DE3038155A1 - Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasis - Google Patents
Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasisInfo
- Publication number
- DE3038155A1 DE3038155A1 DE19803038155 DE3038155A DE3038155A1 DE 3038155 A1 DE3038155 A1 DE 3038155A1 DE 19803038155 DE19803038155 DE 19803038155 DE 3038155 A DE3038155 A DE 3038155A DE 3038155 A1 DE3038155 A1 DE 3038155A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- discharge
- oxide
- oxygen atmosphere
- film gas
- stabilising
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803038155 DE3038155A1 (de) | 1980-10-09 | 1980-10-09 | Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803038155 DE3038155A1 (de) | 1980-10-09 | 1980-10-09 | Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasis |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3038155A1 true DE3038155A1 (de) | 1982-04-29 |
DE3038155C2 DE3038155C2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1988-06-30 |
Family
ID=6113997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803038155 Granted DE3038155A1 (de) | 1980-10-09 | 1980-10-09 | Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasis |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3038155A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0191172A3 (en) * | 1985-02-09 | 1987-08-12 | Dragerwerk Aktiengesellschaft | Method for sensitization and stabilization of the working state of semiconductor gas sensors |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4317879B4 (de) * | 1993-05-28 | 2005-02-10 | I.T.V.I. International Techno Venture Invest Ag | Vorrichtung zum Nachweis von anorganisch-organischen Verbindungen, Narkosegasen, Pestiziden, Insektiziden und halogenisierten Kohlenwasserstoffen in Gasströmen mittels Halbleiter-Gassensoren |
-
1980
- 1980-10-09 DE DE19803038155 patent/DE3038155A1/de active Granted
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
US-Z: Applied physics leeters, 11 (1967) 8, S. 255-257 * |
US-Z: IEEE Trans. Electron Dev., Vol. EB-26, No.12, Dec. 1979, S.1875-1879 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0191172A3 (en) * | 1985-02-09 | 1987-08-12 | Dragerwerk Aktiengesellschaft | Method for sensitization and stabilization of the working state of semiconductor gas sensors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3038155C2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1988-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Koo et al. | The effects of hydrostatic pressure, temperature, and voltage duration on the electric strengths of hydrocarbon liquids | |
EP0273251B1 (de) | Verfahren zur Steuerung und Kontrolle von durch im Plasma aktivierte Ionen, Radikale und/oder neutrale Teilchen bewirkten Ätzprozessen, insbesondere für höchstintegrierte Halbleiterschaltungen | |
EP0046989B1 (de) | Selektiver Dünnschicht-Gassensor hoher Empfindlichkeit und Stabilität zum Nachweis und zur Messung von gasförmigen Kohlenwasserstoff-Verunreinigungen in der Luft auf der Basis von Wolframoxid (WOx)-Halbleitern, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3031220A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum gravieren integrierter schaltungen | |
DE2208493A1 (de) | Vorrichtung zum Messen gasartiger Verunreinigungen der umgebenden Atmosphäre | |
DE3414539C2 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
House | High field conduction currents in hexane | |
DE2706070A1 (de) | Sonde zum selektiven detektieren von daempfen, insbesondere wasserdampf | |
DE1514359B1 (de) | Feldeffekt-Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung | |
EP0104636A2 (de) | Sauerstoffsensor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3038155A1 (de) | Verfahren zur stabilisierung der kenndaten von duennschcht-gassensoren auf oxidhalbleiterbasis | |
DE3336652C2 (de) | Vorrichtung zum Auftragen von Materialien, insbesondere amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffs | |
EP0365005A3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung des Innendrucks eines Gefässes | |
DE4427627C2 (de) | Regensensor | |
DE4426225A1 (de) | Vorrichtung zur Überprüfung der Porosität von dünnen Gummiprodukten | |
DE3139617A1 (de) | Gassensor und verfahren zu seiner hertellung | |
DE2019091A1 (de) | Verfahren zur Herstellung stabiler Duennfilmwiderstaende | |
Zaky et al. | Electrical conduction in organic liquids | |
Breyer et al. | Alternating current polarography of organic compounds. III. Chloranilic acid | |
EP0021204A1 (de) | Ionengenerator | |
DE4000664A1 (de) | Transparente elektrode aus leitfaehigem oxid fuer photodioden und verfahren zu ihrer herstellung | |
Maskrey et al. | The importance of contamination in arc initiation on stainless steel exposed to a toroidal discharge | |
Hancox | The breakdown of liquid dielectrics and its dependence on oxidation of the electrodes | |
DE2433690C2 (de) | Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung einer metallographischen Probe | |
DE1918948A1 (de) | Verfahren und Geraet zur Analyse metastabiler Ionen bei Massenspektrometern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |