DE3034339T1 - Workpiece conveying apparatus - Google Patents

Description

Anmelderin: Brooks Associates Incorporated, NortiiBillerica, USA I-

Transportapparat

Die Erfindung betrifft einen Transportapparat, der als Fördereinrichtung mit einer beweglichen Platform bezeichnet werden kann. Aufgrund der Bewegung der Platform können darauf am einen" Ende abgestellte Gegenstände mehr oder weniger geradlinig zu dem gegenüberliegenden Ende der Platform transportiert werden. Die speziellen Dimensionen der Förderfläche des Apparats hängen von dem betreffenden Anwendungszweck ab. Bei einem Anwendungsfall kann diese Oberfläche verhältnismäßig lang und schmal sein, so daß sie eine Spur zum Transport kleiner Gegenstände durch eine Verarbeitungszone oder eine Arbeitsstation bildet. Ferner kann beispielsweise bei Verwendung in Verbindung mit einem Lastwagen diese Oberfläche relativ breit sein, so daß Objekte wie Lattenkisten von dem Lastwagen abgeladen werden können.

Ein besonderes Anwendungsgebiet der Erfindung betrifft den Transport von verhältnismäßig kleinen zerbrechlichen Artikeln, wie Halbleiterplättchen durch eine Behandlungszone mit hoher Temperatur. Deshalb soll die Erfindung in Verbindung mit diesem Verwendungszweck beispielsweise erläutert werden. Die Erfindung betrifft jedoch allgemein Transportapparate, mit denen Objekte an sich beliebiger Größe und Form transportiert oder gefördert werden können.

Grundsätzlich gibt es drei unterschiedliche Arten von Transportapparaten mit einer beweglichen Platform. Der üblichste Typ ist

der Vibrationsförderer, der eine Auflagefläche aufweist, die als Teil eines Massesystems mit einer Resonanzfeder in Schwingungen versetzt werden kann. Obwohl dieser Transportapparat an sich zuverlässig arbeitet, weist er einige Nachteile auf, insbesondere wenn er zur Bewegung von zerbrechlichen Gegenständen wie Halbleiterplättchen in einem Laboratorium verwendet wird. In erster Linie ist ein derartiger Apparat verhältnismäßig teuer, weil die von dem Apparat verursachten Schwingungen isoliert werden müssen. Trotz derartiger Maßnahmen werden jedoch noch Schwingungsbewegungen durch die Basis des Apparats auf die Gebäudestruktur und auf andere Apparate und Instrumente in der Umgebung übertragen, so daß dadurch die Anzeige oder sonstige Ausgangsgrößen dieser Apparate ... und Instrumente gestört werden.

Ferner arbeiten Vibrationsförderer verhältnismäßig laut, so daß sie einen störenden Einfluß auf Arbeitskräfte in der Umgebung des Apparats ausüben. Da ferner derartige Vibrationsförderer Resonanzsysteme sind, können sie nur Gegenstände bei einer Schwingungszahl transportieren und sind ferner nicht reversibel, so daß die Gegenstände bei einem gegebenen Transport nur einer Richtung bewegt werden können. Ferner sind derartige Apparate verhältnismäßig groß und schwer, weil ein großer Stützrahmen und ein Gegengewicht aufgrund der Arbeitsweise erforderlich sind. Deshalb erfordert beispeilsweise eine 1,20m lange Vibrations-Transportplatte mit einem Gewicht von etwa 45kg ein Gegengewicht von mindestens 45kg, um die Reaktionskraft für den Transport zu liefern.

Vibrationsförderungen verursachen besonders bedeutsame Nachteile, wenn leichte, zerbrechliche Gegenstände, wie Halbleiterplättchen transportiert werden sollen. Dies ist der Fall, weil die Objekte stoßartig entlang der Transportoberfläche angetrieben werden. Insbesondere in einem Hochvakuum verlassen die Gegenstände die Oberfläche und fallen danach auf die Oberfläche an einem etwas vorgeschobenen Ort wieder herab. Deshalb schlagen die Gegenstände ständig auf die vibrierende Oberfläche auf. Flache, leichte Gegenstände, wie Halbleiterplättchen, können kippen, wenn sie von der Oberfläche abgehoben sind, so daß die Plättchen oft auf der Oberfläche mit einer Kante aufschlagen können,so daß Kratzer oder Absplitterungen in diesem Kantenbereich auftreten können, wodurch der Ausschuß während einer Behandlung wesentlich erhöht werden kann.

Wenn sich dagegen eine Flüssigkeit, wie Wasser oder öl auf der Vibrationsoberfläche befindet, können flache, leichte Gegenstände, wie Halbleiterplättchen an der Obetflache anhaften, so daß sie überhaupt nicht weitergestoßen werden. Deshalb werden derartige Plättchen nicht gefördert. Zusätzlich hängt das Ausmaß der Förderung von Gegenständen bei einem Vibrationstransport von den Eigenschaften des Gegenstands ab. Beispielsweise werden Halbleiterplättchen mit einer geringfügig unterschiedlichen Größe mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten gefördert, so daß ein Plättchen beispielsweise ein anderes überholen kann. Schließlich transportieren der—'"" " artige Förderer auch sonstiges auf der Oberfläche vorhandenes Ma--; terial, wie Staubteilchen, so daß Verschmutzungen in die Behänd- * lungszone zusammen mit den Halbleiterplättchen gelangen können, *.. wodurch eine Verseuchung verursacht werden kann. \,

Die zweite Art derartiger Förderer sind hin und her bewegliche ,,"V Gleitförderer. Bei derartigen Förderern (US-PS 2 973 856) besteht"* die Oberfläche aus einer Anordnung von nebeneinander vorgesehenen! Gleitplatten, die in Gruppen in Längsrichtung hin und her bewegt werden, so daß zu irgendeinem gegebenenZeitpunkt mehr Gleitplätten vorwärts als zurück bewegt werden. Deshalb werden aufgelegte Gegenstände durch Reibungskräfte in Richtung der Vorwärtsbewegung der Gleitplatten bewegt. Beim derartigen Transport ergeben sich ebenfalls einige Nachteile, die gegen die Verwendung zum Fördern von kleinen, leichten und zerbrechlichen Gegenständen sprechen, die im vorliegenden Fall in erster Linie interessieren. Am bedeutsamsten ist dabei, daß einige der Gleitplatten die Gegenstände vorschieben, während andere Gleitplatten zurückgezogen werden. Die sich zurückbewegenden Gleitplatten können die Unterseite der Gegenstände zerkratzen, so daß dadurch beispielsweise Halbleiterplättchen unbrauchbar werden können. Ferner müssen die Gleitplatten an speziellen Schlitten angeordnet werden, und werden durch irgendwelche Hebel- und Kurbelanordnungen hin und her bewegt. Um eine zu starke Abnutzung zu vermeiden, müssen die Schlitten und Kurbeln geschmiert werden. Bisher bekannte Schmiermittel sind aber bei den hohen Temperaturen nicht beständig, die in den Behandlungszonen bei der Verarbeitung von Halbleiterplättchen erforderlich sind. Selbst wenn derartige Schmiermittel entwickelt werden könnten, wären sie in einem gewissen Ausmaß bei diesen Temperature flüchtig, so daß

die abgegebenen Gase ebenfalls zu einer Verseuchung in der Behandlungszone führen könnten.

Förderer dieser Art sind auch verhältnismäßig teuer, weil eine große Anzahl von Kurbelwellen, Gestängen und anderen Teilen erforderlich sind, deren Herstellung und Wartung verhältnismäßig schwierig und teuer ist.

Die dritte Art von Platform-Förderern sind sogenannte Hubbalken-Förderer (US-PS 2 644 594), bei denendie Transportoberfläche aus einer Anordnung von Gleitplatten besteht, die nebeneinander ange>?. ordnet und in Gruppen unterteilt sind. Dabei wird jedoch eine Gruppe von Gleitplatten aus einer Bezugsebene angehoben, so daß sie unter Gegenständen auf dem Förderer angreifen, um diese entlang : einer kurzen Strecke vorzubewegen und dann wieder auf die Bezugs"-ebene abzusenken. Die durch diese Gruppe abgestützten Gegenstände werden deshalb auf die restlichen Gleitplatten entlang der Förderfläche etwas vorgeschoben abgesetzt. Die zweite und die dritte Gruppe von Gleitplatten werden aufeinanderfolgend in der gleichen Weise bewegt. Deshalb werden die Gegenstände auf der Oberfläche angehoben, vorbewegt und abgesenkt, so daß durch diese wiederholte Bewegung die Förderung zu dem anderen Ende der Oberfläche erfolgt.

Ein derartiger Hubbalken-Förderer weist dieselben Nachteile auf, die in Verbindung mit dem Gleitförderer beschrieben wurden. Da derartige Förderer.aus einer großen Anzahl von Schlitten, Gestängen, Kurbeln und anderen Teilen dieser Art bestehen, die alle geschmiert werden müssen, ist ein derartiger Förderer bei der Behandlung von Halbleiterplättchen unbrauchbar. Deshalb ist auch der Hubbalken-Förderer verhältnismäßig teuer und kompliziert in der Herstellung und Wartung.

Durch die Erfindung soll deshalb ein Transportapparat geschaffen werden, der möglichst wenig Vibrationen und Geräusche verursacht. Der Apparat soll effektiv bei unterschiedlichen, insbesondere schwierigen Umgebungsbedingungen arbeiten. Es soll ein Transport von Gegenständen in beiden Richtungen möglich sein. Der Apparat soll verhältnismäßig klein, kompakt und leicht sein. Der Apparat soll verhältnismäßig billig herzustellen und zu warten sein. Der Apparat soll auch den Transport von zerbrechlichen und leichten Gegenständen, wie Halbleiterplättchen ermöglichen, ohne daß diese

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beschädigt werden. Ferner soll der Apparat den Transport von unterschiedlichen Gegenständen mit der gleichen Bewegungsgeschwindigkeit ermöglichen. Ferner soll es mit Hilfe des Apparats möglich sein, eine Reihe von Gegenständen unter Beibehaltung deren Abstand zu fördern. Der Apparat soll, .aus einer minimalen Anzahl von beweglichen Teilen zusammengesetzt sein. Der Apparat soll sowohl in einer sehr reinen als auch in einer sehr schmutzigen Umgebung verwendbar sein. Der Apparat soll den Transport \on Gegenständen, wie Halblei te rp la ttchen ermöglichen, ohne daß die Gegenstände oder deren Umgebung verseucht wird. Der Apparat soll beim Transport von Gegenständen zwischen unterschiedlichen Größen unterscheiden können-;; Weitere Zielsetzungen werden im folgenden noch genannt.

Die Erfindung beinhaltet deshalb die Merkmale der Konstruktion, die Kombination von Elementen und die Anordnung von Teilen, die in der folgenden Beschreibung beispielsweise erläutert werden.

Ein Transportapparat gemäß der Erfindung weist eine Anordnung von Gleitplatten auf, die eng nebeneinander angeordnet sind. Die Gleitplatten sind in Gruppen angeordnet, wobei jede Gruppe an ihren gegenüberliegenden Enden von einer entsprechenden Gruppe von Schienen durch zwei Biegeelemente abgestützt wird, wobei mindestens eine Schiene in jeder Gruppe vorgesehen ist. Jede Gruppe von Schienen ist an gegenüberliegenden Enden durch zwei Biegelemente abgestützt, die von einer gemeinsamen Basis hochragen. Deshalb ist jede Gruppe von Gleitplatten biegsam durch mindestens eine Schiene abgestützt, die ihrerseits biegsam über der Basis angeordnet ist.

Jede Gruppe von Schienen wird durch exzentrisch angetriebene Schubstangen oder eine andere vergleichbare Einrichtung hin und her verschoben, so daß sich die Schienengruppe entlang einer bogenförmigen Bahn um die Verbindungsstellen mit der Basis bewegt. Gleichzeitig wird die Gleitplattengruppe, die dieser Schienengruppe entspricht, ebenfalls hin und her bewegt, so daß dann, wenn die Schienengruppe stationär war, diese Gleitplattengruppe in einer bogenförmigen Bahn um ihre Verbindungsstellen mit dieser Schienengruppe bewegt wird. Wie jedoch gerade erwähnt wurde, bewegt sich auch diese Schienengruppe bogenförmig. Ferner werden gemäß der Erfindung die botreffenden Gruppen von Gleitplatten und Schienen außer Phase hin und her bewegt. Deshalb ist die resultierende Bewegung dieser Gleitplattengruppe relativ zu der Basis eine Kombination der

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beiden Bewegungen, nämlich eine Kreisbahnbewegung.

Jeder Punkt auf den Gleitplatten dieser Gruppe bewegt sich entlang einer im wesentlichen elliptischen Bahn im Raum. Ferner hat die Ellipse eine verhältnismäßig große Exzentrizität und ihre Hauptachse verläuft mehr oder weniger parallel zu der Basis, so daß die elliptische Bahn verhältnismäßig lang und flach ist. Daraus ergibt sich, daß die Gruppe von Gleitplatten durch eine Bezugsebene umläuft, die durch die Zentren der elliptischen Bahnen für alle Punkte definiert i;;t, die auf diesen Gleitplatten liegen, wobei die Auslenkungen der Gleitplatten in der Richtung parallel zu der Basis relativ lang im Vergleich zu der Auslenkung in der Richtung senkrecht zu der Basis sind.

Die anderen entsprechenden Gruppen von Gleitplatten und Schienen werden in derselben Weise bewegt, so daß die Gleitplatten in '.''" jeder Gruppe durch dieselbe Bezugsebene umlaufen.

Ferner werden gemäß der Erfindung die anderen entsprechenden Gruppen von Gleitplatten und Schienen ebenfalls außer Phase miteinander betätigt, so daß zu einem gegebenen Augenblick die anderen Gruppen von Gleitplatten sich an anderen Stellen in ihren Bewegungsbahnen befinden. Mit anderen Worten ausgedrückt, führen also die anderen Gleitplattengruppen dieselbe UmIaufbewegung relativ zu der Basis durch, folgen jedoch einander, so daß die drei unterschiedlichen Gruppen von Gleitplatten etwa um 120 versetzt in ihren Umlaufwegen relativ zu der Basis sind.

Wenn ein verhältnismäßig starres Objekt wie ein Siliziumplättchen, dessen Breite der Breite der Gleitplattenanordnung angepaßt ist, auf das eine Ende der Anordnung aufgelegt wird, wird es zu dem gegenüberliegenden Ende der Anordnung durch die verschiedenen Gruppen von Gleitplatten aufeinanderfolgend verschoben, wenn diese ihre phasenverschobene·'Bewegungen relativ zu der Basis durchführen.

Wegen der Form der beschriebenen Umlaufbahnen der Gleitplatten wird der Gegenstand allmählich in eine erhöhte Lage ia einem Abstand etwas über der Bezugsebene angehoben, entlang einer verhältnismäßig langen Strecke im wesentlichen horizontal relativ zu der Basis vorgeschoben und dann allmählich auf die Bezugsebene abgesenkt. In dieser vorgeschobenen Lage erfolgt sofort ein Eingriff mit einer zweiten Gruppe von Gleitplatten sowie ein entsprechender Vorschub, wobei eine allmähliche Absenkung auf die Bezugsebene an

einer weiter vorgeschobenen Stelle des Apparats erfolgt, wo ein Eingriff mit der nächsten Gruppe von Cjleitplatten erfolgt etc. Deshalb wird der Gegenstand verhältnismäßig schnell transportiert. Der zu transportierende Gegenstand darf nicht zu schlaff sein, weil sonst Teile des Gegenstands auf die nicht wirksamen Gleitplatten durchhängen würden, die sich in der entgegengesetzten Richtung bewegen.

Außerdem wird der Gegenstand ausreichend über die Bezugsebene während seines Vorschubs durch jede Gruppe von Gleitplatten angehoben, so daß seine Unterseite mit Sicherheit einen Abstand ' von den Gleitplatten in den anderen Gruppen aufweist, die sich "\ nicht in Vorschubrichtung bewegen. Deshalb ist es unwahrschein- ... lieh, daß die Unterseite eines Gegenstands wie eines Halbleiter-plättchens zerkratzt oder sonstwie durch die relative Bewegung -...· zwischen dem Plättchen und den anderen Gleitplatten beschädigt wird. Es ist jedoch zu beachten, daß der Gegenstand nicht be- "-.' trächtlich über die Bezugsebene angehoben wird und daß die Be- -wegung zu und von dieser Ebene allmählich erfolgt, so daß keine Gefahr besteht, daß der Gegenstand von den Gleitplatten herabgeworfen wird, auf welcher er gerade aufliegt. Die Bewegung des Gegenstands entlang dem Transportapparat erfolgt deshalb sehr schonend. Deshalb besteht praktisch keine Wahrscheinlichkeit,daß selbst sehr zerbrechliche Gegenstände wie Halbleiterplättchen abheben und beschädigt werden können, wenn sie beispielsweise durch einen evakuierten Raum transportiert werden.

Die Gruppen von Gleitplatten und Schienen werden mit Hilfe von Stoßstangen betätigt, die durch einen einzigen Umkehrmotor mit veränderlicher Drehzahl angetrieben werden. Deshalb kann ein Vorscnub von Gegenständen mit praktisch jeder gewünschten Geschwindigkeit in der einen oder anderen Richtung dadurch erfolgen, daß die Drehzahl oder die Drehrichtung des Motors geändert wird. Ferner wenn eine Reihe von Gegenständen angeordnet wird, können alle Gegenstände mit derselben Geschwindigkeit unabhängig von ihrer Masse transportiert werden, so daß der Abstand zwischen den Gegenständen gleichförmig bleibt. Dies ist besonders wichtig bei Behandlungen, bei denen der Transport der Gegenstände zu oder von einer Arbeitsstation aus irgendwelchen Gründen zeitlich genau gesteuert weiden muß.

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Es ist ein besonders wichtiges Merkmal eines derartigen Transportapparats, daß keine Schlitten!; Kurbeln, Hebel oder andere Teile erforderlich sind, die geschmiert werden müssen und die zum Abstützen der transportierenden Gleitplatten dienen oder deren Bewegungen ermöglichen. Die UmIaufbewegung wird mit Hilfe von Biegeelementen erzielt, für die keine Schmierung erforderlich ist. Dies bedeutet, daß die Gruppen von Gleitplatten, Schienen und Biegeelementen erhöhten Temperaturen ausgesetzt werden können oder unter sonstigen schwierigen Umgebungsbedingungen einsetzbar sind, die bei der Behandlung von Halbleiterplättchen auftreten. Ferner wird unter derartigen Bedingungen weder die Zuverlässigkeit des Transportapparats verringert noch eine Verseuchungsgefahr hervorgerufen . .

Wenn beispielsweise eine Behandlung in einer abgedichteten Kammer erfolgt, können die G]eitp]atten, Schienen und Biegeelemente direkt in der Kammer angeordnet sein, wobei die Schienen und Gleitplatten durch Schubstangen verschoben werden, die sich aus der Kammer durch flexible Metallbalg-Dichtungen erstrecken.Durch Betätigung der Schubstangen mit einer ausgewählten Drehzahl eines üblichen Motors mit veränderlicher Drehzahl, können die umlaufenden Gleitplatten ein Plättchen von einem Ende zum anderen Ende der Kammer mit einer Geschwindigkeit transportieren, die von der Drehzahl des Motors abhängt. Sobald die Komponenten des Transportapparats innerhalb der Kammer entgast sind, können keine weiteren verseuchenden Gase austreten, weil ein Schmiermittel nicht erforderlich ist. Deshalb besteht nach dem Entgasen keinerlei Verseuchungsgefahr.

Meist sind Behandlungskammern dieser Art mit einer Luftschleuse an gegenüberliegenden Enden der Kammer versehen, um den Innenraum der Kammer gegenüber der Atmosphäre zu isolieren. Die Gegenstände werden in die Kammer durch eine Schleuse und aus der Kammer durch die andere Schleuse transportiert, so daß beim Eintritt und beim Austritt aus der Kammer die gleichen Bedingungen in der Kammer aufrechterhalten werden können. Bei Verwendung des beschriebenen Transportapparats sind fünf Sätze von Gleitplatten, Schienen und Biegeelementen erforderlich, wobei beispielsweise drei unterschiedliche entsprechende Gruppen von Gleitplatten und Schienen in jedem Satz erforderlich sind. Der erste Transport

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bewegt Gegenstände in die Luftschleuse am Eingang der Kammer,der zweite Transport fördert Gegenstände durch den Eingang der Luftschleuse, der dritte Transport fördert die Gegenstände durch die Kammer, der vierte Transport durch die Luftschleuse am Ausgang am Ende der Kammer, und der fünfte Transport fördert die Gegenstände von dem Ausgang der Schleuse an einen Bestimmungsort.

