DE3041229A1

DE3041229A1 - Druckmessdose und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number: DE3041229A1
Application number: DE19803041229
Authority: DE
Inventors: Vance D. Stow Mass. Studlien
Original assignee: Bofors America Inc
Current assignee: Bofors America Inc
Priority date: 1979-12-05
Filing date: 1980-11-03
Publication date: 1981-09-17
Also published as: FR2472743A1; GB2064778A; US4295116A; JPS56100333A

Description

Druckmeßdose und Verfahren zu Ihrer Herstellung

Die Erfindung betrifft eine Druckmeßdose gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.

Druckmeßdosen dieser Art sind in einer Vielzahl von Ausführungsformen bekannt und weisen Membranen, dünnwandige Rohre oder dergleichen auf, die durch den Meßdruck verformt und deren Verformungen in entsprechende Änderungen der Widerstände von Dehnungsmeßstreifen umgewandelt werden, die in den Zweigen einer elektrischen Brückenschaltung angeordnet sind. Bei einer bekannten Druckraeßdose (US-PS 2 327 935) ist beispielsweise ein dehnungsempfindlicher Faden um einen dünnwandigen, hohlen Stutzen gewickelt, der sich unter dem Einfluß explosionsartig auftreffender Fluiddruckkräfte auf einen an seinem einen Ende befestigten Kolben ausdehnt. Es ist auch bereits bekannt, gleichzeitig Druck- und Zugspannungen auf einer Seite einer Membran zu messen (US-PS 2 400 467) _f wobei eine mit einem dicken Rand versehene Membran als Afo~ Schluß eines dem Meßdruck ausgesetzten Rohrs verwendet wird. Ferner sind bereits Druckmeßdosen bekannt, die entweder ein dünnwandiges Rohr, bei dem ir*nen der Meßdruck angelegt und von außen her gemessen wird (US-PS 2 477 026), .oder ein Rohr aufweisen, auf dessen eines Ende eine Membran geklebt ist und bei dem von innen her gemessen wird (US-PS'en 2 629 und 3 305 818). Schließlich ist es bereits bekannt, die &χιΐ die flexiblen Teile der Membran zentrierten Dehnungsmeßstreifen dadurch mit elektrischen Anschlüssen zu versehen, daß auf dem Träger der Dehnungsmeßeinrichtung verlängerte, fle~ xible Anschlußelemente vorgesehen werden (US-PS 3 899 766).

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß die bekannten Druckmeßdosen der genannten Art weniger einen Mangel in ihrer Grundkonzeption aufweisen, sondern daß vor allem die wirtschaftliche Herstellung großer Stückzahlen von Druckmeßdosen mit stabilen und sehr genauen Betriebsbedingungen ein großes Problem darstellt, das bisher eine

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erfolgreiche wirtschaftliche Nutzung derartiger Drückmeßdosen in einer Vielzahl von Anwendungsfällen, in denen sie mit großem Vorteil eingesetzt werden könnten, verhindert hat. Bei den herkömmlichen, eine Membran aufweisenden Druckmeßdosen ist es beispielsweise ziemlich mühsam, die Membran herzustellen und zu montieren, wenn diese nicht ein integraler Bestandteil der Druckmeßdose ist. Jeoch selbst wenn dies der Fall ist, ist es schwierig und beschwerlich, die winzigen Dehnungsmeßstreifen und die zugehörigen Schaltkreise auf den zugehörigen kleinen, meist nur schwer zugänglichen Flächen zu positionieren, zu verkleben und zu eichen. Wenn die Druckmeßdosen eine hohe technische Qualität besitzen, aber dennoch preiswert sein sollen, müßte es möglich sein, ihre Ausgangssignale leicht zu standardisieren und ihre Meßschaltkreise ohne zeitaufwendige, komplexe oder sorgfältige, nur mit Geschick durchführbare Herstellungsmethoden zu kompensieren. Außerdem ist es wichtig, daß die elektrischen Verbindungen mit den empfindlichen Meßmembranen sowie deren Schutz- und Abdichtungselemente hergestellt bzw. angebracht werden können, ohne dabei die Betriebsfähigkeit der Druckmeßdosen schädlich zu beeinflussen oder ihre Einfachheit als solche bzw. ihre leichte Herstellbarkeit zu beeinträchtigen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Druckmeßdose der eingangs bezeichneten Gattung zu schaffen, die einen unkomplizierten, preisgünstigen Aufbau besitzt, in miniaturisierter und standardisierter Form weitgehend automatisch herstellbar ist und über große Bereiche bei stabilen Betriebsbedingungen und mit hoher Genauigkeit Fluiddrucke messen und signalisieren kenn.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1 und 17 vorgesehen.

Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

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Die Erfindung bringt die Vorteile mit sich, daß der eigentliche Druckgeber als Hauptbestandteil der Druckmeßdose mit der Membran aus einem Stück besteht, die den Abschluß einer Blindbohrung bildet, auf ihrer Außenseite frei zugänglich ist und mit einem relativ breiten, ringförmigen Randabschnitt koplanar verläuft, und daß die Dehnungsmeßeinrichtung mit ihren Dehnungsmeßstreifen, Anschlußelementen und abschleifbaren Kompensationsstreifen auf den freiliegenden Außenseiten der Membran und des Randabschnitts aufliegt. Vorteilhaft ist ferner, daß die Druckmeßdose aus zwei leicht zusammenfügbaren Untereinheiten besteht, von denen die eine ein im wesentlichen monolithischer, die Membran und die Dehnungsmeßeinrichtung enthaltender Körper ist, während die andere eine die Verbindungselemente lagernde und ein Schutzgehäuse für den empfindlichen Membranteil und die Dehnungsmeßeinrichtung bildende Gehäuse- und Anschlußeinheit darstellt. Schließlich wird in vorteilhafter Weise die Betriebsgenauigkeit dadurch wesentlich verbessert, daß die folienfSrmigen Dehnungsmeßstreifen in der Membranmitte, die mit diesen zusammenwirkenden folienförmigen Anschlußelemente und abschleifbaren Kompensationsstreifen dagegen ringförmig um die Membranmitte herum auf einem starren Randabschnitt angeordnet sind.

Die Erfindung wird nachfolgend in Verbindung mit der beiliegenden Zeichnung an Ausführungsbeispielen näher erläutert₉ auf welche die Erfindung allerdings nicht beschränkt ist« Es zeigen:

Fig. 1 die perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen, aus zwei Untereinheiten zusammengesetzten Druckmeßdose, wobei die eine Einheit als Druckgeber und die andere Einheit als Gehäuse- und Anschlußeinheit ausgebildet ist;

Fig. 2 die perspektivische Ansicht einer Druckmeßdose mit einer zweiten Ausführungsform der Gehäuse- und Anschlußeinheit;

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Fig. 3, 4 und 5 die Vorderansicht, den Längsschnitt und die Hinteransicht eines einstückigen Körpers als Kernstück des erfindungsgemäßen Druckgebers;

Fig. 6 eine der Fig. 5 entsprechende, vergrößerte Ansicht mit einem Blick auf die an einem rückwärtigen Randabschnitt des Körpers befestigte Dehnungseinrichtung und deren Mittel zum Eichen, zur Herstellung der elektrischen Anschlüsse und zur elektrischen Kompensation;

Fig. 7 denselben Druckgeber, dessen folienartige Kompensationsstreifen, die mittels eines motorisch betriebenen Schleifwerkzeugs kontrolliert abgeschliffen werden können, und dessen Anschlußelemente, die zeitweilig mit elektrischen Meßkontakten verbunden sind;

Fig. 8 einen Druckgeber zusammen mit einer mittels eines federnden Schnappverschlusses aufsteckbaren, Federkontakte aufweisenden Gehäuse- und Anschlußeinheit;

Fig. 9 eine Ansicht auf den nach innen weisenden Teil der Gehäuse- und Anschlußeinheit nach Fig. 8;

Fig. 10 einen Druckgeber zusammen mit einer Gehäuse- und Anschlußeinheit, wobei die Federkontakte spiralförmig ausgebildet sind und wobei vorverzinnte Zonen sowohl auf den Federkontakten als auch auf der Dehnungsmeßeinrichtung solide elektrische Verbindungen ermöglichen;

Fig. 11 eine Ansicht auf den nach innen weisenden Teil der Gehäuse- und Anschlußeinheit nach Fig. 10;

Fig. 12 die Druckmeßdose im gefügten und versiegelten Zustand mit einer starren Gehäuse- und Anschlußeinheit, wobei die Anschlüsse durch vorgelötete Verdrahtungen hergestellt sind; und

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Fig. 13 einen vergrößerten Querschnitt einer Einzelheit eines spiralförmigen Federkontakts einer im übrigen nach Fig. 10 und 11 aufgebauten Gehäuse- und Anschlußeinheit.

Gemäß Fig. 1 enthält eine erfindungsgemäße Druckmeßdose 14 einen Metallkörper 15 mit einem Sechskantflansch, der mit einem Formkörper 16 aus Gummi zusammengefügt ist, der als Gehäuse oder Abdeckung und als elektrisches Anschlußorgan wirkt. Die Druckmeßdose 14a nach Fig. 2 enthält in ähnlicher Weise einen Körper 15, der im wesentlichen dem Körper 15 nach Fig. 1 entspricht, jedoch mit einer etwas anders ausgebildeten starren Gehäuse- und Anschlußeinheit zusammengefügt ist, die entsprechend der späteren Beschreibung durch Kleben am Körper 15 befestigt und abgedichtet ist. Die Gehäuse- und Anschlußeinheit 17 ist vorzugsweise evakuiert, damit auf der einen Seite einer Meßmembran ein bekannter geringer Druck oder nahezu ein Vakuum aufrechterhalten werden kann, während auf der anderen Seite der Membran der unbekannte Meßdruck anliegt.

Gemäß Fig. 3 bis 5 ist der als Sensor wirkende Körper 15 ein robustes, elnstUckiges Metallelement, in das von einem Ende 15b her ein mittlerer Hohlraum 15a eingearbeitet ist, der derart dicht vor dem gegenüberliegenden ebenen Ende 15c endet, daß an diesem Ende eine dünne, integrale, flache Membran 15d stehen bleibt. Die Erzeugung des Hohlraums in Form einer HLindbohrung erfolgt vorzugsweise mittels üblicher und präziser Rundschneidemaschinen, die es ermöglichen, daß die Innenseite 15e der Membran ganz eben und parallel zum Ende 15b ausgebildet wird. Ein Innengewinde 15f nahe dem offenen Ende 15_b dient als Anschluß zum sicheren Anschließen des ein kleines Volumen aufweisenden Hohlraums 15a an eine Fluiddruckquelle, deren Druck gemessen werden soll. Dabei ermöglicht ein das Innengewinde 15f umgebender Flansch 15g das Festziehen des Anschlusses mit einem geeigneten Werkzeug. Am Ende 15c der Körper besteht die Membran 15d aus einem Stück mit einem relativ dicken,

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starren, ringförmigen Randabschnitt 15h, der sich nach hinten in Richtung des offenen Endes um eine Strecke 15i erstreckt, die ausreicht, um einen äußeren Zylinderabschnitt zu schaffen, dem ein tassenförmiger Abschnitt der Gehäuse- und Anschlußeinheit 16 bzw. 17 aufgeschobenverden kann. Etwa in seiner Mitte enthält der Zylinderabschnitt eine Rille 153 mit im wesentlichen halbkreisförmigem Querschnitt, in die entsprechend der späteren Beschreibung eine innere Rippe der Gehäuse- und Anschlußeinheit 16 eingesetzt und eingerastet werden kann. Dabei ist wichtig, daß der ringförmige Randabschnitt 15h eine so große radiale Dicke 15k besitzt, daß vermieden wird, daß sich der Randabschnitt unter dem Einfluß von Innendrucken oder normalen, äußeren, mechanischen Kräften deformiert, dadurch die empfindliche Membran beeinflußt und davon abhängige Meßfehler verursacht. Außerdem ist die äußere Endfläche des Randabschnitts im wesentlichen koplanar mit der frei liegenden Außenseite der Membran, und seine radiale Dicke 15k reicht außerdem aus, um ihn als starre Unterlage für gewisse elektrische Anschlußelemente und abschleifbare Kompensationsstreifen verwenden zu können, die an ihm als Teil einer Dehnungsmeßeinrichtung befestigt werden, die außerdem Dehnungsmeßstreifen für die Membran aufweist. Vor dem Eichvorgang wird allerdings noch die beabsichtigte Membrandicke 15t innerhalb sehr einger Grenzen hergestellt, indem das gesamte Ende 15c des Körpers von außen her bearbeitet wird, bis die erwünschte Dicke erreicht ist. Diese Dicke legt fest, welcher Druckbereich die zu Meßzwecken optimalen Membranverformungen herbeiführt, d.h. ein einziger Körper kann für eine Anzahl von Druckbereichen vorgesehen werden, vorausgesetzt, daß das Körperende in geeigneter Weise bearbeitet wird. Hierzu kann zunächst die Blindbohrung 15a in jedem Körper bis zu einer vorgeschriebenen Tiefe vom offenen Ende 15b her exakt ausgebildet werden, so daß ein nachfolgendes Abarbeiten des geschlossenen Endes 15c von außen her bis auf einen genauen Abstand vom Ende 15b notwendigerweise die erwünschte Membranstärke

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liefert. Stattdessen kann allerdings auch ein anderer Bezugspunkt des Körpers, einschließlich der Innenfläche der Membran, mittels eines Referenzpunkthaltera erfaßt werden, um dadurch eine Lehre für die Einstellung der Dicke zu erhalten, auf die die Membran abgeschliffen werden soll. Bei Stahlkörpern dieser Art brauchen die Membrandurchmesser nur wenig mehr als etwa 9,5 Millimeter (3/8 Zoll) bei einer radialen Dicke der Randabschnitte von etwas weniger als etwa 6,4 Millimeter (1/4 Zoll) betragen. Die zugehörige Membranstärke kann dabei in Verbindung mit Druckgebern für Drucke zwischen etwa 50 und 690 Bar (750 bis 10 000 p. s. i.) von etwa 0,4 Millimeter (1/60 Zoll) bis etwa 1,3 Millimeter (1/20 Zoll) variieren.

Druckabhängige Verformungen der Membran 15d werden mit Hilfe von Dehnungsmeßstreifen in Form von elektrischen Widerstandsdrähten gemessen, die in aufliegender Form an äußeren, frei liegenden und leicht zugänglichen Oberflächen der Membran befestigt werden. Wie üblich können derartige Dehnungsmeßstreifen auf Zug- und Druckspannungen ansprechen. Das in Fig. 6 dargestellte Leitungsmuster stellt eine sogenannte Vollbrückenschaltung dar, die zwei äußere Gruppen von radial orientierten, folienförmigen» auf Druckbeanspruchungen ansprechende Dehnungsmeßstreifen bzw. "Leitungsfäden 18a und 18b und zwei innere Gruppen von bogenförmig orientierten, folienförmigen, auf Zugbeanspruchungen ansprechende Dehnungsmeßstreifen bzw. Leitungsfäden 19a und 19b aufweist. Die Membran 15d wird unter dem Einfluß eines FIuIddrucks nach außen gewölbt, was zur Folge hat, daß in der Nähe ihres Randes eine konkave, die radiale Stauchung verursachende Krümmung und in ihrem mittleren Teil eine konkave, elastische Verformung entsteht, die die Dehnung verursacht, die mittels der bogenförmig angeordneten Dehnungsmeßstreifen gemessen werden kann. Eine gestrichelte Linie 20 deutet in Fig. 5 und 6 di( Peripherie der Membran des Körpers 15 an, wobei darauf hinzuweisen ist, daß die vier Dehnungsmeßstreifen 18a,18b,19a und 19b innerhalb dieser

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und

Peripherie liegen /integral mit folienförmigen Leitungen, vier relativ großflächigen Anschlußelementen 21 bis 24 und mit vier haarnadelförmig ausgebildeten Kompensationsstreifen 25 bis 28 in Form von Widerstandsstreifen verbunden sind, die außerhalb der Peripherie angeordnet sind und auf den koplanaren, ebenen Endflächen des ringförmigen Randabschnitts 15h aufliegen. Alle genannten Bauteile sind gemeinsam von einem überaus dünnen, jedoch gleichförmig dünnen, kreisförmigen Träger 30 aus Isoliermaterial getragen, der direkt auf die Membran und den ebenen Randabschnitt am Ende 15c geklebt ist. Die genannten folienförmigen Leitungen ljegen nach außen frei, wo daß sie zwecks Herstellung elektrischer Anschlüsse mittels der Anschlußelemente 21 bis 24 und zwecks kontrollierter Abschleifung der Kompensationsstreifen 25 bis 29 zur Kompensation des elektrischen Schaltkreises leicht zugänglich sind. Zur Herstellung einer derartigen Dehnungsmeßeinrichtung werden die üblichen Ätzverfahren unter Verwendung fotoresistiver Chemikalien angewendet. Dabei ist nicht nur die aus den folienförmigen Leitungen und dem Träger bestehende Dehnungsmeßeinrichtung, sondern auch die dünne Schicht aus dem üblichen Kleber, der die Dehnungsmeßeinrichtung auf der Membran und dem Randabschnitt hält, so unwesentlich mit Bezug auf selbst die dünnsten beabsichtigten Membranen, daß sie das Ansprechen der Membran in keiner Weise beeinflussen können.

Nachdem die Dehnungsmeßeinrichtung am Ende 15c angebracht ist, ist die den Druckgeber darstellende Untereinheit im wesentlichen fertig und zu einer monolithischen Baueinheit zusammengefügt. Bevor das Gerät in Verbindung mit den üblichen externen Einrichtungen zur genauen Messung von Drücken freigegeben werden kann, muß allerdings noch seine Brückenschaltung sorgfältig ausgeglichen und geeicht werden. Hierzu enthält die Dehnungsmeßeinrichtung als integrale Bestandteile die vier haarnadelförmigen, länglichen, als Folienschleifen ausgebildeten Kompensationsstreifen 25 bis 28, die derart angeordnet sind, daß sie den starren Oberflächen

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des Randabschnitts aufliegen und dadurch eine derart feste Unterlage erhalten, daß die für ihren mechanischen Abrieb benötigten Kräfte nicht die Membran beeinflussen. Die kleinen, folienförmigen Kompensationsschleifen können leicht mittels eines Schleifwerkzeugs 31 erhalten werden, das gemäß Fig. 7 in das Putter eines kleinen Motors 32 eingespannt ist. Der durch das Fehlen jeglicher über das Ende 15c herausragender Vorsprünge bedingte freie und klare Zugang ermöglicht außerdem den zeitweiligen Anschluß von Meßsonden 33 an die Anschlußelemente 21 bis 24 und damit den Anschluß der Dehnungsmeßeinrichtung an externe Einrichtungen, die auf deren Jeweiligen Zustand ansprechen und den Abgleich und/oder die Eichung und/oder andere Kompensationen ermöglichen. Bei der in Fig. 6 beispielsweise gezeigten Dehnungsmeßeinrichtung stellen die Anschlußelemente 23 und 24 die Eingangs- bzw. Erregeranschlüsse dar, mit denen die Kompensationsstreifen 28 bzw. 27 direkt in Serie geschaltet sind. Dabei ist der Kompensationsstreifen 28 direkt an den Verbindungspunkt zwischen den Dehnungsmeßstreifen 18a und 19a angeschlossen, während der Dehnungsmeßstreifen 18a außerdem direkt mit dem als Ausgang wirksamen Anschlußelement 22 und der Dehnungsmeßstreifen 19a außerdem Über den Kompensationsstrelfen 25 mit dem anderen als Ausgang wirksamen Anschlußelement 21 verbunden ist. In ähnlicher Weise 1st der Kompensationsstreifen 27 direkt mit dem Verbindungspunkt zwischen den Dehnungsmeßstreifen 18b und 19b verbunden, während der Dehnungsmeßstreifen 19b außerdem direkt an das Anschlußelement 22 und der Dehnungsmeßstreifen 18b außerdem über den Kompensationsstreifen 26 en das Anschlußelement 21 angeschlossen ist. Dementsprechend sind die Kompensationsstreifen 27 und 28 außerhalb der BrUckenschaltung auf deren Eingangsanschlüsse verteilt, wo sie zur sogenannten ⁿSpannweiten^w-Einstellung dienen können, während die Kompensationsstreifen 25 und i.S innerhalb der Brücke in Brückenarmen liegen, die an einen gemeinsamen Ausgangsanschluß grenzen, und daher zum Abgleich der Brückenschaltung

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eingesetzt werden können. Zur Vorbereitung der Messung und Kompensation wird die Druckgeber-Untereinheit vorzugsweise periodisch wiederkehrenden Temperaturänderungen unterworfen und Überdrücken ausgesetzt, um die Zustände zu stabilisieren. Anschließend wird die Brückenschaltung abgeglichen, indem die Anschlußelemente 23 und 24 elektrisch erregt und die an den Anschlußelementen 21 und 22 erscheinenden elektrischen Ausgangssignale mittels üblicher Meßinstrumente gemessen werden und indem nach Art des Radierens der Abrieb einer oder beider der Kompensationsstreifen 25 und 26 bewirkt wird. Dabei wird das Schleifwerkzeug in der erforderlichen Weise auf die Kompensationsstreifen aufgelegt, um die Stärke der ohnehin schon dünnen folienförmigen Streifen noch weiter zu reduzieren bzw. deren wirksamen Widerstand zu vergrößern, den sie in ihre Brückenzweige einbringen. Der erwünschte Brückenabgleich kann auf diese Weise innerhalb der erwünschten Grenzen bei gewählten Temperaturen hergestellt werden. Der Widerstand der Kompensationsstreifen 27 und 28 wird in ähnlicher Weise durch Abrieb einstellbar vergrößert, um die über die Eingangsverbindungsstellen der Brückenschaltung wirksame Eingangsspannung zu verändern und dadurch die Spannweite der Ausgangssignale für einen erwünschten Bereich von Drucken einzustellen, denen der Druckgeber unterworfen werden soll. Wenn es vertretbar ist, kann die Dehnungsmeßeinrichtung Kompensationsstreifen enthalten oder mit solchen verbunden sein, die den Kompensationsstreifen 25 bis 28 allgemein entsprechen, Jedoch aus einer Legierung hergestellt sind, die sich in spezifischer Weise von der Legierung unterscheidet, aus der die Dehnungsmeßeinrichtung hergestellt ist, um eine noch verfeinerte Temperaturkompensation zu erhalten. Derartige Kompensationsschleifen sollten jedoch ebenfalls auf dem steifen Randabschnitt befestigt sein, wo sie durch /(brieb eingestellt werden können, ohne den Betrieb der Membran zu stören, und wo ihre Temperatur dazu neigt, denselben Wert wie die Temperatur der übrigen Dehnungsmeßeinrichtung anzunehmen.

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Nach Einstellung der Dehnungsmeßeinrichtung wird die Druckgeber-Untereinheit an ihrem geeichten Ende mit einem Schutzgehäuse umgeben. Außerdem wird eine trennbare elektrische Anschlußeinheit vorgesehen, um die elektrischen Zuordnungen mit den Eingangs- und Ausgangsgeräten am Ort der Druckmessung zu erleichtern. Fig. 8 und 9 zeigen eine bevorzugte Ausführungsform hierfür in Form einer kombinierten Gehäuse- und Anschlußeinheit 34, die sich mit Schnappverschluß und Selbstverriegelung auf den mit einer Rille versehenen, zylindrischen Verbindungsbereich des Randabschnitts 15h des Körpers 15 aufsetzen läßt. Ein zylindrischer Körper 35 der Gehäuse- und Anschlußeinheit 34 in Gestalt eines Gummiformlings weist an dem Ende, das mit dem Randabschnitt 15h zusammenpassen soll, einen zylindrischen Hohlraum 36 auf, wobei ein an diesen grenzender und den Randabschnitt umgebender, rohrförmiger Abschnitt 35a des Körpers 35 in radialer Richtung so dünn ist, daß er sich nach außen elastisch spreizen läßt, wenn er mit nahezu Paßsitz über den Randabschnitt geschoben wird. An seinem inneren Ende weist der rohrförmige Abschnitt 35a eine integral angeformte, nach innen ragende, ringförmige Rippe 35b mit im wesentlichen halbkreisförmigem Querschnitt auf, die zur Rille 15J des Körpers 15 komplementär ist und durch den Abschnitt 35a elastisch in diese Rille gedrückt bzw. in dieser gehalten wird. Obgleich das offene Ende des Abschnitts"leicht nach außen gespreizt werden kann, um die Rippe 35b auf dem äußeren Ende des Randabschnitts 15h gleiten und selbsttätig in der Rille 15j einrasten zu lassen, wenn die Gehäuse- und Anschlußeinheit 34 und der Körper 15 zusammengefügt werden, kann keine vergleichbare Spreizwirkung eintreten, wenn versucht würde, die zusammengefügten Untereinheiten in der entgegengesetzten Richtung voneinander zu trennen. Wenn nämlich einmal die Rippe 35b in der Rille 153 eingerastet ist, bleibt sie in dieser fest verriegelt, weil eine leichte Freigabe bei Ausübung eine-s axialen Zugs voraussetzen würde, daß sich der rohrförmige Abschnitt weiter innen bandförmig ausdehnt, und zwar dort, wo kein offenes Ende,

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sondern nur eine abschließende, schwere Innenwand 35c vorgesehen ist. Eine axiale Trennung der beiden Untereinheiten wird daher insbesondere durch den Schubwiderstand in Achsrichtung verhindert. Vier elektrische Federkontakte 37 bis

40 in Form von gebogenen Blattfedern sind von je einem dosen- und steckerförmigen elektrischen Verbindungselement

41 bzw. 42, das die Innenwand 35c durchragt und in diese abgedichtet eingegossen ist, freitragend im Hohlraum 36 gehalten. An ihren entgegengesetzten freien äußeren Enden können die Verbindungselemente 41 und 42 mit entsprechenden Verbindungselementen eines Vielleiterkabels zusammengesteckt werden. Die im Hohlraum 36 befindlichen Enden 37a bis 40a der Federkontakte 37 bis 40 sind in Winkelabständen von jeweils 90° um die Mittelachse der Untereinheit angeordnet, um dort mit den ähnlich angeordneten vergrößerten Anschlußelementen 21 bis 24 (Fig. 6) einer Dehnungsmeßeinrichtung in Berührung zu gelangen, die auf dem Träger 30 am ebenen Ende eines zugehörigen Körpers 15 vorgesehen ist. Vorsprünge 43, die nach vorn aus der Innenwand 35c herausragen, unterstützen das Verbleiben der Federkontakte 37 bis 40 in ihren beabsichtigten, getrennten Winkelstellungen. Nicht gezeigte Bezugsmarkierungen an den beiden Untereinheiten erleichtern deren Ausrichtung beim Zusammenfügen, so daß die Federkontakte jeweils mit den richtigen Anschlußelementen in Berührung kommen. In die Rille 15j kann Klebstoff eingeführt werden, um die Untereinheiten in ihren beabsichtigten, winkelmäßig fixierten Relativstellungen zu sichern und eine Abdichtung zu schaffen. Außerdem sind die Enden 37a bis 40a der Federkontakte und auch die vorgesehenen Kontaktflächen der Anschlußelemente 21 bis 24 vorzugsweise mit einem Lötmittel vorbehandelt bzw. vorverzinnt, so daß nach dem Zusammenfügen der beiden Untereinheiten durch eine Wärmebehandlung der gesamten Druckmeßdose die aneinandergrenzenden, verzinnten Oberflächen zu einer fest verbundenen, niederohmigen Lötverbindung zusammenschmelzen, die auch unter dem Einfluß von Stößen, Vibrationen oder anderen schädlichen äußeren Bedingungen bei der Benutzung nicht beeinflußt wird.

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Eine alternative usführungsform nach Fig. 10, 11 und 13 unterscheidet sich hauptsächlich hinsichtlich der auf der Vorderseite der Innenwand 35c vorgesehenen Federkontakte 37* bis 40' von der Ausführungsform nach Fig. 5 und 9. Diese Federkontakte 37' bis 40^f sind als kegelstumpfförmige Spiralen ausgebildet und an ihren kleineren Vorderenden 37a¹ bis 40a^f mit Kappen aus Lötmittel versehen. Diese Kappen sind derart angeordnet, daß sie mit Lötmittelschichten 45 und 46 in Berührung gelangen, die vorher auf die am Träger 30 der Dehnungsmeßeinrichtung vorgesehenen Anschlußelemente des Körpers 15 aufgebracht wurden, so daß die oben erwähnte Wärmebehandlung zu einer Verschmelzung und zu einer festen elektrischen und mechanischen Verbindung der Federkontakte mit den folienförmigen Anschlußelementen führt. Die spiralförmig ausgebildeten Federkontakte können vor allem ohne unerwünschte Störungen und ohne seitliches Abrutschen beim Zusammenfügen der beiden Untereinheiten große Stauchungen aufnehmen und führen zu guten Verbindungen, ohne daß große, nicht beherrschbare Kräfte ausgeübt werden, welche die Dehnungsmeßeinrichtung beschädigen oder zu einer unrichtigen Berührung der Anschlußelemente führen könnten.

Die in Fig. 13 dargestellte Einzelheit betrifft die vorzugsweise Anbringung je einer relativ kurzen, kegelstumpfförmigen Führungsnase 44 für Jeden spiralförmigen Federkontakt, z.B. den Federkontakt 38'. Die Führungsnase 44 ist derart angeformt, daß sie von der Innenwand 35c nach vorn ragt, un^ mit Paßsitz wenigstens von der ersten Windung der Spirale umschlossen ist. Diese Anordnung verhindert noch besser seitliche Verschiebungen der Federkontakte vor dem Verlöten der Kontaktfläche. Anstelle der wenigen dargestellten Windungen können die spiralförmigen Federkontakte eine Vielzahl von Windungen aufweisen.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Druckmeßdose ist, ausgehend von derselben Untereinheit für den Körper

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des Druckgebers, in Fig. 12 dargestellt. Sie enthält e'ne starre, aus Metall bestehende Gehäuse- und Anschlußeinheit mit einem rohrförmigen Gehäuseabschnitt 47, der auf den Randabschnitt 15h aufgeschoben wird, um den die Dehnungsmeßeinrichtung tragenden Träger 30 gehäuseförmig zu umschließen, und durch ein Anschlußorgan 48 abgeschlossen ist, der isoliert durchgeführte Verbindungselemente 49 aufweist, die innerhalb eines Gehäuses 48· des Verbindungsorgans 49 abgedichtet sind. Eine übliche externe Kabelverbindung, die dem Gehäuse 48' angepaßt ist, dient zum Anschließen der Verbindungselemente 49 an äußere Schaltelemente. Der Anschluß der Verbindungselemente 49 an die Anschlußelemente 21 bis 24 erfolgt mit Hilfe von flexiblen, verlötbaren Leitungen 50. Dabei können die Leitungen 50 dauerhaft mit den zugehörigen Leitungsteilen der Dehnungsmeßeinrichtung verlötet werden, bevor der Gehäuseabschnitt 47 und das Anschlußorgan 48 miteinander und mit dem Randabschnitt 15h versiegelt werden. Hierzu wird das Spiel an den BerUhrungsstellen 51 und 52 zwischen dem Gehäuseabschnitt 47 und dem Anschlußorgan 48 einerseits bzw. zwischen dem Gehäuseabschnitt 47 und dem Randabschnitt 15h andererseits relativ groß bemessen und beispielsweise auf etwa 0,1 bia 0,13 Millimeter (vier bis fünf Tausendstel Zoll) festgelegt und der Zwischenraum an den Berührungsstellen mit einem als Füll-, Klebe- und Dichtungsmittel wirksamen Material, z.B. einem Epoxidharz, gefüllt. Diese Harzfüllung wird dann durch Glühen der Druckmeßdose bei einer ausreichend hohen Temperatur in einem Vakuumofen gehärtet, so daß die dem Vakuumofen entnommenen Druckmeßdosen nicht nur versiegelt sind, sondern auf der Außenseite der Membran auch einen fast dem Vakuum entsprechenden Referenzdruck besitzen.

Die Hauptvorteile der Erfindung ergeben sich demnach aus den nachfolgend zusammengefaßten Merkmalen.

Der Druckgeber besteht aus einer Untereinheit, innerhalb welcher die Membran den integralen Boden einer Blindbohrung

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bildet, die von dem einen einen Anschluß an eine Druckquelle darstellenden, mit einem Flansch versehenen Ende eines Körpers her derart ausgebildet wird, daß die Außenseite der Membran und ihres koplanaren Randabschnitts das unbehinderte, ebene und freie andere Ende des Körpers bildet. Die Membranstärke kann daher leicht von diesem anderen Ende her mechanisch eingestellt werden, um die Untereinheit optimal an gewählte Druckbereiche anzupassen. Sowohl die Membran als auch der koplanare Teil des Randabschnitts sind mit einem dehr dünnen Träger aus Isoliermaterial bedeckt, auf dem die Dehnungsmeßeinrichtung derart befestigt ist, daß die folienförmigen Dehnungsmeßstreifen der Membran, die folienförmigen Anschlußelemente und die abschleifbaren Kompensationsstreifen dagegen dem steifen Randabschnitt aufliegen. Außerhalb der flachen, ebenen Membran ist eine nicht über das ebene Membranende hinausragende Montageschulter vorgesehen, auf die eine zweite, mit der ersten Untereinheit zusammenwirkende Untereinheit aufgeschoben werden kann. Diese zweite Untereinheit enthält ein hohles Verbindungsorgan, das tassenförmig über dem ebenen, freien Ende der ersten Untereinheit zu liegen kommt und einen Träger für flexible elektrische Kontaktelemente darstellt, die zur Anlage an den Anschlußelementen bestimmt sind, die auf dem Randabschnitt aufliegen. Für den Fall, daß der Referenzdruck der Druckmeßdose nahezu dem Vakuum entspricht, wird das Verbindungsorgan starr ausgebildet und nach dem Evakuieren fest abgedichtet. Andernfalls kann das Verbindungsorgan aus Gummi bestehen und eine Schnappverbindung zur Befestigung an der ersten Untereinheit aufweisen.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung enthält die miniaturisierte Präzisionsdruckmeßdose einen kleinen, einstückigen Metallkörper, in dem vom einen Ende her eine Blindbohrung ausgebildet ist und der an diesem Ende einen Gewindeanschluß aufweist, mittels dessen er an die zu messende oder zu überwachende Druckquelle angeschlossen werden

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kann. Das entgegengesetzte, freie Ende ist eben und frei von Hindernissen und durch die Außenseite einer dünnen Membran gebildet, die aus dem Material, das die Blindbohrung abschließt, und dem damit koplanaren, dicken und starren Randabschnitt besteht, der die Membran umgibt, über dieses freie Ende und auf eine auf diesem befestigte Schicht aus Isoliermaterial ist eine folienförmige Meßbrücke geklebt, die bogenförmig und radial angeordnete, der Membran aufliegende Dehnungsmeßstreifen und dem Randabschnitt aufliegende Sätze von vergrößerten Anschlußelementen bzw. abschleifbaten Kompensationsstreifen aufweist. In der Nähe des Gewindeanschlusses ist der Körper von einem Flansch in Form einer Sechskantmutter umgeben, während der Mantelabschnitt in der Nähe des entgegengesetzten, ebenen, die Membran enthaltenden Endes derart geformt ist, daß er in eine Gehäuse- und Anschlußeinheit paßt und diese abstützen kann. Die Gehäuse- und Anschlußeinheit lagert eine Gruppe von elektrischen Verbindungselementen, die mittels der am Randabschnitt gelagerten Anschlußelemente mit den Dehnungsmeßstreifen verbunden sind, und bildet ein abgedichtetes Schutzgehäuse für das freie Ende des Körpers.

Die Herstellung von Körpern zum Betrieb bei unterschiedlichen Druckbereichen ist im wesentlichen identisch und unterscheidet sich nur durch den letzten Materialabtrag an den flachen Enden der Körper, da diese mechanische Nachbearbeitung die endgültige, kritische Membranstärke festlegt. Nach der Herstellung der Membran und ihres steifen, koplanaren Randabschnitts und nach dem Aufkleben der vorbereiteten Dehnungsmeßeinrichtung mit ihren Dehnungsmeßstreifen, Anschlußelementen und Kompensationsstreifen wird die erste Untereinheit der Druckmeßdose hinsichtlich der Spannweite und des Abgleiche der Brückenschaltung elektrisch kompensiert, indem die Kompensationsstreifen entsprechend abgeschliffen werden. Wenn die Dehnungsmeßeinrichtung einmal mit der Gehäuse- und Anschlußeinheit abgedeckt ist, sind optimale Einstellungen nicht

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mehr möglich. Davor ist das freie und unbehinderte, ebene, die Dehnungsmeßeinrichtung tragende Ende des Körpers jedoch völlig frei und zugänglich. Daher kann einerseits der Körper an eine Druckquelle angeschlossen werden, während andererseits die Anschlußelemente zeitweilig mit den Elektroden üblicher, an die Brückenschaltung anzuschließender Schaltkreise verbunden werden können. Dies ermöglicht bei variablen Drucken und Temperaturen, sowohl den Widerstandswert der für den Druckabgleich vorgesehenen als auch den Widerstandswert der für die Einstellung der Spannweite vorgesehenen und noch freiliegenden Kompensationsstreifen durch /Abschleifen ^u verändern und dadurch optimale Korrekturen zu erhalten, wobei die Kompensationsstreifen starr auf dem Randabschnitt aufliegen und daher die Membran und die in deren Zentrum liegenden Dehnungsmeßstreifen nicht beeinflußt werden können.

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Claims

Patentanwalt

Diplom-Physiker

Reinfried Frhr. v. Schorlem«

D-35OO Kassel Brüder-Grlmm-Platz 4 Toiafon (O561) 153 35

D 5037

BOFORS AMERICA, INC., Waltham, Massachusetts/USA

( 1))Druckmeßdose mit einem im wesentlichen starren, eine Membran und einen Anschluß für eine Fluidquelle aufweisenden Körper und mit einer an der Membran befestigten, isoliert angebrachte Dehnungsmeßstreifen, Kompensationsstreifen und Mittel zu deren Anschluß an externe elektrische Schaltungen aufweisenden Dehnungsmeßeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (15) einen zu seinem den Anschluß (15f) aufweisenden Ende hin offenen Hohlraum (15a) in Form ©iner Blindbohrung aufweist, dessen Boden die im wesentlichen ebene, gleichförmig dicke, mit dem Körper (15) aus einem Stück bestehende Membran (I5d) bildet, deren Außenseite im wesentlichen koplanar mit der an das entgegengesetzte Ende (15c) des Körpers (15) grenzenden Außenseite eines relativ dicken, im wesentlichen starren und die Membran (15d) umgebenden Randabschnitts (15h) des Körpers (15) ist, der im wesentlichen keine über die koplanaren Außenseiten der Membran (I5d) und des Randabschnitts (15h) nach außen ragenden Teile aufweist, und daß die Dehnungsmeßstreifen (18a,18b,19a,19b) an der Außenseite der Membran (I5d), die großflächig ausgebildeten Anschlußelemente (21 bis 24) dagegen an der Außenseite des Randabschnitts (15h) befestigt sind.
2) Druckmeßdose nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationsstreifen (25 bis 28) aus flachen, folienförmigen, auf der Außenseite des Randabschnitts (15h) aufliegenden Widerstandsstreifen bestehen, die

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zwecks mechanischen Abriebs zur Vergrößerung ihres elektrischen Widerstandswertes freiliegen und mit den Dehnungsmeßstreifen (18a,18b,19a,19b) elektrisch verbunden sind.
3) Druckmeßdose nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein dünner, ebener, als Isoliermaterial bestehender, auf die koplanaren Außenseiten der Membran (15d) und des Randabschnitts (15h) geklebter und die Dehnungsmeßeinrichtung tragender Träger (30) vorgesehen ist und die abschleifbaren, einen relativ geringen Widerstand aufweisenden Kompensationsstreifen (25 bis 28) jeweils in Form einer Halbschleife ausgebildet sind, die zwei eng beabstandete, an ihrem einen Ende miteinander verbundene Streifen aufweist und mit seitlichem Abstand von den Anschlußelementen (21 bis 24) und den Dehnungsmeßstreifen (18a,18b,19a,19b) auf dem Träger (30) angeordnet ist.
4) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dehnungsmeßstreifen (I8a,18b,19a, 19b) zu einer elektrischen Brückenschaltung verbunden und die Kompensationsstreifen (27,28) zwischen die Brückenschaltung und die als Eingänge der Brückenschaltung wirksamen Anschlußelemente (23,24) geschaltet sind.
5) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Dehnungsmeßstreifen (I8a,18b,19a, 19b) zu einer elektrischen Brückenschaltung verbunden sind und die Kompensationsstreifen (25 bis 28) solche Kompensationsstreifen (25,26) enthalten, die mit ausgewählten Dehnungsmeßstreifen in Zweigen der Brückenschaltung in Serie geschaltet sind.
6) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Randabschnitt (15h) ringförmig ausgebildet ist und die Anschlußelemente (21 bis 24) in vorgewählten Winkelstellungen bezüglich des Randabschnitts (15h) auf dem Träger (30) verteilt angeordnet sind, und daß die

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Mittel zum Anschluß an externe elektrische Schaltungen eine über den Randabschnitt (15h) schiebbare Untereinheit (34) aufweisen, die Verbindungselemente (41,42) und Mittel zum elektrischen Verbinden der Verbindungselemente (41,42) mit den Anschlußelementen (21 bis 24) aufweist.
7) Druckmeßdose nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Untereinheit (34) einen rohrförmigen, auf den Randabschnitt (15h) mit geringem Spiel aufschiebbaren Gehäuseabschnitt (47) und ein von den Verbindungselementen (49) durchsetztes Anschlußorgan (48) aufweist, das das vom Randabschnitt (15h) abgewandte Ende des Gehäuseabschnitts (47) dicht abschließt, daß die Mittel zum elektrischen Verbinden flexible, innerhalb des Gehäuseabschnitts (47) angeordnete Drähte (50) sind, die von den Verbindungselementen (49) ausgehen und mit den Anschlußelementen (21 bis 24) verlötet sind, und daß die durch das geringe Spiel gebildeten Zwischenräume (52) zwischen dem Randabschnitt (15h) und dem Gehäuseabschnitt (47) mit einem verhärteten Klebmaterial ausgefüllt sind.
8) Druckmeßdose nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäuseabschnitt (47) aus einem im wesentlichen starren Metall besteht und das verhärtete Klebmaterial eine wärmehärtbares, beim Einlagen in den Zwischenräumen (52) geglühtes Harz ist, das einen durch Evakuieren erhaltenen Referenzdruck an der Außenseite der Membran (I5d) und innerhalb des Gehäuseabschnitts (47) aufrechterhält.
9) Druckmeßdose nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Untereinheit (34) einen rohrförmigen, dicht auf den Randabschnitt (15h) aufschiebbaren Abschnitt (35a) und dne diesen abschließende, quer angeordnete, von den Verbindungselementen (41,42) lurchsetzte Innenwand (35c) aufweist, und daß die Mittel zum elektrischen Verbinden elastische Federkontakte (37 bis 40, 37» bis 40·) ent-

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halten, die an den Verbindungselementen (41,42) befestigt sind und sich nach dem vollen Aufschieben des rohrförmigen Abschnitts (35a) auf den Randabschnitt (15h) in Richtung der Anschlußelemente (21 bis 24) erstrecken und an diese anlegen.
10) Druckmeßdose nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den Anschlußelementen (21 bis 24) in Berührung kommenden Teile der Federkontakte (37 bis 40, 37' bis 40') sowie die mit diesen in Berührung kommenden Teile der Anschlußelemente (21 bis .24) vorverzinnt sind, so daß die vorverzinnten Teile durch eine Wärmebehandlung der Druckmeßdose nach deren Zusammenfügen miteinander verschmolzen und verbunden werden können.
11) Druckmeßdose nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Federkontakte (37' bis 40') aus konischspiralförmig gewickelten Drähten bestehen und die Innenwand (35c) nach vorn ragende Führungsnasen (44) aufweist, die zumindest von der ersten Wicklung jeweils eines Federkontaktes (37* bis 40') umschlossen sind.
12) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der rohrförmige Abschnitt (35a) aus einem Formkörper mit elastischen Eigenschaften, z.B. Gummi, besteht, daß der Randabschnitt (15h) hinter der mit der Membran (I5d) koplanaren Außenseite eine im wesentlichen zylindrische Mantelfläche aufweist, in der eine ringförmige Rille (153) mit im wesentlichen halbkreisförmigem Querschnitt ausgebildet ist, und daß der rohrförmige Abschnitt (35a) nahe seinem offenen Ende eine im wesentlichen zylindrische Innenfläche mit einer nach innen ragenden Rippe (35b) aufweist, deren Querschnitt im wesentlichen dem Querschnitt der Rille (15J) entspricht und die zum Einrasten in der Rille (15ö) nach dem Aufschieben des Abschnitts (35a) auf den Randabschnitt (15h) bestimmt ist, wobei die Innenwand (35c) eine Spreizung des Abschnitts (35a) nach

