DE3232526A1 - Lichtemittierende diode - Google Patents

Lichtemittierende diode

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Saburo Sanda Hyogo Takamiya
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Description

  • Lichtemittierende Diode
  • Die Erfindung betrifft eine lichtemittierende Diode.
  • Es sind bereits verschiedene Arten von lichtemittierenden Dioden angegeben worden, die eine hohe spezifische Lichtausstrahlung besitzen. Unter diesen Dioden hat der Typ von lichtemittierenden Dioden, der eine kugelförmige Linse auf dem lichtemittierenden Bereich besitzt, die ausgezeichnete Eigenschaft, daß er an ein optisches Faserkabel mit hoher Wirksamkeit dicht bei seinem theoretischen Grenzwert anschließbar ist, wie es im einzelnen in IEEE Transactions on Electron Devices, Band ED-24, Nr. 7 (1977) Seiten 986 bis 990, beschrieben ist.
  • Eine herkömmliche lichtemittierende Diode mit einer kugelförmigen Linse weist ein N-Typ Galliumarsenid (GaAs)-Substrat und eine N--Typ Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs)-Schicht, eine aktive P-Typ Galliumarsenidschicht, eine P-Typ Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs)-Schicht und eine N-Typ Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs)-Schicht auf, die in der genannten Reihenfolge übereinander auf einer der einander gegenüberliegenden Hauptflächen des Substrats angeordnet sind. Nach der HerstelLung einer kreisförmigen Aussparung auf der N-Typ AlGaAs-Schicht gemäß einer selektiven Ätztechnik, wird Zink (Zn) in die Oberfläche dieser Schicht eindiffundiert, um darauf einen P-Typ Diffusionsbereich auszubilden, der einen kreisförmigen Bereich aufweist, der in der kreisförmigen Aussparung angeordnet ist und die P-Typ AlGaAs-Schicht erreicht. Die kreisförmige Aussparung hat eine darin eingepaßte kugelförmige Linse aus einem Material, das für eine Wellenlänge des Lichtes transparent ist und die auch in ein kreisförmiges Fenster eingepaßt ist, das direkt oberhalb der kreisförmigen Aussparung angeordnet ist, und zwar auf einer P-seitigen Elektrode, die auf dem P-Typ Diffusionsbereich ausgebildet ist. Die kugelförmige Linse ist dann an der P-seitigen Elektrode mit einem Verbindungsmaterial befestigt, das gegenüber der Wellenlänge des Lichtes transparent ist.
  • Wenn eine Spannung an die P-seitige Elektrode und eine N-seitige Elektrode angelegt wird, die sich auf der anderen Hauptfläche des Substrats befindet, um die P-seitige Elektrode positiv gegenüber der N-seitigen Elektrode zu machen, wird ein Strom durch die Diode auf den kreisförmigen Bereich des P-Typ Diffusionsbereiches konzentriert, der sich unter der kreisförmigen Aussparung befindet, so daß er die P-Typ AlGaAs-Schicht erreicht. Somit wird Licht aus einem kreisförmigen Bereich der aktiven P-Typ AlGaAs-Schicht emittiert, die sich unter dem erwähnten kreisförmigen Bereich des P-Typ Diffusionsbereiches befindet. Da das AlGaAs eine breitere verbotene Zone hat als das GaAs, wird Licht aus der aktiven Schicht durch das kreisförmige Fenster in der P-seitigen Elektrode ohne irgendeine Absorption emittiert und durch die kugelförmige Linse mit gutem Richtfaktor in einen Lichtstrahl umgewandelt. Aufgrund des guten Richtfaktors oder Richtverstärkungsfaktors war es möglich, das emittierte Licht an ein zugeordnetes optisches Faserkabel mit hoher Wirksamkeit dicht bei seinem theoretischen Grenzwert einzukoppeln.
  • Auch wenn der kreisförmige lichtemittierende Bereich der aktiven Schicht hinsichtlich des Durchmessers zunehmen würde, war jedoch eine herkömmliche lichtemittierende Diode der oben beschriebenen Art nicht in der Lage, ein hohes optisches Ausgrngssignal zu erzeugen, das ausreicht, um es in zufriedenstellender Weise an optische Faserkabel mit großen Kern anzukoppeln, die in jüngster Zeit entwickelt worden sind.
  • Dementsprechend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine neue und verbesserte lichtemittierende Diode anzugeben, die ein starkes optisches Ausgangssignal liefert, eine hohe spezifische Lichtausstrahlung besitzt und an ein optisches Faserkabel mit hoher Wirksamkeit anschließbar ist.
  • Die Erfindung geht aus von einer herkömmlichen lichtemittierenden Diode mit einer kugelförmigen Linse der oben beschriebenen Art und gibt eine lichtemittierende Diode an, die folgende Bestandteile aufweist: einen einzigen Halbleiterchip, eine Vielzahl von lichtemittierenden Bereichen, die auf dem Halbleiterchip angeordnet sind, so daß eine elektrische Isolierung dieser Bereiche voneinander verhindert wird, und kugelförmige Elemente, die über jedem lichtemittierenden Bereich angeordnet sind, wobei die kugelförmigen Elemente aus einem Material bestehen, das transparent für eine Wellenlänge des Lichtes ist, das aus den lichtemittierenden Bereichen emittiert wird, und wobei die kugelförmigen Elemente am Halbleiterchip mit einem Verbindungsmittel befestigt sind, das transparent für die Wellenlänge des Lichtes ist.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung hat jeder lichtemittierende Bereich einen Abstand zwischen sich und einem benachbarten lichtemittierenden Bereich, der kleiner ist als die Summe des Durchmessers des darüber angeordneten kugelförmigen Teiles und des Durchmessers des benachbarten lichtemittierenden Bereiches, und der nicht kleiner ist als die Abstände, bei denen sämtliche auf den jeweiligen lichtemittierenden Bereichen angeordneten kugelförmigen Elemente eine dicht gepackte Anordnung bilden.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert Die Zeichnung zeigt in Fig. 1 einen Längssctlnitt durch eine herkömmliche Anordnung einer lichtemittierenden Diode einschließlich einer kugelförmigen Linse; Fig. 2 eine graphische Darstellung zur Erläuterung der optischen Ausgangssignal-Kennlinie in Abhängigkeit vom Strom der Anordnung gemäß Fig. 1 bei unterschiedlichen Emissionsflächen-Durchmessern; Fig. 3A eine Draufsicht auf eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen lichtemittierenden Diode, wobei einige Teile weggelassen sind; Fig. 3B einen Längsschnitt durch die Anordnung gemäß Fig.3A längs der Schnittlinie IIIB-IIIB in Fig. 3A; Fig. 4 eine graphische Darstellung zur Erläuterung der Kennlinie des optischen Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Strom der Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B und der einer herkömmlichen lichtemittierenden Diode, die hinsichtlich des effektiven Durchmessers und des Richtfaktors gleich ausgebildet ist wie eine Lichtquelle der Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B; und in Fig. 5A, 5B, 5C und 5D Draufsichten auf abgewandelte Ausführungsformen gemäß der Erfindung.
  • Wie aus Fig. 1 der Zeichnung ersichtlich, ist dort der Grundaufbau von herkömmlichen lichtemittierenden Dioden einschließlich einer kugelförmigen Linse dargestellt, von dera die Erfindung ausgeht. Die dargestellte Anordnung weist folgende Bauteile auf: ein N-Typ Halbleitersubstrat 10 aus Galliumarsenid (GaAs) mit einem Paar von einander gegenüberliegenden Hauptflächen, eine N-Typ Halbleiterschicht 12 aus Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs), eine aktive P-Typ Halbleiterschicht 14 aus Galliumarsenid, eine P-Typ Halbleiterschicht 16 aus Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs), eine N-Typ Halbleiterschicht 18 aus Aluminium-Galliumarsenid (AlGaAs), die nacheinander in der genannten Reihenfolge auf eine der Hauptflächen aufgebracht oder aufgewachsen sind, in diesem Falle die obere Hauptfläche bei der Anordnung gemäß Fig. 1 des N-Typ Halbleitersubstrats 10 mit einem Wachstumsverfahren aus der flüssigen Phase. Dann wird ein selektives Xtzverfahren verwendet, um eine kreisförmige Aussparung 20 in der N-Typ AlGaAs-Schicht 18 auszubilden. Anschließend wird Zink (Zn) in die Oberfläche der N-Typ AlGaAs-Schicht 18 eindiffundiert, um auf dieser Schicht und in der kreisförmigen Aussparung 20 einen P-Typ Diffusionsbereich 22 auszubilden. Dieser Bereich des P-Typ Halbleiterbereiches 22, der in der Aussparung 20 angeordnet ist, erreicht die P-Typ AlGaAs-Schicht 16.
  • In die kreisförmige Aussparung 20 ist eine kugelförmige Linse 24 eingepaßt, die aus einem Material besteht, das transparent für die Wellenlänge des Lichtes ist, das von der aktiven P-Typ GaAs-Schicht 14 emittiert wird.
  • Außerdem ist eine P-seitige Elektrode 26 auf dem P-Typ Diffusionsbereich 22 angeordnet, während eine N-seitige Elektrode 28 auf der anderen oder unteren Hauptfläche des N-Typ Halbleitersubstrats 10 angeordnet ist. Die P-seitige Elektrode 26 ist auf dem Bereich der Anordnung vorgesehen, der über der kreisförmigen Aussparung 20 mit einem kreisförmigen Fenster liegt, durch das das aus der aktiven P-Typ Schicht 14 emittierte Licht austritt. Wie in Fig.1 dargestellt, ist die kugelförmige Linse 24 außerdem in das kreisförmige Fenster auf der P-seitigen Elektrode 26 eingesetzt und eingepaßt und mit der P-seltifJcn F1ekI-r<#d< 2f> mit einem Befestigung#smittel 30 verbunden und befestigt, das transparent für die Wellenlänge des Lichtes ist, das von der aktiven Schicht 14 emittiert wird, beispielsweise mit einem Epoxyharz.
  • Bei der Anordnung genciß Fig. 1 wird eine Spannung an die P-seitige und N-seitige Elektrode 26 bzw. 28 angelegt, um die P-seitige Elektrode 26 gegenüber der N-seitigen Elektrode 28 positiv zu machen, so daß ein Strom durch die Anordnung fließen kann. Dieser Strom wird auf einen kreisförmigen Bereich des P-Typ Diffusionsbereiches 22 konzentriert, der sich unter der kreisförmigen Aussparung 20 befindet und die P-Typ AlGaAs-Schicht 16 erreicht.
  • Somit wird Licht aus einem kreisförmige:: Bereich der aktiven P-Typ GaAs-Schicht 14 emittiert, die sich unter dem kreisförmigen Bereich des P-Typ Diffusionsbereiches 22 befindet, auf den cler Strom konzentriert ist. Da das AlGaAs eine breitere verbotene Zone besitzt als das GaAs, wird Licht aus der aktiven P-Typ-Schicht 14 durch das kreisförmige Fenster auf der P-seitigen Elektrode 26 ohne irgendeine Absorption emittiert, und dann wandelt die kugelförmige Linse 24 das emittierte Licht in einen Lichtstrahl um, der einen guten Richtfaktor besitzt, der wegen der kugelförmigen Linse 24 einen schmalen Winkel mit halbem Wert besitzt. Wegen dieses guten Richtfaktors ist es möglich, den Strahl des emittierten Lichtes an ein optisches Faserkabel anzukoppeln oder in dieses einzukoppeln, und zwar mit hoher Wirksamkeit dicht bei seinem theoretischen Grenzwert.
  • Zur Realisierung dieser Ankopplung, die eine so hohe Effizienz bei einer herkömmlichen Anordnung gemäß Fig.1 besitzt, ist es erforderlich, den Durchmesser DL der kugelförmigen Linse 24 so zu wählen, daß er so groß ist wie der Kerndurchmesser DF eines anzuschließenden optischen Faserkabels. Außerdem wird ein Emissionsflächen-Durchmesser DE, der durch den Durchmesser der kreisförmieten Aussparung 20 bestimmt ist, in vorteilhafter Weise verringert. dies desw@gen, well die Rate der Zun thme bei zwar Kopplungseffekelviteit auEgrund der Verwendunj einer kugelförmigen Linse theoretisch proportional zu DF­ /DE­ ist. Wenn jedoch der Imissionsflächen-Durchmesser zu klein ist, dann nimmt der Betriei>sstrom hinsichtlich der Dichte zu. Somit wird das resultierende optische Ausgangssignal gesättigt sein, bevor die Menge des emittierten Lichtes einen ausreichenden Wert erreicht. Daher wurde der Emissionsflächen-Durchmesser DE üblicherweise so gewählt, daß er gleich einem Wert war, der zwischen einem halben und einem Viertel Durchmesser des Wertes DL einer zugeordneten kugelförmigen Linse lag. Außerdem hatten optische Faserkabel oder Lichtleiterkabel, die bei Lichtleiter-Verbindungen oder Nachrichtensystemen üblicherweise verwendet werden, einen Kerndurchmesser DF von nicht mehr als 150 Somit wurden derartige optische Faserkabel oder Lichtleiterkabel ordentlich an Emissionsflächen-Durchmesser DE von etwa 30 bis 40## fm angekoppelt.
  • Die Technik in der Herstellung von optischen Fasern hat jedoch kürzlich Fortschritte erbracht, die zur Herstellung von optischen Faserkabeln oder Lichtleiterkabeln mit großem Kern geführt haben, die einen Kerndurchmesser DF besitzen, der auf nicht weniger als 200 fm angewachsen ist und geringe Verluste besitzt. Dies hat zu der Diskussion über die Anwendung von lichtemittierenden Dioden bei optischen Übertragungssystemen geführt, die optische Faserkabel oder Lichtleiterkabel verwenden, die einen derartig großen Kern besitzen, um eine große Lichtmenge zu übertragen. Herkömmliche lichtemittierende Dioden der oben beschriebenen Art waren jedoch insofern nachteilig, als dann, wenn sie an optische Faserkabel oder Lichtleiterkabel mit einem derartig großen Kern angekoppelt werden, die Dioden nicht die Kopplungsmenge an Licht liefern können, die der Zuwachsrate bei der Kernquerschnittsfläche des Kabels entspricht.
  • Genauer gesagt, auch wenn der Emissionsflächen-Durchmesser DE der herkömmlichen Anordnung gemäß Fig. 1 und der Durchmesser DL der kugelförmigen Linse zunehmen würden, um zum Kerndurchmesser eines entsprechenden optischen Faserkabels oder Lichtleiterkabels zu passen, so hat der lichtemittLerende Bereich dieser Anordnung eine erhöhte Umfangslänge, die nur proportional zur ersten Potenz des Emissionsflächen-Durchmessers ist. Somit nehmen sowohl der elektrische Reihenwiderstand als auch der thermische Widerstand ab, so daß sie nur proportional im wesentlichen zur ersten Potenz des Emissionsflächen-Durchmessers sind, und somit ist auch ein Strom, mit dem ein optisches Ausgangssignal gesättigt ist, ebenfalls proportional zur ersten Potenz des Emissionsflächen-Durchmessers. Das bedeutet, daß auch mit einer Kernquerschnittsfläche des optischen Faserkabels oder Lichtleiterkabels, die mit einem Faktor von n2 multipliziert ist, eine an das optische Faserkabel angekoppelte Lichtmenge begrenzt ist, wobei die Sättigung des optischen Ausgangssignals auf ungefähr das n-fache unterdrückt wird. Dies ergibt sich ohne weiteres aus der graphischen Darstellung in Fig. 2.
  • Fig. 2 zeigt die Char.ikteristik des optischen Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Strom einer herkömmlichen lichtemittierenden Diode gemäß Fig. 1 mit einem Emissionsflächen-Durchmesser von 100 Xm im Vergleich zu einem Emissionsflächen-Durchmesser von 35 fm. In Fig. 2 ergibt die Ordinatenachse das optische Ausgangssignal in willkürlichen Einheiten und die Abszissenachse die Stromstärke in Milliampere an. Dabei bezieht sich die mit dem Bezugszeichen A bezeichnete Kennlinie auf einen Emissionsflächen-Durchmesser von 100 fm und die mit dem Bezugszeichen B bezeichnete Kurve auf einen Emissionsflächen-Durchmesser von 35 Aus Fig. 2 ergibt sich, daß trotz einer Emissionsfläche, die mit einem Faktor von ungefähr neun multipliziert ist, die lichtemittierende Diode mit einem Emissionsflächen-Durchmesser von 100 fm eine Stromstärke besitzt, bei der ein entsprechendes optisches Ausgangssignal gesättigt ist, welches nur um das Dreifache angestiegen ist gegenüber dem Signal, das mit einem Emissionsflächen-Durchmesser von 35 fm erreicht wird.
  • Die Erfindung zielt auf die Ausr;iumung dieser Nachteile von herkömmlichen Anordnungen der oben beschriebenen Art und gibt ~eine lichtemittierende Anordnung oder lichtemittierende Diode an, die eine Vielzahl von lichtemittierenden Bereichen aufweist, bei denen verhindert ist, daß sie elektrisch gegeneinclnder isoliert sind, und die auf einem einzigen Halbleiterchip mit hoher Dichte in Abständen angeordnet sind, die nicht kleiner sind als solche Abstände, daß eine Vielzahl von kugelförmigen Linsen, die über diesen lichtemittierenden Bereichen jeweils für einen lichtemittierenden Bereich angeordnet sind, miteinander in Berührung stehen.
  • In den Fig. 3A und 3B, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Bauteile wie in Fig. 1 bezeichnen, ist eine erste Ausführungsform einer erfindungs #emäßen lichtemittierenden Diode dargestellt Die dargestelLte Anordnung unterscheidet sich von der in Fig. 1 in foLgender Hinsicht: unter Verwendung einer selektiven Stztechnik wie bei der Anordnung gemäß Fig. 1 ist eine Vielzahl von kreisförmigen Aussparungen, in diesem Falle sieben kreisförmige Aussparungen 20-1, 20-2, 20-3, 20-4, 20-5, 20-6 und 20-7 auf der N-Typ.AlGaAs-Schicht 18 angeordnet, und zwar in vorgegebenen Abständen, die nicht kleiner sind als die Abstände, bei denen sieben kugelförmige Linsen 24-1, 24-2, 24-3, 24-4, 24-5, 24-6 und 24-7, die gleichen Durchmesser haben und oberhalb der entsprechenden kreisförmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 angeordnet sind, eine dicht gepackte Anordnung bilden, wie es in Fig. 3A dargestellt ist.
  • Danach wird Zink (Zn) in die Oberfläche der N-Typ AlGaAs-Schicht 18 eindiffundiert, um den P-Typ Diffusionsbereich 22 wie bei der Anordnung gemäß Fig. 1 auszubilden, der aber sieben Bereiche besitzt, die in den jeweiLigen krcis- förmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 vorhanden sind und die @-Typ AlGaAs-Schicht 16 erreichen.Auch dieP-seitige elektrode 26 weist ji&ben kreisförmiqe Fenster auf, die sich oberhalb der jeweiligen kreisförmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 befinden.
  • Wenn eine Spannung an die P-seitige Elektrode 26 und die N-seitige Elektrode 28 in gleicher Weise,wie oben im Zusammenhang mit Fig. 1 erläutert, angelegt wird, so wird der resultierende Strom auf diese kreisförmigen Bereiche des P-Typ Diffusionsb£reiches 22 konzentriert, die sich unter den kreisförmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 befinden und bis an die P-Typ AlGaAs-Schicht 16 heranreichen. Dies führt zur gleichzeitigen Emission von Licht aus sieben separaten kreisförmigen Bereichen, in denen die aktive P-Typ GaAs-Schicht 14 unterteilt ist oder aus denjenigen Bereichen der Schicht 14, die unterhalb der kreisförmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 angeordnet sind. Sieben Lichtbereiche, die auf diese Weise emittieren, treten aus den jeweiligen kreisförmigen Fenstern in der P-seitigen Elektrode 26 aus und werden dann in Form eines Lichtstrahles mit gutem Richtfaktor aus den kugelförmigen Linsen 24-1 bis 24-7 emittiert, die in die kreisförmigen Aussparungen 20-1 bis 20-7 und die jeweiligen kreisförmigen Fenster in der P-seitigen Elektrode 26 eingepaßt sind, und zwar in ähnlicher Weise wie bei der Anordnung gemäß Fig. 1.
  • Die Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B hat eine effektive Emissionsfläche, die das Siebenfache der Emissionsfläche der Anordnung gemäß Fig. 1 besitzt, die einen einzigen lichtemittierenden Bereich aufweist, der gleichen Durchmesser hat wie die sieben lichtemittierenden Bereiche der oben beschriebenen Art, und dennoch ist bei den lichtemittierenden Bereichen die gesamte Umfangslänge mit einem Faktor 7 multipliziert worden, während der elektrische Reihenwiderstand und der thermische Widerstand auf unge- fähr ein Siebtel reduziert sind, da die lichtemittierenden Bereiche im Abstand voneinander liegen. Dies führt zu einer Sättigung des optischen Ausgangssignals, die bei einem Strom erfolgt, der auf ungefähr das Siebenfache angestiegen ist. Es hat sich herausgestellt, daß die Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B ein hohes optisches Ausgangssignal liefern kann, das ungefähr doppelt so hoch ist wie das der Anordnung gemäß Fig. 1 mit einem dreifachen Durchmesser der Emissionsfläche, wie es in Fig. 4 dargestellt ist.
  • Fig. 4 zeigt die Kennlinie des optischen Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Strom von Anordnungen, die in Fig.3A und 3B dargestellt sind und sieben kugelförmige Linsen mit einem Durchmesser von 100 Zm für den jeweiligen lichtemittierenden Durchmesser von 35 Zm haben, und zwar im Vergleich mit einer Anordnung gemäß Fig. 1, die eine einzige kugelförmige Linse mit einem Durchmesser von 300'um bei einem lichtemittierenden Durchmesser von 100 mm besitzt. In Fig. 4 bezieht sich die mit dem Buchstaben A bezeichnete Kurve auf die Anordnung der lichtemittierenden Diode gemäß Fig. 1, während die mit dem Bezugszeichen B bezeichnete Kurve sich auf die Anordnung der lichtemittierenden Diode gemäß Fig. 3A und 3B bezieht.
  • Die Ordinaten- und Abszissenachsen haben die gleiche Bedeutung wie in Fig. 2, wobei die jeweiligen Einheiten entsprechend gewählt sind.
  • Aus Fig. 4 ts L ersichtlich, daß, obwohl die Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B eine effektive Emissionsfläche besitzt, die um nicht weniger als 10 % kleiner ist im Vergleich zu der Anordnung nach Fig. 1, das optische Ausgangssignal bei einer hohen Stromstärke gesättigt ist, die nicht kleiner ist als die zweifache Stromstärke, die bei der Anordnung gemäß Fig. 1 erhalten wird. Andererseits hat die Anordnung gemäß Fig. 3 im wesentlichen das gleiche Verhältnis im Durchmesser zwischen dem licht- emitt#erenden Bereich und der kugelförmigen Linse gegenüber der Anordnung in Fig. 1. Somit unterscheiden sich die beiden Anordnungen nicht in dem Richtfaktor oder der Richtwirkung des emittierten Lichtes voneinander. Außerd<#rn haben die beiden Anordnungen jeweils gleiche effektive Durcllmessel~ als kreiskreis@örmig@ I.ichtquellen, nämlich von 300 ~um. Außerdem hat sich herausgestellt, daß bei der Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B ein oberer Grenzwert der Lichtmenge, die an ein optisches Faserkabel oder ein Lichtleiterkabel mit einem Kerndurchmesser von 300 Xm angekoppelt wird und ius der Sättigung des optischen Ausgangssignales resultiert, einen Wert hat, der nicht weniger als das Doppelte von dem Wert ausmacht, der mit der Anordnung gemäß Fig. 1 erreicht wird.
  • Die Wirkung der erfindungsgemäßen Anordnung ist vorstehend mit sieben lichtemittierenden Bereichen erläutert worden, die mit der höchsten Dichte angeordnet sind, aber die Wirkung selbst hängt von der Tatsache ab, daß die lichtemittierenden Bereiche mit einer hohen Dichte angeordnet sind. Wenn die Anordnung gemäß Fig. 3A und 3B lichtemittierende Bereiche aufweist, die voneinander durch Abstände getrennt sind, die mindestens gleich dem doppelten Durchmesser von gleichen kugelförmigen Linsen sind, die über den jeweiligen lichtemittierenden Bereichen angeordnet und befestigt sind, dann unterscheidet sich die Lichtmenge, die in das zugeordnete optische Faserkabel oder Lichtleiterkabel eingekoppelt wird, nicht erheblich von derjenigen, die mit der Anordnung gemäß Fig. 1 erreicht wird.
  • Somit ist es erforderlich, daß jeder der lichtemittierenden Bereiche einen Abstand zwischen sich und einem benachbarten lilitemittierenden Bereich besitzt, der kleiner ist als der zweifache Durchmesser der darauf angeordneten kugelförmigen Linsen und nicht kleiner als die Abstände, bei denen die über den jeweiligen lichtemittierenden Be- reiche angeordtieten kuyelfsrrnigt~n Linsen eine dicht qepackte Anordnung bilden.
  • Die Fig. 5A bis 5D zeigen abgewandelte Ausführungsformen gemäß der Erfindung. In Fig. 5A sind drei kreisförmige Aussparungen 20 auf dem nicht dargestellten P-Typ Diffusionsbereich in Abständen angeordnet, in denen drei gleiche kugelförmige Linsen 24, die über den jeweiligen kreisförmigen Aussparungen 20 oder lichtemittierenden Bereichen angeordnet sind, eine dicht gepackte Anordnung bilden. In Fig. 5B sind sechs kreisförmige Aussparungen 20 in dem nicht dargestellten P-Typ Diffusionsbereich in Abständen angeordnet, in denen drei kugelförmige Linsen 24 mit größerem Durchmesser und drei kugelförmige Linsen 24 mit kleinerem Durchmesser, die über den kreisförmigen Aussparungen 20 oder den lichtemittierenden Bereichen angeordnet sind, miteinander in Bertihrung stehen. Bei der Anordnung gemäß Fig. 5C sind vier gleiche kugelförmige Linsen 24 auf entsprechenden kreisf~5rmigen Aussparungen 20 oder lichtemittierenden Bereichen angeordnet, so daß sie eine dicht gepackte Anordnung bilden.
  • Auch Fig. 5D zeigt eine Anordnung mit fünf kugelförmigen Linsen 24 mit größerem Durchmesser und einer kugelförmigen Linse 24 mit kleinerem Durchmesser, die über entsprechenden kreisförmigen Aussparungen 20 oder lichtemittierenden Bereichen angeordnet sind und in gleicher Weise miteinander in Berührung slel1en.
  • Der Ausdruck "dicht gepackte Anordnung" bezieht sich auch auf eine Vielzahl von Kugeln, die unterschiedliche Durchmesser haben und miteinander in 13ertEhrung oder Kontakt stehen, wie es in den Fig. 3B und 5D dargestellt ist.
  • Aus Fig. 5 ist ersichtlich, daß die kreisförmigen Aussparungen 20 in dem nicht dargestellten P-Typ Diffusionsbereich in Abständen angeordnet sind, die gleich der Summe der Durchmesser von benachbarten kugelförmigen Linsen sind, die über ihnen angeordnet sind.
  • Die Erfindung bietet zahlreiche Vorteile. Beispielsweise hat die lic}ltemittler(nde Diode gemäß der Erfindung einen niedrigen elektrischen Reihenwiderstand und einen geringen thermischen Widerstand im Vergleich zu einer herkömmlichen lichtemittierenden Diode gemäß Fig. 1, wobei der effektive Durchmesser einer Lichtquelle unverändert bleibt Dies führt zu einer Vergrößerung des Stromes bzw. der Stromstärke, bei der das optische Ausgangssignal gesättigt ist, und somit zu einem größeren optischen Ausgangssignal und spezifischer Lichtausstrahlung. Somit kann die Lichtmenge, die in ein entsprechendes optisches Faserkabel oder Lichtleiterkabel eingekopplXlt werden kann, drastisch erhöht werden. Auch wenn der Betriebsstrompegel unverändert bleibt, ist die Zunahme der Ubergangstemperatur klein im Vergleich zum Stande der Technik. Dies deswegen, weil der thermische Widerstand in der oben angegebenen Weise niedrig ist. Somit wird die resultierende Lebensdauer verlängert, und außerdem hat die Kennlinie des optischen Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Strom eine Linearität, die sich über einen breiten Bereich erstreckt.
  • Aufgrund des hohen optischen Ausgangssignals und der hohen spezifischen Lichtausstrahlung ist die lichtemittierende Diode gemäß der Erfindung nicht nur als Lichtquelle verwendbar, die bei einem Lichtleiterkabel mit großem Kern verwendet wird, sondern auch als Lichtquelle, die bei einem optischen Raumübertragungs-Kommunikationssystem verwendet wird, z.B. als Einrichtung zur Messung von Entfernunjen mit Lichtwellen oder dergleichen.
  • Auch wenn die Erfindung vorstehend im Zusammenhang mit wenigen bevorzugten Ausführungsformen erläutert worden ist, können selbstverständlich zahlreiche Abwandlungen vorgenommen werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. Beispielsweise kann die Anzahl der lichtemittierenden Bereiche und Kombinationen von lichtemittierenden Bereichen mit den kugelförmigen Linsen mit gleichen oder unterschiedlichen Durchmessern voneinander in viel#ältiger Weise geändert werden, wie sich ohne weiteres aus den verschiedenen Darstellungen in den Fig. 5A bis 5D ergibt.
  • Auch wenn die Erfindung vorstehend im Zusammenhang mit einer Vielzahl von kugelförmigen Linsen erläutert worden ist, die in einer dicht gepackten Anordnung vorgesehen sind, darf darauf hingewiesen werden, daß ein gewisser, kleinerer oder größerer Abstand zwischen den jeweiligen Paaren von benachbarten kugelförmigen Linsen vorhanden sein kann. Im letzteren Falle wird der Effekt gemäß der Erfindung etwas verringert, aber es wird eine Lichtmenge an ein entsprechendes Lichtleiterkabel angekoppelt, die immer noch <groß ist im Vergleich zum Stande der Technik. Wenn weiterhin die Erfindung im Zusanimenhang mit einer doppelten Hetero-Übergangstruktur unter Verwendung eines GaAs-AlGaAs-Systems als Material erläutert worden ist, darf darauf hingewiesen werden, daß die Erfindung nicht darauf oder dadurch beschränkt ist, vielmehr kann sie in gleicher Weise auch auf andere Materialien angewendet werden, z.B.
  • auf ein Material mit einem InGaAsP-InP-System sowie eine einfache Hetero-Übergangstruktur.
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Claims (2)

  1. Lichtemittierende Diode Patentansprüche Lichtemittierende Diode, gekennzeichnet durch einen einzigen Halbleiterchip (10), eine Vielzahl von lichtemittierenden Bereichen (20-1,..
    20-7), die auf dem Halbleiterchip (10) in der Weise angeordnet sind, daß eine elektrische Isolierung voneinander verhindert ist, kugelförmige Elemente (24-1,...,24-7), die jeweils über den jeweiligen lichtemittierenden Bereichen (20-1,..., 20-7) angeordnet sind, wobei die kugelförmigen Elemente (24-1,...,24-7) aus einem Material bestehen, das für die Wellenlänge des von den lichtemittierenden Bereichen emittierten Lichtes transparent ist, und die an dem Halbleiterchip (10) mit einem Be #cst icjun<jsmittel (30) befestigt sind, das für die emittierte Wellenlänge des Lichtes transparent ist.
  2. 2. Lichtemittierende Diode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der lichtemittierenden Bereiche (20-1, ..., 20-7) einen Abstand zwischen sich und einem benachbarten Bereich hat, der kleiner ist als die Summe des Durchmessers des darüber angeordneten jeweiligen kugelförmigen Teiles (24-1, ..., 24-7) und des Durchmessers des jeweiligen benachbarten lichtemittierenden Bereiches, und der nicht kleiner ist als die Abstände, in denen die über den jeweiligen lichtemittierenden Bereichen (20-1, ... 20-7) angeordneten kugelförmigen Elemente (24-1, ..., 24-7) eine dicht gepackte Anordnung bilden.
DE19823232526 1981-09-02 1982-09-01 Lichtemittierende diode Granted DE3232526A1 (de)

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NL8203436A (nl) 1983-04-05
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NL186417C (nl) 1990-11-16

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