DE3003133A1

DE3003133A1 - Vorrichtung zur untersuchung von maengeln an mustern

Info

Publication number: DE3003133A1
Application number: DE19803003133
Authority: DE
Inventors: Spaeter Genannt Werden Wird
Original assignee: Hajime Industries Ltd
Current assignee: Hajime Industries Ltd
Priority date: 1979-02-01
Filing date: 1980-01-29
Publication date: 1980-08-07
Also published as: GB2043884A; DE3003133C2; CA1126854A; GB2043884B; FR2448147B1; US4330712A; FR2448147A1

Description

Di pi.-I ng. H. MITSCHERLFCH D-8000 MÖNCHEN 2 2

Dipl.-lng. K. GUNSCHMANN Steinsdorfstraße 1Q

Dr. re r. not. W. KÖRBER & ⁽⁰⁸⁹> * ^{29 66 84} Dipl.-Ing. J. SCHMIDT-EVERS
PATENTANWÄLTE

HAJIME INDUSTRIES LTD.
Kudan Sanzen Building,
2-5-9 Kudanminami, Chiyoda-ku
Tokio / Japan

Vorrichtung zur Untersuchung von Mängeln an Mustern

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Untersuchung von Mängeln an Mustern von untersuchten Objekten.

Bei der Herstellung von Halbleitern oder gedruckten Schaltungsplatten ist es üblich, eine Photomaske zu verwenden, die ein bestimmtes Muster enthält. In diesem Fall verursacht ein Mangel an dem Muster der Photomaske das Auftreten von Ausschußprodukten, und daher ist die Untersuchung auf Mähgel an dem Muster der Photomaske ein wichtiger Prozeß. Ein Beispiel für eine Vorrichtung nach dem Stand der Technik iür Untersuchung von Mängeln an Mustern wird nachfolgend anhand der Figuren 1, 2 und 3 erläutert.

Die Figuren 1 und 2 zeigen einen Abschnitt einer Photomaske, die durch ein Mikroskop vergrößert ist. In den Zeichnungen bezeichnen die Bezugszeichen 1 und 1' Photomasken, die mit durchsichtigem Material wie Glas oder dgl. aufgebaut sind, die Bezugszeichen 2 und 2' zeigen allgemein ein Muster, das beispielsweise mit verdampfteft Metall oder dgl. auf den Photomasken 1 und 1' gebildet ist, das Bezugszeichen 3 bezeichnet den durchsichtigen Abschnitt der durchsichtigen Grundplatte der

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Photomasken i und 1' und das Bezugszeichen 4 den durch das. aufgedampfte Material nicht transparenten oder undurchsichtigen Abschnitt. In Figur 2 sind A und B Stellen, an denen das verdampfte Material unnötigerweise verbleibt, und C und D sind Stellen, an denen das notwendige Aufdampfmaterial fehlt. Dementsprechend ist die Photomasice 1', welche das in Figur 2 gezeigte Muster 2' aufweist, ein Ausschußprodukt. Andererseits ist die in Figur 1 gezeigte Photomaske 1 ein vollständiges, normales Produkt.

Um die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Photomaske 1 oder 1' nach dem Stand der Technik zu untersuchen, wie beispielsweise in Figur 3 gezeigt, wird eine Standardmaske 6, welche ein vollständiges Muster aufweist (zum Beispiel das in Figur 1 gezeigte Muster 2), auf eine vorgegebene Stelle auf einer transparenten Unterlage 5 aufgelegt, wogegen eine Maske 7, welche zu untersuchen ist (zum Beispiel die mangelhafte Maske, wie in Figur 2 gezeigt), auf eine andere vorgegebene Stelle

/wird

auf die Unterlage 5 gelegt:, wo beide durch ein Binokularmikroskop 8 beträchtet werden. In Figur 3 bezeichnen die Bezugszeichen 9 und 10 Objektivlinsen für die Standardmaske 6 sowie auch für die untersuchte Maske 7, die Bezugszeichen 11 und 12 bezeichnen entsprechende Spiegel für beide Masken 6 und 7, die Bezugszeichen 13 und 14 bezeichnen halbdurchlässige Spiegel für die Masken 6 und 7, 15 ist ein gemeinsames Okular, 16 ist die Lichtquelle wie beispielsweise ein Rotlicht, das die Standardmaske 6 bestrahlt, und 17 ist eine andere Lichtquelle, die beispielsweise ein grünes Licht ausstrahlt, welches die Komplementärfarbe zu Rot ist, und welches die untersuchte Maske 7 bestrahlt. Daher verlaufen die Lichtstrahlen, die von den Lichtquellen 16 und 17 ausgestrahlt werden, durch die Unterlage 5, die Masken 6 und 7, die Linsen 9 und 10, die Spiegel 11 und 12, die halbdurchlässigen Spiegel 13 und 14 und verlaufen weiter durch die Linse 15 des Binokularmikroskops 8, um in dem beobachtenden Auge -18 ein Bild zu formen,

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das die Untersuchung der Maske ermöglicht. Falls die untersuchte Maske einen Mangel aufweist, wie beispielsweise bei den Stellen A und B- in Figur 2 gezeigt, wird das grüne Licht, das von der Lichtquelle 17 ausgestrahlt wird, durch diese Stellen A und B abgeschirmt, so daß. nur das rote Licht, welches von der Lichtquelle 16 abgestrahlt wird, an dem beobachtenden Auge 18 ankommt, und folglich'erscheinen diese Stellen A und B in roter Farbe. Andererseits wird an den Stellen C und D das rote Licht von der Lichtquelle 16 abgeschirmt, und nur das grüne Licht von der Lichtquelle 17 kommt an dem beobachtenden Auge 18 an, so daß diese Stellen C und D in grüner Farbe erscheinen. Für die anderen Abschnitte, welche dem durchsichtigen Bereich 3 entsprechen, kommen die von den Lichtquellen 16 und 17 ausgestrahlten roten beziehungsweise grünen Lichtstrahlen an dem beobachtenden Auge 18 gleichzeitig an, und dementsprechend erscheinen diese Abschnitte allgemein als Weiß, und bezüglich des undurchsichtigen Abschnitts 4 werden sowohl die grünen als auch die roten Lichtstrahlen abgeschirmt und gehen nicht durch, weshalb dieser Abschnitt allgemein schwarz erscheint. Mit anderen Worten: wenn das gesamte Bild weiß oder schwarz erscheint, ist kein Mangel* an der untersuchten Maske 7 vorhanden, wogegen, wenn auch nur eine leichte Schattierung von roter oder grüner Farbe erscheint, die untersuchte Maske 7 einen Mangel enthält.

Diese Vorrichtung nach dem Stand der Technik zur Untersuchung von Mangeln an Mustern hat den Nachteil, daß der untersuchte Gegenstand durchsichtig sein muß, und da mit dem menschlichen Auge Stück für Stück untersucht werden muß, wird eine teure Farbfernsehkamera erforderlich, um diesen Untersuchungsprozeß zu automatisieren.

Daher ist ein Gegenstand der Erfindung die Schaffung einer Vorrichtung zur Untersuchung von Mangeln an Mustern, welche die Verwendung einer teuren Farbfernsehkamera vermeidet, und

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welche unter Verwendung einer billigen Schwarz/Weiß-Fernsehkamera die Untersuchung von Mängeln an einem untersuchten Objekt automatisch durchführt.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Untersuchung von Mängeln an Mustern geschaffen, mit einer Fernsehkamera, die ein Objekt mit einem zu untersuchenden Muster aufnimmt, welche Vorrichtung gekennzeichnet ist durch ein Prüfgerät, das ein Ausgangssignal von der Fernsehkamera erhält, um das Objekt zu untersuchen, eine optische Maske mit einem Referenzmuster, das aus undurchsichtigem Material und durchsichtigem Material besteht und als Referenz zur Untersuchung von Mängeln des Objektes dient, sowie eine Einrichtung zum Halten der optischen Maske zwischen der Fernsehkamera und dem Objekt auf einer optischen Achse der Fernsehkamera, derart, daß die Muster des Objekts und der optischen Maske auf der optischen Achse der Fernsehkamera miteinander zur Deckung gebracht werden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen beschrieben.

