzten Richtungssinns der
Coriolis-Komponenten der Ausgänge der rechten und linken
Beschleunigungsmesser enthält der Ausgang des Summierverstärkers
96, dem die Beschleunigungsmesserausgänge aufgegeben
werden, keine Geschwindigkeitsinformation und stellt ein
doppelt so empfindliches Maß der linearen Beschleunigung
längs der koinzidenten Beschleunigungsmesser-Eingangsachsen
dar, wie der Ausgang eines einzigen der Beschleunigungsmesser
10 oder 12. Dieses Ausgangssignal wird nicht demoduliert (im
Unterschied zu dem Geschwindigkeitssignal), da es ein
direktes Maß für die Beschleunigung ist, gleichgültig, ob die
Beschleunigung in ihrer Art eine Vibrationsbeschleunigung ist
oder nicht. Anschließend wird das Signal dem Filter 100
aufgegeben, um daraus eine Beschleunigungsinformation zu
extrahieren.
Claims (3)
1. Einachsiger Multisensor, gekennzeichnet durch die
Kombination folgender Merkmale:
- a) ein auf Beschleunigung längs einer ersten Achse (22) ansprechender erster Beschleunigungsmesser (10),
- b) ein auf Beschleunigung längs einer zweiten Achse (24) ansprechender zweiter Beschleunigungsmesser (12), wobei die zweite Achse (24) im Ruhezustand im wesentlichen kollinear mit der ersten Achse (22) verläuft,
- c) Trägeraufhängungen (18, 19, 25, 26, 30; 20, 21, 27, 28, 32) für die Beschleunigungsmesser (10, 12),
- d) mit den Beschleunigungsmessern (10, 12) verbundene Magnete (46, 48), die mit gehäusefesten, als Geschwindigkeitsabnahme wirkenden Spulen (50, 52; 58, 60) zusammenarbeiten,
- e) Vibrationsvorrichtungen (70, 72, 74, 76), die mit den Trägeraufhängungen (18, 19, 25, 26, 30; 20, 21, 27, 28, 32) so befestigt und die so ausgelegt sind, daß die Beschleunigungsmesser (10, 12) längs paralleler Achsen (78, 80) phasenverschoben in Schwingungen versetzt werden, wobei diese parallelen Achsen (78, 80) im rechten Winkel zur ersten bzw. zweiten Achse verlaufen, und
- f) eine Schaltung (86, 88, 90, 92, 94, 96, 98, 100) zur Verarbeitung der Ausgangssignale der Beschleunigungsmesser (10, 12) und der Spulen (50, 52; 58, 60).
2. Multisensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens einer der Beschleunigungsmesser (10, 12) eine
Trägheitsmasse aufweist.
3. Multisensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Vibrationsvorrichtungen (70, 72, 74, 76) piezoelektrische
Elemente aufweisen.
Applications Claiming Priority (1)
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US3842681A (en) * | 1973-07-19 | 1974-10-22 | Sperry Rand Corp | Angular rate sensor |
ZA846287B (en) * | 1983-09-02 | 1986-03-26 | Sundstrand Data Control | Apparatus for measuring inertial specific force and angular rate of a moving body and accelerometer assemblies particularly useful therein |
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CA1222880A (en) * | 1983-12-05 | 1987-06-16 | Robert E. Stewart | Two axis multisensor |
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