DE3426332C2 - - Google Patents

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DE3426332C2
DE3426332C2 DE19843426332 DE3426332A DE3426332C2 DE 3426332 C2 DE3426332 C2 DE 3426332C2 DE 19843426332 DE19843426332 DE 19843426332 DE 3426332 A DE3426332 A DE 3426332A DE 3426332 C2 DE3426332 C2 DE 3426332C2
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DE
Germany
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light
mirror
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roughness
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Application number
DE19843426332
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German (de)
English (en)
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DE3426332A1 (de
Inventor
Klaus Dr. 7923 Koenigsbronn De Weber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH
Original Assignee
Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19843426332 1984-07-17 1984-07-17 Optische rauheitssonde mit abtastung der indikatrix Granted DE3426332A1 (de)

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DE3426332A1 DE3426332A1 (de) 1986-01-30
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EP0168772A2 (de) 1986-01-22
DE3426332A1 (de) 1986-01-30
EP0168772A3 (de) 1989-01-04

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