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außen und daher eine Trennung der Rippe (35c) von der Rille (153) nach dem Einrasten verhindert.
13) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß für die Fluidquelle aus einem Innengewinde (I5f) am offenen Ende des Körpers (15) besteht, das den Eintritt des unter Druck stehenden Fluids in den Hohlraum (15a) bis zur Membran (I5d) ermöglicht, und daß der Körper (15) nahe seinem offenen Ende einen zum Ansetzen eines Werkzeugs beim Festziehen des Innengewindes (I5f) bestimmten Flansch (15g) aufweist.
14) Druckmeßdose nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein dünner, aus Isoliermaterial bestehender und auf die koplanaren Außenseiten des Randabschnitts (15h) und der Membran (15d) klebbarer Träger (30) vorgesehen ist, in dessen mittlerem Teil die als Zweige der Brückenschaltung vorgesehenen Dehnungsmeßstreifen (18a,18b,19a,19b) derart angeordnet sind, daß sie beim Aufkleben des Trägers (30) auf die koplanaren Außenseiten auf der Membran (I5d) zu liegen kommen, und der eine Anzahl von großflächigen, folienartigen Anschlußelementen (21 bis 24) trägt, die in Abständen um die Dehnungsmeßstreifen herum und radial außerhalb von diesen derart angeordnet sind_s daß aie beim Aufkleben des Trägers (30) auf die koplanaren Außenseiten auf dem eine starre Unterlage bildenden Randabschnitt (15h) zn liegen kommen und nach außen hin zwecks Anlage an elektrische Verbindungselemente (41,42,49) freiliegein.
15) Druckmeßdose nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Dehnungsmeßstreifen (25 bis 28) aus länglichen, folienartigen Streifen bestehen, die auf dem Träger (30) derartig angeordnet sind, daß sie bei dessen Aufkleben auf die koplanaren Außenseiten auf dem eine starre Unterlage bildenden Randabschnitt (15h) au liegen kommen und von außen zwecks mechanischen Abriebs zur Vergrößerung ihres elektrischen Widerstandswertes zugänglich sind, und daß

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außerdem folienartige Leitungspfade auf dem Träger (30) vorgesehen sind, die die Dehnungsmeßstreifen (I8a,18b, 19a,19b), die Anschlußelemente (21 bis 24) und die Kompensationsstreifen (25 bis 28) miteinander verbinden.
16) Druckmeßdose nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationsstrelfen (25 bis 28) einen relativ geringen Widerstand aufweisen und jeweils in Form einer Halbschleife ausgebildet sind, die zwei eng beabstandete, an ihrem einen Ende miteinander verbundene Schleifen aufweist und mit seitlichem Abstand von den Anschlußelementen (21 bis 24) und den Dehnungsmeßstreifen (18a,18b,19a,19b) auf dem Träger angeordnet ist, und daß die Kompensationsstreifen (25 bis 28) teils derart zwischen die Brückenschaltung und die als Eingänge der BrUckenschaltung wirksamen Anschlußelemente (23,24) und teils derart in Serie zu Dehnungsmeßstreifen innerhalb der Brückenschaltung geschaltet sind, daß durch Abschleifen der Kompensationsstreifen (25 bis 28) ein Abgleich und eine Einstellung der Spannweite der BrUckenschaltung möglich sind.
17) Verfahren zur Herstellung einer Druckmeßdose nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß in einem im wesentlichen starren Metallkörper eine Blindbohrung mit einem flachen, die Membran bildenden Boden ausgebildet und dabei ein relativ dicker, im wesentlichen ringförmiger, die Blindbohrung umschließender Randabschnitt stehen gelassen wird, daß am offenen Ende der Blindbohrung ein Anschluß zum Anschließen des Körpers an eine Fluiddruckquelle angebracht und das andere, den Boden enthaltende Ende von außen her bearbeitet wird, bis die Außenseiten der Membran und des Randabschnitts im wesentlichen in einer Ebene liegen, daß ferner eine folienförmige, Dehnungsmeßstreifen und großflächige Anschlußelemente aufweisende Dehnungsmeßeinrichtung vorbereitet und

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derart am Körper befestigt wird, daß die Dehnungsmeßstreifen isoliert auf der Außenseite der Membran» die Anschlußelemente dagegen isoliert auf der koplanaren Außenseite des Randabschnitts zu liegen kommen, und daß der Anschluß der Dehnungsmeßeinrichtung an externe Schaltungen unter Verwendung der auf dem Randabschnitt aufliegenden Anschlußelemente erfolgt.
18) Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Bearbeitung des Bodens der Blindbohrung den mechanischen Abrieb von Material bis zum Erreichen der erwünschten Membranstärke einschließt und dabei gleichzeitig sichergestellt wird, daß die Außenseiten der Membran und des diese umgebenden Randabschnitts eben und koplanar bleiben.
19) Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Dehnungsmeßeinrichtung mit länglichen, folienartigen Kompensationsstreifen versehen wird, die bei der Montage der Dehnungsmeßeinrichtung isoliert auf die Außenseite der Randabschnitts aufgelegt und derart in die Dehnungsmeßeinrichtung geschaltet werden, daß ihr elektrischer Widerstand eine Kompensation von Eigenschaften der elektrischen Schaltkreise der Dehnungsmeßeinrichtung kompensieren kann, und daß die Kompensationsstreifen anschließend, während sie auf der Außenseite des Randabschnitts aufliegen, zwecks Vergrößerung ihres elektrischen Widerstandes abgeschliffen werden.
20) Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß der Dehnungsmeßeinrichtung an externe Schaltungen dadurch erfolgt, daß auf das geschlossene Ende des Körpers ein Gehäuse aufgeschoben wird, das von einer Vielzahl von Verbindungselementen durchragt ist, die je einen vorverzinnten Federkontakt tragen, der sich beim Aufschieben des Gehäuses auf ;ien Körper in Form eines Druckkontakts gegen ein zugeordnetes Anschlußelement legt, daß ferner die Anschlußelemente vorverzinnt werden und daß die

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Druckmeßdose nach dem Aufschieben des Gehäuses auf den Körper einer Wärmebehandlung unterzogen wird, um die miteinander in Berührung befindlichen Anschlußelemente und Federkontakte miteinander zu verschmelzen bzw. zu verlöten.

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