DE3425674A1 - Dunkelfeld-beleuchtungssystem - Google Patents

Dunkelfeld-beleuchtungssystem

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DE3425674A1
DE3425674A1 DE19843425674 DE3425674A DE3425674A1 DE 3425674 A1 DE3425674 A1 DE 3425674A1 DE 19843425674 DE19843425674 DE 19843425674 DE 3425674 A DE3425674 A DE 3425674A DE 3425674 A1 DE3425674 A1 DE 3425674A1
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Fritz Dipl.-Phys. Dr. 7072 Heubach Strähle
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/10Condensers affording dark-field illumination

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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Description

  • Dunkelfeld-Beleuchtungssystem
  • Die Erfindung betrifft ein Dunkelfeld-Beleuchtungssystem insbesondere für Auflichtmikroskope. Derartige Einrichtungen besitzen in der Regel einen oder mehrere, das Objektiv umgebende Ringspiegel, die das auf ihn auffallende, im wesentlichen parallele Beleuchtungsstrahlenbündel auf das Objektfeld fokussieren. Beispiele für derartige Beleuchtungseinrichtungen sind in den folgenden Patentschriften dargestellt: DE 830 840, DE 603 409, DE 603 323, DE 510 756, DE 507 939, DE 574 436 DE 587 077, DE 2 542 075, DE 2 410 874, US 4 160 578.
  • Die bisher dort verwendeten Ringspiegel wurden stets als sphärische, parabolische oder hyperbolische Konkavspiegel ausgebildet, deren Krümmungsmittelpunkt ebenso wie der Fokus des Beleuchtungssystem auf der optischen Achse des vom Kondensor umgebenen Objektivs lag. Wurden diese Konkavspiegel zusätzlich mit einem beleuchtungsseitig vorgeschalteten konvexen Ringspiegel kombiniert, wie z.B. bei den in der DE 830 840 und DE 2 410 874 beschriebenen Dunkelfeld-Beleuchtungssystemen, dann lag auch der Krümmungsmittelpunkt des zusätzlichen Konvexspiegels auf der optischen Achse.
  • Mit derartigen Spiegel anordnung en ist es schwierig relativ große Objektfelder einigermaßen homogen auszuleuchten. Zur Ausleuchtung größerer Objektfelder ist es bekannt, den als konkaven Rotationsparaboloid ausgebildeten Ringspiegel asphärisch zu deformieren, oder, wie für das Objektiv mit Abbildungsmaßstab 6,5 x in der US 4 160 578,einen konischen Ringspiegel zu verwenden.
  • Da der Querschnitt des auf den Spiegel auffallenden ringförmigen Beleuchtungsstrahlenbündels festliegt, läßt sich mit einem konischen Spiegel jedoch nur ein einziges Objektfeld bestimmter Größe ausleuchten. Zur Ausleuchtung noch größerer Felder ist es bekannt, die Fläche des "Ringspiegels" aus einer Aneinanderreihung von 5 oder wie aus der DE 608 644 bekannt, einer Vielzahl von ebenen Teilflächen aufzubauen. Bei dieser Art der Beleuchtung treten jedoch azimutabhängige Inhomogenitäten im Leuchtfeld auf.
  • Aus der DE-OS 32 08 753 ist es weiterhin bekannt, zur Ausleuchtung größerer Objektfelder dem konischen Ringspiegel ringförmige Konkav- oder Konvexlinsen vorzuschalten, die das Parallelstrahlenbündel aufweitens Hier wird also ein zusätzliches brechendes Element verwendet, das ddn Herstellungsaufwand erhöht und zusätzlich chromatische Fehler einführen kann.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Dunkelfeld-Beleuchtungssystem zu schaffen, das mit möglichst wenig optisch wirksamen FIä1 chen auskommt und eine verhältnismäßig homogene Ausleuchtung unterschiedlicher Objektfelder, insbesondere auch großer Objektfelder ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird ausgehend von einem Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach dem Oberbegriff durch die im Kennzeichen des Hauptanspruchs angegebenen Maßnahmen gelöst.
  • Der Ringspiegel in dem erfindungsgemäßen Beleuchtungssystem ist demgemäß nicht als Rotationsparaboloid oder Kugelringsegment mit einem gemeinsamen Krümmungsmittelpunkt für alle Tangentialschnitte auf der optischen Achse des Objektivs ausgebildet, sondern als Toroid, dessen Tangentialschnitte vorzugsweise eine Parabel 2. Ordnung oder der Parabelform angenäherten Kreisbogen darstellen, dessen Krümmungsmittelpunkt außerhalb der optischen Achse liegt. Damit liegt auch der von diesem Ringspiegel erzeugte Fokus des auf ihn auffallenden, im wesentlichen parallelen Beleuchtungsstrohlenbündels außerhalb der optischen Achse und besitzt eine ringförmige Gestalt.
  • Indem der Krümmungsmittelpunkt des Spiegels aus der optischen Achse herausverlegt wird, gewinnt man bei der Auslegung des Dunkelfeld-Beleuchtungssystems einen weiteren Parameter, der im Hinblick auf optimale Objektousleuchtung variiert werden kann.
  • Zur Ausleuchtung großer Objektfelder ist es zweckmäßig den Ringspiegel konvex auszubilden und beleuchtungsseitig eine Mattscheibe vorzuschal ten, während bei kleineren Feldern, wie sie beispielsweise für Mikroskopobjektive mit einem Abbildungsmaßstab von 20-x benötigt werden all lein ein konkaver, torischer Ringspiegel ausreicht.
  • Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Fig.
  • 1-4 näher erläutert.
  • Fig. 1 zeigt eine Prinzipskizze eines Dunkelfeld-Beleuchtungssystems gemäß der Erfindung; Fig. 2 ist eine vergrößerte Skizze einer in Verbindung mit einem Ob-- jektiv mit 20-focher Vergrößerung verwendeten Spiegel fläche im Tangentialschnitt; Fig. 3 ist eine vergrößerte Skizze einer in Verbindung mit einem Objektiv mit 10-facher Vergrößerung verwendeten Spiegel fläche im Tangentialschnitt; Fig. 4 ist eine vergrößerte Skizze einer in Verbindung mit einem Objektiv mit 2,5-facher Vergrößerung verwendeten Spiegelfläche im Tangentialschnitt.
  • Das in Fig. 1 skizzierte Dunkelfeld-Beleuchtungssystem für ein Auflicht-Mikroskop umfaßt eine Lichtquelle 1 im Brennpunkt eines Kondensors 3 zur Erzeugung eines möglichst parallelen Strohlenbündels, das von zwei Blenden 2 und 4 auf einen ringförmigen Querschnitt abgeblendet wird. Dieses parallele ringförmige Beleuchtungsbündel wird über einen ringförmigen Planspiegel 5 im Auflicht-Illuminator des Mikroskops umgelenkt und tritt konzentrisch in einen ringförmigen Kanal 8 der Hülse 13 des am nicht im einzelnen dargestellten Illuminator befestigten Objektivs 6 ein. Am unteren Ende der Hülse 13 ist ein das Lichtbündel direkt auf das Objektfeld 1 reflektierender Ringspiegel 9 angebracht. Bis hierher ist ein Auflicht-Dunkelfeld-Beleuchtungssystem mit bekanntem Aufbau beschrieben.
  • Erfindungsgemäß besitzt der Ringspiegel 9 jedoch im Tangentialsahnitt betrachtet nicht die Farm einer Parabel oder Hyperbel mit Scheitelpunkt auf der optischen Achse. Der Spiegel 9 besitzt vielmehr die Form eines parabolischen Toroids, d.h. die Scheitelpunkte 21 der Tangentiolschnittel des Spiegels bilden ebenso wie die Brennpunkte 12 des vom Spiegel 9 fokussierten Strahlenbündels einen zur optischen Achse konzentrischen Ring.
  • Durch Wahl der folgenden drei Parameter 1. Krümmung der Parabel 2. achsialer Versatz des Scheitels in x, d.h. gegenüber der Objektebene und 3. radialer Versatz des Scheitels gegenüber der optischen Achse 7 lassen sich die für eine derartige Beleuchtung gestellten Forderungen o) möglichst großer Arbeitsabstand des Objektivs b) Einhalten der durch die Dunkelfeldbedingung gegebenen maximalen Ablenkwinkel und c) vollständige und homogene Ausleuchtung des Objektfelds relativ gut erfüllen.
  • Dies zeigen die für drei verschiedene Anwendungsfälle errechneten Beispiele nach Fig. 2-4: In Fig. 2 sind die geometrischen Verhältnisse einer Dunkelfeld-Beleuch tung für ein Mikroskopobjektiv mit Abbildungsmaßstob 20 x und einer Apertur 0,5 dargestellt, das ein Objektfeld von 1,25 mm besitzt, welches homogen ausgeleuchtet werden soll. Es ist ein Arbeitsabstand von mindestens 1 mm gefordert. Das Beleuchtungsstrahlenbündel, das der Ringspiegel des Auflichtilluminators liefert, besitzt einen Innendurchmesser von 20 mm und einen Außendurchmesser von 24 mm.
  • Gemäß der Erfindung wird zur Ausleuchtung des Objektfeldes ein torischer Ringspiegel 24 verwendet, dessen Tangentialschnitt in dem von der optik schen Achse 23 und der Objektebene gebildeten Koordinatensystem folUehder Gleichung genügt: Der vom Beleuchtungsstrahlenbündel beaufschlagte Teilbereich- dieser Parabel läßt sich sehr gut durch einen Kreis mit einem Radius von 31 mm annähern, dessen Mittelpunkt mit den Koordinaten Xm = 21,8 mm und Ym = -t4,1 weit außerhalb der optischen Achse liegt. Der Fokus 22, in dem die Lichtquelle ringförmig verzerrt zwischenabgebildet wird, liegt oberhalb der Objektebene.
  • Zur Ausleuchtung eines Objektfeldes 18 mit Durchmesser d = 2,5 mm eines Objektivs mit Abbildungsmaßstab 10 x und Apertur 0,3 wird wie in Fig. 3 dargestellt, ein ebenfalls konkaver, torischer Ringspiegel 19 verwendet, dessen Gleichung im Tangentialschnitt folgende Form besitzt: Hier liegt der Fokus des Beleuchtungsstrahlenbündels ebenso wie der Scheitelpunkt der Parabel unterhalb der Objektebene und außerhalb der optischen Achse 17.
  • In Fig. 3 ist eine zur Ausleuchtung eines Objektfeldes 28 von 10 mm Durchmesser geeignete Lösung skizziert, wie sie beispielsweise für ein Objektiv mit Abbildungsmaßstab 2,5 x und einer Apertur von 0,075 benötigt wird.
  • Der konvexe Ringspiegel 29, der das einfallende Parallellichtbündel aufweitet und auf das Objektfeld 28 reflektiert, ist ein parabolisches Toroid, dessen Tangentialschnitt folgender Kurvengleichung genügt: Der Scheitelpunkt 30 und der virtuelle Fokus 26 dieser Parabel liegen auch hier außerhalb der optischen Achse 27 des nicht näher dargestellten Objektivs.
  • Eine dem Spiegel 29 beleuchtungsseitig vorgeschaltete, ringförmige Streuscheibe 31 verbessert die Homogenität der Ausleuchtung des Feldes 28.
  • - Leerseite -