Die Figuren 1, 2 und 3 zeigen schematische Diagramme zur

Erläuterung einer herkömmlichen Vorrichtung zur Untersuchung von Mängeln an Mustern; und

die Figuren 4 und 5 zeigen schematische Darstellungen entsprechender -=■ Ausführung s form en.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel mit den oben erwähnten Merkmalen anhand von Figur 4 beschrieben.

In Figur 4 bezeichnet das Bezugszeichen 20 ein zu untersuchendes Objekt wie beispielsweise eine gedruckte Schaltungsplatte oder dgl., weBche aus einem Grundmaterial oder einer Grund-

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platte 21 besteht sowie aus einem Muster 22, das auf der Grundplatte 21 zum Beispiel durch Aufdampfen von Metall gebildet ist. Ferner bezeichnet das Bezugszeichen 23 allgemein ein Stadard- oder Bezügsobjekt oder eine optische Referenzmaske für das zu Untersuchende Objekt, welche auf einer durchsichtigen Grundplatte 24 wie zum Beispiel Glas aufgebaut ist und mit einem Standardmuster 25 versehen ist, das auf der Grundplatte 24 durch Verdampfungsmaterial wie zum Beispiel Metall gebildet ist. Während in diesem Fall die Farbe des Materials, daß das Muster 25 auf der durchsichtigen Grundplatte 24 der optischen Maske 23 bildet, gleich der Farbe der Grundplatte 21 des Objekts 20 gewählt ist, ist es erforderlich, daß sich diese Farbe von der Farbe des Materials unterscheidet, das das Muster 22 auf der Grundplatte 21 bildet.

Nachfolgend wird für den Fall, daß das Grundmaterial oder die Platfce 21 des untersuchten Objekts 2.0 undurchsichtig ist, die Untersuchung von Mängeln wie beispielsweise "Graten" oder "Fäden (Haaren)" des Musters 22 beschrieben, welche auf dem untersuchten Objekt 20 überschüssig sind.

Zunächst werden das oben«ftrttlhnte Muster 22 auf der Grundplatte 21 des untersuchten Objekts 20 und das Muster 25 auf der durchsichtigen Grundplatte 24 des Standardobjekts 23 so aufgelegt, daß beide Muster 22 und 25 bei der Lichtachse einer Fernsehkamera 30 übereinander liefen, zum Beispiel in der in Figur 4 gezeigten Reihenfolge. Eine Lichtquelle 40 wird, wie in der Zeichnung gezeigt, angeordnet, durch welche das Standardobjekt 23 von der Seite der Fernsehkamera 30 bestrahlt wird. Dann werden das Standardobjekt 23 und das Objekt 20 durch die Fernsehkamera 30 aufgenommen. Wenn nun angenommen wird, daß das Muster 22 des untersuchten Objekts 20 ein vollständiges Produkt ist, ist das Licht, welches in die Fersehfcamera 30 eintritt, derartiges Licht, welches von der Licht-

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quelle 40 emittiert wird, durch die durchsichtige Grundplatte 24 des Standardobjekts 23 hindurchgeht an Stellen, wo kein undurchsichtiges Material oder Muster 25 aufgedampft ist, an der Oberfläche des Grundmaterials 21 reflektiert wird bei dem Abschnitt, wo das zu untersuchende Muster 22 nicht vorhanden ist, und wieder durch die oben erwähnte durchsichtige Platte 24 hindurchgeht, sowie auch ein Lichtstrahl von der Lichtquelle 40, welcher an der Oberfläche des Materials reflektiert wird, welches das Muster 25 bildet (in Figur 4 sind das unterauchte Objekt 20 und das Standardobjekt 23 auf der Lichtachse der Fernsehkamera 30 voneinander entfernt angeordnet, aber bei der praktischen Anwendung sind beide allgemein in Kontakt miteinander). Dementsprechend ist in dem obigen Fall das Licht, welches in die Fersehkamera 30 eintritt, im wesentlichen auf Licht gleicher Farbe beschränkt, und folglich wird das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 ein über die gesamte Oberfläche einheitliches Signal. Wenn das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 über die gesamte Oberfläche einheitlich ist, ist daher das untersuchte Objekt 20 ein vollständiges Produkt.

