DE3236435A1 - Sensor - Google Patents
SensorInfo
- Publication number
- DE3236435A1 DE3236435A1 DE19823236435 DE3236435A DE3236435A1 DE 3236435 A1 DE3236435 A1 DE 3236435A1 DE 19823236435 DE19823236435 DE 19823236435 DE 3236435 A DE3236435 A DE 3236435A DE 3236435 A1 DE3236435 A1 DE 3236435A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- hollow tube
- optical waveguide
- light
- sensor
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 5
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/02—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
- G01L11/025—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means using a pressure-sensitive optical fibre
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/12—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in colour, translucency or reflectance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0007—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using photoelectric means
Description
- Sensor
- Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere Drucksensor, mit einem deformierbaren Hohlrohr.
- Die in weiten Bereichen der Technik üblicherweise verwendeten Druck- und Temperatursensoren verwenden häufig zur Erzeugung oder zur Übermittlung des Meßsignals elektrische Ströme, so daß sie in explosionsgefährdeten Räumen oder in einer Umgebung mit hoher elektromagnetischer Störstrahlung nicht einsetzbar sind. Mechanische Druck- und Temperatursensoren mit evakuierten oder gefüllten Rohren sind bereits in der Gestalt eines Röhrenfedermanometers oder Gasthermometers bekannt.
- Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Sensor zur Druck-und/oder Temperaturmessung zu schaffen, der auch in explosionsgefährdeten Räumen und bei hoher elektromagnetischer Störstrahlung zuverlässig und gefahrlos einsetzbar ist.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Hohlrohr über einen ersten Lichtwellenleiter mit einer Lichtquelle verbunden ist, deren Licht das Hohlrohr durchquert und über einen zweiten Lichtwellenleiter zu einem Lichtempfänger auskoppelbar ist.
- Dadurch, daß mit Hilfe von Lichtwellenleitern Licht durch ein deformierbares Hohlrohr geschickt wird, ist die druckabhängige oder temperaturabhängige lichte Weite des Hohlrohres aus großer Entfernung zuverlässig und ohne Zündfunkengefahr messbar.
- Bei einem zweckmäßigen Ausführungsbeispiel der Erfindung sind der erste und der zweite Lichtwellenleiter jeweils an gegenüberliegenden Enden des Hohlrohres angeschlossen. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung ist das Hohlrohr einseitig verschlossen und das vom Hohlrohr reflektierte Licht des ersten Lichtwellenleiters wird über eine faseroptische Verzweiguny und einen zweiten an die faseroptische Verzweigung angeschlossenen Lichtwellenleiter zum Lichtempfänger ausgekoppelt.
- Wenn Unterdrucke gemessen werden sollen, ist es zweckmäßig, wenn das Hohlrohr bereits unter Normaldruck eine Vordeformation mit nach innen gewölbten Seitenwänden aufweist.
- Eine Temperaturmessung ist durch Messen einer Druckänderung wie bei einem Gasthermometer möglich, wenn das Hohlrohr mit einem Gas oder einer transparenten Flüssigkeit gefüllt ist. Die Deformation des Hohlrohres ist bei einer Flüssigkeitsfüllung im wesentlichen temperaturabhängig und bei einer Gasfüllung temperatur- und druck abhängig.
- Zweckmäßig ist es, wenn das Hohlrohr eine gut reflektierende Innenfläche aufweist.
- In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Sie zeigt einen Sensor für die Druck-und Temperaturmessung.
- Wie man in der Zeichnung erkennt, besteht der erfindungsgemäße Druck- und Temperatursensor im wesentlichen aus einem deformierbaren Hohlrohr 1 aus einem geeigneten Material, wie z.B. Metall oder Kunststoff mit einer Innenbeschichtung. In das Hohlrohr 1 mündet auf der in der Zeichnung linken Seite ein Versorgungs-Lichtwellenleiter 2, über den in Richtung des Pfeiles 3 das Licht eines in der Zeichnung nicht dargestellten Lichtsenders in das Innere des Hohlrohrs 1 geführt wird.
- Das Licht durchquert das Hohlrohr 1 und wird über einen Signal-Lichtwellenleiter 4 in Richtung des Pfeiles 5 zu einem ebenfalls in der Zeichnung nicht dargestellten Lichtdetektor ausgekoppelt.
- Der Hohlraum 6 des Hohlrohres 1 ist je nach dem Einsatzzweck des Sensors evakuiert, mit einem Gas oder mit einer tranbparenten Flüssigkeit gefüllt. Wenn der Sensor im wesentlichen den Umgebungsdruck erfassen soll, ast der Hohlraum 6 evakuiert, so daß das Hohlrohr 1 durch den äußeren Druck in der in der Zeichnung gestrichelt dargestellten Weise deformiert ist.
- Durch die Einwölbung der Rohrwand 7 ändert sich die innere lichte Weite des Hohlrohrs 1. Dies führt dazu, daß weniger Licht in den Signal-Lichtwellenleiter 4 gekoppelt wird, so daß die am Signal-Lichtwellenleiter 4 austretende Lichtintensität ein Maß für den Umgebungsdruck am Sensor ist.
- Unterdrucke können gemessen werden, wenn bereits bei Normaldruck eine Vordeformation, wie sie in der Zeichnung gestrichelt veranschaulicht ist, vorliegt. Mit steigendem Unterdruck werden dann die lichte Weite des Hohlrohrs 1 und die Lichtintensität größer. Bei evakuiertem Hohlraum 6 ist die Temperatur im wesentlichen ohne Einfluß auf die Lichtintensität und beeinflußt die Messung nur insoweit, als sie die Deformierbarkeit des Hohlrohres 1 ändert.
- Füllt man den Hohlraum 6 mit einer transparenten Flüssigkeit oder mit einem Gas und deformiert ihn bereits so, daß er den Lichtweg vom Versorgungs-Lichtwellenleiter 2 zum Signal-Lichtwellenleiter 4 beinahe verschließt, so wird bei einer Temperaturerhöhung die Expansion der Flüssigkeit oder des Gases gegen diese Deformation arbeiten, so daß mit steigender Temperatur die am Ausgang des Signal-Lichtwellenleiters 4 gemessene Lichtintensität steigt. Wegen der kleinen mechanischen Abmessung und der geringen thermischen Masse hat der Sensor eine sehr kleine Zeitkonstante und spricht daher schnell auf Temperaturänderungen an.
- Es ist auch möglich, mit der oben beschriebenen Sensoranordnung druck- und temperaturkombiniert zu messen, wenn eine Aufnahme der nichtlinearen Transmissionskennlinie dverchgeführt wird.
- Da alles Licht, das nicht in den Signal-Lichtwellenleiter 4 gelangt, reflektiert wird, kann die lichte Weite des Hohlrohrs 1 auch in der Weise erfaßt werden, daß der Versorgungs-Lichtwellenleiter 2 mit einer faseroptischen Verzweigung zum Auskoppeln des Reflektionslichtes versehen wird. Das bodenseitige Ende des Hohlrohrs 1 kann dann beispielsweise mit Hilfe eines Glasstopfens verschlossen sein.
Claims (6)
- Sensor p ATENTAN 5 RÜC HE 1. Sensor, insbesondere Drucksensor, mit einem deformierbaren Hohlrohr, dadurch g e k e n n -zeichnet, daß das Hohlrohr (1) über einen ersten Lichtwellenleiter (2) mit einer Lichtquelle verbunden ist, deren Licht das Hohlrohr (1) durchquert und über einen zweiten Lichtwellenleiter (4) zu einem Lichtempfänger auskoppelbar ist.
- 2. Sensor nach Anspruch 1, d a du r c h g e k e n n -zeichnet, daß der erste Lichtwellenleiter (2) und der zweite Lichtwellenleiter (4) jeweils an gegenüberliegenden Enden des Hohlrohrs (1) angeschlossen sind.
- 3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennz e ic h n e t , daß das Hohlrohr (1) einseitig verschlossen ist und das vom Hohlrohr (1) reflektierte Licht des ersten Lichtwellenleiters über eine faseroptische Verzweigung und einen zweiten Lichtwellenleiter zum Lichtempfänger auskoppelbar ist.
- 4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß das Hohlrohr (1) bereits unter Normaldruck eine Vordeformation mit nach innen eingewölbten Wänden (7) aufweist.
- 5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlrohr (1) mit einem Gas oder einer transparenten Flüssigkeit gefüllt ist, so daß die Deformation des Hohlrohres (1) temperaturabhärigig ist.
