DE3104379A1 - Druckmesser mit elektro-mechanischem wandler - Google Patents

Druckmesser mit elektro-mechanischem wandler

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    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/14Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means involving the displacement of magnets, e.g. electromagnets
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    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/007Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance

Description

  • Druckmesser mit elektro-mechanischem
  • Wandler Die Erfindung betrifft einen Druckmesser mit einer in ein Gehäuse eingespannten Membran, die auf ihrer einen Seite mit dem zu messenden Druck beaufschlagt ist und deren druckabhängige Auslenkung durch einen elektromechanischen Wandler in ein dem gemessenen Druck entsprechendes Messignal umsetzbar ist.
  • Derartige Druckmesser sind bekannt, wobei als elektromechanische Wandler beispielsweise Potentiometer eingesetzt werden, deren Verstellung in Abhängigkeit Von der Auslenkung der Membran erfolgt und die dann zwischen ihrem Abgriff und dem einen ihrer beiden anderen Anschlüsse ein entsprechendes elektrisches Messignal liefern.
  • Es ist auch bekannt, bei Druckmessern die Auslenkung der Membran unmittelbar mechanisch in eine Anzeige umzusetzen, beispielsweise über ein Zahnstangen-Zahnradgetriebe, wobei mit der Welle des Zahnrads der Zeiger einer Messuhr verbunden ist.
  • Nachteilig an den bekannten mechanischen Druckmessern ist es, daß sie nicht unmittelbar für eine Fernüberwachung geeignet sind. Bei den bekannten Druckmessern mit einem Potentiometer als elektro-mechanischen Wandler ist es dagegen nachteilig, daß durch den Verschleiß der Widerstandsbahn des Potentiometers und durch andere mechanische Schäden, die sich im Laufe der Zeit aufgrund des Schwingens der Membran ergeben, die Genauigkeit der MeXssergebnisse ständig abnimmt und insgesamt nur eine relativ geringe Lebensdauererwartung vorhanden ist.
  • Ausgehend vom Stande der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Druckmesser mit einem elektro-mechanischen Wandler anzugeben, bei dem kein mechanischer Verschleiß mehr auftritt und der bei hoher Lebensdauererwartung vergleichsweise genaue Messignale liefert.
  • Diese Aufgabe wird bei einem Druckmesser der eingangs beschriebenen Art gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß als Wandler eine Hallgeneratoranordnung vorgesehen ist, der ein mit der Membran verbundener Permanentmagnet zugeordnet ist.
  • Erfindungsgemäß wird also ein elektro-mechanischer Wandler dadurch verwirklicht, daß man gewissermaßen zweistufig arbeitet, indem man durch den mit der Membran verbundenen Permanentmagneten zunächst ein bewegliches Magnetfeld erzeugt und dann die Änderungen der magnetischen Feldstärke im Bereich einer mit dem Permanent-Magneten zusammenwirkenden Hallgeneratoranordnung erfasst und in ein entsprechendes elektrisches Messignal umsetzt.
  • Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn der Permanentmagnet derart angeordnet ist, daß die Verbindungslinie seiner Pole senkrecht zur Membran verläuft und wenn der Permanentmagnet ferner gegenüber der Hallgeneratoranordnung seitlich versetzt angeordnet ist. Bei dieser Ausgestaltung ist nämlich im Bereich der Hallgeneratoranordnung der Teil des magnetischen Feldes wirksam, in dem sich die magnetische Feldstärke bei einer Auslenkung des Magneten wesentlich stärker ändert als in einem Bereich, der angrenzend an einen der Pole des Permanentmagneten auf einer Verlängerung der Verbindungslinie der Pole liegt.
  • Vorteilhaft ist es ferner, wenn die Hallgeneratoranordnung als integrierte Hallgenerator-Brückenschaltuny ausgebildet ist, d.h. als integrierte Schaltung mit vier zu einer Wheatstone-Brücke verbundenen lIallgeneratorelementen, da in diesem Fall in an sich bekannter Weise eine Unterdrückung von unerwünschten Störeinflüssen erreichbar und damit eine höhere Genauigkeit des Messignals erzielbar ist.
  • Eine solche Hallgenerator-Brückenschaltung kann dann mit anderen elektrischen Baugruppen zu einer plattenförmigen Hybridschaltung zusammengefasst werden, die vergleichsweise preiswert herstellbar ist und nur einen geringen Platzbedarf aufweist. Dabei ist es günstig, wenn die plattenförmige Hybridschaltung in Ausgestaltung der Erfindung am Gehäuse des Druckmessers in einer zur Ebene der Membran im wesentlichen senkrechten Ebene insbesondere gegenüber dem Permanentmagneten seitlich versetzt montiert ist. Das Gehäuse sorgt dabei für eine stabile Halterung der Hybridschaltung, so daß deren durch das Gehäuse hindurch nach außen geführte Anschlüsse durch das Schwingen der Membran bei wechselnden Drücken keinen mechanischen Belastungen ausgesetzt sind.
  • Ferner hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn zur weiteren Verbesserung der Genauigkeit des Messergebnisses eine der elektrischen Baugruppen auf der plattenförmigen Hybridschaltung durch einen kombinierten Temperatur- und Spannungsregler gebildet wird, wie er im Handel für andere Zwecke bereits erhältlich ist. Auf diese Weise besteht nämlich die Möglichkeit, die Speisespannung für die Brückenschaltung sehr genau zu regeln und damit der starken Abhängigkeit der Hall spannung von der Stromstärke Rechnung zu tragen, während gleichzeitig eine über der normalen Umgebungstemperatur liegende Betriebstemperatur für die Hallgenerator-Brückenschaltung aufrechterhalten werden kann, so daß auch der starken Temperaturabhängigkeit der Hallspannung Rechnung getragen wird.
  • Als günstig hat es sich auch erwiesen, wenn die Spannung über der Brückendiagonale der Brücken schaltung nicht direkt ausgewertet wird, sondern zunächst einem, insbesondere rückgekoppelten, Differenzverstärker zugeführt wird, von dessen Ausgang dann das Messignal abgreifbar ist, wobei es sich als besonders vorteilhaft erweisen kann, wenn die Ausgangsspannung des Differenzverstärkers durch eine Klemmdiode auf einen vorgegebenen Wert begrenzt wird, da hierdurch eine erhöhte Flexibilität hinsichtlich der mit dem Ausgang des Druckmessers zur Auswertung und/oder Anzeige verbundenen elektrischen Schaltungen erreicht wird.
  • Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden nachstehend anhand von Zeichnungen noch näher erläutert und/oder sind Gegenstand von Unteransprüchen. Es zeigen: Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine bevorzugte Ausführungsform eines Druckmessers gemäß der Erfindung und Fig. 2 ein elektrisches Schaltbild einer bevorzugten Ausführungsform einer Hybridschaltung für den Druckmesser gemäß Fig. 1.
  • Im einzelnen zeigt Fig. 1, daß der erfindungsgemäße Druckmesser ein Gehäuse 10 aufweist, welches aus einem Oberteil 12 und einem Unterteil 14 zusammengesetzt ist, die in üblicher, hier nicht näher zu beschreibender Weise miteinander verbunden sind und zwischen denen eine Membran 16 längs ihres Randes festgeklemmt ist, wobei darauf hinzuweisen ist, daß das Gehäuse 10 senkrecht zur Zeichenebene einen runden Querschnitt aufweist und daß die Membran kreisförmig ausgebildet ist.
  • Das Unterteil 14 und die Membran 16 begrenzen eine Druckkammer 18, die mit einer Druckmittelquelle für ein festes oder gasförmiges Druckmedium über einen Kanal 20 verbindbar ist, der beim Ausführungsbeispiels als Bohrung in einem mit einem Außengewinde versehenen Anschlußstutzen des Druckmessers ausgebildet ist.
