DE3123799A1 - Asphaerisches optisches glied - Google Patents

Asphaerisches optisches glied

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DE3123799A1
DE3123799A1 DE19813123799 DE3123799A DE3123799A1 DE 3123799 A1 DE3123799 A1 DE 3123799A1 DE 19813123799 DE19813123799 DE 19813123799 DE 3123799 A DE3123799 A DE 3123799A DE 3123799 A1 DE3123799 A1 DE 3123799A1
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DE
Germany
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aspherical
spherical
lens
optical
optical member
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Withdrawn
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DE19813123799
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English (en)
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Volker DDR 6902 Jena-Lobeda Eberhardt
Wolfgang DDR 5901 Ifta Ehmer
Joachim DDR 6902 Jena-Lobeda Herrmann
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Jenoptik AG
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/18Optical objectives specially designed for the purposes specified below with lenses having one or more non-spherical faces, e.g. for reducing geometrical aberration
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

  • Asphärisches optisches Glied
  • Die Erfindung betrifft ein aspärisches optisches Glied mit einer sphärischen oder planen Rückfläche. Derartige optische Glieder finden beispielsweise bei Kondensoren für Polarisationsmikroskope und bei Fotoobjektiven so-.
  • wie bei anderen Objektiven Anwendung. Die Abbildungsleistung dieser asphärischen optischen Elemente sind in erster Linie von Herstellungstoleranzen bezüglich der Abweichung des Krümmungsmittelpunktes der Rücklleche von der Halbachse der Asphäre abhängig.
  • Es sind bereits asphärische Linsen bekannt, die auf der einen Seite eine sphärische Fläche und auf der anderen Seite eine asphärische Fläche besitzen Um eine gute Abbildungsleistung zu erzielen, muß die optische Achse des asphärischen Teiles so angeordnet sein, daß der Krümmungsmittelpunkt der Fläche des sphärischen Teils auf dieser optischen Achse des asphärischen Teils liegt. Die Her stellung einer derartigen asphärischen Linse ist soklrierig toleranzmäßig hinsichtlich der Zentrierung zu beherrschen. Die Zentrierung muß innerhalb des Fertigungsprozesses der Linse abgesichert werden. Schon geringe Abweichungen beim Spannen der Linse während des Herstellungeprozesses führen zu Dezentrierungen, die nachträglich nicht mehr gezielt korrigiert werden können.
  • E ist technologisch allgemein bekannt, die Genauigkeit der Übereinstimmung der geforderten Toleranzen im optischen schleif und Polierprozess zu erzielene Die Notwendigkeit von verschiedenen Umspannungens verbunden mit toleranzbehafteten Justierungen, sowie möglichen Lageänderungen beim Bearbeiten führen zu Fehlern hinsichtlich Zentrierung. Eine weitere Fehlermgölichkeit liegt in der Notwendigkeit, das Bauteil anschließend zu fassen, zu justieren und die Passung evtl. mechanisch zt bearbeiten bei ungenügender Zentrierung3 um die optisch wirksame Gesamtachse (fehlerbehaftet vom Herstellungsprozeß) in Übereinstimmung mit der Fassungsachse zu bringen. Eine vollständige Kompensation ist nicht mögliche der Zentrierfehler zwischen asphärischer und sphärischer Fläche wird nur gemittelt.
  • Zel der Erfindung ist die Verbesserung der Abbildungsleistung von asphärischen optischen Gliedern Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein im technologischen Herstellungsprozeß gut beherrschbares asphärisches optisches Glied zu schaffen, bei welchem der Krümmungsmittelpunkt der Rückfläche exakt auf der Halbachse der Asphäre liegt.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem asphärischen optischen Glied mit einer sphärischen oder planen Rückfläche dadurch gelöst, daß eine asphärische und eine sphärische Linse gleichen Brechwertes mit jeweils einer optisch wirksamen Fläche unabhängig voneinander zur optischen Achse der Asphäre an einer gemeinsamen Trennfläche ohne optische Wirkung justierbar angeordnet sind.
  • Es ist vorteilhaft, wenn das asphärische optische Glied eine plane Trennfläche bei einer sphärischen Rückfläche bzw. eine sphärische Trennfläche bei einer planen Rückfläche besitzt.
  • Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn die Trennfläche eine Anspreng- oder Kittfläche ist.
  • Darüber hinaus ist von Vorteil, wenn die sphärische un die asphärische Linse in einer mechanischen Linsenfassung mit einer justierbaren Ringschneide gelagert snd.
  • Das asphärische optische Glied besteht aus einer asph:? rischen und einer sphärischen Linse gleichen Brechwertes, die an einer gemeinsamen Trennfläche ohne optische Wirkung zusammengefügt und unabhängig voneinander justierbar sind.
  • Dadurch ist es möglich, nach dem Herstellungsprozeß der asphärischen und sphärischen optisch wirksamen Flächen den Krümmungsmittelpunkt der sphärischen Rückfläche des optischen Gliedes exakt zur optischen Achse der Asphäre zu justieren. Diese Justierung erfolgt zweckmäßigerweise in einer mechanischen Linsenfassung mit einer justierbaren Ringschneide. Damit ist eine nachträgliche Beeinflussung der Abbildungsleistung des asphärischen Gliedes möglich-Die Erfindung soll nachstehend anhand eines in derm Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.
  • Es zeigen: Fig. 1 Aufbau des erfindungsgemäßen asphärischen optischen Gliedes Fig. 2 Lagerung des asphärischen optischen Gliedes ri einer justierbaren Fassung In Fig. 1 ist der Prinzipaufbau des asphärischen optischen Gliedes dargestellt.
  • Eine asphärische Linse 1 mit einer optisch wirksamen asphärischen fläche 2 und eine sphärische Linse 3 nilt einer optisch wirksamen sphärischen Fläche 4 bestehen aus einem Material gleichen Brechwertes und sind an einer Trennfläche 5 ohne optische Wirkung zusammengefügt. Die sphärische Linse 3 ist zur optischen Achse 6 der asphärischen Linse 1 ausgerichtet.
  • In Figur 2 Ist das asphärische optische Glied gemäß Figur 1 in einer mechanischen Linsenfassung dargestellt.0 einer hochgenau laufenden Bezugaspindel ist eine Justiervorrichtung 8 drehbar angeordnet0 Innerhalb der Justiervorrichtung 8 befindet sich eine Ringschneidenaufnahme 9, auf der die sphärische Linse 3 mit der sphätischen Fläche 4 gelagert wird. Mit Hilfe eines aus Gründeu der Vereinfachung und Übersichtlichkeit in der Zeichnung nicht dargestellten und an sich bekannten Reflexbildgerätes wird der Krümmungsmittelpunkt 10 der sphariechen Fläche 4 auf eine Bezugsachse 11 ausgerichtet, indem dir Ringschneidenaufnahme 9 durch Justierschrauben 12 verschoben wird. Durch Kippbewegungen der sphärischen Linse 3 auf der Ringschneidenaufnahme 9 wird die Plan flache der sphärischen Linse 3 an der Trennflache 5 rechtwinkling zur Bezugsachse 11 ausgerichtete An der Tr6nnfläche 5 liegt die asphärische Linse.1 mit ihrer Planfläche auf der Planfläche der sphärischen Linse 3 auf und kahn mittels Justiermanipulatoren 13 verschoben werden, so daß die optische Achse 6 der asphärischen Linse 1 zum Krümmungsmittelpunkt 10 justierbar ist0 Durch die drehbare Justiervorrichtung 8, die verschiebbare Ringschneidenaufnahme 99 durch mögliche Kippbewegungen auf der Ringschneidenaufnahme 99 sowie durch Lageveränderung der asphärischen Linse 1 mittels der Justiermanipulatoren 13 ist eine Reihe manueller oder automatischer (eventueil rechnergestützterf Justiervorgänge der asphärischen Linse 1 und der sphärischen Linse 3 zueinander oder miteinander z.B. gemeinsame Drehung um den Krümmungsmittelpunkt 10 möglich. Die Justierung kann zweckmäßigerweise mit in der Zeichnung nicht dargestellten pneumatisch berührungslosen oder antastenden Meßfühlern durchgeführt werden. Erfindungsgemäß ist durch die dargestellte Justierbarkeit des asphärischen optische gliedes nach Figur 1 nach Vollendung des technologischen Herstellungsprizesses eine Lageveränderung des Krümmungsmittelpunktes 10 zur optischen Achse 6 der asphärischen Linse 1 möglich, so daß nachträglich (nach der Herstellung) die Abbildungsleistung beeinflußt werden kann.
  • Nach Justierung der Linsen kann ein Ansprengen der plane Ljnsenfläche an der Trennfläche 5 durch Belastung der asphärischen Linse 1 erreicht werden. Es ist ebenfalls möglich die asphärische Linsel mit der sphärischen Linse 3 an der Trennfläche 5 zu verkitten. Der verwendete Kitt muß im Brechzahlenwert dem Brechzahlenwert der aspharischen Linse 1 und der sphärischen Linse 3 eratsprechen, damit an der Trennfläche 5 keine optische Strahlenbrechung erfolgt.

Claims (4)

  1. Patentanspruch: 1. Asphärisches optisches Glied mit einer sphärischen oder planen Rückfläche, gekennzeichnet dadurch, daß eine asphärische und eine sphärische Linse gleichen Brechwertes mit jeweils einer optisch wirksamen Fläche unabhängig voneinander ztir optischen Achse der Asphäre an einer gemeinsamen Trennfläche ohne optische Wirkung justierbar angeordnet sind.
  2. 2. Äsphärisches optisches Glied nach Anspruch 1, gekenn* zeichnet durch eine plane Trennfläche bei einer sphärischen Ru'ckfläche b2wo durch eine sphärische Tren.nfläche bei einer planen Rückfläche.
  3. 3. Äsphärisches optisches Glied nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Trennfläche eine Anspreng-oder Kittfläche sein kann.
  4. 4. Asphärisches optisches Glied nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die sphärische und die assphärische Linse in einer mechanischen Linsenfassung nit einer justierbaren Ringechneide gelagert sind.
DE19813123799 1980-07-01 1981-06-16 Asphaerisches optisches glied Withdrawn DE3123799A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1063551B1 (de) * 1999-06-26 2004-06-02 Carl Zeiss SMT AG Objektiv, insbesondere Objektiv für eine Halbleiter-Lithographie-Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4988053A (en) * 1988-01-12 1991-01-29 Dong Sok Choi Therapeutic warming bag, an apparatus for its manufacture, and method for manufacturing a needle punched fabric of the bag

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JPS5714814A (en) 1982-01-26
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