Die entsprechenden Gruppen in jedem Transportsatz können gemeinsam hin- und herbewegt werden, indem sie über durch Bälge isolierte Schubstangen mit denselben Exzentern verbunden werden, 1, „... die außerhalb der Luftschleusen und der Kammer angeordnet sind. ^ '*· In diesem Fall wird ein ausreichender Zwischenraum zwischen den Enden angrenzender Sätze von Gleitplatten an den Enden der Luft-'. schleusen vorgesehen, um die Verschließplatten oder Durchtritts- · ventile für die Schleusen aufnehmen zu können. Da die entsprechen^jden Gleitplatten in jedem Satz sich zusammen bewegen, muß dieser /, Raum nicht so groß sein , daß die Objekte nicht mehr den Spalt überbrücken können, wenn sie von einem Satz zu dem nächsten Satz von Gleitplatten transportiert werden. Dieser Spalt zwischen angrenzenden Sätzen von Gleitplatten verhindert jedoch Schmutz oder Feuchtigkeit, die auf dem einen Satz vorhanden ist, zu dem nächsten Satz von Gleitplatten und in die Kammer transportiert zu werden. Wenn es erforderlich ist, die Ventile zu schließen, um die Schleusen zu reinigen, können die drei Gruppen von Gleitplatten ausgerichtet werden, so daß sich ein Schlitz zwischen angrenzenden Sätzen von Gleitplatten ergibt, der sich über die gesamte Breite des Transportapparats erstreckt.

Mit Hilfe einer derartigen Anordnung können Gegenstände durch eine isolierte Behandlungszone mit einer ausgewählten Geschwindigkeit gefördert werden, so daß sie während der erforderlichen Zeitspanne in dieser Zone verbleiben. Die Gegenstände können in die Zone mit einer Geschwindigkeit und durch die Zone mit einer zweiten Geschwindigkeit transportiert werden. Wenn eine zusätzliche Behandlungszeit benötigt wird, können die Sätze angehalten werden, so daß die Gegenstände in der Behandlungszone unbeschränkt verbleiben können. Da der Apparat alle Gegenstände mit der gleichen Geschwindigkeit unabhängig von der Größe fördert, bleiben die Abstände zwischen den Gegenständen auf dem Apparat konstant. Des-

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halb ist der Ort jedes Gegenstands genau bestimmt, sobald er auf den Apparat aufgelegt wird, wodurch die Steuerung der Apparatur und der Zusatzeinrichtungen mit Hilfe einer Fernsteuerung automatisch unter Verwendung üblicher Lagesensoren durchgeführt werden kann.

Ein derartiger Transpoatapparat arbeitet einerseits sehr gut in einer reinen Atmosphäre, kann jedoch auch in einer verschmutzten Umgebung eingesetzt werden, da keine relativ beweglichen Teile vorhanden sind, deren Bewegung durch eine Verschmutzung behindert würde. Eine Schmutzanlagerung an den Biegeelementen bleibt ohne nachteilige Wirkung.

Ein derartiger Transportapparat ist verhältnismäßig klein und kompakt und besteht aus verhältnismäßig wenigen und verhältnismäßig billigen Teilen gleicher Ausbildung. Deshalb ist ein derartiger Apparat billiger als bekannte vergleichbare Transportapparate dieser Art herstellbar. Ein derartiger Apparat ist deshalb vorteilhaft verwendbar, wenn Gegenstände von einer Stelle zu einer anderen in einer gesteuerten Atmosphäre oder unter sonstigen Bedingungen transportiert werden sollen.

Anhand der Zeichnung soll die Erfindung beispielsweise näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Draufsicht auf einen Transportapparat gemäß der Erfindung, der zum Transport von HaIbleiterplättchen dient,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des Transportapparats in Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Darstellung der Verbindung der Komponenten des Transportapparats in Fig. 2,

Fig. 4 eine graphische Darstellung zur Erläuterung der Bewegungsbahnen der Komponenten des Ausführungsbeispiels in Fig. 2,

Fig. 5A bis 5D graphische Darstellungen der Bewegungsbahnen bei unterschiedlichen Bedingungen,

Fig. 6 eine perspektivische Teilansicht des Ausführungsbeispiels in Fig. 2,

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Fig. 7 eine Seitenansicht eines abgewandelten Ausführungsbeispiels, bei dem Teile weggeschnitten sind,

Fig. 8 eine Draufsicht entsprechend Fig. 7,

Fig. 9 eine Schnittansicht entlang der Linie 9-9 in Fig. 8;und

Fig. 10 eine Schnittansicht entlang der Linie 10-10 in Fig. 9.

Das in Fig. 1 dargestellte Ausführungsbeispiel eines Transportapparats gemäß der Erfindung betrifft dessen Verwendung zum Transport von Halbleiterplättchen W durch eine Behandlungskammer C. In derartigen Behandlungskammern liegen vorherbestimmte ge- -steuerte Bedingungen vor. Die Halbleiterplättchen W werden durch eine Schleuse L1 in die Behandlungskammer C transportiert, in der der Transportapparat angehalten werden kann, um eine gewünschte Verweilzeit zu erzielen, oder durch die ein Transport mit einer geringeren Geschwindigkeit entsprechend der gewünschten Verweil- ' ■ zeit erfolgt. Nach Behandlung der Halbleiterplättchen in der Behandlungskammer werden sie durch eine Schleuse L2 zu der nächsten Behandlungsstation transportiert. Der Einfachheit halber ist auf jedem Abschnitt 12a - 12e des Transportapparats nur ein Halbleiterplättchen W dargestellt. In der Praxis werden jedoch auf jedem Abschnitt eine Anzahl von Halbleiterplättchen angeordnet, die kontinuierlich durch die Kammer C hindurchtransportiert werden.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel werden alle Abschnitte 12a - 12e gemeinsam durch einen einzigen Antriebsabschnitt 16 angetrieben. Der Antriebsabschnitt 16 ist mit einem ersten Abschnitt 12a des Transportapparats durch einen Satz von Schubstangen 18 verbunden. Entsprechende Sätze von Schubstangen 18 verbinden die angrenzenden Abschnitte 12a - 12e. Um die Behandlungskammer C und die Schleusen L1 und L2 an denjenigen Stellen luftdicht abzuschließen, an denen die Schubstangen 18 deren Wände durchsetzen, sind flexible Dichtungen vorgesehen. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind 2 4 balgförmige Dichtungen in zwei Reihen angeordnet.

Da die Abschnitte 12a - 12e im wesentlichen gleich ausgebildet sind, soll der Abschnitt 12a in Verbindung mit Fig. 2 und 3 näher erläutert werden. Dieser Abschnitt enthält eine parallele Anordnung

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von Schienen R1 - R5. Die Schienen sind in einer Anzahl von unterschiedlichen Gruppen unterteilt, wobei die Schienen einer bestimmten Gruppe miteinander verbunden sind. Bei dem Abschnitt 12a sind die Schienen R1 und R5 an ihren gegenüberliegenden Enden durch Querträger 22 verbunden, die auf ihrer Unterseite befestigt sind nnd die dazwischenliegenden Schienen R2 - R4 überbrücken. Kürzere Träger 24 verbinden die gegenüberliegenden Enden von Schienen R2 und R4 und überbrücken die mittlere Schiene R3. Zwei Blöcke 26 sind an der Unterseite der Schiene R3 in der Nähe der gegenüberliegenden Enden befestigt, wie später noch näher erläutert werden soll.

Jede Gruppe von Schienen ist auf einem Basisteil M durch zwei oder mehr Biegeelemente abgestützt, die sich von dem Basisteil M erstrecken und an dem einen oder anderen Ende der Träger 22,24 und Blocks 26 befestigt sind. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel stützen zwei Biegeelemente F1 die gegenüberliegenden Enden des ersten Satzes von Schienen R1,R5 ab. Ein zweites Paar von Biegeelementen F2 stützt die gegenüberliegenden Enden des Satzes R2,R4 ab, und ein dritter Satz von Biegeelementen F3 stützt die gegenüberliegenden Enden der innersten Schiene R3 ab. Je nach den Längen der Schienen können zusätzliche Biegeelemente in jedem Satz vorgesehen sein, um eine geeignete Abstützung entlang der gesamten Länge der Schienen zu erzielen.

Alle Anordnungen F1 - F3 von Biegeelementen sind mehr oder weniger geradlinig angeordnet und mehr oder weniger gleich ausgebildet. Jedes einzelne Glied der Anordnung wird durch ein aufrechtes elastisch verbiegbares streifenförmiges Biegeelement 28 gebildet. Das untere Ende des Biegeelements ist an einem im wesentlichen L-förmigen Tragarm 32 befestigt, der an dem Basisteil M angeordnet ist. Die oberen Enden der Biegeelemente in jedem Satz der Anordnung sind derart befestigt, daß sie sich mit der entsprechenden Gruppe von Schienen bewegen. Speziell sind die oberen Enden der Biegeelemente 28 in der Anordnung F1 an Trägern 22 befestigt, welche die Gruppe von Schienen R1 , R5 verbinden. In entsprechender Weise sind die oberen Enden der Biegeelemente 28 der Anordnung F2 an Trägern 24 befestigt, welche die zweite Gruppe von Schienen R2,R4 verbinden. Schließlich sind die oberen Enden der Biege-

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elemente 2 8 der Anordnung F3 mit Blöcken 26 auf der Unterseite der innersten Schienengruppe R3 verbunden. Die Länge aller Biegeelemente 2 8 ist praktisch gleich, so daß alle Schienen R1 - R5 mehr oder weniger in der gleichen Ebene über dem Basisteil M flexibel abgestützt sind, wie aus Fig. 2 und 3 ersichtlich ist.

Eine Anordnung von parallelen Gleitplatten S1 - S5 ist über den Schienen R1 - R5 vorgesehen. Generell sind mindestens so viele " Gleitplatten wie Schienen in dem Transportapparat vorgesehen, * " also fünf bei dem Ausführungsbeispiel. Ferner sind die Gleit- .". platten in Gruppen entsprechend den Gruppen von Schienen ange- "... ordnet. Deshalb sind Gleitplatten S1 und S5, die eine Gruppe bilden, an ihren gegenüberliegenden Enden durch Querträger 42 vefbunden, die an ihren Unterseiten befestigt sind und die rest-

liehen Gleitplatten S 2 - S4 überbrücken. Ein zweites Paar von :

Trägern 46 verbindet die zweite Gruppe von Gleitplatten S2,S4 und überbrückt die dazwischenliegende Gleitplatte S3. Schließlich sind zwei Blöcke 46 mit der Unterseite der mittleren Gleitplatte

53 in der Nähe deren gegenüberliegenden Enden verbunden.

Die Gleitplatten S1 - S5 sind über Schienen R1 - R5 durch drei Sätze von Biegeanordnungen G1 - G3 verbunden, wovon jeder Satz zumindestens 2 Anordnungen enthält, die jeweils in der Nähe des Apparats angeordnet sind. Die Anordnung G1 besteht aus einem streifenförmigen Biegeelement 52, dessen oberes Ende mit der abgeschrägten Kante 42a des Trägers 42 verbunden ist. Das untere Ende des Biegeelements 52 ist mit der abgeschrägten Kante 53a eines Trägers 53 verbunden, der mit der Oberseite der Schienen R1 und R5 in der Nähe der gegenüberliegenden Enden davon verbunden ist. Jede Anordnung G2 besteht aus einem streifenförmigen Biegeelement 54, dessen oberes Ende mit der abgeschrägten Kante 34a des Trägers 44 verbunden ist, der die Gleitplatten S2 und

54 verbindet, während das untere Ende des Streifens 54 an der abgeschrägten Kante 55a eines Trägers 55 befestigt ist, der die Schienen R2 und R4 verbindet. Schließlich enthält jede Biegeanordnung G3 einen Streifen 56, dessen oberes Ende mit der at>~ geschrägten Kante 46a des Blocks 46 an der Unterseite der Gleitplatte S3 verbunden ist, und dessen unteres Ende mit der abgeschrägten Kante 57a eines Blocks 57 verbunden ist, der an der

Oberseite der Schiene R3 angeordnet ist. Die Anordnungen G1 - G3 sind geradlinig direkt über den Anordnungen F1 - F3 angeordnet, so daß sie die Gleitplatten SI - S5 in einer im wesentlichen horizontalen Ebene abstützen, welche über und parallel zu der Ebene liegt, die durch die Anordnung von Schienen R1 - R5 gebildet wird. Deshalb ist jeder Satz von Gleitplatten flexibel auf dem darunter liegenden entsprechenden Satz von Schienen abgestützt, die ihrerseits auf dem Basisteil M flexibel abgestützt sind.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, sind die Gruppen von Gleitplatten und Schienen selektiv durch den Antriebsabsschnitt 16 hin und her verschiebbar. Der Abschnitt 16 enthält eine Welle 62, die in zwei Ständern 64 drehbar gelagert ist, die von einer Stützte 65 auf dem Basisteil M vorragen. Die Welle wird durch einen Motor 66 mit veränderlicher Drehzahl angetrieben, der ebenfalls an dem Basisteil angeordnet ist. Entlang der Welle 62 sind drei Exzenter 67,68,69 angeordnet. Um jeden Exzenter ist eine kreisförmige Lagereinheit 70 angeordnet, und mit einem Paßsitz sitzt auf der äußeren Laufspur jeder Lagereinheit ein rechteckförmiger Block 71. Ein langer vertikaler Block 72 ist mit einem Zapfen 6 3 mit jedem Block 71 verbunden. Drei Paare von Schubstangen 18 (von denen in Fig. 1 nur drei dargestellt sind) sind mit ihren Enden 18a mit gegenüberliegenden Enden der drei Blocks 72 verbunden. Die gegenüberliegenden Enden 18b der Schubstangen, die mit jedem Block 72 verbunden sind, sind mit der betreffenden Schienen- und Gleitplattengruppe über untere und obere Biegeelemente 73 und 74 verbunden. Diese Biegeelemente ermöglichen, daß die Schubstangen 18 sich neigen, wenn sich die Exzenter drehen. Vorzugsweise ist eine Spanneinrichtung 75 zwischen jedem Stangenende 18b und dem zugeordneten Biegeelement 73 oder 74 angeordnet, so daß der Abstand zwischen jeder Schiene oder Gleitplatte und Block 72 einjustiert werden kann. Diese Längen bestimmen die Phasendifferenz zwischen den entsprechenden Schienen- und Gleitplattengruppen.

Deshalb sind in dem dargestellten Apparat drei Streifen 73 mit den rechten Enden der Schienen R3 J_R4 und R5 verbunden, welche Schienen in unterschiedlichen Schienengruppen angeordnet sind. In entsprechender Weise sind drei Streifen 75 mit den rechten Enden der Gleitplatten S3, S4 und S5 verbunden, die ebenfalls in unterschiedlichen Gleitplattengruppen vorgesehen sind. Wenn die drei Exzenter

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67-69 gedreht werden], um die drei Gruppen von Schienen und die drei Gruppen von Gleitplatten hin und her zu bewegen, üben die Schienen jeder Gruppe mehr oder weniger dieselbe Bewegung aus und die Gleitplatten in jeder Gruppe üben mehr: oder weniger dieselbe Bewegung aus. Jedoch führt jede Gruppe von Gleitplatten eine unterschiedliche Bewegung gegenüber der entsprechenden Gruppe von Schienen durch.

Fig. 4 zeigt schematisch den Bewegungsort eines gegebenen Punkts auf einer gegebenen Gruppe von Schienen, beispielsweise der Schirej-¹ ne Q*3, und die überlagerte Bewagung eines gegebenen Punkts auf der

entsprechenden Gruppe von Gleitplatten, nämlich der Gleitplatte* "

S3. Die betreffenden Schienen- und Gleitplattenpunkte wurden .mit ^ R3 und S3 bezeichnet, Ferner sind die Bewegungen der Schienen- und Gleitplattenpunkte als zugeordnet mit den Winkellagen ihrer'.., .' entsprechenden antreibenden Exzenter 69 dargestelltj Wenn der ;., :,.

Exzenter 69 im Gegenuhrzeigersinn gedreht wird, verursachen die stützenden Biegeelemente |p3, daß der Schienenpunkt R3 einer gewölbten Bahn A folgt. Die Lage dieses Punkts auf der Schiene in irgendeinem Augenblick entspricht der Winkellage des Exzenters entsprechend! den Ziffern 1-8, die auf dem Exzenter und an der Bahn A eingetragen sind.

Es sei angenommen, daß der Schienenpunkt/R3 in der obersten Lage an der Stelle 1 in Fig. 4 stationär ist. Wenn jetzt der Exzenter 69 im GegenUhrzeigersinn gedreht wird, verursachen die Biegeelemente G3, daß der darüberliegende Punkt auf der Gleitplatte S3 sich um die Schienenstelle R3 entlang einer bogenförmigen Bahn A¹ ähnlich der Bahn A und direkt über der Bahn A bewegt, unter der Voraussetzung, daß die Biegeelemente F3 und G3 alle die gleiche Länge besitzen. Jedoch ist der Schienenpunkt R3 nicht stationär. Vielmehr ist der Punkt R3, um den der Purict S3 schwingt, selbst relativ zu dem Basisteil M entlang der Bahn A schwingend. Deshalb erfolgt die tatsächliche Bewegung des Punkts S3 relativ zu der Basis M entlang einer Bahn E, die wie eine stark exzentrische] Ellipse ausgebildet ist. Die Zahlen 1-8 entlang der Bahn E kennzeichnen augenblickliche Lagen Pan der Stelle S3, und diese sind den Lagen des Punkts R3 zu denselben Zeitpunkten zugeordnet. In entsprechender Weise zeigen die Zahlen 1-8 auf dem Exzenter 69 £die augenblicklichen Lagen des Exzenters zu diesen Zeitpunkten

Es ist ersichtlich, daß die entsprechenden Gruppen von Gleitplatten und Schienen nicht in Phase betätigt werden. Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel können aufgrund der unterschiedlichen Längen der Stoßstangen 18, die mit dem Exzenter 69 und den Schienen R3 fund den Gleitplatten S3 verbunden sind, die Gleitplatten S3 mit einer Phasenverschiebung hinter den Schienen R3 um eine nummerierte Lage nachlaufen. Durch Änderung des Phasenunterschieds,. zwischen den Bewegungen dieser Glieder kann eine Vielfalt von unterschiedlich ausgebildeten elliptischen Bahnen E erzeugt werden.

Fig. 5A bis 5D zeigen vier unterschiedliche elliptische Bahnen E, die durch unterschiedliche Phasendifferenzen zwischen den Gleitplatten und den Schienen in Fig. 4 verursacht werden.

Die Bewegung jeder Schienengruppe und der entsprechenden Gleitplattengruppe wird in einem gewissen Ausmaß durch die Längen der Biegeelemente in den Anordnungen/V3 und G3 gesteuert. In entsprechender Weise werden unterschiedliche Bewegungen in Abhängigkeit von dem Ausmaß der Exzentrizität des antreibenden Exzenters erzeugt. Deshalb kann sogar eine größere] Vielfalt von Bahnen E durch Änderung dieser Biegelängen und der Exzentrizität erzielt werden. Bei diesem speziellen Anwendungsfall haben die BiegeanordnungenLF3 und G3 praktisch diegleiche Länge. Der Bewegungsort der Gleitplatten entlang} der Bahn E in Fig. 4 und 5D wurde als zufriedenstellend festgestellt. Dies- wird durch eine Phasendifferenz zwischen den entsprechenden Bewegungen der Gleitplatten und Schienen von etwa 20 bewirkt. In diesem Beispiel ergibt eine Exzentrizität von etwa 1/8 Zoll eine Hubstrecke von 1/4 Zoll jeder Gleitplattengruppe und ein Anheben von O,020 Zoll jeder Gleitplattengruppe. In dieser Verbindung ist zu erwähnen, daß die Bewegungsbahn in Fig. 4 und 5 der Deutlichkeit halber mit Übergröße dargestellt sind.

