DE3421833C2 - - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 22
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 19
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 19
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 11
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 10
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 7
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 claims 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 claims 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 claims 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000941 bile Anatomy 0.000 description 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0042—Physical processing only by making use of membranes
- C01B23/0047—Physical processing only by making use of membranes characterised by the membrane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/228—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion characterised by specific membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0046—Inorganic membrane manufacture by slurry techniques, e.g. die or slip-casting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0072—Inorganic membrane manufacture by deposition from the gaseous phase, e.g. sputtering, CVD, PVD
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/12—Composite membranes; Ultra-thin membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/0213—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/50—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
- C01B3/501—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion
- C01B3/503—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion characterised by the membrane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
- B01D2325/04—Characteristic thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0029—Obtaining noble gases
- C01B2210/0031—Helium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0068—Organic compounds
- C01B2210/007—Hydrocarbons
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Membran zur Abtrennung von
Gasen aus Gasgemischen, insbesondere zur Abtrennung von
Helium oder Wasserstoff, auf der Basis von Siliziumdioxid
sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung.
Auf dem Gebiet der Gastrennungen, insbesondere zur Ab
trennung und Reinigung von Wasserstoff sowie zur Abtren
nung von Helium aus Erdgas sind Kunststoff- und Glasmem
branen bekannt. Das Quarzglas ist wegen seiner hohen Se
lektivität gegenüber Helium besonders geeignet für dessen
Abtrennung aus Erdgas oder ähnlichen Gasgemischen. Trotz
der hohen Selektivität zeigt Siliziumdioxid jedoch erst
bei Temperaturen von mehr als 200°C und erhöhtem Druck
eine ausreichende Permeabilität gegenüber Helium, und
diese hängt zudem noch von der Dicke der zu permeierenden
Schicht ab, so daß die Rentabilität eines solchen Trenn
verfahrens unter Einsatz von Glasmembranen ungenügend
ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrun
de, eine Membran insbesondere zur Abtrennung von Helium
oder Wasserstoff zu entwickeln, die den Nachteil der gro
ßen Gesamtdicke der Membran und der damit verbundenen ge
ringen Permeabilität nicht aufweist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Membran als eine Komposit-Membran ausgebildet ist und aus
einem für die abzutrennenden Gase durchlässigen, hochtem
peraturstabilen Kunststoffilm mit einer darauf aufge
brachten Siliziumdioxid-Schicht und einem mechanisch sta
bilen Träger besteht. Die bevorzugten Ausführungsformen
sind in den Unteransprüchen 2 bis 8 beschrieben. Die Un
teransprüche 9 bis 11 betreffen ein Verfahren zur Her
stellung solcher Membranen.
Als Kunststoffilm wird vorzugsweise Polyimid verwendet.
Dieser Film übt jedoch nicht die Funktion einer Trenn
schicht aus. Die Trennung erfolgt durch die auf dem Poly
imid-Film aufgebrachten Siliziumdioxid-Schicht. Die Sili
ziumdioxid-Schicht kann nach geeigneten Methoden auf dem
auf dem Träger gebildeten Kunststoffilm erzeugt werden.
Vorzugsweise erfolgt die Beschichtung in an sich bekann
ter Weise durch Sputtern.
Der Polymerfilm mit Siliziumdioxid-Beschichtung wird auf
einem mechanisch stabilen Träger, vorzugsweise aus porö
sem Metall, hergestellt. Als Trägermaterial eignet sich
insbesondere rostfreier Chrom-Nickel-Molybdän-Stahl. Die
Porösität des Werkstoffs beträgt vorzugsweise 30 bis
50%, die Filterfeinheit bzw. Porenweite ca. 1 µm. Die
Verwendung des Metallträgers ist vorteilhaft, um dem Kom
posit aus Polymerfilm und Siliziumdioxid-Schicht eine me
chanische Stabilität zu verleihen, damit eine Beschädi
gung der Siliziumdioxid-Schicht bei der Handhabung und
dem Betrieb der Membran verhindert werden kann.
