DE3030227C2

DE3030227C2 - Vorrichtung zum Messen dünner Schichten mittels Betastrahlen

Info

Publication number: DE3030227C2
Application number: DE3030227A
Authority: DE
Inventors: Helmut 7261 Gechingen Fischer; Willi 7407 Rottenburg Steegmüller; Werner 7032 Sindelfingen Volz
Original assignee: Helmut Fischer GmbH & Co Institut für Elektronik und Meßtechnik, 7032 Sindelfingen
Priority date: 1980-08-09
Filing date: 1980-08-09
Publication date: 1987-04-23
Also published as: US4406948A; JPH0153402B2; GB2081892A; DE3030227A1; CH650859A5; GB2081892B; JPS5746107A

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Prinzipbedingt ist bei diesen Vorrichtungen die Meßempfindlichkeit eine Abhängigkeit vom Abstand der Punktquelle zur zu messenden Schicht, mit einem ausgeprägten Empfindlichkeitsmaximum bei einem spezifischen Abstand, der wiederum individuell variiert, je nach dem, wo exakt die Punktquelle auf der Trägervorrichtung sitzt. Solche fertigungsbedingten Toleranzen werden bei hochwertigen Meßvorrichtungen werksseitig kompensiert. So wird z. B. gemäß der DE-AS 20 13 270 der Blendring, an dessen Stirnfläche anliegend die zu messende Schicht auf Abstand gehalten wird, werksseitig auf den jeweils individuell optimalen Abstand zurückgeschliffen. Diese Optimierung ist zeitraubend, weil diese Abstandseinstellung durch Abschleifen des Blendrings nicht in der Eich-Meßvorrichtung ausgeführt werden kann. Zudem kann man bekanntlich das Maximum einer Einstellung am besten durch kurzes Pendeln um das Maximum herum erkennen. Die Abschleifjustierung erlaubt aber nur ein vorsichtiges einseitiges Herantasten an den vermuteten Maximalwert. Häufig ist ein Schleifschritt zu wenig oder meist ein Schleifschritt zu viel ausgefüht worden, so daß der Abstand dann doch nicht völlig optimal eingestellt ist.
In der US-PS 33 19 067 ist eine gattungsgemäße Vorrichtung beschrieben, bei der verschieden lange Adapter mit axial unterschiedlich langen Blendringen bzw. verschiedenen Blendenöffnungen sowie Trägervorrichtungen mit verschiedenen Strahlenquellen bausatzmäßig zusammengesteckt werden können. Damit soll es dem Benutzer ermöglicht werden, ein der jeweiligen Meßaufgabe entsprechendes Meßgerät zusammenzusetzen. Nach diesem Konzept ist aber eine Abstandsoptimierung unmöglich, da eine Reihe toleranzbehafteter Teile aufeinandertreffen, und daher wäre es rein zufällig, wenn ein solchermaßen auf einen bestimmten Anwendungsfall hin zusammengestecktes Instrument dann auch das Empfindlichkeitsmaximum erreicht.
Stufenlos teleskopisch ineinander feineinstellbare Tuben zwecks Einstellung des Abstandes zwischen Strahlenquelle und zu messender Schicht sind in der FR-PS 20 62 071 beschrieben, jedoch handelt es sich um eine Vorrichtung ohne das Meßfeld begrenzender Blendenöffnung. Die gezeigte Abstandseinstellung dient hier zur Einstellung der Meßfeldgröße, ähnlich wie ein Lichtfleck mit Annäherung oder Entfernung eines Scheinwerfers zu verändern ist. Eine Justierung auf ein Empfindlichkeitsmaximum ist bei diesem Vorrichtungstyp (ohne Blende) prinzipiell nicht denkbar, weil die Kennlinie kein solches aufweist.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine gattungsgemäße Vorrichtung so weiterzubilden, daß sie klein, leicht auswechselbar und kapzitätsarm ist, dem gesteigerten Sicherheitsbedürfnis Rechnung trägt und einfach und genau auf ihr individuelles Empfindlichkeitsmaximum einstellbar ist.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Zufolge der gegeneinander feineinstellbaren Teiltuben kann die Vorrichtung während der Eich-Messung anhand eines Meßnormals in einem Arbeitsgang auf optimalste individuelle Empfindlichkeit justiert werden, wobei man den tatsächlichen Maximalwert durch kurzes Hin- und Herdrehen feststellen kann. Die bessere Optimierung reduziert die spätere Meßunsicherheit und erlaubt einen breiteren Anwendungsbereich der Vorrichtung. Durch die Blockiervorrichtung wird die Einstellung gesichert. Die völlige Kapselung des GM-Rohres und der Punktquellen in den beiden Teiltuben bietet den nötigen Schutz und erlaubt es, extrem kleine und fragile Elemente (Punktquellen, GM-Rohr) einzusetzen. Da die Teiltuben zur Kontaktierung herangezogen werden, ist der Aufbau trotz geringerer Abmessungen ausreichend kapazitätsarm. Die Vorrichtung kann als ganzes einfach angeschlossen und demnach wie eine Sicherung gewechselt werden.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben und ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der Zeichnung. Es zeigt
Fig. 1 eine Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 2 eine explodierte Darstellung der Vorrichtung nach Fig. 1, bei der sich jedoch die Kontaktfeder auf der Kathode befindet,
Fig. 3 eine Ansicht gemäß dem Pfeil A in Fig. 1,
Fig. 4 eine Ansicht antiparallel zum Pfeil A in den vorderen Teiltubus hinein,
Fig. 5 die Stirnansicht der Trägervorrichtung, wie sie auf dem GM-Rohr sitzt,
Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie 6-6 von Fig. 5 in nochmals vergrößerter Darstellung,
Fig. 7 eine Seitenansicht der Kontaktfeder,
Fig. 8 eine Axialansicht der Kontaktfeder,
Fig. 9 eine Axialansicht des Konterrings,
Fig. 10 eine nochmals vergrößerte Schnittansicht durch das GM-Rohr,
Fig. 11 eine Axialansicht in den hinteren Teiltubus hinein,
Fig. 12 eine Ansicht gemäß dem Pfeil B in Fig. 1,
Fig. 13 die Anordnung des Schraubrings im hinteren Teiltubus, die räumliche Lage des Arbeitswiderstands und der Kontaktplatte mit gestrichelt angedeutetem hinteren Teil des GM-Rohrs,
Fig. 14 einen Radialschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel im Bereich des Blendrings,
Fig. 15 eine Radialansicht eines Werkzeugs für die Vorrichtung samt der Vorrichtung, beide zusammen eingesetzt in einem Bereitstellungsständer.
Soweit nicht anders angegeben, sind die Figuren dreifach vergrößerte Darstellungen des Originals. In Wirklichkeit ist die Vorrichtung also nicht einmal daumengroß.
Die Vorrichtung umfaßt einen ersten Teiltubus 21, einen zweiten Teiltubus 22, ein GM-Rohr 23 sowie einen Blendenring 24 und eine Trägervorrichtung 26 für eine Punktquelle 27. Ein Lagerstein 28 entsprechend der DE-PS 20 13 270 ist koaxial zu einer geometrischen Längsachse 29 angeordnet. Der Lagerstein hat eine durch ihn hindurchgehende Blendenöffnung 30, die mindestens in Teilbereichen koaxial ist und im vorliegenden Fall die Gestalt eines Radialschlitzes hat. Der Lagerstein 28 ist im Blendenring 24 gefaßt, der einen Kegelstumpfmantel 31 umfaßt, der koaxial angeordnet ist. Er geht in einen Ringansatz 32 über, auf den eine eingestochene Ringnut 33 folgt. Von dort aus geht der Blendenring 24, zu dem die oben bezeichneten Teile gehören, in den Teiltubus 21 über, der koaxial angeordnet ist und die Gestalt einer weitgehend kreiszylindrischen Mutter hat. Um in einer nichtdargestellten Meßanordnung einen Halt zu finden, ist eine Quernut 34 als Sekante in den Mantel des Teiltubus 21 eingeschnitten. Außerdem ist in den Mantel des Teiltubus 21 eine achsparallele Längsnut 36 eingeschnitten, die von vorne achsparallel zugänglich ist, so daß dort ein Mitnahmewerkzeug eingesetzt werden kann. Hinten hat der Teiltubus 21 eine radiale Stirnfläche 37, die einen Ring bildet. Innen hat der Teiltubus 21 einen koaxialen kreiszylindrischen Hohlraum 38, der in den entsprechenden innenren Hohlraum des Blendenrings 24 übergeht. Die Innenwand des Teiltubus 21 ist mit einem Feingewinde 39 versehen, das an der Stirnfläche 37 beginnt und sich nahezu über die ganze Länge des Teiltubus 21 erstreckt. Mit Ausnahme des Lagersteins 28 sind die bislang beschriebenen Teile metallisch.
Der Teiltubus 22 besteht aus Resitex als Isolationsmaterial und ist ein Dielektrikum. Er ist koaxial zur Längsachse 29 angeordnet. Mit seinem Außen-Feingewinde 41 kann er in das Innen-Feingewinde 39 eingeschraubt werden. Diese Paarung Metall/ Kunststoff hat einen niederen Reibungswiderstand, so daß die Teiltuben 21, 22 feinfühlig gegeneinander verdreht werden können.
Das Feingewinde 41 geht hinten in einen kreisringförmigen, radialen Ansatz 42 über, so daß ein Zylinderkörper 43 etwas größeren Durchmessers folgt. Nach einer kreisringförmigen Stufe 44 folgt ein im Durchmesser wesentlich kleinerer Sockel 46. In seinem Boden 47 ist eine Einsenkng 48 vorgesehen, die wie der Sockel 46 koaxial ist. Der Teiltubus 22 hat innen ein koaxiales kreiszylindrisches Sackloch 49. Von ihm aus führt eine Durchgangsbohrung 51 in die Einsenkung 48.
Im Zylinderkörper 43 ist gemäß Fig. 2 und indirekt auch aus Fig. 13 hervorgehend ein Langloch 52 vorgesehen, das durch die Wand des Zylinderkörpers 43 vollständig hindurchgeht, etwa die Länge eines ¹/₁₀ Watt-Widerstands hat und in der Ansicht von Fig. 2 etwa unter 45° liegt.
Ein Messing-Ring 53 ist koaxial angeordnet. Mit seiner kreiszylindrischen Außenumfangsfläche 54 ist in er an die Wand des Sacklochs 49 angeklebt, und zwar in einer solchen axialen Lage, daß die Außenumfangsfläche 54 mit einem entsprechenden Teilbereich 56 im gemäß Fig. 2 rechten Endbereich des Langlochs 52 erscheint. Der Messingring 53 hat ein Innengewinde 57 sowie gemäß Fig. 13 rechts eine radiale Stirnfläche 58. Der Messing-Ring 53 ist nur wenige Millimeter lang, dünn, damit massearm und stellt damit nur eine gringe Kapazität gegenüber der Erde dar.
In die Einsenkung 48 ist eine metallene Kontaktscheibe 59 eingeklebt, die dort zwar geschützt ist, jedoch den Sockel 46 nach hinten etwas überragt.
Im Langloch 52 liegt ein ¹/₁₀ Watt-Widerstand 61 als Arbeitswiderstand des GM- Rohrs 23. Da der Zylinderkörper 43 dicker ist als der Durchmesser des Widerstands 61, liegt der Widerstand 61 geschützt im Langloch 52 und kann dort gegebenenfalls auch vergossen sein. Sein rechtes Bein 62 ist mit einem Lötpunkt 63 am Teilbereich 56 angelötet. Dies kann mit Hilfe heutiger Feinlötkolben durch das an sich kleine Langloch 52 hindurch geschehen. Das linke Bein 64 ist zweimal rechtwinklig abgeknickt, verläuft teilweise im Außenbereich des Sacklochs 49, durchquert die Durchgangsbohrung 51 und ist an die Kontaktscheibe 59 angelötet.
Auf dem Feingewinde 41 sitzt ein schmaler Konterring 66 mit entsprechendem Innenfeingewinde, dessen Außendurchmesser wenig größer als der Außendurchmesser des Zylinderkörpers 43 ist. Wenn man bei rotatorisch festgehaltenen Teiltuben 21, 22 den Konterring 66 fest gegen die Stirnfläche 37 dreht und gegebenenfalls zusätzlich mit Lack oder einer Madenschraube sichert, verbleiben die Teiltuben 21, 22 zueinander in axial unveränderlicher Lage.
Das GM-Rohr 23 umfaßt eine metallene kreiszylinderförmige Kathode 67 , die einen Kreisringmantel darstellt, dessen Außendurchmesser kleiner ist als der Innendurchmesser des Feingewindes 39. Mit einem Abstand von der vorderen kreisringförmigen Stirnfläche 68 ist ein kreisförmiges Glimmerfenster 69 eingeschmolzen. Die Kathode 67 ist koaxial angeordnet. Im Ionisationsraum 71 ist koaxial eine Anode 72 vorgesehen, bestehend aus einem Draht 73, an dessen freiem Ende direkt hinter dem Glimmerfenster 69 eine rotationssymmetrische, im Querschnitt etwa elliptische Verdickung 74 sich befindet. Von rückwärts ist in den Ionisationsraum 71 ein Keramikkörper 76 luftdicht eingeklebt. Er ist kreiszylindrisch und hat in seinem hinteren Endbereich einen kleinen Flansch 77. Ferner hat er keine koaxiale Durchgangsbohrung 78, durch die hindurch sich der Draht 73 erstreckt.
Von rückwärts ist auf den Flansch 77 luftdicht ein Schraubsockel 79 geklebt, der aus Metall besteht, einen zum Flansch 77 passenden Anschlußflansch 81 aufweist, der wie der Flansch 77 einen Außendurchmesser hat, der kleiner ist als der Durchmesser des Sacklochs 49.
Der Anschlußflansch 81 geht nach einer radialen, kreisringförmigen, nach innen springenden Stirnfläche 82 in ein Außengewinde 83 über. Der Schraubsockel 79 hat eine koaxiale Durchgangsbohrung 84, in die sich der Draht 73 weiterhin erstreckt und galvanisch leitend mit dem Schraubsockel 79 verbunden ist. Auf die hintere Radialfläche 86 ist ein aus Glas bestehender Abpumpstutzen 87 aufgeschmolzen, durch den vor dem Abschmelzen im Ionisationsraum 71 über die Durchgangsbohrungen 78, 84 ein genügender Unterdruck geschaffen werden kann. Das GM-Rohr 23 ist mit seinem Schraubsockel 79 fest in den Messingring 53 eingeschraubt, so daß die Stirnflächen 58 und 82 fest aneinander liegen und keine nachträgliche Verdrehung zugelassen wird. Im montierten Zustand ragt damit der Abpumpstutzen 87 geschützt in den hinteren Bereich des Sacklochs 49, ohne den Boden 47 zu berühren. Der Abpumpstutzen 87 berührt auch weder den Widerstand 61 noch das Bein 64, da diese radial weiter außen liegen.
Ist das GM-Rohr 23 in den Teiltubus 22 hineingeschraubt, dann schaut nur etwa die Hälfte des Keramikkörpers 76 nach vorne über den Teiltubus 22 hinaus.
Die Trägervorrichtung 26 umfaßt einen kreiszylindrischen, koaxialen Ring 88 aus Metall, der einen etwas größeren Außendurchmesser als die Kathode 67 hat. Der Ring 88 paßt jedoch mit wenig Spiel - so daß sich eine Hilfs-Montageführung ergibt - in den Innendurchmesser des Feingewindes 39. Der Ring 88 ist mit seiner hinteren Stirnfläche 89 auf der ebenfalls radialen Stirnfläche 68 festgeklebt. Die Außenwand des Rings 88 ragt also etwas über die Kathode radial hinaus. Die Innenwand 91 des Rings 88 ist etwas nach außen gegenüber der Innenwand der Kathode 67 versetzt und schattet daher den Ionisationsraum 71 nicht ab. Die Innenwand 91 geht an zwei 180° gegeneinander versetzten Stellen in eine radiale Speiche 92 über, die in Abschattungsvorrichtung dünn ist und in der Mitte koaxial eine ringförmige Verdickung 93 aufweist. Die Verdickung 93 hat ein koaxiales Durchgangsloch 94, in das die Punktquelle 27 von rückwärts bündig eingeklebt ist. Die Punktquelle 27 besteht aus einem Röhrchen 96 von 0,2 mm Außendurchmesser, das aus Betastrahlen absorbierendem Material besteht. Obwohl eingangs auf den Maßstab der Zeichnungen hingewiesen worden ist, soll trotzdem nochmals zum Größenvergleich auf dieses Röhrchenmaß hingewiesen werden, da eventuell die notwendige Vergrößerung die Wertschätzung für die Erfindung verfälschen kann.
Das Röhrchen 96 enthält koaxial einen Draht 97, der es nach rückwärts auf dem allergrößten Teil seiner Länge abschließt und der auf seiner vorderen Stirnfläche 98ein Strahler-Kügelchen 99 trägt. Das vordere Ende des Röhrchens 96 ist mit einer 10 µm dicken Titanfolie 101 verschlossen. Der Abstand des Strahlerkügelchens 99 von der Titanfolie 101 liegt bei 0,1 bis 0,2 mm, falls das Strahlerkügelchen 99 aus Promethium, Thallium, Strontium ist.
Der Abstand ist etwas größer, wenn man einen Cadmiumstrahler hat. Obwohl damit das Strahlerkügelchen 99 weit vorne liegt, kann man das ganze als Punktquelle betrachten.
Im fertig montierten Zustand befindet sich die Titanfolie 101 von der Vorderseite des Lagersteins 28 in einem Abstand von ungefähr 0,1 bis 0,8 mm. Ersteres Maß gilt natürlich nur, wenn der Lagerstein 28 rückseitig eine so gestaltete koaxiale Öffnung hat, daß das vordere Ende des Röhrchens 96 mindestens teilweise in den Lagerstein 28 eintauchen kann.
Eine in den Fig. 7 und 8 im einzelnen dargestellte Kontaktfeder 102 besteht aus am Rücken zusammenhängenden Lappenpaaren 103 und 104. Im entspannten Zustand hat gemäß Fig. 1 das Lappenpaar 103 einen etwas kleineren Durchmesser als das Lappenpaar 104. Das Lappenpaar 103 dient dazu, die Kontaktfeder 102 mechanisch klemmend und elektrisch leitend auf der Kathode 67 festzuklemmen, wobei das Lappenpaar 103 soweit vorgeschoben werden kann, daß es an der Stirnfläche 89 anschließt. Dabei ragt es nach außen nicht über den Ring 88 hinaus, so daß die Einheit insoweit trotzdem in das Feingewinde 39 eingeschoben werden kann.
Das Lappenpaar 104 ist über den Rücken galvanisch leitend mit dem Lappenpaar 103 verbunden und ragt zumindest mit Teilbereichen soweit von der geometrischen Längsachse 29 weg, daß es beim Einschrauben in den Teiltubus 21 mit dem zahlreiche Punktkontakte bildenden Feingewinde 39 Kontakt macht. Dabei sitzt das Lappenpaar 104 teilweise ebenfalls auf der Kathode 67 und kann nicht zu weit auf den Umfang des Keramikkörpers 76 abgedrängt werden. Die Kontaktfeder 102 stellt also eine galvanisch leitende Verbindung zwischen der Kathode 67 und dem Teiltubus 21 dar.
Fig. 14 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, das einerseits die filigrane Punktquelle 27 schützt und andererseits es gestattet, den Blendenring 111 auszuwechseln, so daß man sich an unterschiedliche Meßprobleme anpassen kann. Hierzu geht von einer Stirnfläche 106 des Teiltubus 107 koaxial eine Schutzwand 108 aus, die sich kegelstumpfförmig erstreckt und eine Innenöffnung 109 hat, die die Betastrahlen mit Sicherheit nicht behindert, in die die Titanfolie 101 gegebenenfalls sogar eintreten kann, aber auf jeden Fall zuverlässig verhindert, daß man beim Überstreichen der Innenöffnung 109 mit dem Finger z. B. die Punktquelle 27 verbiegen kann, so daß die einmal eingestellte Justierung nicht mehr stimmen würde.
Von vorne her ist auf den Teiltubus 107 als getrenntes Bauelement ein Blendenring 111 aufgesetzt, der einen koaxialen Außenflansch 112 hat, der mit seiner Innenfläche 113 an einer kurzen, stirnseitig vorgesehenen koaxialen Außen-Ringfläche 114 positionierend anliegt. Nach hinten wird der Blendenring 111 durch eine Überwurfmutter 116 gezogen, die ein Innengewinde 117 hat, das auf ein entsprechendes Außengewinde 131 des Teiltubus 107 aufgeschraubt ist. Mit einem Innenflansch 118zieht die Überwurfmutter 116 den Außenflansch 112 gegen eine Kreisschulter 119, so daß axiale Bewegungen unmöglich sind. Der Blendenring 111 besitzt analog der Schutzwand 108 einen etwa zu dieser parallel verlaufenden Kegelstumpf 121, der den Lagerstein 122 trägt. Von der Stirnseite her und von außen sind in der Überwurfmutter 116 um 180° versetzt zwei Aussparungen 123 vorgesehen. In diese können Zapfen 124 eines Vielfachwerkzeuges 126 (Fig. 15) eingesetzt werden. Dieses Vielfachwerkzeug 126 hat an seiner einen Stirnseite eine Vertiefung 127, in die beim Abschrauben der Überwurfmutter 116 der Kegelstumpf 121 und der Lagerstein 122 eintauchen können. Hat man die Überwurfmutter 116 abgeschraubt, dann kann man auch den Blendenring 111 wegnehmen und ihn durch einen anderen ersetzen und dann wieder mit Hilfe des Vielfachwerkzeuges 126 die gleiche Überwurfmutter 116 aufschrauben.
Soll die Einheit jedoch nicht verwendet werden, weil man z. B. einen anderen Strahler braucht, dann bedient man sich ebenfalls des Vielfachwerkzeugs 126. Hierzu hat dieses von der anderen Stirnseite her ein koaxiales Sackloch 128, das ein Innengewinde 129 aufweist, das auf das Außengewinde 131 des Teiltubus 107 paßt. Das Vielfachwerkzeug 126 ist aus Betastrahlen absorbierendem Material und für diese unendlich dick (z. B. Aluminium). Im Boden des Sackloches 128 ist eine Schicht 132 aufgebracht, die bekannte Rückstreudaten hat. Das Vielfachwerkzeug 126 zusammen mit der erfindungsgemäßen Einheit kann in einen Ständer 133 eingesetzt werden, der eine entsprechend große, senkrecht nach oben offene Ausnehmung 134 hat. An ihrem Boden befindet sich eine Kontaktplatte 136, und in einer gewissen Höhe befindet sich ein nicht näher dargestellter federnder Ringkontakt 137. Letzterer kontaktiert den Teiltubus 21 und damit die Kathode 67. Die Kontaktplatten 136 kontaktiert die Kontaktscheibe 59 und damit die Anode 72. Damit die Einheit stets unter Betriebsspannung steht, sind Zuleitungen 138 und 139 zu einer Hochspannungsquelle 141 vorgesehen. In dieser Masche liegt auch ein nichtdargestelltes Zählgerät, so daß man stets die rückgestreuten Betateilchen zählen kann.

Claims

1. Vorrichtung zum Messen dünner Schichten mit dem β -Strahlen-Rückstreuverfahren, mit einem Kontaktvorrichtungen für seine Anode und Kathode aufweisenden Geiger-Müller-Rohr (GM-Rohr), einer koaxial darauf angebrachten Trägervorrichtung für eine β-Strahlen-Punktquelle, sowie mit einem Blendenring, der eine sehr kleine, koaxial mit Abstand vor der Punktquelle angeordnete Blendenöffnung aufweist und mit einem metallischen, die Trägervorrichtung koaxial übergreifenden ersten Teiltubus verbunden ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Teiltubus (21) die Trägervorrichtung (26) mit der Punktquelle (27) sowie den anschließenden vorderen Teil des GM-Rohres (23) mit dem Kathodenbereich axial beweglich umschließt und elektrisch leitend mit der Kathode (67) verbunden ist,

daß ein zweiter koaxialer Teiltubus (22) vorgesehen ist, der den übrigen Teil des GM-Rohres (23) mit dem Anodenanschluß axial unbeweglich umschließt, so daß das GM-Rohr (23) und die Punktquelle (27) vollständig durch die beiden Teiltuben (21, 22) und den Blendenring (24) eingekapselt sind, wobei der zweite Teiltubus (22) eine Kontaktvorrichtung (59) für die Anode aufweist

und daß die Teiltuben (21, 22) bereichsweise teleskopisch ineinandergreifen, gegeneinander durch eine Feineinstellvorrichtung (39, 41) axial verstellbar und durch eine Blockiervorrichtung (66) fixierbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die teleskopisch ineinandergreifenden Bereichen der Teiltuben (21, 22) ein Feingewinde mit einer Steigung von 0,5 bis 1 mm, vorzugsweise 0,75 mm aufweisen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teiltubus (21) ein Innengewinde (39) und der zweite Teiltubus (22) ein Außengewinde (41) aufweist, auf dem als Blockiervorrichtung ein Konter- Gewindering (66) sitzt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das hintere Ende des GM-Rohres (23) einen koaxialen Schraubsockel (79) mit Außengewinde (83) aufweist, der in ein entsprechendes Innengewinde (57) im zweiten Teiltubus (22) fest eingeschraubt ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine ringförmige Kontaktfeder (102) im Ringspalt zwischen dem Innengewinde (39) des ersten Teiltubus (21) und der ringförmigen Kathode (67) des GM-Rohres (23) federnd kontaktierend angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teiltubus (22) aus Isoliermaterial besteht mit einem koaxialen, nach vorne offenen Sackloch, in dem ein metallischer Ring (53) fixiert ist, der das zur Aufnahme des Schraubsockels (79) vorgesehene Innengewinde (57) aufweist, wobei dieser Ring (53) elektrisch leitend mit einer koaxial im Boden (47 ) des zweiten Teiltubus (22) eingelassenen Kontaktscheibe (59) verbunden ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Verbindungsweg zwischen Ring (53) und Kontaktscheibe (59) der Arbeitswiderstand (61) des GM-Rohres (23) liegt, wobei dieser Arbeitswiderstand (61) in einer Ausnehmung (52) im Zylinderkörper (43) des zweiten Teiltubus (22) angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenring (111) als gesondertes Bauteil ausgebildet ist und koaxial positioniert am ersten Teiltubus (21) anbringbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das GM-Rohr (23) vorne einen kreiszylindrischen Mantelring (89) aufweist, daß hierauf ein Keramik-Mittelteil (76) folgt und hierauf der Schraubsockel (79) folgt und durch den Schraubsockel (79) hindurch der Abpumpstutzen (87) tritt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das GM-Rohr (23) einen Durchmesser von 0,5-1,3 cm, vorzugsweise 0,8 cm hat und mit einem Glimmerfenster (69) mit einem Gewicht von 1,5-0,7 mg/cm², vorzugsweise 1 mg/cm² verschlossen ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenring (11) als gesondertes Bauteil ausgebildet ist und koaxial positioniert am zugehörigen Teiltubus (107) gehalten ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Punktquelle (27) und dem Blendenring (111), unter dem Blendenring ( 111) eine Punktquelle (108) vorgesehen ist, die koaxial ein Loch (109) zum ungestörten Durchtritt der Betastrahlen der Punktquelle (27) hat.