Claims (7)

  1. Patentansprüche: 1. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem mit einem Ringspiegel, der das auf ihn auffallende, im wesentlichen parallele Beleuchtungsstrahlenbündel direkt in die Objektebene reflektiert, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Krümmungsmittelpunkt als auch der Scheitelpunkt (21,30) des Tangentialschnittes des Spiegels (9,19,24,29) außerhalb der mit der optischen Achse (7,17,23,27) des Beobachtungssystems (6) zusommenfallenden Rotationsachse des Spiegels liegt.
  2. 2. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß der Spiegel (9,19,24) konkav geformt ist.
  3. 3. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (29) zur Ausleuchtung großer Objektfelder konvex geformt ist.
  4. 4. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeich net, daß der Spiegel (9,19,24,29) im Tangentialschnitt exakt eine Parabel 2. Ordnung darstellt.
  5. 5. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (9,19,24,29) im Tangentialschnitt näherungsweise einen Kreisbogen darstellt.
  6. 6. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß beleuchtungsseitig vor dem Ringspiegel (29) eine Mattscheibe (31) angeordnet ist.
  7. 7. Dunkelfeld-Beleuchtungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeiEhnet, daß der Fokus (12,22,26) des vom Spiegel (9,19,24,29) reflek tierten Strahlenbündels außerhalb der Objektebene (11,18,25,28) liegt.
DE19843425674 1984-07-12 1984-07-12 Dunkelfeld-Beleuchtungssystem Expired DE3425674C2 (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6259557B1 (en) * 1998-04-30 2001-07-10 Nikon Corporation Device and method for dark field illumination
CN100389339C (zh) * 2001-09-21 2008-05-21 阿诺托股份公司 用于将目标照亮并使目标成像的光学系统、用户单元和方法
US7430075B2 (en) 2004-07-29 2008-09-30 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Condenser arrangement for brightfield illumination and/or darkfield illumination for optical microscopes

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE975784C (de) * 1954-05-26 1962-09-20 Zeiss Carl Fa Auflichtkondensor fuer Dunkelfeldbeleuchtung in Verbindung mit einem Mikroskopobjektiv schwacher Vergroesserung
US4160578A (en) * 1978-04-17 1979-07-10 American Optical Corporation Annular reflector for microscope objective

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE975784C (de) * 1954-05-26 1962-09-20 Zeiss Carl Fa Auflichtkondensor fuer Dunkelfeldbeleuchtung in Verbindung mit einem Mikroskopobjektiv schwacher Vergroesserung
US4160578A (en) * 1978-04-17 1979-07-10 American Optical Corporation Annular reflector for microscope objective

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6259557B1 (en) * 1998-04-30 2001-07-10 Nikon Corporation Device and method for dark field illumination
CN100389339C (zh) * 2001-09-21 2008-05-21 阿诺托股份公司 用于将目标照亮并使目标成像的光学系统、用户单元和方法
US7430075B2 (en) 2004-07-29 2008-09-30 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Condenser arrangement for brightfield illumination and/or darkfield illumination for optical microscopes

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GR851696B (de) 1985-11-26

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