Wenn jedoch ein überschüssiger "Grat" oder "Faden" oder dgl. als Mangel an Abschnitten auftreten, welche das Muster 22 auf dem Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts 20 bilden, wird das Licht von der Lichtquelle 40 außer von der Oberfläche des Grundmaterials 21 auch an dem defekten Abschnitt reflektiert und tritt dann in die Fersehkamera 30 ein. Wie oben erwähnt, ist die Farbe des Materials, welches das Muster 22 auf dem Grundmaterial- 21 bildet, unterschiedlich gewählt zu der Farbe des Materials, welches das Muster 25 auf dem Grundmaterial 24 bildet, so daß bei Auftreten eines Mangeil wie beispielsweise eines Grates oder Fadens an dem zu untersuchenden Muster 22 das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 nicht einheitlich ist, da verschiedene Farben in die Fernsehkamera 30 gelangen und folglich an dem den Mängeln ent-

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sprechenden Stellen eine Variation in dem Signalpegel bewirkt wird. Anders ausgedrückt ist das untersuchte Objekt 20 ein mangelhaftes Produkt, wenn in dem Ausgangssignal der Fernsehkamera 30 eine Pegeländerung eintritt. Dementsprechend kann ein gutes von einem schlechten Objekt unterschieden werden, wenn das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 einem Prüfgerät 50 wie beispielsweise einer Differenzierschaltung, einem Pegelkomparator oder dgl. zugeführt wird.

In der Zeichnung bezeichnet das Bezugszeichen 60 ein optisches Filter, welches vor der Fernsehkamera 30 angeordnet wird, so daß der Mangelabschnitt von den umgebenden Abschnitten deutlicher unterschieden werden kann.

Wenn das Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts 20 durchsichtig ist, kann, falls eine ReflßKionsplatte 70 mit der gleichen Farbe wie das Material, welches das Muster 25 bildet, aber mit einer von der Farbe des Materials, welches das Muster 22 bildet, verschiedenen Farbe unter dem Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts 20 angebracht wird (in der Zeichnung sind das Grundmaterial 21 und die Reflexionsplatte 70 als voneinander entfernt dargestellt, aber bei der tatsächlichen Anwendung sind sie allgemein in Kontakt), die Untersuchung von Mängeln an dem untersuchten Objekt 20 durch die Fernsehkamera 30 auf die gleiche Weise durchgeführt werden, wie oben erwähnt.

In diesem Fall kann eine ähnliche Untersuchung durchgeführt werden, wenn anstelle der Installation der Beflßxionsplatte 70 die Lichtquelle 40 in der Zeichnung unter dem untersuchten Objekt 20 angeordnet wird.

Figur 5 zeigt eine andere Ausführungsform, bei welcher die gleichen Bezugszeichen wie in Figur 4 die gleichen Elemente bezeichnen. In dieser Ausführungsform ist das Standardobjekt

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23 für das untersuchte Objekt 20 ebenfalls aus einer durchsichtigen Grundplatte 24 wie beispielsweise Glas oder dgl. sowie dem Standardmuster 25 gebildet. In diesem Fall sind die optischen Charakteristiken des Standardmusters 25 im Unterschied zur Ausführungsform der Figur 4 völlig unterschiedlich denen des Untersuchungsmusters 22 auf dem Grundmaterial 21 gewählt. Beispielsweise ist es so eingerichtet, daß bei dem Abschnitt auf der transparenten Grundplatte 24, welcher dem Verdampfungsmaterialmuster 22 (wie beispielsweise undurchsichtiges Material) auf der Grundplatte 21 entspricht, kein Verdampfungsmaterial für das Muster 25 vorhanden ist (dementsprechend ist der entsprechende abschnitt auf der durchsichtigen Grundplatte 24 durchsichtig, und anders ausgedrückt ist die Beziehung zwischen den beiden die gleiche wie zwischen einem Positiv und einem Negativ). Ferner ist es wünschenswert, die Farbe des Materials, welche das Muster 22 auf der Grundplatte 21 bildet, gleich der Farbe des Materials zu wählen, welches das Muster 25 auf der durchsichtigen Grundplatte 24 bildet, wogegen es erforderlich ist, daß die Oberflächenfarbe des Grundmaterials 21, auf welchem das Muster 22 gebildet ist, sich von der ersteren Mustermaterialfarbe unterscheidet.

Die Untersuchung von Mangeln wie Sprüngen oder Öffnungen in dem Objekt 20 durch das in Figur 5 gezeigte Ausführungsbeispiel wird erläutert für den Fall, daß das Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts nicht transparent oder undurchsichtig ist. Zunächst werden,wie oben im Zusammenhang mit Figur 4 erwähnt, das Muster 22 auf dem Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts 20 und das Muster 25 auf der transparenten Grundplatte 24 des Standardobjekts 23 so angeordnet, daß die Muster 22 und 25 in derselben Beziehung sind, wie ein Positiv und ein Negativ, beispielsweise auf der optischen Achse der einfarbigen Fernsehkamera 30 beispielsweise in der in der Zeichnung angedeuteten Reihenfolge. Dann wird auch die Lichtquelle 40 angeordnet/Wie in der Zeichnung gezeigt, durch

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welche das Standardobjekt 23 von der Seite der Fernsehkamera 30 bestrahlt wird. Dann werden das Standardobjekt 23 usw. durch die Fernsehkamera 30 aufgenommen. Wird nun angenommen, daß das Muster 22 des untersuchten Objekts 20 ein vollständiges Produkt ist, sind die Lichtstrahlen, welche in die Fernsehkamera 3(Jae±ntreten, nur diejenigen Lichtstrahlen, von denen einer von der Lichtquelle 40 kommend an dem undurchsichtigen Material des Musters 25 auf der durchsichtigen Grundplatte des Standardobjekts 23 reflektiert wird, und von denen der andere durch die Abschnitte der durchsichtigen Grundplatte 24 hindurchgeht an den Stellen, dn denen kein Material vorhanden ist, welches das Muster 25 bildet, dann an dem Material reflektiert wird, welches das Muster 22 auf dem Grundmaterial 21 bildet, und schließlich wieder durch den durchsichtigen Abschnitt der Grundplatte 24 hindurchgeht (Figur 5 zeigt einen Zwischenraum zwischen dem untersuchten Objekt 20 und dem Standardobjekt 23 auf der optischen Achse der Fernsehkamera 30, aber bei der praktischen Anwendung sind beide Platten allgemein iffl Kontakt miteinander angeordnet) . -'Dementsprechend ist das Licht, das in die Fernsehkamera 30 eintritt, allgemein Licht von nur einer Farbe, und das Ausgangssignal von der Kamera ist ein einheitliches Signal. Anders ausgedrückt ist das untersuchte Objekt 20 ein vollständiges Produkt, wenn das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 über die gesamte untersuchte Oberfläche gleichförmig ist.

Wenn jedoch ein Riß, eine Öffnung oder dgl. als Mangel vorhanden ist an dem Material, welches das Muster 22 auf dem Grundmaterial 21 des untersuchten Objekts 20 bildet, geht der Lichtstrahl von der Lichtquelle 40 durch einen solchen mangelhaften Abschnitt des Musters 22 hindurch, wird an dem Grundmaterial 21 reflektiert und tritt dann in die Fersehkamera 30 ein. Die Oberflächenfarbe des Grundmaterials 21 des Objekts 20 wird unterschiedlich zu der Farbe des Materials

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gewählt, welches die Muster 22 und 25 bildet, so daß bei Vorhandensein eines Risses, einer Öffnung oder dgl. an dem untersuchten Muster 22 das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 nicht gleichförmig ist und im Pegel gestört wird an den Stellen, welche dem Mangel entsprechen. Mit anderen Worten ist ein Mangel an dem untersuchten Objekt 20 vorhanden, wenn eine Pegeländerung oder Variation in dem Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 auftritt. Daher kann ähnlich wie bei der Ausführungsform von Figur 4 die gute oder schlechte Qualität des untersuchten Objekts unterschieden werden, wenn das Ausgangssignal von der Fernsehkamera 30 dem Prüfgerät 50 zugeführt wird.

In den obigen Ausführungsformen besteht die optische Maske oder das Standardobjekt 23 aus der durchsichtigen Grundplatte 24, und die Grundplatte 24 ist mit dem Referenzmuster 25 beschichtet oder bedampft, aber es kann natürlich eine optische Maske verwendet werden, welche aus durchsichtigem Material und undurchsichtigem Material hergestellt ist, um ein einfaches Referenzmuster zu bilden.

