DE3032729C2 - - Google Patents

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DE3032729C2 DE19803032729 DE3032729A DE3032729C2 DE 3032729 C2 DE3032729 C2 DE 3032729C2 DE 19803032729 DE19803032729 DE 19803032729 DE 3032729 A DE3032729 A DE 3032729A DE 3032729 C2 DE3032729 C2 DE 3032729C2
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K10/00Welding or cutting by means of a plasma
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Bearbeitungsmaschine für flache, insbesondere tafelartige Werkstücke, mit einer thermi­ schen Schneidstrahleinrichtung, insbesondere Plasmaschneidein­ richtung, sowie einer Bewegungsvorrichtung für das Werkstück ge­ genüber dem Schneidstrahl.
Eine derartige Bearbeitungsmaschine ist durch die US-PS 40 63 059 bekanntgeworden. Der Schneidstrahl­ düse gegenüberliegend befindet sich bei dieser vorbekannten Ma­ schine an der strahlabgewandten Seite des Werkstücks ein senk­ recht stehender Schacht, der eine Eintrittsöffnung für den Schneidstrahl aufweist. An diesen ist eine Absauganlage ange­ schlossen, mittels der die beim Schneiden entstehenden Schmelz­ partikel sowie der Rauch abgesaugt werden. Bei solchen Maschinen kommt es aber nicht nur auf das Abführen von Verbrennungsrück­ ständen, Gasen, Dämpfen, Staub und damit auch Wärme an, vielmehr soll die mit ihrem Betrieb verbundene Beeinträchtigung ganz all­ gemein gemindert werden. So wird es insbesondere als nachteilig angesehen, daß bei derartigen, im sogenannten Trockenplasmaver­ fahren arbeitenden Maschinen störender Lärm entsteht und es trotz der Absaugung zu einer Beeinträchtigung der Atemluft im Bereich der Schneideinrichtung kommen kann. Dies gilt insbesondere, wenn der Schacht aus technischen Gründen absenkbar ausgebildet sein muß.
Die Aufgabe der Erfindung besteht infolgedessen darin, eine Bear­ beitungsmaschine der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß die Beeinträchtigung der Umgebungsluft noch weiter reduziert und die Wärmeentwicklung gemindert wird. Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Bearbeitungsmaschine gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 entsprechend dem kennzeich­ nenden Teil dieses Anspruchs ausgebildet ist. Über die sich im Strahlbereich unmittelbar unterhalb des Werkstücks befindliche Kühlvorrichtung wird über die Kühlflüssigkeit alles was der Schneidstrahl nach dem Austritt aus dem Werkstück unmittelbar mit sich führt, nämlich Verbrennungsrückstände, Dämpfe, Staub und dgl., aber auch die entstandene Wärme abgeführt. Als Kühlmittel kommen beispielsweise Wasser, Kühlemulsionen und andere, nicht brennbare Flüssigkeiten infrage, wobei dem Wasser gegebenenfalls noch Zusätze beigemengt sein können. Der Abtransport erfolgt ohne Verzögerung, weil das Kühlmittel am Bereich der Austrittsstelle des Schneidstrahls ständig vorbeiströmt. Die Kühlmittelführung, die Größe sowie die Form der Eintrittsöffnung für den Schneid­ strahl, aber auch Druck und Strömungsgeschwindigkeit des Kühlmit­ tels müssen so gewählt werden, daß ein Kühlmittelaustritt an der Eintrittsöffnung für den Schneidstrahl zumindest weitgehend un­ terbleibt. Trotzdem sollen aber alle Gase und mitgeführten Parti­ kelchen abtransportiert werden können. Man wird aus diesem Grunde die Eintrittsöffnung nicht wesentlich größer machen als den Quer­ schnitt des Strahls in diesem Bereich und andererseits wählt man für den Abstand der Eintrittsöffnung vom Werkstück einen Minimal­ wert. Gleichzeitig wird mit dieser Flüssigkeitskühlvorrichtung natürlich auch das Werkstück gekühlt, jedoch steht dies nicht im Vordergrund. Da der Flüssigkeitsstrahl den Spalt zum Werkstück hin überbrückt, findet auf diese Weise auch eine Schalldämmung statt, so daß aufgrund der Schallminderung ein angenehmeres Ar­ beiten erreicht wird.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die Flüssigkeitskühlvorrichtung im Bereich der Eintrittsöffnung für den Schneidstrahl aus zwei konzentrisch angeordneten Rohren be­ steht, von denen wenigstens eines mit einer Fördervorrichtung für das flüssige Kühlmedium verbunden ist. Dabei sind dann die beiden werkstückseitigen Enden dieser konzentrischen Rohre einander so zugeordnet, daß die über das Innenrohr oder den Ringraum zwischen dem inneren und äußeren Rohr zugeführte Kühlflüssigkeit ohne wei­ teres über den Ringspalt bzw. das innere Rohr wieder abfließen kann.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, daß das äußere Rohr mit der als Druckpumpe ausgebildeten Förder­ vorrichtung für das flüssige Kühlmittel und das innere Rohr mit einer Flüsigkeitsabsaugvorrichtung verbunden sind. Somit kann man sowohl die Zuführung als auch das Abfließen der Kühl-Flüssigkeit er­ heblich beschleunigen und andererseits ein Austreten der Kühl­ flüssigkeit über die Eintrittsöffnung für den Schneidstrahl zu­ mindest weitgehend unterbinden.
Eine andere Variante der Erfindung sieht vor, daß das werk­ stückseitige freie Ende des äußeren Rohres mit einem Innenbund desjenigen des inneren Rohres übergreift, wobei der Innendurch­ messer des Innenbundes und des inneren Rohres etwa gleich groß sind. Die Flüssigkeit wird dadurch am Übertritt vom Ringspalt ins Innere des inneren Rohres derart umgelenkt, daß sie, insbe­ sondere in Verbindung mit der Absaugvorrichtung, ausschließlich das Bestreben hat, durch das innere Rohr abzufließen und nicht über die Eintrittsöffnung das äußere Rohr zu verlassen. Strö­ mungstechnisch ist es dabei von besonderem Vorteil, daß im Querschnitt die Innenkontur des äußeren Rohres an seinem werk­ stückseitigen freien Enden bogenförmig verläuft und das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres ebenfalls einen bogenförmigen Querschnitt auf­ weist. Es entsteht auf diese Weise im Bereich der einander zugekehrten Rohrenden ein bogenförmiger, insbesondere etwa halbkreisförmiger Ringspalt, über welchen das Kühlmittel in das innere Rohr eintritt. Zur weiteren Verbesserung der Strömung in diesem Bereich kann das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres zweckmäßigerweise trichterförmig etwas aufgeweitet sein.
Eine weitere Ausbildung der Erfindung sieht vor, daß wenigstens eines der beiden konzentrischen Rohre in Achsrichtung verschiebbar ist. Dadurch läßt sich der erwähnte Ringspalt, über den die Flüssigkeit in das innere Rohr eintritt, hinsichtlich seiner Breite verändern, was man zu Steuerungszwecken ausnutzen kann. Es ist in erster Linie an die Ver­ schiebung des inneren Rohres gedacht.
Die Kühlvorrichtung bzw. deren Eintrittsöffnung kann man beson­ ders nahe an das Werkstück heranbringen, wenn gemäß einer wei­ teren Variante der Erfindung die Stirnansicht des äußeren Rohres senkrecht zur Rohrachse verläuft und sie wenigstens einen Teil der Abstützfläche für das Werkstück bildet. Das hat zugleich auch den Vorteil, daß an dieser Stelle in radialer Richtung Flüssigkeit, Gase, Dampf und mitgeführte Partikelchen nicht oder allenfalls in vergleichsweise geringem Umfange austreten können und man dadurch einen besonders guten Wirkungsgrad er­ hält.
Eine weitere Ausbildung der Erfindung ist gekennzeichnet durch einen das äußere Rohr zumindest an seinem werkstückseitigen Ende konzentrisch umgebenden, rinnenartigen, durch das Werk­ stück abdeckenden, mit je einem Zu- und Abfluß versehenen Flüs­ sigkeitskanal. Während die Kühlvorrichtung mit den beiden kon­ zentrischen Rohren zweckmäßigerweise garnicht an das Werkstück gelangt und infolgedessen im wesentlichen eine Kühlvorrichtung für die im eintauchenden Schneidstrahl mitgeführten Gase und Partikelchen bildet, kommt die im konzentrisch angeordneten Flüssigkeitskanal enthaltene Flüssigkeit unmittelbar mit dem Werkstück in Berührung. In diesem Falle steht jedoch nicht die Kühlung im Vordergrund, sondern die Schalldämmung. Bekanntlich ist das thermische Trennschneiden, insbesondere auch das Plas­ maschneiden, vergleichsweise geräuschvoll, und der Schall tritt selbst dann in radialer Richtung zwischen der Kühlvorrichtung bzw. der Stirnseite des äußeren Rohres und der zugeordneten Werkstückfläche aus, wenn diese Werkstückfläche unmittelbar auf dem äußeren Rohr aufliegt. Wenn jedoch das äußere Rohr in der geschilderten Weise von einem Flüssigkeitsring umgeben ist, so dämpft diese Flüssigkeit die Geräusche in ganz erheblichem Maße, weswegen die Beeinträchtigung der Bedienungsperson auch in dieser Richtung erheblich gemindert wird. Außerden bildet die Kühlflüssigkeit auch einen Schmierfilm für die Werkstück­ bewegung.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß der Zufluß des ringförmigen Flüssigkeitskanals mit dem Ringraum zwischen dem inneren und äußeren Rohr der Kühlvorrichtung hy­ draulisch verbunden ist. Nachdem in diesem Ringraum die Kühl­ flüssigkeit zugeführt wird, gelangt ein Teil davon über die hydraulische Verbindung zum ringförmigen Flüssigkeitskanal für die Geräuschdämpfung. Wie man diese hydraulische Verbindung im einzelnen ausbildet, ist an sich von untergeordneter Bedeutung. Wesentlich ist aber, daß der ringförmige Flüssigkeitskanal dau­ ernd gefüllt ist, ohne unter wesentlichem Druck zu stehen.
Eine weitere Variante der Erfindung sieht vor, daß die innere Wandung des rinnenförmigen, ringförmigen Flüssigkeitska­ nals durch ein das äußere Rohr der Kühlvorrichtung konzentrisch umgebendes drittes Rohr gebildet ist. Das eröffnet die Möglich­ keit, zwischen diesem dritten Rohr und dem äußeren Rohr der Kühlvorrichtung einen Ringkanal vorzusehen, der über radiale Bohrungen mit dem Ringraum zwischen dem inneren und dem äußeren Rohr der Kühlvorrichtung in Verbindung steht und insbesondere über einen Ringspalt hydraulisch an das Innere des Flüssig­ keitskanals angeschlossen ist. Der zuletzt erwähnte Strömungs­ weg kann durch das stirnseitige, gegen das Werkstück weisende Ende des dritten Rohres einerseits und die zugekehrte Fläche des Werkstücks andererseits gebildet sein. In diesem Zusammen­ hang ist es dann besonders vorteilhaft, daß das dritte Rohr in Achsrichtung verschiebbar ist, so daß man die Höhe dieses "Überlaufspalts" den Bedürfnissen entsprechend wählen und ge­ gebenenfalls während des Betriebs ändern kann.
Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß die äußere Wandung des rinnenförmigen, ringförmigen Flüssigkeits­ kanals wenigstens zum Teil durch die Innenfläche eines Dicht­ rings gebildet ist. Statt dessen kann der Flüssigkeitskanal vorteilhafterweise von einem Dichtring konzentrisch umgeben sein, dessen gegen das Werkstück weisende Fläche eine ringförmige Dichtfläche bildet. Dieser Dichtring muß selbstverständlich den auftretenden thermischen und mechanischen Belastungen gewachsen sein. Hierbei darf insbeson­ dere nicht übersehen werden, daß über einen bezüglich der Werkstückbewegung jeweils "rückwärtigen" Dichtungsabschnitt die zuvor erstellte Ausbrennspur hinwegläuft.
Vorteilhafterweise ist der rinnförmige Flüssigkeitskanal über wenigstens eine hydraulische Leitung mit einer Saugpumpe oder einem Flüssigkeitsbehälter verbunden. Die Saugpumpe unterstützt den raschen Durchlauf der Flüssigkeit durch den rinnenförmigen Flüssigkeitskanal und vermeidet somit deren unzulässige Erwär­ mung. Bei kurzen Strömungswegen und geringem Strömungswider­ stand kann man den rinnenförmigen Flüssigkeitskanal auch unmit­ telbar über eine oder mehrere Ableitungen mit einem Flüssig­ keitsbehälter direkt verbinden, ohne Zwischenschaltung einer Saug­ pumpe.
Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird vorgeschlagen, daß die thermische Schneidstrahleinrichtung im seitlichen Abstand von einer Stanz- oder Nibbelvorrichtung der Bearbeitungsmaschine angeordnet ist. Insofern kann man also mit dieser Bearbeitungsmaschine nicht nur Schneidbrennen, son­ dern auch Stanzen bzw. Nibbeln. Dabei ist es dann von besonde­ rem Vorteil, daß das Werkstück mittels eines in der Art eines Kreuzsupports ausgebildeten Längs- und Quervorschubs innerhalb seiner Ebene in jeder beliebigen Richtung verschoben werden kann, wodurch sich beliebig geformte Umrisse und/oder Ausneh­ mungen mit dieser Bearbeitungsmaschine herstellen lassen.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dar­ gestellt. Es zeigt
Fig. 1 perspektivisch ein Ausführungsbeispiel der Maschine,
Fig. 2 in vergrößertem Maßstab eine abgebrochene Darstellung eines Radial­ mittelschnittes im Bereich des Brennstrahls.
An dem im wesentlichen etwa C-förmigen Maschinenkörper 1 befin­ det sich eine Korrdinatenführung 2 für das Werkstück 3, die eine Längsführung 4 und eine Querführung 5 umfaßt. Dabei be­ steht dann ihrerseits die Längsführung 4 aus einer fest mit dem Maschinenkörper 1 verbundenen Laufschiene 6 und einem daran im Sinne des Doppelpfeils 7 verschiebbar geführten Laufwagen 8. Die Verschiebebewegung erzielt man mit Hilfe eines Antriebsmotors 9, der ein Ritzel 10 dreht. Dieses greift in eine Verzahnung der als Zahnstange ausgebildeten Laufschiene 6 ein.
Der Laufwagen 8 trägt noch einen zweiten Antriebsmotor 11 mit Ritzel 12. Dessen Zähne kämmen mit denjenigen einer Tragschiene 13, die ebenfalls, wenigstens zum Teil, als Zahnsange gestal­ tet ist oder eine solche hält. Mit Hilfe des zweiten Antriebs­ motors 11 kann man die Tragschiene 13 im Sinne des Doppelpfeils 14 hin- und herverschieben. Die beiden Bewegungsrichtungen 7 und 14 verlaufen senkrecht zueinander.
An der Tragschiene 13 befinden sich beispielsweise zwei Prazten­ paare 15, zwischen denen das plattenförmige Werkstück 3 einge­ klemmt ist und von denen in Fig. 1 eine zu sehen ist. Es leuch­ tet ohne weiteres ein, daß das Werkstück mit Hilfe des An­ triebsmotors 9 eine Verschiebebewegung im Sinne des Doppel­ pfeils 7 und mittels des Antriebsmotors 11 eine Verstellbewe­ gung in Richtung des Doppelpfeils 14 ausführt. Bei gleichzeiti­ gem Lauf beider Motoren 9, 11 erzielt man eine überlagerte Längs- und Querbewegung. Das Werkstück 3 stützt sich außerdem noch auf dem Unterteil 16 einer thermischen Schneideinrichtung 17, insbesondere einer Plasma-Schneideinrichtung, ab, deren Oberteil mit 18 bezeichnet ist. Letzteres umfaßt eine Schneid­ strahldüse, aus welcher der Schneidbrennstrahl austritt, der auf der Oberseite 19 des Werkstücks 3 auftrifft und das Werk­ stück an der betreffenden Stelle durchschmilzt. An der Unter­ seite 20 (Fig. 2) tritt der Schneidbrennstrahl wieder aus.
