DE3335625A1 - Verfahren und vorrichtung zur speicherung der messdaten aus teilbereichen eines sputterkraters, der in einem sekundaerionen-massenspektrometer erzeugt und analysiert wird - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur speicherung der messdaten aus teilbereichen eines sputterkraters, der in einem sekundaerionen-massenspektrometer erzeugt und analysiert wird

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DE3335625A1 DE19833335625 DE3335625A DE3335625A1 DE 3335625 A1 DE3335625 A1 DE 3335625A1 DE 19833335625 DE19833335625 DE 19833335625 DE 3335625 A DE3335625 A DE 3335625A DE 3335625 A1 DE3335625 A1 DE 3335625A1
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JP59079307A JPS6079253A (ja) 1983-09-30 1984-04-19 スパツタ・クレ−タからの測定デ−タの記憶方法および装置
US07/183,336 US4860225A (en) 1983-09-30 1988-04-07 Method and apparatus for storing measured data from sub-regions of a sputter crater which is generated and analyzed in a secondary ion mass spectrometer

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3636506A1 (de) * 1986-10-27 1988-04-28 Atomika Tech Physik Gmbh Spiralabtastverfahren
DE3879275D1 (de) * 1987-06-04 1993-04-22 Ciba Geigy Ag Lichtstabilisierte, sternfoermig polymerisierte mikropartikel.
EP0350815B1 (de) * 1988-07-14 1993-10-20 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Betrieb eines Sekundärionen-Massenspektrometers

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5034439B1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1969-05-16 1975-11-08
DE1952283C3 (de) * 1969-10-17 1974-01-03 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Einrichtung zur Bestimmung und Registrierung des Anteils und der Verteilung von digital anfallenden Meßwerten
JPS5221909B2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1972-03-17 1977-06-14
JPS532599B2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1972-10-30 1978-01-30
US3916191A (en) * 1974-03-01 1975-10-28 Minnesota Mining & Mfg Imaging apparatus and method for use with ion scattering spectrometer
US4147928A (en) * 1977-05-02 1979-04-03 Xerox Corporation Scanning array configuration
DE2731129C3 (de) * 1977-07-09 1982-08-12 Finnigan MAT GmbH, 2800 Bremen Verfahren zum Betrieb eines der Registrierung eines Licht-, Ionen- oder Elektronenspektrums dienenden Spektrometers
US4132898A (en) * 1977-11-01 1979-01-02 Fujitsu Limited Overlapping boundary electron exposure system method and apparatus
JPS54143290A (en) * 1978-04-28 1979-11-08 Toshiba Corp Soldered part inspecting device
JPS55146931A (en) * 1979-05-04 1980-11-15 Hitachi Ltd Depicting method by electronic beam
DE3041219C2 (de) * 1980-11-03 1983-11-03 Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten Vorrichtung zur Speicherung von Meßdaten
JPS57179728A (en) * 1981-04-30 1982-11-05 Toa Medical Electronics Co Ltd Apparatus for analyzing particle
US4540884A (en) * 1982-12-29 1985-09-10 Finnigan Corporation Method of mass analyzing a sample by use of a quadrupole ion trap

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