Ferner können, während die Lichtquellen in den oben erwähnten Ausführungsbeispielen an der Seite der Fernsehkamera 30 angeordnet sind, Vielfachlichtquellen oder ein halbdurchlässiger Spiegel oder dgl. verwendet werden, um nach Bedarf die Höhenachse der Lichtquelle und die optische Achse in Übereinstimmung zu bringen.

Es erübrigt sich zu sagen, daß , obwohl nicht in der Zeichnung angedeutet, bei Bedarf einer Antriebseinrichtung vorgesehen ist, welche das untersuchte Objekt 20 sowie das Standardobjekt 23 an vorgegebenen Stellen hält und sie antreibt.

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Oben sind lediglich bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben worden, und es ist offensichtlich, daß viele Variationen oder Modifikationen von einem Fachmann vorgenommen werden können, ohne von dem Rahmen oder Gedanken der Erfindung abzuweichen.

Beispielsweise ist die Oberflächenfarbe des Grundmaterials gleich der Farbe des Materials gewählt, welche das Muster 25 auf der transparenten Grundplatte 24 bildet, während die Farbe des Materials, welche das Muster 22 bildet, in dem Ausführungsbeispiel von Figur 4 in der Farbe unterschiedlich ist und die Farben der Materialien, welche die Muster 22 und 25 bilden, in dem Beispiel von Figur 5 gleich gewählt sind, aber statt das obige auf die gleiche Farbe oder verschiedene Farben zu beschränken, können die optischen Charakteristiken beispielsweise aufgrund von Lichtreflexion oder -absorption gleich oder verschieden sein, um die gleichen Resultate zu erhalten.

Offensichtlich können viele Modifikationen und Variationen von einem Fachmann vorgenommen werden, ohne von dem Rahmen oder Gedanken der Erfindung abzuweichen, so daß diese nur durch die Ansprüche bestimmt sein sollen.

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Claims

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29. Januar 19 8ο

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Ansprüche:

l.\ Vorrichtung zur Untersuchung von Mangeln an Mustern,

t einer Fernsehkamera, die ein Objekt mit einem zu untersuchenden Muster aufnimmt, gekennzeichnet durch ein Prüfgerät (50), das ein Ausgangssignal von der Fernsehkamera (30) erhält, um das Objekt (20) zu untersuchen, eine optische Maske (23) mit einem Referenzmuster (25), das aus undurchsichtigem Material und durchsichtigem Material besteht und als Referenz zur Untersuchung von Mangeln des Objektes (20) dient, sowie eine Einrichtung zum Halten der optischen Maske (23) zwischen der Fernsehkamera (30) und dem Objekt (20) auf einer optischen Achse der Fernsehkamera (30), derart, daß die Muster (22, 25) des Objekts und der optischen Maske auf der optischen Achse der Fernsehkamera miteinander zur Deckung gebracht werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (40) zur Bestrahlung des Objekts (20).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Fersehkamera (30) ein optisches Filter (60) vorgeschaltet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt (20) aus einer Grundplatte (21) besteht, auf der das zu untersuchende Muster (22) gebildet ist, und die optische Maske (23) aus einer transparenten Grundplatte (24) besteht, die mit undurchsichtigem Material beschichtet ist,

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um das Referenzmuster (25) zu bilden.
5_O Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Farbe des Referenzmusters (25) gleich der der Grundplatte (21) des Objekts (20) gewählt wird, aber unterschiedlich zu der Farbe des zu untersuchenden Musters (22) des Objekts (20).
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Farbe des Referenzmusters (25) gleich der des zu untersuchenden Musters (22) des Objekts (20) gewählt wird, aber unterschiedlich zu der Farbe der Grundplatte (21) des Objekts (20).
7. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Reflexionsplatte (70) vorgesehen ist, welche auf der anderen Seite des Objekts (20) liegt als die optische Maske (23), wenn die Grundplatte (21) des Objekts (20) durchsichtig ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,

daß die Farbe cfer ^: Hmt^üxionsplatte (70) gleich der Farbe des Referenzmusters (25) gewählt wird, aber unterschiedlich zur Farbe des zu untersuchenden Musters (22).

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