Aufgrund der oben beschriebenen komplementären Bewegungen der entsprechenden Gruppen von Schienen und Gleitplatten.bewegt sich jede Gleitplattengruppe entlang einem relativ langen flachen elliptischen Weg E, so daß die Gleitplattengruppe allmählich über eine Bezugsebene R £auf eine erhöhte Ebene P1 angehoben wird. Daraufhin wird die Gleitplattengruppe allmählich durch die Bezugsebene R auf

eine niedrigere Ebene P2 abgesenkt, woraufhin die Gleitplattengruppe! fortschreitend zurück in die Bezugsebene zur Beendigung eines vollständigen Umlaufs angehoben wird. Wenn also ein Objekt auf der Bezugsebene angeordnet wird, greift die Gleitplattengruppe si} auf der Unterseite des Objekts an und hebt das Objekt behutsam und allmählich auf die angehobene Ebene[P1 etwas über der Bezugsebene. Bei der Bewegung entlang diesem sehr kurzen, vertikalen Abstand wird das Objekt seitlich relativ zu der Ebene] R und; ■·*·■* dem Basisteil M entlang einem beträchtlichen Abstand aufgrund der. großen Exzentrizität der elliptischen Bahn E bewegt und danach behutsam zurück auf die Bezugsebene R abgesenkt. : ;

Wenn das Objekt nicht unter die Bezugsebene gelangen kann, gelangt; die Gleitplattengruppe fs3 außer Eingriff mit dem Objekt, wenn die Gruppe entlang ihrer Bahn zu der unteren Ebene P2 gelangt. Die Gleitplattengruppe bewegt sich weiter entlang ihrer Bahn, bis sä-e wieder an der Unterseite des Objekts an einer Stelle der Bezugsebene R in einem Abstand von der ursprünglichen! Stelle des Objekts angreift, welcher Abstand praktisch gleich der Hauptachse der elliptischen Bahn E ist. Während des nächsten Umlaufs der Gleitplattengruppe fs3 wird das Objekt wieder aufgenommen, etwas über dia Bezugebene angehoben und wieder entlang der Bezugsebene und relativ zu der Basis M entlang einem Abstand gefördert der gleich der Hauptachse der elliptischen Bahn E ist, etc. In dieser Weise wird das Objekt fortschreitend in horizontaler Richtung relativ zu der Bezugsebene und dem Basisteil M transportiert.

Wenn entsprechend Fig. 2 und 4 die entsprechenden Gruppen von Schienen und Gleitplatten, nämlich die Schiene|R3 und die Gleitplatte S3 mit einer Phasendifferenz hin und her geschoben werden, werden ebenfalls die unterschiedlichen Gruppen von Schienen und Gleitplatten verschoben. Speziell werden die unterschiedlichen Gruppen von Schienen und Gleitplatten gleichphasig voneinander verschoben. Deshalb sind drei unterschiedliche Gruppen von Schienen und Gleitplatten vorhanden, wobei jede Gruppe um 120° phasenversetzt zu den anderen ist. Deshalb befinden sich zu einem gegebenen Zeitpunkt die drei Gruppen von Gleitplatten an unterschiedlichen Stelen entlang der Bahn E in Fig. 4. Wenn beispielsweise die GruppeAs3 an der Stelle 5 in Fig. 4 über der Bezugsebene R angeordnet ist, befindet sich die Gruppe S.1 zwischen den Stellen

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7 und 8 gerade über der Bezugsebene, während die Gruppe S2J zwischen den Punkten 2 und 8 unter der Bezugsebene angeordnet ist. Unmittelbar danach kann sich die Gruppe (jS3 an einer Stelle 3 unter der Bezugsebene befinden, während die Gruppe S1 sich zwischen den Stellen 5 und 6 über der Bezugsebene R befindet und die Gruppe Sj^ zwischen den Stellen 1 und 8 unmittelbar unter der Bezugsebene liegt.

Wenn die drei unterschiedlichen Gruppen von Gleitplatten mit einer Phasendifferenz relativ zueinander umlaufen, wird ein Plättchen W oder ein sonstiges relativ starres Objekt auf den Gleit- . platten behutsam durch die gegebene Gruppe auf die erhöhte Ebene (_P 1 in Fig. 4j angehoben und entlang einem relativ langen Abstand relativ zu der Basis M transportiert bevor eine Absenkung auf die Bezugsebene erfolgt. Daraufhin greift die nächste Gruppe an der Unterseite des Plättchens in der vorgeschobener] Lage an und hebt: das Plättchen behutsam auf die angehobene EbeneJP1 an, während das Plättchen entlang der nächsten Strecke der Gleitplattenanordnung und relativ zu der Basis bewegt wird, bevor es allmählich zu der Bezugsebene abgesenkt wird, wo es von derj nächsten Gruppe der Gleitplattenanordnung aufgenommen wird, etc. Deshalb wird ein am Eingang des Transportapparts 12a in Fig. 1 und 2 aufgelegtes Plättchen schrittweise entlang dem Apparal gefördert, wobei jeder Bewegungsschritt des Plättchens relativ zu der Basis M entlang einer Bahn erfolgt, welche der oberen Hälfte der Bahn E in Fig. 4 entspricht. Wenn das Plättchen W das Ende des Transportapparats erreicht, überbrückt es den Spalt zwischen diesem Abschnitt und dem nächsten Abschnitt 12b (Fig. 1), dessen entsprechende Gleitplatten sich gemeinsam mit denjenigen des_Abschnitts 12a bewegen, woraufhin das Plättchen in die SchleusejjLi transportiert wird, falls dessen Gatter G1 zu diesem Zeitpunkt geöffnet ist.

Wegen der langen, relativ flachen, im allgemeinen elliptischen Bahn E, entlang der jede Gleitplattengruppe umläuft], wird das Plättchen W behutsam nur entlang eines relativ kurzen Abstand von etwa O,O2O Zoll angehoben, während es entlang einer relativ großen Strecke transportiert wird, z.B. um 1/4 Zoll relativ zu der Basis M, bevor es auf die nächste Gleitplattengruppe an diesem vorgeschobenen Ort abgesetzt wird. Wegen dieser behutsamen

Bewegung verläßt das Plättchen W während keines Augenblicks die gesamte Gleitplattenanordnung. Ferner wird das Plättchen nicht relativ zu der speziellen Gruppe von Gleitplatten in der Anordnung bewegt, mit welchen das Plättchen zu irgendeinem gegebenen Zeitpunkt in Berührung steht. Deshalb besteht eine äußerst geringe Wahrscheinlichkeit, daß das Plättchen zerkratzt oder sonstwie beschädigt wird, während es entlang des Apparats gefördert wird. Wenn eine noch behutsamere Bewegung der Objekte gewünscht wird,-""" können zusätzliche entsprechende Gruppen von Gleitplatten und ..·";,■ Schienen, die mit einer Phasendifferenz arbeiten, zugefügt werden], um die Länge jedes der Transportschritte des Objekts zu verringern

Es wird daraufhingewiesen, daß der Transportapparat 12a in Fig. "2. sowie die anderen in Fig. 1 dargestellten Abschnitte die Umkehr . , der Tansportrichtung ermöglichen, indem der die Exzenter antrei- · bende Umkehrmotor 66 umgeschaltet wird. Dadurch erfolgt ein Umf* lauf entlang der Umlaufbahn E bei jeder Gleitplattengruppe in Fig. 4 oder Fig. 5A - 5D in entgegengesetzter Richtung, so daß das Plättchen W in entgegengesetzter Richtung entlang dem Apparat transportiert wird. Die Geschwindigkeit des Plättchens W entlang dem Transportapparat kann ebenfalls geändert werden, indem die Drehzahl des Motors 66 geändert wird. In diesem Fall erfolgt die Bewegung jeder Gleitplattengruppe entlang der Bahn E in Fig. 4, jedoch mit einer unterschiedlichen Bahngeschwindigkeit.

Es ist ferner zu beachten, daß das Plättchen W entlang dem Transportapparat bewegt wird, weil es die unterschiedlichen Gruppen von Gleitplatten in der Anordnung überbrückt. Andererseits können jedoch Schmutz, Feuchtigkeit oder sonstige Verunreinigungen, die sich auf einer einzelnen Gleitplatte befinden, nicht entlang dem Apparat relativ zu der Basis M transportiert werden. Schmutzteile führen lediglich entlang der betiöifenden Gleitplatte eine Umlaufbewegung entsprechend der Bahn E durch. Deshalb wird in der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung Schmutz nicht von dem Apparat 12a über den dazwischenliegenden Spalt zu dem Abschnitt 12b in der Schleuse ΓΞ.1 transportiert. Deshalb bleibt die Gleitplattengruppe Sl, S5 in der Kammer C nach Durchführung einer Reinigung auch nach einer längeren Benutzung weiterhin sauber.

Da die Gruppen von Gleitplatten un Schienen durch einfache Biegeelemente und nicht durch rotierende oder gleitende Teile abge-

3034339 -abstützt sind, benötigen sie keine Schmierung. Deshalb! bleiben nach einer Entgasung der Gleitplatten, Schienen und Biegeelemente, welches die einzigen Komponenten des Transportapparats sind, die der Atmosphäre in der Kammer C ausgesetzt werden, diese Teile weiterhin sauber, so daß sie die gesteuerte Atmosphäre in der Kammer nicht vergiften, da die Entgasung vor dem Einführen der Plättchen in die Kammer erfolgen kann. Die rotierenden Komponenten in dem Antriebsabschnitt 16, die eine Schmierung benötigen, sind dagegen von der Kammer C isoliert, und die Schleusen [jL.1 und L2 sind durqh die balgförmigen Dichtungen B isoliert. Wenn in entsprechender Weise] die Atmosphäre in der Kammer C verseucht oder verschmutzt ist, weil in der Kammer ein materialabhebender Vorgang durchgeführt wird, hat der resultierende Staub oder Schmutz praktisch keinen Einfluß auf die Bewegung der Gleitplatten und der Schienen, da diese Verschmutzung nicht das Verbiegen der Bieged.emente behindert, an denen diese abgestützt sind. Diese gegebenenfalls verseuchenden Teilchen werden durch den Transportapparat auch nicht aus der abgedichteten Kammer C heraustransportiert.

Es ist ferner zu beachten, daß im Gegensatz zu Vibrationsförderern alle Objekte auf der Anordnung von Gleitplatten sich mit derselben Geschwindigkeit entlang der Anordnung relativ zu der Basis M bewegen, obwohl diese Objekte unterschiedliche Gewichte oder Massen aufweisen können. Deshalb halten die Plättchen W, die auf dem einen Ende des Abschnitts .12a aufeinanderfolgend angeordnet wurden, denselben Abstand beim Transport entlang dem Apparat. DeshaLb ergibt sich nicht das Problem, daß die Plättchen einander überholen, wenn sie entlang des gesamten Transportapparats transportiert werden. Aus diesem Grunde ist auch die Produktionsgeschwindigkeit und die Verweilzeit der Plättchen W in der Kammer C sowie das öffnen und Schließen der SchleusenLpi - G4 automatisch und gewünschtenfalls mit Hilfe einer Fernsteuerung steuerbar.

Ein spezieller Transportapparat oder eine Anzahl von Abschnitten derartiger Transportapparate kann vorgesehen werden, um hinsichtlich der Größe der Objekte zu unterscheiden] die gefördert werden. Speziell weidaidie Objekte nicht transportiert, falls sie nicht mindestens zwei unterschiedliche Gruppe von Gleitplatten in der Anordnung überbrücken. Wenn die Gleitplatten in den Gleitplattengruppen fortschreitend breiter werden, werden Objekte entlang d^m

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Apparat transportiert, bis sie mindestens eine Mehrzahl von Gleitplattengruppen nicht mehr überbrücken. Dann wird ein bestimmtes Objekt nicht mehr in horizontaler Richtung relativ zu der Basis M transportiert und führt nur noch eine Umlaufbewegung und keine Weiterbewegung durch. An dieser Stelle kann erreicht werden> daß das betreffende Objekt von dem Transportapparat entfernt wird, damit größere Objekte, die dahinter angeordnet sind, zu den Stellen weitertaansportiert werden, wo sie ebenfalls nicht mehr eine Z"* " Anzahl von Gleitplattengruppen überbrücken. »-*

Die Objekte können von dem Apparat durch einen entsprechend aus--.-. gebildeteten Ablade-Transportapparat entfernt werden, der im Ver^· "_ gleich zu dem Hauptapparat überlagert und in einem Winkel dazu \.' orientiert ist. In diesem Fall können die Gleitplatten in dem ,. , Hauptapparat Ausnehmungen auf weisen, um die Gleitplatten in dem·- Ablade-Apparate aufzunehmen. Eine derartige Anordnung ist in Fig-.- * 6 dargestellt, wolsi, S2 und S3 die drei unterschiedlichen Gruppen von Gleitplatten des Apparats in Fig. 2 darstellen und die Gleitplatten TI,T2 und T3 drei Gruppen von Ablade-Gleitplatten bilden. Die Gleitplatten S1 - S3 weisen Ausnehmungen N zur Aufnahme von Gleitplatten T1 - T3 auf. Die Größe der Ausnehmungen N in den Gleitplatten SI - S3 hängt von den Bewegungen der Schienen T1 - T3 entlang ihrer Bahn E ab. AußerdejJ _{ist die} An_{zahl md Brei}_

ter der(Ablade-Gleitplatten T1 - T3 gleich der Anzahl und Breite der Gleitplatten S1 - S3 auf der Stelle, wo die Objekte abgeladen werden.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, besteht der Transportapparat gemäß der Erfindung aus verhältnismäßig wenig unterschiedlichen Teilen . Ferner sind die meisten TeiIeJverhältnismäßig billig. Deshalb kann der Apparat mit verhältnismäßig geringen Herstellungskosten im Vergleich zu Schwinungsförderern und anderen bekannten Förderern hergestellt werden, insbesondere bei Verwendungszwecken, bei denen kleine, sehr leichte Objekte wie Halbleiterplättchen transportiert werden sollen. Ferner ist ein derartiger Apparat sehr kompakt und leicht, da kein schwerer Rahmen oder ein Gegengewicht wie bei Vibrationsförderern erforderlich ist. Da die einzige Bewegung in dem Apparat die UmIaufbewegung der unterschiedlichen Gleitplatten- und Schienengruppen ist, verursacht dei: Apparat praktisch keine Geräuse oder Vibrationen, die auf Bedie-

nungspersonen störend wirken könnten oder Störungen benachbarter Einrichtungen verursachen könnten.

Das Ausführungsbeispiel des Transportapparats in Fig. 2 besitzt einen gewissen Nachteil, weil es relativ hoch ist wegen der beiden unterschiedlichen Niveaus von Schienen und Gleitplatten, um die gewünschte Umlaufbewegung der Gleitplatten zu ermöglichen. Es wäre wünschenswert dasselbe Ergebnis unter Verringerung der . Höhe des Transportapparats zu erzielen. Die Fig. 7-10 zeigen ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel, in dem der genannte Nachteil vermieden werden kann. Ein derartiger Apparat ist nicht nur kompakter, sondern benötigt auch weniger unterschiedliche Teile und ist deshalb billiger herzustellen.

Dieses Ausführungsbeispiel enthält auch eine Anordnung von Gleitplatten £S1 bis S5, die in drei unterschiedlichen Gruppen angeordnet sind und unter entsprechenden Gruppen von Schienen liegen. In diesem Fall ist jedoch nur eine Schiene in jeder Gruppe vorhanden, und die drei unterschiedlichen Schienen werden mit RI,R2 und R3 bezeichnet. Wie vorher sind die entsprechenden Gruppen von Schienen und. Gleitplatten an ihren gegenüberliegenden Enden über der Basis M durch drei unterschiedliche Sätze von Biegeelement-Anordnung F1 , F2 und F3 abgestützt. In diesem Fall stützt jedoch ein einziger Satz von Biegeelement+Anordnungen sowohl den Satz von Gleitplatten als auch die entsprechende Schiene. Deshalb stützen die Biegeelement-^AnordnungenLFI die Schiene R1 und die Schienen S1 und S5 ab, welche an ihren gegenüberliegenden Enden durch Träger 72 verbunden sind. In entsprechender Weise stützen die BiegesLement-Anordnungen F2 die Schiene R2 und den darüber liegenden Satz vonGleitplatten S2 und S4 ab, welche an gegeiüberliegenden Enden durch Träger 74' verbunden sind. Die Biegeelement-Anordnung F3 stützt die Schiene R3 sowie die innerste Gleitplatte S3 ab, an deren Unterseite zwei Blöcke 76 befestigt sind], in der Nähe der gegenüberliegenden Enden dieser Gleitplatte. Die SchienejRI ist an den Seiten der Anordnungen F1 auf einer Seite des Apparats befestigt. Die Schiene R2 ist mit den Seiten der Anordnungen F2 auf der gegenüberliegenden Seite des Apparats verbunden und die Schiene R3 ist mit den Seiten der Anordnungen I·'3 auf derselben Seite des Apparats verbunden, während die Schiene R3 direkt über der Schiene R2 angeordnet ist, wie am besten aus Fig. 7 ersichtlich ist.

Die Biegeelement-Anordriungen sind alle in einer geraden Liniej angeordnet und sind mehr oder weniger gleich ausgebildet. Jede Anordnung enthält einen unteren Block 82, der an der Basis M angeordnet ist, welcher Block mit Hilfe von Schrauben 83 ein elastisches Biegeelement 64 abstützt. An dem oberen Ende des Biegeelements 84 ist ein umgekehrt L-förmiger oberer Block 86 befestigt, dessen kurzer Arm 86a mit dem Biegeelement durch Schrauben 88 verbunden ist. Der lange Arm 86b dieses Blocks erstreckt sich nach ·*♦ -*· unten parallel zu dem Biegeelement 84 und endet über dem Block 82;.'" Die dieser Biegeelement-Anordnung zugeordnete Schiene ist mit Schrauben 92 mit dem Arm 86b verbunden. Wie aus Fig. 7 und 10 e£- ; sichtlich ist, ist beispielsweise die Schiene|R1 mit den Seiten; des Blocks 86 der Anordnungen F1 in der Nähe deren unterer Enden*! verbunden. Wie am besten aus Fig. 10 ersichtlich ist, sind kleine "-■ Abstandshalter 94 zwischen der Schiene R1 und den Blöcken 86 angeordnet, so daß die Schiene die Blöcke in den anderen beiden An-' Ordnungen F2 und F3 freigibt. In entsprechender Weise ist die Schiene R2 mit den Seiten des Blocks 86 der Anordnung F2 verbunden , wobei entsprechende Abstandshalter 94 zwischen, dieser Schiene und den Blöcken vorgesehen sind. Die Verbindungen zwischen der Schiene R3 und den Anordnungen F3 sind insoweit etwas unterschiedr lieh, als die Schiene an dem Block 86 in diesen Anordnungen in der Nähe der oberen Enden deren Arme 86b verbunden ist, wie am besten aus Fig. 7 und 9 ersichtlich ist, so daß die Schiene R3 in einem Abstand über der Schiene R2 angeordnet ist.

Jede Anordnung F1 bis F3 enthält ein zweites Biegeelement 96, das sich zwischen dem unteren Ende des Arms 86a des Blocks dieses Biegeelements zu dem Träger oder Ebck erstreckt, der verbunden is^tj mit der Gruppe von Gleitplatten, welche diesem speziellen Biegeelement zugeordnet ist. Wie aus Fig. 9 ersichtlich ist, ist das Biegeelement 96 der Biegeelement-Anordnung [f1 durch Befestigungsmittel 9 8 mit dem unteren Ende des Arms 86b dieser Anordnung verbunden, während das obere Endej mit entsprechenden Befestigungseinrichtungen 102 an der linken Kante des Trägers 72 befestigt ist. Auch die Oberflächen des Blocks 86 und des Trägers 72, mit denen das Biegeelement 96 verbunden ist, sind geneigt oder abgeschrägt, so daß das Biegeelement unter einem Winkel relativ zu der senkrechten Richtung orientiert ist. Der Transportapparat arbeitet

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zufriedenstellend, wenn der zwischen dem Biegeelement und der senkrechten Richtung eingeschlossene Winkel etwa 20° beträgt. Wie aus Fig. 7 ersichtlich ist, ist jede Schiene &1 - R3 flexibel über der Basis M durch die elastischen} Biegelemente 84 in den Biegeelement-Anordnungen abgesützt, die dieser Schiene zugeordnet sind. Deshalb kann jede Schiene hin und her bewegt werden. Wenn diese Bewegung erfolgt, folgt die Schiene einer bogenförmigen Bahn, die ähnlich wie die Bahn A in Fig. 4 ist. In entsprechender Weise ist jede Gruppe von Gleitplatten flexibel über der entsprechenden Schiene durch die Biegeelemente 96 in den Anordnungen abgestützt, die dieser Gruppe von Gleitplatten zugeordnet sind; Deshalb kann diese Gleitplattengruppe relativ zu der zugeordneten Schiene hin und her bewegt werden, so daß, falls die zugeordnete Schiene stationär ist, die Gleitplattengruppe sich entlang einem. . Bogen ähnlich dem Bogen A¹ in Fig. 4 bewegt. Wenn jedoch die entsprechende Schienen- und Gleitplattengruppe gleichzeitig hin und her bewegt wird, bewegt sich die Gleitplattengruppe entlang einer im wesentlichen elliptischen Bahn wie die Bahn E in Fig. 4. Die besondere Form dieser Bahn hängt in erster Linie von dem Phasenunterschied zwischen der Gleitplattengruppe und deren entsprechender Schiene wie im Falle des Apparats in Fig. 2 ab. Im vorliegenden Fall wird jedoch die phasenverschobene Hin- und Herbewegung jeder Gleitplattengruppe und ihrer zugeordneten Schiene dadurch erzielt, daß nur eine einzige exzentrisch angetriebene Schubstange vorgesehenist.

Deshalb enthält in diesem Ausführungsbeispiel der Antriebsahschnitt 16 drei Exzenter 110, 112 und 114, die an einer Welle 115 angeordnet sind, die von einem Motor angetrieben wird. Verbunden mit jedem Exzenter ist eine Schubstange 116, die sich durch eine Öffnung in der Seitenwand der Kammer C erstreckt, welche Öffnung durch einen flexiblen metallischen Balg B abgedichtet ist, der eine Verbindung zwischen der Seitenwand der Kammer und der Schubstange herstellt. Das Ende jeder Schubstange 116 innerhalb der Kammer C ist mit einem hochragenden Block 122 verbunden. Wie am besten aus Fig. 7 ersichtlich ist, ist das obere Ende jedes derartigen Blocks mit einem Ende eines Biegelements 124 über eine oder mehrere Schrauben 126 verbunden. Das gegenüberliegende Ende jedes Biegeelements 124 ist mit einer Befestigungseinrichtung

128 an einem Block 132 befestigt. Die drei Blöcke 132 sind durch Schrauben 134 an der Unterseite der Gleitplatten in den drei unterschiedlichen Gruppen von Gleitplatten befestigt. Wie am besten aus Fig. 7 bis 9 ersichtlich ist, ist der mit dem Exzenter 110 verbundene Block 132 an der Gleitplatte Ils 5 befestigt, der sich mit dem Exzenter 114 bewegende Block 132 ist an der Gleitplatte S3 befestigt, und der oberste Block 132, der an dem Exzenter 112 befestigt ist, ist an der Unterseite der Gleitplatte S2 angeordnet.·

In diesem Zusammenhang ist zu beachten, daß entsprechend Fig. 8 .„ der oberste^ Block 122 einen seitlichen Ansatz aufweist, welcher es dem Exzenter 112 ermöglicht, seitlich versetzt relativ zu dem" Block 132 zu sein, so daß die drei Exzenter 110, 112 und 114 in," gleichen Abständen entlang der Welle 115 angeordnet sein können.

Entsprechende flexible Verbindungen sind zwischen dem Block 122,

der flexibl mit jeder Gruppe von Gleitplatten verbunden ist, und,. der Schiene vorgesehen, welcher dieser Gleitp]ä:tengruppe entspricht. Wie am besten aus den Fig. 7, 9 und 10 ersichtlich ist, ist ein Biegeelement 142 am einen Ende durch Befestigungseinrichtungen 144 mit der Unterseite des Blocks 122 verbunden, der flexibel mit der GleitplattengruppeJS1, S5 verbunden ist. Das gegenüberliegende Ende des Biegeelements 142 ist durch Befestigungseinrichtungen 146 mit einem Block 148 verbunden, der mit Befestigungseinrichtungeri 150 an der Schiene R1 auf einer Seite des Apparats verbunden ist. Auf der anderen Seite des Apparats ist der Blocjj 122, der mit dem Exzenter 112 verbunden ist, mit einem Ende eines Biegeelements 142 verbunden, dessen anderes Ende mit einem Block 148 verbunden jist, der mit dem Ende der Schiene |R3 verbunden ist.

Schließlich ist der Block 122, der mit dem mittleren Exzenter 114 verbunden ist, flexibel mit. demj Ende der mittleren Schieneyl3 verbunden. In diesem Fall ist jedoch die Verbindung etwas unterschiedlich von den anderen beiden, weil sie in der Mitte des Blocks 122 vorgesehen ist, wo der Block durch Befestigungseinrichtungen 154 mit einem Ende eines verhältnismäßig kurzen flexiblen Biegeelements 156 verbunden islj. Das gegenüberliegende Ende dieses Biegeelements ist durch Befestigungseinrichtungen 158 mit einer Einrichtung 160 verbunden, wie am besten aus Fig. 9 ersichtlich ist. Diese Befestigungseinrichtung ist ihrerseits an dem unteren Ende des L-förmigen Blocks 86 befestigt, dsr mit dem Ende

der Schiene[r3 verbunden ist. Die Befestigungseinrichtung 160 wird] im selben Zeitpunkt wie das BiegeeLement 96 an diesem Block 86 mit den Schrauben 98 befestigt wird, installiert.

Wenn jeder der Exzenter 110, 112 und 114 gedreht wird, wie aus füg. 7 und 8 ersichtlich ist, wird durch die Hin- und Herbewegung der zugeordneten Schubstange 116 der entsprechende Block 122 gespannt wie in Fig. 8 in gestrichelten Linien dargestellt ist. Diese Bewegung, welche auf die entsprechende Schienen- und Gleitplattengruppe über die Biegeelemente 124, 156 und 142 übertragen wird, zusammen mit den Bewegungen der Biegeelemente in den züge-,, ordneten Anordnungen F1 - F3, bewirkt, daß die betreffende Gleit plattengruppe die beschriebene UmIaufbewegung durchführt, deren Bahn E inFig. 4 dargestellt ist. Deshalb weist das Ausführungsbeispiel in Fig. 7 alle Vorteile auf, die in Verbindung mit dem Ausführungsbeispiel in Fig. 2 beschrieben wurden. Darüberhinaus · '. ist dieses Ausführungsbeispiel jedoch besonders kompakt und besteht aus einer minimalen Anzahl unterschiedlicher Teile, so daß es einfacher und billiger im Vergleich zu dem ersten Ausführungsbeispiel herstellbar ist.

Wenn eine Anzahl der in Fig. 7 dargestellten Apparate in eine Produktionslinie entsprechend Fig. 1 eingebaut wird, ist es ferner von Bedeutung, daß weniger abdichtende Bläge B benötigt werden. Dies führt zu einer beträchtlichen Kosteneinsparung, da jede derartige Dichtung mindestens US # 200.— kostet. Während bei der Anlage in Fig. 1 24 Dichtungsbälge B (zwei Schichten von jeweils 12) erforderlich sind, ist bei dem Ausführungsbeispiel entsprechend Fig. 7 lediglich die Hälfte dieser Anzahl erforderlich.

Noch weniger Dichtungsbälge werden benötigt, wenn gewisse Abwandlungen durchgeführt werden. Es können einseitige Transportapparate gemäß Fig.7 verwendet werden, die nur eine einzige Gruppe von umlaufenden Gleitplatten enthalten, die in den SchleusenlLI und L2 angeordnet werden. Deshalb durchsetzt nur eine einzige Schubstange jede Schleuse, so daß nur zwei Dichtungsbälge B erforderlich sind. Der Transport in der Prozeßkammer C, die] eine dreiphasige Einrichtung ist, erfordert drei Dichtungsbälge B. Bei einer derartigen Anordnung kann derselbe AntriebsabschniLl, welcher den dreiphasigen Transport in der Kammer C bewirkt, zur Be-

- ar? -

tätigung des einphasigen Transports in der Schleuse[_L1 verwendet werden, indem einfach die Bewegungen einer der Schubstangen mit dem Schleusentransport gekoppelt wird. Der einphasige Transport in der Ausgangsschleuse L2 wird betätigt durch Verkoppeln diese£s[ Transportapparats mit den Bewegungen einer der Schubstangen von den dreiphasigen Ablade-Transportapparat, welcher durch einen getrennten Antriebsabschnitt gesteuert wird. Deshalb werden nur fünf Dichtungsbälge B bei dieser Produktionsanlage benötigt.

Aus den obigen Ausführungen geht hervor, daß die Zielsetzungen der Erfindung effektiv erzielt werden. Da gewisse Änderungen der " beschriebenen Konstruktion gemäß der Erfindung durchgeführt wer*. den können, sind die Ausführungen in der Zeichnung und in der Beschreibung nur beispielsweise, aber nicht beschränkend zu verstehen . ■■■■■''

Claims (1)

1. Patentansprüche

   1. Transportapparat bestehend aus:

   einer Stützeinrichtung, einer ersten Schieneneinrichtung, einer mit der Stützeinrichtung verbundenen Einrichtung zum flexiblen Abstützen der Schieneneinrichtung relativ zu der Stützeinrichtung, einer Transportplatteneinrichtung, einer zweiten mit der ersten Schieneneinrichtung verbundenen Einrichtung zum flexiblen Abstützen der ersten Transportplatteneinrichtung relativ zu der ersten Schieneneinrichtung, einer Antriebseinrichtung zum Hin-und Herbewegen der ersten Schienen- und Transportplatteneinrichtung um ihre Stützeinrichtung mit einer Phasenverschiebung gegeneinander, so daß die erste Schieneneinrichtung sich entlang einer bogenförmigen Bahn relativ zu der Stützeinrichtung und der ersten Transportplatteneinrichtung entlang einer bogenförmigen Bahn relativ zu der ersten Schieneneinrichtung bewegt, wodurch die erste Transportplatteneinrichtung entlang einer elliptischen Bahn relativ zu der Stützeinrichtung umläuft, sowie aus einer Stützeinrichtung, die angrenzend an die erste Transportplatteneinrichtung in einer Ebene angeordnet ist, welche die elliptische Bahn der ersten Transportplatteneinrichtung schneidet, so daß bei Anordnung eines Objekts auf der Stützeinrichtung und bei einem Antrieb durch die Antriebseinrichtung das Objekt von der Stützeinrichtung angehoben und relativ zu der Stützeinrichtung schrittweise entlang Bahnen weitertransportiert werden, die einem Segment der elliptischen Bahn entsprechen.

   -AT -

   Transportapparat nach Anspruch 1, dadurch gekenn ζ eic h η e t, daß die elliptische Bahn stark exzentrisch ist, so daß das Objekt relativ zu der Stützeinrichtung entlang einem Abstand gefördert wird, der beträchtlich größer als die Anhebestrecke von der Stützeinrichtung ist. '.'■·

   Transportapparat nach Anspruch 1 , dadurch g e k e η η "-:* zeichnet, daß die Antriebseinrichtung eine exzentrische Einrichtung enthält, daß die exzentrische Einrichtung und—-die erste Schieneneinrichtung durch erste Gestängeglieder ver*-.,,^; ■ bunden sind, daß zweite Gestängeglieder die exzentrische Einrichtung und die erste Transportplatteneinrichtung verbinden,- \' daß die ersten und die zweiten Gestängeglieder unterschiedli~- -:, ehe Längen aufweisen und daß eine Einrichtung zum Drehen der Exzentereinrichtung vorgesehen ist.