  • Oberhalb der Membran ist im Inneren des Gehäuses 10 ferner eine Platte 22 mit einer Mittelöffnung 24 vorgesehen. Die Platte 22 dient dabei dem Schutz der Membran 16 gegen eine Zerstörung oder Beschädigung wenn in der Druckkammer 18 ein zu hoher Druck aufgebaut wird, da sich die Membran 16 in diesem Fall an der Stützplatte 22 abstützen kann. Mit der Membran 16 ist ferner ein Stift 26 verbunden, der die Mittelöffnung 24 der Stützplatte 22 durchgreift und an seinem freien Ende einen Permanentmagneten 28 trägt. Der Permanentmagnet 28 ist dabei derart ausgebildet bzw. angebracht, daß eine Verbindungslinie 30 zwischen seinem Nordpol N und seinem Südpol S senkrecht zur Membran 16 verläuft, wobei die Verbindungslinie 30 beim Ausführungsbeispiel mit der Mittelachse des Druckmessers zusammenfällt.
  • Im Oberteil 12 des Gehäuses 10 ist eine plattenförmige Ijybridschaltung 32 vorgesehen, die beim Ausführungsbeispiel in gehäusefesten Führungsschienen 34 geführt ist.
  • In diese Führungsschienen 34, die einander an der Innenwand des Oberteils 12 gegenüberliegen, kann die Hybridschaltung 32 bei der Montage des Druckmessers eingeschoben werden. Bei fertig montiertem Druckmesser liegt die Hybsidschaltung 32 dann einerseits am oberen Ende des Oberteils 12 oder an Anschlägen der Führungsschienen 34 und andererseits an Sicherungselementen im Bereich der Verbindungsstelle zwischen Oberteil 12 und Unterteil 14, beispielsweise an der Stützplatte 22 an, so daß sie sicher gehaltert ist. Die Hybridschaltung 32 trägt auf ihrer dem Permanentmagneten 28 zugewandten Seite eine integrierte Hallgenerator-Brückenschaltung 36, die dem Permanentmagneten 28 seitlich gegenüberliegt.
  • Weiterhin zeigt Fig. 1, daß an der Oberseite des Oberteils 12 drei Anschlüsse für die Hybridschaltung 32 vorgesehen sind, nämlich ein Ausgangsanschluß 40, an dem das Messignal abgreifbar ist, ein Masseanschluß 38 und ein Spannungsanschluß 42.
  • Ein detailliertes Schaltbild der bei der Beschreibung der Fig. 1 angesprochenen Hybridschaltung ist in Fig. 2 dargestellt. Man erkennt, daß das Kernstück der Schaltung gemäß Fig. 2 durch die bereits-erwähnte Hallgenerator-Brückenschaltung 36 gebildet wird, die beispielsweise als integrierte Schaltung auf Siliziumbasis ausgebildet sein kann, wie sie im Handel unter der Typen.
  • bezeichnung KSY 10 erhältlich ist.
  • Die Schaltung gemäß Fig. 2 besitzt einen Versorgungsanschluß 42, an den eine gegenüber dem Masseanschluß 38 negative Versorgungsspannung -U anlegbar ist. Der Anschluß 42 ist einerseits mit einer Schaltung 50 verbunden, die einen kombinierten Temperatur- und Spannungsregler bildet, wobei diese Funktion der Schaltung 50 im Inneren des betreffenden Blockes durch die üblichen Symbole für einen Heizwiderstand und eine Zehner-Diode angedeutet ist. Außerdem ist der Anschluß 42 über einen der Spannungsstabilisierung dienenden Vorwiderstand 44 mit dem einen Speisespannungsanschluß eines Differenzverstärkers 60 verbunden. Der Heizungsteil der Schaltung 50 dient dazu, die Brücke 36 auf jeden Fall auf einer über der Umgebungstemperatur liegenden stabilisierten Betriebstemperatur zu halten, so daß Temperaturschwankungen der Elemente der Brücke, die die Messgenauigkeit beeinträchtigen könnten, zumindest weitgehend ausgeschlossen werden. Der Brücke 36 wird außerdem über einen Widerstand 46 die stabilisierte Ausgangsspannung des Spannungsregelteiles der Schaltung 50 zugeführt, wobei das vom Anschluß 42 abgewandte Ende des Widerstandes 44 mit dem Ausgang der Schaltung 50 und dem Widerstand 46 über eine Diode 48 verbunden ist, die der Entkoppelung der Schaltung 50 von dem Differenzverstärker 60 dient. Der brückenseitige Anschluß des Widerstandes 46 ist über die Widerstandsbahn eines Potentiometers 48 mit Masse verbunden, während der Abgriff des Potentiometers 48 über einen Widerstand 52 mit dem einen diagonalen Anschluß der Brückenschaltung 36 verbunden ist. Dieser Anschluß ist außerdem direkt mit dem nicht invertierenden Eingang (+) des Differenzverstärkers 60 verbunden. Der andere diagonale Anschluß der Brückenschaltung 36 ist über einen Widerstand 54 mit dem invertierenden Eingang (-) des Differenzverstärkers 60 verbunden. Der Ausgang des Differenzverstärkers 60 ist mit dem Anschluß 40 der Schaltung verbunden, der den Schaltungsausgang darstellt und an dem die Messpannung gegenüber dem Masseanschluß 38 abgreifbar ist. Zwischen dem Ausgang des Differenzverstärkers 60 und dessen nicht invertierenden Eingang liegt ferner ein Kondensator 56. Außerdem ist der Ausgang des Differenzverstärkers 60 über die Serienschaltung eines Widerstandes 58 und eines Potentiometers 62 mit dem Verbindungspunkt zwischen der Brückenschaltung 36 und dem Widerstand 54 verbunden. Schließlich ist in Fig. 2 noch eine Klemmdiode 70 gestrichelt eingezeichnet, die in vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung zwischen einen internen Anschluß des Differenzverstärkers 60 und Masse gelegt ist und dazu dient, eine scharfe Begrenzung des Maximalwerts der Ausgangsspannung des Differenzverstärkers 60 zu bewirken. Grundsätzlich bestünde dabei auch die Möglichkeit, die Diode 70 direkt zwischen den Ausgang des Differenzverstärkers 60 und Masse zu legen, wobei jedoch eine von der Trennlinie der Diode relativ stark abhängige Begrenzungscharakteristik in Kauf genommen werden müsste. Was die Klemmdiode 70 und den Differenzverstärker 60 anbelangt, so hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn als Differenzverstärker eine integrierte Schaltung des Typs CA 3140 verwendet wird, an deren Anschluß Nr. 8 die Klemmdiode 70 angeschlossen ist.
  • Bei der beschriebenen Schaltung dient der Widerstand 46 einer weiteren Verringerung der Spannungsabhängigkeit des Ausgangssignals der Brückenschaltung 36 von der bereits stabilisierten Spannung vom Ausgang der Schaltung 50. Weiterhin dienen das Potentiometer 48 und der Widerstand 52 dem Null-Abgleich der Brückenschaltung 36, wobei die Anpassung der Empfindlichkeit der Brückenschaltung 36 durch.geeignete Wahl des Widerstandswertes für den Widerstand 52 erfolgt. Der Rückkopplungszweig mit dem Widerstand 58 und dem Potentiometer 62 dient der Einstellung der Offset-Spannung und der Anpassung der Verstärkung an den Einstellbereich. Schließlich dient der Widerstand 54 dem Abgleich des Offset-Stroms des Differenzverstärkers 60. Außerdem ist der Differenzverstärker 60 vorzugsweise ein Verstärker mit Feldeffekttransistor-Eingang, welcher eine temperaturstabilisierte Verstärkung aufweist, wie dies für den oben erwähnten Verstärkertyp gilt.
  • Aus der vorstehenden Beschreibung wird deutlich, daß erfindungsgemäß ein sehr genauer elektronischer Druck--messer bzw. Druckmessgeber geschaffen wird, bei dem das Messergebnis nicht mehr durch mechanische Verschleißerscheinungen- verfälscht werden kann und bei dem auch der Einfluß von Temperaturänderungen weitestgehend ausgeschaltet ist, und zwar einerseits durch die Wahl eines geeigneten Verstärkertyps und andererseits durch die Stabilisierung der Temperatur für die Brückenschaltung 36 mit Hilfe der Schaltung 50, wobei letztere ein handelsübllcher Temperatur- und Spannungsregler in Form einer integrierten Schaltung sein kann, wie sie beispielsweise unter der Typenbezeichnung LM 3999 Z erhältlich ist.
  • Leerseite

Claims (8)

  1. Patentansprüche 1. Druckmesser mit einer in ein Gehäuse eingespannten Membran, die auf ihrer einen Seite mit dem zu messenden Druck beaufschlagt ist und deren druckabhängige Auslenkung durch einen elektro-mechanischen Wandler in ein dem gemessenen Druck entsprechendes Messignal umsetzbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Wandler eine Hallgeneratoranordnung (36) vorgesehen ist, der ein mit der Membran (16) verbundener Permanentmagnet (28) zugeordnet ist.
  2. 2. Druckmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (28) derart angeordnet ist, daß die Verbindungslinie (30) seiner Pole senkrecht zur Membran (16) verläuft, und daß der Permanentmagnet (28) gegenüber der Hallgeneratoranordnung (36) seitlich versetzt angeordnet ist.
  3. 3. Druckmesser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Hallgeneratoranordnung eine integrierte Hallgenerator-Brückenschaltung (36) vorgesehen ist.
  4. 4. Druckmesser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hallgeneratorbrückenschaltung (36) mit elektrischen Baugruppen zu einer plattenförmigen Hybridschaltung (32) zusammengefast ist.
  5. 5. Druckmesser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Hybridschaltung (32) am Gehäuse (10) in einer zur Ebene der Membran (16) im wesentlichen senkrechten Ebene montiert ist.
  6. 6. Druckmesser nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine der elektrischen Baugruppen als kombinierter Temperatur- und Spannungsregler (50) zum Aufrechterhalten einer vorgegebenen, über der Umgebungstemperatur liegenden Betriebstemperatur für die Hallgenerator-Brückenschaltung (36) und zur Erzeugung einer stabilisierten Speisespannung für dieselbe ausgebildet ist.
  7. 7. Druckmesser nach einem der Ansprüche 4 - 6, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Baugruppen mindestens einen an die Diagonale der Hallgenerator-Brücke (36) angeschlossenen Differenzverstärker (60) aufweisen.
  8. 8. Druckmesser nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß am Ausgang des Differenzverstärkers (60) eine Klemmdiode (70) vorgesehen ist.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3514564A1 (de) * 1984-09-27 1986-04-03 Nihon Radiator Co., Ltd., Tokio/Tokyo Messumformer fuer druck
FR2579684A1 (fr) * 1985-04-01 1986-10-03 Johnson Service Co Transmetteur de pression differentielle
FR2581710A1 (fr) * 1985-05-13 1986-11-14 Peugeot Conjoncteur-disjoncteur hydraulique
EP0388622A1 (de) * 1989-03-06 1990-09-26 Huba Control Ag Drucktransmitter
EP0472201A2 (de) * 1990-08-24 1992-02-26 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensor
EP0514569A1 (de) * 1991-05-22 1992-11-25 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensor
EP1148326A2 (de) 2000-04-17 2001-10-24 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Hall-Sensor-Druckmessgerät
DE10039609A1 (de) * 2000-08-09 2002-02-21 Mannesmann Vdo Ag Drucksensor

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3514564A1 (de) * 1984-09-27 1986-04-03 Nihon Radiator Co., Ltd., Tokio/Tokyo Messumformer fuer druck
FR2579684A1 (fr) * 1985-04-01 1986-10-03 Johnson Service Co Transmetteur de pression differentielle
DE3609291A1 (de) * 1985-04-01 1986-10-09 Johnson Service Co Wirkdruckgeber
FR2581710A1 (fr) * 1985-05-13 1986-11-14 Peugeot Conjoncteur-disjoncteur hydraulique
EP0388622A1 (de) * 1989-03-06 1990-09-26 Huba Control Ag Drucktransmitter
EP0472201A2 (de) * 1990-08-24 1992-02-26 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensor
EP0472201A3 (en) * 1990-08-24 1992-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Pressure transducer
EP0514569A1 (de) * 1991-05-22 1992-11-25 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensor
EP1148326A2 (de) 2000-04-17 2001-10-24 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Hall-Sensor-Druckmessgerät
EP1148326A3 (de) * 2000-04-17 2003-01-02 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Hall-Sensor-Druckmessgerät
US6626045B2 (en) 2000-04-17 2003-09-30 Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Pressure measurement device
DE10039609A1 (de) * 2000-08-09 2002-02-21 Mannesmann Vdo Ag Drucksensor

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