Der strahlabgewandten Seite des Werkstücks 3, nämlich der Unterseite 20, ist eine Flüssigkeits-Kühlvorrichtung 21 für einen geführten Kühlmitteltransport angeordnet. Diese Kühlvorrichtung 21 be­ sitzt gegenüberliegend von der Schneidstrahldüse oder einem anderen, den Schneidstrahl abgebenden Organ, eine Eintrittsöffnung 22, über welche der Schneidstrahl in das Kühl­ mittel 23 gelangt. Letzteres schluckt gewissermaßen sowohl den Strahl als auch die mitgeführten Gase, Dämpfe und beim Brennen entstandenen Partikelchen. Sie werden mit Hilfe des Kühlmittels abtransportiert. Zumindest im Bereich der Eintrittsöffnung 22 besteht die Kühlvorrichtung aus zwei konzentrisch angeordneten Rohren, von denen das innere mit 24 und das äußere mit 25 be­ zeichnet ist. Zwischen beiden entsteht ein ringförmiger Spalt­ raum 26, über welchen beim Ausführungsbeispiel das Kühlmittel 23 im Sinne des Pfeils 27 zugeführt wird. In diesem Falle ver­ läuft dann die Abströmrichtung durch das innere Rohr 24 in Richtung des Pfeils 28. Dem ringförmigen Spaltraum 26 wird das Kühlmittel mittels einer Pumpe 29 zugeführt. Diese saugt es aus einem Behälter 30 an. Das innere Rohr 24 ist über eine Leitung 31 mit einer Flüsigkeitsabsaugvorrichtung 32 verbunden, wel­ che den raschen Rücktransport des Kühlmittels gewährleistet und in den Behälter 30 fördert.
Das werkstückseitige freie Ende des äußeren Rohrs 25 übergreift mit einem Innenbund 33 das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres 24. Dabei sind die Innendurchmesser des Innen­ bunds 33 und des inneren Rohres 24, wie Fig. 2 der Zeichnung zeigt, etwa gleich groß. Außerdem verläuft gemäß der Zeichnung die Innenkontur des äußeren Rohres 25 mit seinem Innenbund 33 an seinem werkstückseitigen freien Ende in einem Bogen 34. Da­ durch erfährt das ankommende Kühlwasser eine Umlenkung um zumindest annähernd etwa 180°. Beim Ausführungsbeispiel ist auch das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres 24 mit einem bogenförmigen Querschnitt 35 versehen. Dadurch entsteht ein strömungsgünstiger Umlenkspalt 36. Das Einströmen in das innere Rohr 24 kann dadurch noch etwas verbessert werden, daß man das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres 24 gemäß dem Ausführungsbeispiel trichterförmig etwas aufweitet. Wenn man gemäß dem Doppelpfeil 37 das innere Rohr 24 verstellbar aus­ bildet, so kann man den Querschnitt des Umlenkspalts 36 verän­ dern und damit Einfluß auf die Verhältnisse beim Überströmen vom ringförmigen Spaltraum 26 ins innere Rohr 24 nehmen.
Die Stirnseite 38 des äußeren Rohres 25 verläuft senkrecht zur Rohrachse 39 und bildet wenigstens einen Teil der Abstützfläche für das Werkstück 3.
Das äußere Rohr 25 ist konzentrisch von einem rinnenartigen, durch das Werkstück 3 abdeckbaren Flüssigkeitskanal 40 umgeben. Diesem wird Flüssigkeit in geeigneter Weise zugeführt und bei­ spielsweise über eine odermehrere, beim Ausführungsbeispiel zur Rohrachse 39 parallele Bohrungen 41, wieder abgeführt. Dieser Flüssig­ keitskanal ist vollständig gefüllt, so daß die Flüssigkeit bis an die Unterseite 20 des Werkstücks 3 heranreicht. Damit sie nicht in radialer Richtung abströmen, ist die äußere Rinnenwan­ dung 42 teilweise durch einen Dichtring 43 gebildet, der einen dichten Abschluß zur Unterseite 20 des Werkstücks 3 herstellt. Die Flüssigkeit im rinnenförmigen Flüssigkeitskanal 40 bildet eine gute Schalldämmung, so daß der beim Brennschneiden und auch beim Eintritt des Schneidstrahls in das Kühlmittel 23 ent­ stehende Lärm nicht oder allenfalls in gedämpfter Form austre­ ten kann. Wenn man keine separate Zuführungsleitung zum Flüs­ sigkeitskanal 40 vorsehen will, so kann man ihn mit der Zuführungsleitung der Kühlvorrichtung 21 hydrau­ lisch verbinden. Im Falle einer Zuführung des Kühlmittels über den ringförmigen Spaltraum 26 bietet sich eine hydraulische Verbindung zwischen diesem Spaltraum 26 und dem Flüssigkeits­ kanal 40 an. Dabei ist es besonders vorteilhaft, daß das äußere Rohr 25 der Kühlvorrichtung 21 konzentrisch von einem dritten Rohr 44 umgeben ist. Durch letzteres und das äußere Rohr 25 wird ein Ringraum 45 geschaffen, dem das Kühlmittel über meh­ rere, gleichmäßig am Umfang verteilte Kanäle 46, zuströmt. Der Ringraum 45 steht über einen ringförmigen Spalt­ raum 47 mit dem Flüssigkeitskanal 40 in hydraulischer Verbin­ dung. Wenn man das dritte Rohr 44 im Sinne des Doppelpfeils 48 verschiebbar ausbildet, so kann man die Größe des ringförmigen Spaltraums 47 variiert. Im übrigen überströmt das aus dem ringförmigen Spaltraum 47 austretende flüssige Medium die Stirnkante 49 des dritten Rohres 44. Nach oben hin erfolgt die Abgrenzung durch die Unterseite 20 des Werkstücks 3. Eine gemeinsame Zuführung der Flüssigkeit zur Kühlvorrichtung 21 und zum Flüssigkeitskanal 40 hat den Vorteil, daß man eine Leitung einsparen kann. Andererseits kann aber eine separate Zuführungsleitung für den Flüssigkeitskanal 40 durchaus zweck­ mäßig sein, wenn man sehr unterschiedliche Strömungsmengen im Flüssigkeitskanal 40 und im inneren Rohr 24 wünscht. In glei­ cher Weise wie beim inneren Rohr 24 kann man die Flüssigkeit auch aus der oder den Bohrungen 41 mittels einer Pumpe od. dgl. absaugen, jedoch ist es dann zweckmäßig, wenn man bei mehreren Bohrungen diese zuvor in einen nicht gezeigten Ringkanal münden läßt, von dem auis eine Saugleitung zu dieser Pumpe führt.
Im seitlichen Abstand von der thermischen Schneideinrichtung 17 ist noch eine Stanz- oder Nibbel­ vorrichtung 50 vorgesehen sein, mit der man das Werkstück 3 zu­ sätzlich oder alternativ stanzen oder nibbeln kann. Eine derar­ tige Stanz- oder Nibbelmaschine kann von herkömmlicher Kon­ struktion sein, so daß sich weitere Beschreibungen und auch die Darstellung erübrigt. Die Korrdinatenführung 2 wird natür­ lich auch beim Stanzen und Nibbeln benutzt werden, und im Falle einer automatischen Steuerung müßte die Automatik den seitli­ chen Abstand der Rohrachse 39 von der Längsmittelachse des Stanz- oder Nibbelwerkzeugs berücksichtigen.

Claims (17)

1. Bearbeitungsmaschine für flache, insbesondere tafelartige Werkstücke, mit einer thermischen Schneidstrahleinrichtung, insbesondere Plasmaschneideinrichtung, sowie einer Bewegungs­ vorrichtung für das Werkstück gegenüber dem Schneidstrahl, da­ durch gekennzeichnet, daß der strahlabgewandten Seite (20) des Werkstücks (3) eine Flüssigkeits-Kühlvorrichtung (21) für geführten Kühlflüssigkeits­ transport zugeordnet ist, die der Schneidstrahldüse gegenüberliegend, eine Eintrittsöffnung (22) für den Schneid­ strahl aufweist.
2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeits-Kühlvorrichtung (21) im Bereich der Eintrittsöffnung (22) für den Schneidstrahl aus zwei konzentrisch angeordneten Rohren (24, 25) besteht, von denen wenigstens eines mit einer Förder­ vorrichtung (29, 32) für das flüssige Kühlmittel verbunden ist.
3. Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das äußere Rohr (25) mit der als Druckpumpe (29) ausgebildete För­ dervorrichtung für das flüssige Kühlmittel (23) und das innere Rohr (24) mit einer Flüssigkeitsabsaugvorrichtung (32) verbunden sind.
4. Maschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das werkstückseitige freie Ende des äußeren Rohres (25) mit einem Innenbund (33) dasjenige des inneren Rohres (24) übergreift, wobei die Innendurchmesser des Innenbundes und des inneren Roh­ res etwa gleich groß sind.
5. Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Querschnitt die Innenkontur des äußeren Rohres (25) an seinem werkstückseitigen freien Ende bogenförmig (34), verläuft und das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres (24) ebenfalls einen bogenförmigen Querschnitt aufweist.
6. Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das werkstückseitige freie Ende des inneren Rohres (24) trichter­ förmig etwas aufgeweitet ist.
7. Maschine nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigestens eines der beiden kon­ zentrischen Rohr (24, 25) in Achs­ richtung verschiebbar ist.
8. Maschine nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnseite des äußeren Rohres (25) senkrecht zur Rohrachse (39) verläuft und wenigstens einen Teil der Abstützfläche für das Werkstück (3) bildet.
9. Maschine nach einem der Ansprüche 2 bis 8, gekennzeichnet durch einen das äußere Rohr (25) zumindest an seinem werkstückseitigen Ende konzentrisch umgebenden, rinnen­ artigen, durch das Werkstück (3) abdeckbaren, mit je einem Zu- und Abfluß versehenen Flüssigkeitskanal (40).
10. Maschine nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Zufluß des rinnenförmigen Flüssigkeitskanals (40) mit dem Ring­ raum (26) zwischen dem inneren (24) und äußeren Rohr (25) der Kühlvorrichtung (21) hydraulisch verbunden ist.
11. Maschine nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Wandung des rinnenförmigen, ringförmigen Flüssigkeitskanals (40) durch ein das äußere Rohr (25) der Kühlvorrichtung (21) konzentrisch umgebendes drittes Rohr (44) gebildet ist.
12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das dritte Rohr (44) in Achsrichtung (39) verschiebbar ist.
13. Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die äußere Wandung (42) des rinnenförmigen, ring­ förmigen Flüssigkeitskanals (40) wenigstens zum Teil durch die Innenfläche eines Dichtrings (43) gebildet ist.
14. Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Flüssigkeitskanal (40) von einem Dichtring kon­ zentrisch umgeben ist, dessen gegen das Werkstück (3) weisende Fläche eine ringförmige Dichtfläche bildet.
15. Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der rinnenförmige Flüssigkeitskanal (40) über we­ nigstens eine hydraulische Leitung (41) mit einer Saugpumpe oder einem Flüssigkeitsbehälter verbunden ist.
16. Maschine nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der rinnenförmige Flüssigkeitskanal (40) hydrau­ lisch (46, 45, 47, 49) mit dem ringförmigen Spaltraum der Kühl­ vorrichtung (21) verbunden ist.
17. Maschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die thermische Schneidstrahleinrichtung (17) im seitlichen Abstand von einer Stanz- oder Nibbelvorrichtung der Bearbeitungsmaschine angeordnet ist.
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