Durch die erfindungsgemäße Komposit-Membran wird ermög
licht, daß die hohe Selektivität der Siliziumdioxid-
Trennschicht erhalten bleibt und gleichzeitig diese
Schicht sehr dünn ausgeführt werden kann, womit eine hohe
Permeabilität gewährleistet ist.
Der Aufbau der erfindungsgemäßen Komposit-Membran wird in
beiliegender Fig. 1 gezeigt. Daraus geht hervor, daß eine
poröse Metallplatte 1 als Träger für den Polyimidfilm 2
mit Siliziumdioxid-Beschichtung 3 dient.
Die Erfindung wird anhand nachfolgender Beispiele näher
beschrieben.
Kreisrunde Scheiben mit dem Durchmesser 127 mm und einer
Dicke von 10 mm aus rostfreiem Chrom-Nickel-Molybdän-
Stahl 18/2/2 wurden mit Aceton im Ultraschallbad 15 Min.
gereinigt und anschließend zusammen mit einer 25%igen
Polyimid-Lösung (2080 DHV der Firma Upjohn) im Trocken
schrank auf 60°C vorgewärmt. Dann wurde die Polyimid-Lö
sung mit Hilfe einer auf 20 µm Schichtdicke eingestell
ten Rakel aufgetragen. Nach erfolgtem Auftragen wurden
die beschichteten Scheiben in den Trockenschrank für
12 Stunden bei 60°C getrocknet und danach 1 Stunde bei
150°C gehärtet.
Da es möglich ist, daß die Polyimid-Lösung beim Aufrakeln
in die Poren der Platte eindringt, kann eine genaue Anga
be über die Dicke des resultierenden Films nicht gemacht
werden. Auf diesem Film wurde dann eine 0,2 µm dicke Si
liziumdioxid-Schicht durch Sputtern in an sich bekannter
Weise aufgebracht.
Die Aufbringung der Siliziumdioxid-Schicht wurde in Abän
derung des Verfahrens nach Beispiel 1 durch Tauchen in
einer Lösung einer Silizium-organischen Verbindung mit
einem Gehalt von 30 Gramm Siliziumdioxid pro Liter er
zeugt. Nach dem Herausnehmen aus der Lösung erfolgte ein
erstes Antrocknen der Schicht durch Bestrahlung mit ei
ner 1000 Watt Halogenlampe. Anschließend wurde die ferti
ge Membran bei 150-200°C im Trockenschrank getrocknet.
Dabei erfolgte eine Zersetzung der Silizum-organischen
Verbindung unter Bildung der reinen Siliziumdioxid-
Schicht.
Die nach Beispiel 1 hergestellten Komposit-Membranen wur
den in einer Testapparatur geprüft. Hierfür wurde eine
Gasmischung aus 99 Vol.-% Methan und 1 Vol.-% Helium als
Speisegasgemisch in die Testapparatur eingegeben. Die Ab
trennung erfolgte bei einer Temperatur von 200°C und ei
nem Druck von 100 bar. Unter diesen Bedingungen wurde ei
ne Permeatzusammensetzung von 65 bis 70% Methan und 35
bis 30% Helium erreicht. Dies ergibt einen Trennfaktor
α=53,3. Der Trennfaktor α wird wie folgt definiert:
Hierin bedeuten
x=Molenbruch des Heliums im Ausgangsgemisch
(Hochdruckseite),
y=Molenbruch des Heliums im Permeat (Niederdruckseite).
y=Molenbruch des Heliums im Permeat (Niederdruckseite).
Claims (11)
1. Membran zur Abtrennung von Gasen aus Gasgemischen,
insbesondere zur Abtrennung von Helium und Wasser
stoff, auf der Basis von Siliziumdioxid, dadurch ge
kennzeichnet, daß sie als eine Komposit-Membran aus
gebildet ist und aus einem für die abzutrennenden Ga
se durchlässigen, hochtemperaturstabilen Kunststoff
film (2) mit einer darauf aufgebrachten Silizium
dioxid-Schicht (3) und einem mechanisch stabilen Trä
ger (1) besteht.
2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Kunststoffilm (2) aus Polytetrafluorethylen, Po
lyester, Polysulfon, Polycarbonat, Polyamid, vorzugs
weise Polyimid, besteht.
3. Membran nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der Kunststoffilm (2) für die abzutrennenden
Gase per Lösungsdiffusion oder per Porösität durch
lässig ist.
4. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Siliziumdioxid-Schicht (3)
durch Sputtern aufgebracht ist.
5. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß als Träger (1) eine poröse Metall
sinterplatte, vorzugsweise aus rostfreiem Chrom-Nik
kel-Molybdän-Stahl, verwendet ist.
6. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Dicke der Siliziumdioxid-
Schicht (3) 0,01 bis 1,5 µm, vorzugsweise 0,2 µm
beträgt.
7. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Dicke des Trägers (1) 0,1 bis
10 mm beträgt.
8. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Porösität des Trägers (1) 30
bis 50% beträgt.
9. Verfahren zur Herstellung der Membran nach einem der
Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der
Kunststoffilm auf einem porösen Träger durch Gieß
techniken und anschließender Fällung oder Temperung
erzeugt wird und daß danach die Siliziumdioxid-
Schicht aufgebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Siliziumdioxid-Schicht durch Sputtern aufge
bracht wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine Polyimidlösung in Dimethylformamid
auf einen porösen Metallträger aufgerakelt und an
schließend getempert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843421833 DE3421833A1 (de) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | Membran zur abtrennung von gasen aus gasgemischen und verfahren zu ihrer herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843421833 DE3421833A1 (de) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | Membran zur abtrennung von gasen aus gasgemischen und verfahren zu ihrer herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3421833A1 DE3421833A1 (de) | 1985-12-19 |
DE3421833C2 true DE3421833C2 (de) | 1991-07-11 |
Family
ID=6238201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843421833 Granted DE3421833A1 (de) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | Membran zur abtrennung von gasen aus gasgemischen und verfahren zu ihrer herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3421833A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10010387A1 (de) * | 2000-02-28 | 2001-09-06 | Mannesmann Ag | Kompositmembran und Kompositmembransystem sowie Verfahren zur Herstellung der Kompositmembranen |
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US5275726A (en) * | 1992-07-29 | 1994-01-04 | Exxon Research & Engineering Co. | Spiral wound element for separation |
ES2056016B1 (es) * | 1992-10-22 | 1995-03-01 | Consejo Superior Investigacion | Membranas microporosas de silice, su utilizacion y fabricacion. |
FR2800725B1 (fr) | 1999-11-08 | 2001-12-28 | Air Liquide | Procede et installation pour la production d'hydrogene pur a partir d'un gaz contenant de l'helium |
EP1167284A3 (de) * | 2000-06-27 | 2004-06-16 | Nisshin Steel Co., Ltd. | Vorrichtung zur Gewinnung von Wasserstoff |
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JP2013075264A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Fujifilm Corp | ガス分離膜、その製造方法、それを用いたガス分離膜モジュール |
US9623370B2 (en) | 2015-02-10 | 2017-04-18 | Praxair Technology, Inc. | Integrated process and apparatus for recovery of helium rich streams |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3220037A1 (de) * | 1982-05-27 | 1983-12-01 | Sumitomo Electric Industries, Ltd., Osaka | Selektiv gasdurchlaessige verbundmembranen und verfahren zu ihrer herstellung |
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-
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- 1984-06-13 DE DE19843421833 patent/DE3421833A1/de active Granted
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Publication number | Publication date |
---|---|
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Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |