DE29918888U1 - Vakuumkammer - Google Patents
VakuumkammerInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
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Description
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Claims (6)
1. Vakuumkammer (1) mit einer im wesentlichen vertikalen
Kammer-Seitenwand (2) und einer, im wesentlichen koa
xial zur vertikalen Kammer-Achse (6) angeordneten,
Substratträgereinrichtung, einer Kammertür (3) inner
halb der Kammer-Seitenwand (2) sowie einer oberhalb
der Vakuumkammer (1) befindlichen Vakuum-Nebenkammer
(11), an die mindestens ein Vakuumerzeuger angeschlos
sen ist, wobei die Vakuumkammer (1) und die Vakuum-
Nebenkammer (11) über eine Verbindungsöffnung räumlich
miteinander verbunden sind.
2. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß an der Kammer-Seitenwand (2) und/oder an der
Kammertür (3) eine Mehrzahl Quellen von Vakuumbogen
verdampfern und/oder von Kathodenzerstäubungseinrich
tungen angeordnet sind.
3. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Vakuumerzeuger radial an der
Seitenwand der Vakuum-Nebenkammer (11) angeschlossen
sind.
4. Vakuumkammer (1) nach einem der vorangegangenen An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der Vakuum-
Nebenkammer (11) verfahrenstechnische Einrichtungen
angeordnet sind.
5. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich
net, daß als verfahrenstechnische Einrichtungen Blen
den und/oder Führungseinrichtungen und/oder Antriebs
einrichtungen und/oder Medienträger und/oder Kryoein
richtungen und/oder Heizeinrichtungen vorhanden sind.
6. Vakuumkammer (1) nach einem der vorangegangenen An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der
Vakuum-Nebenkammer (11) und der Vakuumkammer (1) eine
Vakuumverschlußeinrichtung vorhanden ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE29918888U DE29918888U1 (de) | 1999-01-14 | 1999-10-27 | Vakuumkammer |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19901111 | 1999-01-14 | ||
DE29918888U DE29918888U1 (de) | 1999-01-14 | 1999-10-27 | Vakuumkammer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE29918888U1 true DE29918888U1 (de) | 2000-02-10 |
Family
ID=7894193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE29918888U Expired - Lifetime DE29918888U1 (de) | 1999-01-14 | 1999-10-27 | Vakuumkammer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE29918888U1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006043394A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh | Einrichtung zur schnellen und automatischen Vakuumbeschichtung von Massengütern als Werkstücke |
-
1999
- 1999-10-27 DE DE29918888U patent/DE29918888U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006043394A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh | Einrichtung zur schnellen und automatischen Vakuumbeschichtung von Massengütern als Werkstücke |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20000316 |
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R150 | Term of protection extended to 6 years |
Effective date: 20030204 |
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R151 | Term of protection extended to 8 years |
Effective date: 20060119 |
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