DE29918888U1 - Vakuumkammer - Google Patents

Vakuumkammer

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor

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Claims (6)

1. Vakuumkammer (1) mit einer im wesentlichen vertikalen Kammer-Seitenwand (2) und einer, im wesentlichen koa­ xial zur vertikalen Kammer-Achse (6) angeordneten, Substratträgereinrichtung, einer Kammertür (3) inner­ halb der Kammer-Seitenwand (2) sowie einer oberhalb der Vakuumkammer (1) befindlichen Vakuum-Nebenkammer (11), an die mindestens ein Vakuumerzeuger angeschlos­ sen ist, wobei die Vakuumkammer (1) und die Vakuum- Nebenkammer (11) über eine Verbindungsöffnung räumlich miteinander verbunden sind.
2. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß an der Kammer-Seitenwand (2) und/oder an der Kammertür (3) eine Mehrzahl Quellen von Vakuumbogen­ verdampfern und/oder von Kathodenzerstäubungseinrich­ tungen angeordnet sind.
3. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Vakuumerzeuger radial an der Seitenwand der Vakuum-Nebenkammer (11) angeschlossen sind.
4. Vakuumkammer (1) nach einem der vorangegangenen An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der Vakuum- Nebenkammer (11) verfahrenstechnische Einrichtungen angeordnet sind.
5. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß als verfahrenstechnische Einrichtungen Blen­ den und/oder Führungseinrichtungen und/oder Antriebs­ einrichtungen und/oder Medienträger und/oder Kryoein­ richtungen und/oder Heizeinrichtungen vorhanden sind.
6. Vakuumkammer (1) nach einem der vorangegangenen An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Vakuum-Nebenkammer (11) und der Vakuumkammer (1) eine Vakuumverschlußeinrichtung vorhanden ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006043394A1 (de) * 2006-09-12 2008-03-27 Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh Einrichtung zur schnellen und automatischen Vakuumbeschichtung von Massengütern als Werkstücke

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DE102006043394A1 (de) * 2006-09-12 2008-03-27 Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh Einrichtung zur schnellen und automatischen Vakuumbeschichtung von Massengütern als Werkstücke

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