   Transportapparat nach Anspruch "!,dadurch gekennzeich net, daß die Stützeinrichtung eine zweite Schieneneinrichtung, flexible Stütz- und Transportplatteneinrichtungen aufweist, daß alle Einrichtungen im wesentlichen gleich wie die entsprechenden ersten und zweiten Einrichtungen sind, und daß eine zweite Betätigungseinrichtung vorgesehen ist, um die zweite Schieneneinrichtung und Transportplatteneinrichtung um ihre Stützeinrichtung; .phasenverschoben relativ zueinander hin und her zu bewegen, so daß die zweite Schieneneinrichtung sich entlang einer bogenförmigen Bahn relativ zu der Stützeinrichtung bewegt und die zweite Transportplatteneinrichtung sich entlang einer bogenförmigen Bahn relativ zu der zweiten Schieneneinrichtung bewegt, wobei die zweite Transportplatteneinrichtung entlang einer elliptischen Bahn relativ zu der Stützeinrichtung umläuft, welche zweite Antriebseinrichtung auch die zweite Schienen- und Transportplatteneinrichtung phasenverschoben mit der ersten Schienen- und Transporteinrichtung hin und her bewegt, so daß das Objekt relativ zu der Stützeinrichtung schrittweise abwechselnd durch die erste unddie zweite Transportplatteneinrichtung gefördert wird, wenn diese sich in ihren betreffenden Bahnen bewegen.

   Transportapparat nach Anspruch 4, dadurch.gekennzeichnet, daß jede Antriebseinrichtung einen Exzenter

   sowie eine erste Gestängeeinrichtung aufweist, welche den Exzenter mit der betreffenden Schieneneinrichtung verbindet, daß eine zweite Gestängeeinrichtung den Exzenter und die entsprechende Transportplatteneinrichtung verbindet, daß die erste und die zweite Gestängeeinrichtung unterschiedliche Längen aufweisen, und daß eine Einrichtung zum Drehen des Exzenters vorgesehen ist.

   6. Transportapparat nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Transportplatteneinrichtung unter einem Winkel relativ zu der ersten Transportplattenein-

   ■ richtung angeordnet ist, so daß die beiden Transportplatteneinrichtungen sich überschneiden, wodurch ein auf einer Transportplatteneinrichtung angeordnetes Objekt auf die andere Transportplatteneinrichtung gefördert wird, um die Bewegungsrichtung des Objekts zu ändern.

   7. Transportapparat nach Anspruch 1, dadurch geken nze ich net, daß die Transportplatteneinrichtung eine Breite hat, die entlang ihrer Länge unterschiedlich ist.

   8. Transportapparat nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß die.erste biegsame Stützeinrichtung eine erste Anzahl von getrennten flexiblen Biegeelementen aufweist, die zwischen der Stützeinrichtung und der Schieneneinrichtung angeordnet sind, und daß die zweite flexible Stützeinrichtung eine zweite Anzahl von flexiblen Biegeelementen aufweist, die zwischen der Schieneneinrichtung und der Transportplatteneinrichtung angeordnet sind.

   9. Transportapparat nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle elastischen Biegeelemente im wesentlichen in einer geraden Linie angeordnet sind.

   10. Transportapparat nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Anzahl von elastischen Biegeelementen in ihrer Gesamtheit über der ersten Anzahl von Biege-elementen angeordnet sind.

   11, Transportapparat nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Anzahl von elastischen Biegeelementen sich unter die oberen Enden der Anzahl von Biegeelementen erstreckt.

   12. Transportapparat nach Anspruch 8, d a d u r c h gekennzeichnet, daß die erste und zweite Anzahl von Biegeelementen unter einem Winkel relativ zueinander angeordnet sind.

   13. Transportapparat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er in einer luftdichten Kammer angeord- ·- net ist, und daß zwei Luftschleusen an gegenüberliegenden En- , «

   den der Kammer über die Enden der Transportplatteneinrichtung hinaus vorgesehen sind. ;

   14. Transportapparat nach Anspruch 13, dadurch g e.k'e η η- : zeichnet, daß eine Einrichtung in der Kammerwand vorge¹-sehen ist, die für die Antriebseinrichtung einen Zugriff er-", möglicht, um die Schienen- und TransportplatteneinrichtunghLfi. und her zu bewegen; und daß eine Einrichtung zur flexiblen Abdichtung dieser Einrichtung vorgesehen ist.

   15. Transportapparat nach Anspruch 14, d a du rch geken nzeichnet, daß die Antriebseinrichtung einen Exzenter aufweist, daß eine Gestängeeinrichtung den Exzenter mit der ersten Schienen- und Transportplatteneinrichtung verbindet, daß die Gestängeeinrichtung flexibel mit der Schienen- und Transportplatteneinrichtung verbunden ist, und daß eine Einrichtung zur Ermöglichung einer Rotation der exzentrischen Einrichtung vorgesehen ist.

   16. Transportapparat bestehend aus:

   einer stationären Stützeinrichtung, einer Anzahl von Gruppen von Schienen, einer entsprechenden Anzahl von Gruppen von ersten elastischen Biegeelementen, die zwischen der Stützeinrichtung und den Schienengruppen verbunden sind, um die Schienengruppen über der Stützeinrichtung abzustützen, einer Anzahl von Gruppen von Transportplatten, welche eine Transportspur bilden, einer entsprechenden Anzahl von Gruppen von zweiten elastischen Biegeelementen, die zwischen den Schienengruppen und den Transportplattengruppen vorgesehen sind, um die Transportplattengruppen über den Schienengruppen abzustützen, wobei jede Schienengruppe durch die Biegeelemente mit einer anderen Schienengruppe verbunden ist, um gemeinsame Transportplatten- und Schienengruppenpaare zu bilden, sowie aus einer Einrichtung für eine Hin- und Herverschiebung der Transportplatten-

   303^339 - * -

   gruppe und Schienengruppe eines Paars im wesentlichen parallel aber mit einer Phasenverschiebung zueinander, so daß jeder Punkt auf jeder Transportplattengruppe entlang einer stark exzentrischen, elliptischen Bahn relativ zu der Stützeinrichtung umläuft, welche eine Hin- und Herverschiebung verursachende Einrichtung auf die unterschiedlichen Transportplatten- und Schienengruppenpaare mit einer Phasenverschiebung gegeneinander hin und herbewegt, so daß ein Objekt,das auf Transportplatten angeordnet ist, die zu einer Anzahl von Transportplatten gehören, durch diese Transportplatten schrittweise entlang der Transportspur transportiert wird.

   17. Transportapparat nach Anspruch 16,dadurch geken nzeichnet, daß die ersten und zweiten elastischen Biegeelemente aus einem ersten flexiblen Streifen bestehen, der sich von der Stützeinrichtung zu einer Schienengruppe erstreckt, und daß die zweiten Biegeelemente aus einem zweiten flexiblen Streifen bestehen, der sich von einer Schienengruppe zu einer Transportplattengruppe erstreckt.

   18. Transportapparat nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet , daß jeder erste Streifen im wesentlichen senkrecht zu der Stütseinrichtung angeordnet ist, und daß jeder zweite Streifen unter einem Winkel relativ zu den ersten Streifen angeordnet ist.

   19. Transportapparat nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Streifen mehr oder weniger entlang einer geraden Linie angeordnet sind.

   20. Transportapparat nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Streifen die ersten Streifen überlappen.

   21. Transportapparat nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die hin- und herverschiebende Einrichtung einen Exzenter für jedes Paar von Schienen- und Transportplattengruppen enthält, daß eine Gestängeverbindung jedes Exzenters mit einem der Paare vorgesehen ist, und daß eine Einrichtung zum Antrieb dos Exzenters vorgoKchcn ist.

   22. Transportapparat nach Anspruch 21,dadurch gekenn zei chnet, daß jede Gestängeeinrichtung eine Schubstange

   enthält, die gelenkig mit einem Ende eines Exzenters und flexibel mit ihrem anderen Ende mit einem derartigen Paar verbunden ist.

   23. Transportapparat nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß das andere Ende der Schubstange durch eine erste Biegeeinrichtung mit der Schienengruppe in jedem der Paare und durch eine zweite Biegeeinrichtung mit der Transplattengruppe in jedem der Paare verbunden ist.

   24. Transportapparat nach Anspruch 23, dadurch g e k e η Ti-,,,* zeichnet, daß die ersten und zweiten mit der Schubstange verbundenen Biegeeinrichtungen unterschiedliche Längen' '.

   aufweisen. ; · --

   25. Transportapparat nach Anspruch 24, d a d u r c h g e k e η nz ei c h η et, daß die zweite Biegeeinrichtung, die mit der Schubstange verbunden ist, über der ersten mit der Schubstange verbundenen Biegeeinrichtung angeordnet ist.

   26. Transportapparat bestehend aus:

   einer Stützeinrichtung/, einer ersten Transportplatteneinrichtung, einer Einrichtung zum flexiblen Abstützen der ersten Transportplatteneinrichtung an der Stützeinrichtung, einer zweiten Transportplatteneinrichtung, die angrenzend an die erste Transportplatteneinrichtung angeordnet ist, sowie einer Einrichtung zum Bewegen der ersten Transportplatteneinrichtung relativ zu der Stützeinrichtung entlang einer Bahn, welche die Ebene der zweiten Transportplatteneinrichtung schneidet, welche erste Transportplatteneinrichtung keinen rollenden oder gleitenden Kontakt mit der zweiten Transportplatteneinrichtung oder der Stützeinrichtung aufweist, so daß eine praktisch unbegrenzte Anzahl von Umläufen ohne Schmierung in einer gesteuerten Atmosphäre durchführbar ist.

   27. Transportapparat nach Anspruch 26, dadurch g e k e η η-ze i c h ne t, daß die zweite Transportplatteneinrichtung mit einer zweiten flexiblen Stützeinrichtung an der Sützeinrichtung abgestützt ist, daß eine zweite Einrichtug vorgesehen ist, um die zweite Transportplatteneinrichtung relativ zu der Stützeinrichtung phasenverschoben zu dem Umlauf der ersten Transportplatteneinrichtung entlang einer Umlaufbahn zu bewegen,

   so daß Π.) die Bahn der ersten Transportplatteneinrichtung die Ebene der ersten Transportplatteneinrichtung bei allen Lagen entlang der Umlaufbahn der ersten Transportplatteneinrichtung schneidet, und daß (2.) die erste und die zweite Transportplatteneinrichtung in unterschiedlichen, im wesentlichen parallelen Ebenen an allen Stellen ihrer Umlaufbahnen verbleiben, und die zweite Transportplatteneinrichtung keinen rollenden oder gleitenden Kontakt mit der ersten Transportplatteneinrichtung oder der Stützeinrichtung aufweist, wodurch beide TransportplatLeneinriehtungen praktisch unbegrenzt ohne Schmierung in einer gesteuerten Atmosphäre umlaufen können.