DE3022504C2

DE3022504C2 - Vorrichtung zur Druckmessung

Info

Publication number: DE3022504C2
Application number: DE3022504A
Authority: DE
Inventors: Kenji Yokohama Kanagawa Masaki; Kenji Okamura
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 1979-06-19
Filing date: 1980-06-16
Publication date: 1985-11-14
Also published as: JPS561327A; GB2054864A; US4342230A; DE3022504A1; FR2459465A1; FR2459465B1; GB2054864B

Description

druck Po, dann verschiebt dieser Druck die Membran 16 in Richtung auf die Elektrode 32, so daß der Anschluß 30 diese Elektrode 32 berührt und einen Stromkreis schließt Eine Rückholfeder 35 zum Zurückbewegen des beweglichen Kontaktes 20 in seine Neutralstellung befindet sich in der Kammer 22, und ein Anschlag 37 begrenzt die Bewegung des beweglichen Kontaktes in Richtung auf die Membran 16. Der bewegliche Anschluß 30 bildet mit der Elektrode 32 einen EIN/AUS-Schalter, der entsprechend den Druckschwankungen innerhalb der Druckkammer 14 ein- oder ausschaltet

Wenn die Membran 16 durch einen pulsierenden Luft-, Dampf- oder Flüssigkeits-Druck in der Druckkammer 14 belastet wird, gibt die aus dem Anschluß 30 und der Elektrode 32 gebildete Schaltereinrichtung ein Impulssignal ab. In F i g. 2 ist grafisch die Änderung einer elektrischen Spannung an einem Punkt 38 aufgetragen. Das rechteckige Ausgangs-Impulssignal wird durch die Glättungsstufe 26 so geglättet, daß ein Spannungsmittelwert E_n, gebildet wird, aus dem arithmetisch ein Druck-Mittelwert des pulsierenden Druckes errechnet wird.

Bei dieser herkömmlichen Druckmeßvorrichtung wird durch die Spannung der Einstellfeder 36 der Anfangsdruck der Membran 16 so festgelegt, daß er zwisehen Maximal- und Minimalwerten des zu messenden pulsierenden Druckes liegt Wenn daher der auf die Membran 16 wirkende Druck relativ zu dem eingestellten Anfangsdruck P₀ relativ hoch ist dann fällt die Kontaktschließperiode relativ lang aus, weil die Schließperiode der Kontakte 30/32 dem auf die Membran 16 wirkenden Druck proportional ist Folglich setzt die herkömmliche Druckmeßvorrichtung den Druckwert in eine Zeit um und mißt ein dem zugeführten Druck entsprechendes Zeitintervall, um den Druckwert zu bestimmen. Wenn dabei ein konstanter Druck in der Druckkammer herrscht, bieibi die Membran unterhalb des Anfangsdruckes P₀ in ihrer Neutralstellung, und wenn der Druck ansteigt, in der anderen Endlage. Dabei ist eine Umwandlung des Druckes in ein Zeitintervall und eine Messung dieses Zeitintervalls praktisch unmöglich. Wird in einem anderen Fall ein Druck mit einer geringen Impulsgröße in die Druckkammer eingeleitet, dann ist es ebenfalls unmöglich, einen den Anfangsdruck P₀ übersteigenden Druck festzustellen, folglich kann dieser Druck auch nicht gemessen werden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Druckmeßvorrichtung der genannten Art so zu verbessern, daß in jedem Fall eine genaue und erfolgreiche Druckmessung an einem Medium möglich ist, selbst wenn dieser Druck konstant ist.

Gelöst wird dieses Problem durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchsn angegeben.

Es ist zwar bereits aus der DE-OS 26 30 305 bekannt, an der Druckmembran ein Druckelement anzubringen, das gegen eine schwingende Seite drücken kann. Dadurch wird deren Frequenz verändert, die dann ein Maß für den Druck bildet.

Weiterhin ist es aus der DE-OS 22 12 954 bekannt, Signale über zwei Winkelmeßeinrichtungen an einer Motorwelle und einem Druckgeber im Ansaugrohr zu erzeugen und über ein Integrierglied einer Recheneinheit einzugeben.

Schließlich ist es aus der Zeitschrift ELEKTRONIK 1972, Heft 6, Seite 191 bei einem optischen Wegmeßgerät bekannt, die Ausblendung aus einem Lichtkegel zur Erzeugung von Steuersignalen auszunutzen.

Nachstehend werden einige die Merkmale der Erfindung aufweisende Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf eine Zeichnung, die auch den zuvor gewürdigten Stand der Technik umfaßt näher erläutert Es zeigt

F i g. 1 eine Schnittansicht einer üblichen bekannten Drackmeßvorrichtung,

F i g. 2 eine grafische Darstellung der Beziehung zwischen einem der Vorrichtung von F i g. 1 zugeführten Druck und einem das Meßergebnis darstellenden Ausgangssignal,

F i g. 3 eine Schnittansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Druckmeßvorrichtung zur Messung eines Unterdrucks in einem Venturiabschnitt eines Lufteinlaßkanals eines Brennkraftmotors,

F i g. 4 eine grafische Darstellung der Beziehung zwischen einem der Vorrichtung von Fig.3 zugeführten Unterdruck und einem Schalter-Ein.-.r-haltintervall,

Fig.5(A) bis 5(C) ähnliche D«iStellungen wie in F i g. 2 zur Beziehung zwischen der Schalter-Einschaltzeit und dem vorhandenen Unterdruck, wobei in F i g. 5(A) der höchste, in F i g. 5(B) ein mittlerer and in Fig. 5(C) der geringste Unterdruck herrscht

Fig.ö ein schematisches Schaltbild zu einer Glättungsschaltung des Ausführungsbeispiels von F i g. 3,

F i g. 7 eine grafische Darstellung zu einer Änderung des Ausgangs der Glättungsschaltung von F i g. 6 in Abhängigkeit von dem Unterdruck,

F i g. 8 eine schematische Darstellung eines Schwingungsgenerators in dem Ausführungsbeispiel von Fig. 3,

F i g. 9 eine Schnittansicht eines gegenüber F i g. 3 abgewandelten Ausführungsbeispiels,

Fig. 10 eine Schnittansicht eines dritten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels,

F i g. 11 eine grafische Darstellung zur Änderung des Ausgangs eines in dem Ausführungsbeispiel von P i g. 10 enthaltenen Fototransistors,

Fig. 12(A) bis 12(C) ähnliche grafische Darstellungen wie in F i g. 5,

Fig. 13 ein schematisches Schaltbild einer Verstärker- und Glättungssckaltung in dem Ausführungsbeispiel von F ig. 10, und

Fig. 14 eine grafische Darstellung zur Abhängigkeit des Ausgangs der Glättungsschaltung von F i g. 13 von dem zugeführten Unterdruck.

F i g. 3 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung zur Messung eines Ansaugluft-Unterdrucks in einem Venturiabschnitt. Die Erfindung beschränkt sich aber keineswegs auf diesen Anwendungsfall und/ oder auf die Messung von Unterdruck.

Ein Gehäuse 52 der in F i g. 3 dargestellten Druck-Meßvorrichtung 50 wird durch eine Membran 58 aus einem elastischen Material in eine Druckkammer 54 und eine zweite Kammer 56 unterteilt. In der Druckkammer 54, die über einen Anschlußkanal 62 mit einem Venturiabschnitt 63 eines: Ansaugluftkanals 60 eines Brennkraftmotors verbunden ist, befindet sich eine Stelifcder 64 zur Bestimmung einer Ausgangsposition der Membran 58 und somit zur Einstellung eines Anfangsdruckes. Sobald der Wert des in die Druckkammer 54 eingeführten Unterdrucks den eingestellten Anfangswert überschreitet, bewegt sie'., die Membran in Richtung auf die Druckkammer 54 bis zur Herstellung eines Ausgleichs oder bis eine Nase 59 einen Anschlag 61 berührt
Mit der Membran 58 bewegt sich ein darauf befestie-

ter und der Kammer 56 zugekehrter Kontakt 66. Gegenüber dem Kontakt 66 befindet sich ein zweiter Kontakt 68, der auf einem elastischen Arm 70 angebracht ist, welcher seinerseits an einem Stützklotz 74 auf der Innenseite des Gehäuses 52 befestigt und mit seinem ge- genüberliegenden Ende mechanisch mit einem Schwingungsgenerator 72 verbunden ist, welcher den Arm 70 so in Schwingungen versetzt, daß der Kontakt 68 gegenüber dem Kontakt 66 schnell heran- und fortbewegt wird. Die einen EIN/AUS-Schalter 74 mit bestimmter Schaltfrequenz bildenden Kontakte 66, 68 sind elektrisch an eine Rechenschaltung 76 angeschlossen, welche das EIN-Schaltintervall des Schalters 74 mißt und auf der Grundlage dieses gemessenen Zeitraumes den Wert des in der Druckkammer 54 herrschenden Unterdrucks bestimmt

Ein Unterdruck in der Kammer 54 verursacht eine Bewegung der Membran in Richtung auf die Druckkammer, und dabei ciuspriciu der von der Membran zurückgelegte Weg dem Wert des Unterdrucks. Diese Bewegung trennt den Kontakt 66 von dem zweiten Kontakt 68, so daß der Abstand zwischen den beiden Kontakten 66,68 dem Wert des Unterdrucks entspricht. Wenn sich der Kontakt 68 auf dem Arm 70 mit einer konstanten Schwingung gegenüber dem Kontakt 66 heran- und fortbewegt, dann ist das Berührungszeitintervall zwischen den Kontakten 68, 66 dem Abstand zwischen den Kontakten 66 und 68 umgekehrt proportional. Die Abhängigkeit des Schalter-Einschaltzeitintervalls der Kontakte 66, 68 von dem Wert des Unter- drucks ist in F i g. 4 dargestellt, und in F i g. 5(A) bis 5(C) ist in Fig.2 ähnlichen grafischen Darstellungen das Schalter-Ausgangssignal für einen relativ hohen, einen mittleren und einen relativ niedrigen Unterdruckwert aufgetragen. Bei einem relativ hohen Unterdruckwert gemäß F i g. 5(A) ist der Abstand zwischen den Kontakten 66. 68 relativ groß, folglich muß der Einschaltzeitraum der Kontakte 66,68 relativ kurz sein. Dagegen ist bei einem niedrigen Unterdruckwert der Abstand zwischen den Kontakten 66, 68 relativ klein, folglich wird das Einschaltzeitintervall der Kontakte relativ lang sein, siehe F ig. 5(C).

Die Rechenschaltung 76 ermittelt das Zeitintervall, über den der Schalter 74 durchgeschaltet ist und leitet, und aus den Änderungen dieses Zeitraumes werden die Druckänderungen ermittelt Ein in F i g. 6 dargestelltes Ausführungsbeispiel der Rechenschaltung 76 arbeitet als Glättungsschaltung und besteht aus einem Kondensator 80, einer Batterie 82 und einem Widerstand 84. Wenn der Rechenschaltung 76 eine elektrische Ladung zugeführt wird, gßttet sie diese und gibt einen konstanten Ausgang E_n, ab, welcher dem Meßwert des in der Druckkammer 54 herrschenden Unterdrucks entspricht In F i g. 7 ist die Relation zwischen dem im Venturiabschnitt 63 vorhandenen und in die Druckkammer 54 eingeführten Unterdruck und dem Ausgang E_n, der Rechenschaltung 76 aufgetragen. Dieser Ausgangswert E_m der Rechenschaltung 76 kann als Grundlage für eine Steuerung oder Regelung der in einem Abgasrezirkulationssystem rückgeleiteten Abgasmenge, des Zündzeit- ω punktes in einem elektrischen Zündsystem und/oder der Ansaugluftmenge in einem System zur Steuerung des Ansaugluftdurchsatzes dienen.

Ein in Fig.8 dargestelltes Ausführungsbeispiel für einen in der erfindungsgemSßen Druckmeßvorrichtung verwendeten Schwingungsgenerator 72 enthält einen einseitig an einem Stützklotz 74 befestigten elastischen Arm 70, an dessen freiem Ende ein Magnetanker 86 befestigt ist Ein dem Magnetanker 86 gegenüberliegender Elektromagnet 88 ist mit einer Batterie 90 elektrisch verbunden. Dem aus einem elektrisch leitenden Material hergestellten und über eine Leitung 94 geerdeten elastischen Arm 70 ist ein elektrisch mit dem Elektromagneten 88 verbundener Kontakt 89 zugekehrt Im Betrieb dieses einer elektrischen Klingel ähnlichen Schwingungsgenerators wird der aus Batterie 90, Elektromagnet 88, Kontakt 89, Arm 70 und Leitung 94 bestehende Stromkreis abwechselnd unterbrochen und geschlossen und der Elektromagnet 88 intermittierend entregt und erregt, so daß der Arm 70 schwingt, dabei abwechselnd den Kontakt 89 berührt und den in seiner Mitte befestigten zweiten Kontakt 68 des Schalters relativ zu dem Kontakt 66 heran- und fortbewegt.

Das in Fig.9 dargestellte Ausführungsbeispiel der Erfindung umfaßt teilweise die gleichen Elemente wie das Ausführungsbeispiel von F i g. 3, unterscheidet sich aber im wesentlichen von jenem durch die Verwendung eines hohlen Faltenbalgs 96 als Druckkammer 98. Die Druckkammer 98 in dem Faltenbalg 96 steht Ober den Anschlußkanal 62 mit einem Druck oder Unterdruck in Verbindung. Einem außen am Boden des Faltenbalgs befestigten Kontakt 66 liegt der an dem elastischen Arm 70 befestigte zweite Kontakt 68 gegenüber. Der an der Wand des Gehäuses 52 befestigte Arm 70 gehört zu dem Schwingungsgenerator 72, welcher im wesentlichen dta gleichen Aufbau wie das zuvor in Verbindung mit Fig.8 beschriebene Ausführungsbeispiel hat und dementsprechend ferner eine Batterie 90, einen Elektromagneten 88, einen Magnetanker 86 und einen Kontakt 89 besitzt Beide Kontakte 66 und 68 sind elektrisch an eine Rechenschaltung 76 angeschlossen.

Bei Anschluß der Druckkammer 98 in dem Faltenbalg 96 an einen Unterdruck zieht sich der Faltenbalg zusammen und entfernt den Kontakt 66 von dem zweiten Kontakt 58. Der Abstand zwischen den Kontakten 66, 68 entspricht der Größe des Unterdruckes. Wenn im Betrieb der Arm 70 schwingt, berühren sich die Kontakte 68, 66 intermittierend, und die Rechenschaltung 76 ermittelt das Schließzeitintervall der Kontakte 66,68.

Bei dem in F i g. 10 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird der Innenraum eines Gehäuses 102 durch eine Membran 108 in eine Druckkammer 104 und eine zweite Kammer 106 unterteilt Ein zu messender Druck wird über einen Kanal 110 in die Druckkammer 104 eingeführt In den Mittelbereich der Membran 108 ist eine Vertiefung 112 und innerhalb der Vertiefung eine Aufwölbung 114 in Gegenrichtung eingeformt Durch eine Feder 117 wird eine die Vertiefung 112 bedeckende Deckplatte 116 gegen die Membran 108 gedruckt Diese Feder dient ferner zur Festlegung einer Ausgangsposition der Membran und damit zur Einstellung eines Anfangsdruckes der Druckmeßvorrichtung 100.

Am inneren Umfang der Aufwölbung 114 sind einander gegenüberliegend eine Leuchtdiode (LED) 118 und ein Fototransistor 120 angeordnet Ein mit einem Ende an einem Stützteil 128 im Innern des Gehäuses 102 befestigter elastischer Arm 124 eines Schwingungsgenerators 126 trägt in seiner Mitte eine Unterbrecherplatte 122. Der Schwingungsgenerator 126 umfaßt ferner eine Batterie 130, einen Elektromagnet 132 und einen am Ende des Arms 124 befestigten Magnetanker 134. Die Leuchtdiode 118 und der Fototransistor 120 sind elektrisch an eine Rechenschaltung 136 angeschlossen.

Ein in die Druckkammer 104 eingeführter Unterdruck zieht die Membran 108 und somit auch die Leuchtdiode

118 und den Fototransistor 120 in Richtung auf die Druckkammer 104. Der schwingende Arm 124 bewegt die Unterbrecherplatte 122 intermittierend in und aus der Aufwölbung 114, und dabei wird das von der Leuchtdiode 118 ausgehende Licht fortlaufend unterbrochen. Dabei wird sich das Unterbrechungs-Zeitintervall entsprechend der Relativposition der aus den EIeme'i-en 118 und 120 bestehenden Lichtschranke ändern. Fig. ',1 zeigt die Abhängigkeit des Fototransistor-Betriebszeitintervalls (des Zeitraumes, wo der Fototransistör 120 Licht von der Leuchtdiode 118 >:mpfängt) von dem Weit des Unterdrucks in der Druckkammer 104. Gemäß Fig. 11 besteht eine proportionale Abhängigkeit des Betriebszeitintervalls von dem Unterdruck. Mit anderen Worten: Das Intervall ist eine lineare Funktion des negativen Gradienten positiven Druckes.

In den Fig.] 2(A) bis 12(C) ist grafisch die Beziehung zwischen dem Unterdruck in der Druckkammer 104 und der Rechs"sch2!t'jn** 136 dsr

gestellt.

In Fig. 12 steigt der Ausgang der Rechenschaltung 136 mit dem Ansteigen des Druck- bzw. Unterdruck-Wertes. Zum besseren Verständnis der druckabhängigen Ausgangswerte vergleiche man F i g. 12 mit F i g. 5.

Ein in F i g. 13 dargestelltes Ausführungsbeispiel einer Rechenschaltung 136 besteht aus einem Operationsverstärker 140 und einer Glättungsstufe 142. Die Rechenschaltung 136 setzt den in Form eines Impulssignals vorliegenden Ausgang der Druckmeßvorrichtung durch Verstärken und Glätten in ein konstantes Analogsignal um dessen Relation zu dem in der Meßvorrichtung herrschenden Unterdruck in F i g. 14 grafisch dargestellt ist.

Hierzu 8 Blatt Zeichnungen

40

45

50 ξ

55

60

65

Claims

1 2 und wieder freigebendes elektromagnetisches Patentansprüche: Element (132) umfaßt.

1. Vorrichtung zur Druckmessung mit 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,

5 dadurch gekennzeichnet, daß das Schalterelement

— einer Druckkammer (54), als optischer Schalter mit einer Leuchtdiode (118)

— einer einen Teil der Druckkammer (54) bilden- und einem Fototransistor (120) ausgebildet ist den, vom in der Druckkammer (54) herrschenden Druck bewegbaren Membran (58),

— einen in die Druckkammer (54) mündenden An- io
schlußkanal (62),

— einem Wandler, der Druck in ein Zeitintervall Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Druckumwandelt, in dessen Verlauf Strom durch eine messung mit einer Druckkammer, einer einen Teil der Meßschaltung fließt, und der eine Steuersignal- Druckkammer bildenden, vom in der Druckkammer erzeugereinrichtung mit separaten ersten und 15 herrschenden Druck bewegbaren Membran, einem in zweiten Schalterteilen aufweist, von denen das die Druckkammer mündenden Anschlußkanal, einem erste an der Membran (58) befestigt ist und sich Wandler, der Druck in ein Zeitintervall umwandelt, in relativ zum zweiten Schalterteil heran- oder dessen Verlauf Strom durch eine Meßschaltung fließt fortbewegt, so daß die Signalcrzcugercin/ich- und der eine Steuersignalerzeugereinrichtung mit sepatung unterhalb eines Zeitintervalls, während 20 raten ersten und zweiten Schalterteilen aufweist, von dem die beiden Schalterteile eine gegebene Re- denen das erste an der Membran befestigt ist und »Ich lativposition einnehmen, ein elektrisches Signal relativ zum zweiten Schalterteil heran- und fortbewegt, abgibt, und mit so daß die Signalerzeugereinrichtung innerhalb eines

— einer Rechenschaltung (76) zum Errechnen ei- Zeitintervalls, während dem die beiden Schalterteile eines auf dem von der Signalerzeugereinrichtung 25 ne gegebene Relativposition einnehmen, ein elektriabgegebenen Signal basierenden Druckes, sches Signal abgibt, und mit einer Rechenschaltung zum

Errechnen eines aüi dem von der Signalerzeugereindadurch gekennzeichnet, daß richtung abgegebenen Signals basierenden Druckes.

Eine Vorrichtung dieser Art ist beschrieben in dem

— das zweite Schalterteil (68) durch einen Schwin- 30 älteren Patent... (Patentanmeldung P 28 56 327). Dort gungsgeaerator (72) in regelmäßigen Interval- besteht das eine an der Membran befestigte Schaltteil len und mit konstanter Weite relativ zum ersten aus einem Permanentmagneten, der von einer fest ange-Schalte.-teil (66) heran- oder fortbewegbar ist ordneten Spule umgeben ist Bei periodischen Druckveränderungen taucht der Permanentmagnet jeweils

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 35 mehr oder weniger in die Spule ein und je nach dem zeichnet daß die Schaltereinrichtung des Wandlers erzeugten Bewegungsablauf erhält man eine Impulsfoleine erste Einheit mit einem Leuchtelement (118) ge mit unterschiedlicher Impulsbreite und über ein Inte- und einem davon getrennten lichtempfindlichen EIe- grationsglied eine höhere oder niedrigere Spannung, die ment (120), die beide sich gegenüberliegend an der ein Maß für den gemessenen Druck fci

Membran (108) befestigt sind, und eine zweite Ein- 40 Diese Vorrichtung spricht unterhalb eines bestimmheit mit einem durch einen Spalt zwischen dem ten, durch eine Druckfeder vorgegebene Vorspannung

Leuchtelement und dem lichtempfindlichen Element nicht an und oberhalb eines bestimmten Druckes wird

sowie relativ zu der ersten Einheit in im wesentli- eine konstante Spannung erzeugt, die dann nicht mehr

chen regelmäßigen Intervallen und mit konstanter druckabhängig und somit kein Maß mehr für den Druck

Weite bewegbaren Trennelement (122) zum inter- 45 ist

mittierenden Unterbrechen des den Spalt durchset- Eine in F i g. 1 der Zeichnung schematisch dargestell-

zenden Lichtes umfaßt. te andere Ausführungsform einer in der genannten Lite-

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- raturstelle beschriebenen Druckmeßvorrichtung der zeichnet, daß die Membran (58; 10) sich so über den eingangs genannten Art enthält in ihrem Gehäuse 12 Innenumfang des Gehäuses (52; 102) erstreckt, daß 50 eine flexible und/oder elastische Membran 16, durch die sie den Gehäuseinnenraum in eine Druckkammer eine Druckkammer 14 gebildet wird, weiche über einen (54; 104) und eine zweite Kammer unterteilt Arschlußkanal 18 an ein Medium wie Luft, Dampf oder

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, Flüssigkeit angeschlossen ist, dessen Druck gemessen dadurch gekennzeichnet, daß die Membran von ei- werden soll. In einer ebenfalls durch die Membran 16 nem hohlen zylindrischen Balg (96) getragen ist und 55 und den Umfang des Gehäuses 12 gebildeten zweiten steh über diesen erstreckt welcher selbst die Druck- Kammer 22 befindet sich ein beweglicher elektrischer kammer bildet und in das Innere des Gehäuses (52) Kontakt 20, der an einer außen liegenden Stelle mit eingesetzt ist. einer Elektrode 24 verbunden ist, die durch eine öff-

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, nung 28 in dem Gehäuse zu einer Glättungsstufe 26 dadurch gekennzeichnet, daß 60 führt. Der aus einem elastischen und elektrisch leitenden

Material bestehende bewegliche Kontakt 20 trägt in

— der Schwingungsgenerator einen elektrisch lei- seiner Mitte einen beweglichen Anschluß 30, dem eine tenden und elastischen Arm (124), auf dem die durch eine öffnung 34 durch das Gehäuse 12 geführte zweite Einheit befestigt ist, zweite Elektrode 32 gegenüberliegt.

— ein an einem Ende des Armes befestigtes ma- 65 In der Druckkammer befindet sich eine Einstellfeder gnetisches Element(134) und 36 zur Belastung der Membran 16 mit einer einem An-

— ein dem magnetischen Element (134) gegen- fangsdruck P₀ entsprechenden Kraft. Steigt der über überliegendes und dieses zyklisch treibendes den Kanal 18 zugeführte Druck über diesen Anfangs-