- 6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadu r c h g e k e n n z e 1 c h n e t , daß das Hohlrohr (1) aus einem beschichteten Kunststoff mit gut reflektierender Innenwand hergestellt ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823236435 DE3236435C2 (de) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Faseroptischer Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823236435 DE3236435C2 (de) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Faseroptischer Sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3236435A1 true DE3236435A1 (de) | 1984-04-05 |
DE3236435C2 DE3236435C2 (de) | 1984-08-02 |
Family
ID=6174712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823236435 Expired DE3236435C2 (de) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | Faseroptischer Sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3236435C2 (de) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2575846A1 (fr) * | 1985-01-07 | 1986-07-11 | Wetzel Philippe | Systeme de saisie de donnees logiques ou analogiques, uni- ou multidimensionnelles, fonde sur l'obstruction totale ou partielle d'un faisceau d'ondes electromagnetiques par un membre humain ou par un objet mu par l'homme |
FR2578974A1 (fr) * | 1985-03-18 | 1986-09-19 | Lach Pierre | Dispositif optique de detection analogique d'une force |
EP0245091A1 (de) * | 1986-05-09 | 1987-11-11 | Thomas & Betts Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Messen mit Lichtleitfasern |
US4932262A (en) * | 1989-06-26 | 1990-06-12 | General Motors Corporation | Miniature fiber optic pressure sensor |
US4932263A (en) * | 1989-06-26 | 1990-06-12 | General Motors Corporation | Temperature compensated fiber optic pressure sensor |
US4950886A (en) * | 1989-06-30 | 1990-08-21 | Claus Richard O | Partially reflecting optical fiber splice for temperature and strain measurement |
WO1993022624A1 (en) * | 1992-05-05 | 1993-11-11 | The University Of Queensland | Optical displacement sensor |
DE4223625A1 (de) * | 1992-07-17 | 1994-01-20 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Faseroptischer Sensor nach dem Fabry-Perot-Prinzip |
AU668958B2 (en) * | 1992-05-05 | 1996-05-23 | University Of Queensland, The | Optical displacement sensor |
WO1999013306A2 (en) * | 1997-09-05 | 1999-03-18 | University Of Portsmouth Enterprise Ltd. | An optical sensor for measuring forces applied to a body and items of clothing incorporating such sensors |
WO1999045352A1 (en) * | 1998-03-06 | 1999-09-10 | Leiv Eiriksson Nyfotek As | Optical pressure sensor |
WO2005011511A1 (de) * | 2003-08-01 | 2005-02-10 | Technische Universität Darmstadt | Kraftsensor für eine langgestreckte einrichtung |
WO2005090904A1 (de) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Schaeffler Kg | Vorrichtung zum messen von änderungen der lage einer körperkante |
EP1744135A1 (de) * | 2005-07-11 | 2007-01-17 | IEE INTERNATIONAL ELECTRONICS & ENGINEERING S.A. | Folienartiger Drucksensor |
CN110464360A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-19 | 福州数据技术研究院有限公司 | 一种光电柔性传感器及其应用 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19527957C1 (de) * | 1995-07-29 | 1996-08-22 | Karlsruhe Forschzent | Taktiler, optoelektronischer Drucksensor |
DE19616952C1 (de) * | 1996-04-27 | 1997-01-23 | Karlsruhe Forschzent | Taktiler, optoelektronischer Drucksensor |
DE19721341C2 (de) * | 1997-05-22 | 2001-05-23 | Leoni Bordnetz Sys Gmbh & Co | Drucksensor mit Lichtwellenleiter |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3273447A (en) * | 1963-08-26 | 1966-09-20 | Franklin Institute | Detection and measurement device having a small flexible fiber transmission line |
US4078432A (en) * | 1975-12-18 | 1978-03-14 | Plessey Handel Und Investments A.G. | Fibre optic pressure sensor |
DE7906132U1 (de) * | 1979-03-06 | 1979-09-27 | Helmut Hund Kg, 6300 Lahn-Nauborn | Vorrichtung zur anzeige eines gemessenen luftdruckes |
DE2856183A1 (de) * | 1978-12-27 | 1980-07-10 | Aeg Telefunken Kabelwerke | Mechano- oder thermooptischer messwandler |
-
1982
- 1982-10-01 DE DE19823236435 patent/DE3236435C2/de not_active Expired
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3273447A (en) * | 1963-08-26 | 1966-09-20 | Franklin Institute | Detection and measurement device having a small flexible fiber transmission line |
US4078432A (en) * | 1975-12-18 | 1978-03-14 | Plessey Handel Und Investments A.G. | Fibre optic pressure sensor |
DE2856183A1 (de) * | 1978-12-27 | 1980-07-10 | Aeg Telefunken Kabelwerke | Mechano- oder thermooptischer messwandler |
DE7906132U1 (de) * | 1979-03-06 | 1979-09-27 | Helmut Hund Kg, 6300 Lahn-Nauborn | Vorrichtung zur anzeige eines gemessenen luftdruckes |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP-Patent-Abstract 55-24641(A) * |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2575846A1 (fr) * | 1985-01-07 | 1986-07-11 | Wetzel Philippe | Systeme de saisie de donnees logiques ou analogiques, uni- ou multidimensionnelles, fonde sur l'obstruction totale ou partielle d'un faisceau d'ondes electromagnetiques par un membre humain ou par un objet mu par l'homme |
FR2578974A1 (fr) * | 1985-03-18 | 1986-09-19 | Lach Pierre | Dispositif optique de detection analogique d'une force |
EP0245091A1 (de) * | 1986-05-09 | 1987-11-11 | Thomas & Betts Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Messen mit Lichtleitfasern |
US4932262A (en) * | 1989-06-26 | 1990-06-12 | General Motors Corporation | Miniature fiber optic pressure sensor |
US4932263A (en) * | 1989-06-26 | 1990-06-12 | General Motors Corporation | Temperature compensated fiber optic pressure sensor |
US4950886A (en) * | 1989-06-30 | 1990-08-21 | Claus Richard O | Partially reflecting optical fiber splice for temperature and strain measurement |
AU668958B2 (en) * | 1992-05-05 | 1996-05-23 | University Of Queensland, The | Optical displacement sensor |
WO1993022624A1 (en) * | 1992-05-05 | 1993-11-11 | The University Of Queensland | Optical displacement sensor |
DE4223625A1 (de) * | 1992-07-17 | 1994-01-20 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Faseroptischer Sensor nach dem Fabry-Perot-Prinzip |
WO1999013306A2 (en) * | 1997-09-05 | 1999-03-18 | University Of Portsmouth Enterprise Ltd. | An optical sensor for measuring forces applied to a body and items of clothing incorporating such sensors |
WO1999013306A3 (en) * | 1997-09-05 | 1999-05-06 | Univ Portsmouth Enterprise Ltd | An optical sensor for measuring forces applied to a body and items of clothing incorporating such sensors |
WO1999045352A1 (en) * | 1998-03-06 | 1999-09-10 | Leiv Eiriksson Nyfotek As | Optical pressure sensor |
WO2005011511A1 (de) * | 2003-08-01 | 2005-02-10 | Technische Universität Darmstadt | Kraftsensor für eine langgestreckte einrichtung |
WO2005090904A1 (de) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Schaeffler Kg | Vorrichtung zum messen von änderungen der lage einer körperkante |
EP1744135A1 (de) * | 2005-07-11 | 2007-01-17 | IEE INTERNATIONAL ELECTRONICS & ENGINEERING S.A. | Folienartiger Drucksensor |
WO2007006782A1 (en) * | 2005-07-11 | 2007-01-18 | Iee International Electronics & Engineering S.A. | Foil-type pressure sensor |
US7612328B2 (en) | 2005-07-11 | 2009-11-03 | Iee International Electronics & Engineering S.A. | Foil-type pressure sensor |
CN110464360A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-19 | 福州数据技术研究院有限公司 | 一种光电柔性传感器及其应用 |
CN110464360B (zh) * | 2019-08-16 | 2022-05-17 | 福州数据技术研究院有限公司 | 一种光电柔性传感器及其应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3236435C2 (de) | 1984-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3236435A1 (de) | Sensor | |
DE69817032T2 (de) | Optischer drucksensor | |
DE60125018T2 (de) | Optischer druckaufnehmer | |
DE10035263C2 (de) | Optische Vorrichtung | |
EP0120999A3 (de) | Faseroptischer Sensor für Kraft- und Druckmessungen sowie für Überwachungs- und Schutzzwecke | |
WO1990013018A1 (en) | Optical liquid sensor, its production method and car oil-and-battery checker using the same | |
DE3418247C2 (de) | Durchbiegungsmesser | |
CN107202545A (zh) | 一种温度自补偿式光纤光栅应变传感器 | |
DE3216331A1 (de) | Sensor zur bestimmung eines differenzdruckes oder einer verdraengung | |
DE4415582C2 (de) | Optische Abstandsmeßvorrichtung zur Abstandsmessung in Hohlräumen | |
GB2130719A (en) | Fibre-optic thermometer | |
EP0604645B1 (de) | Faseroptischer sensor nach dem fabry-perot-prinzip | |
AT522927A1 (de) | Verfahren zur Detektion der maximalen Ausdehnung von Rissen in einem Objekt | |
EP0297669A2 (de) | Verfahren zur Messung der von einer Reflexionsstelle reflektierten optischen Strahlung | |
DE3232059A1 (de) | Glasfaserdetektor | |
DE3541733C1 (de) | Faseroptische Fabry-Perot-Einrichtung | |
DE3514801C2 (de) | ||
DE102005016641B4 (de) | Anordnung und Verfahren zur optischen Druckmessung in Umgebungen mit erhöhten Anforderungen an Explosionsschutz und/oder EMV-Festigkeit | |
DE3045085C2 (de) | Temperatursensor | |
DE4001954A1 (de) | Distanzsensor | |
DE3709253A1 (de) | Fabry-perot-sensor | |
DE3618230A1 (de) | Optischer messwertaufnehmer | |
DE3903881C1 (de) | ||
DE102004020059B4 (de) | Messvorrichtung und Verfahren zur diskontinuierlichen Absolutmessung von Verschiebungen | |
Brenci et al. | An optical fiber sensor system for fire detection in hazardous environments |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |