DE29818875U1

DE29818875U1 - Strahlungssensor

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Publication number: DE29818875U1
Application number: DE29818875U
Authority: DE
Original assignee: Bartec Componenten und Systeme GmbH
Current assignee: Bartec GmbH
Priority date: 1998-10-22
Filing date: 1998-10-22
Publication date: 1998-12-24
Anticipated expiration: 2008-10-23
Also published as: EP0995978B1; DE59901387D1; EP0995978A3; ATE217417T1; EP0995978A2

Description

Weber & Heim Irmgardstrasse

D-81479 München

Deutsche Patentanwälte 7_el 089-79 90

European Patent Attorneys _{Fax Q89}. _?<?] ₅₂

Euro Trademark Attorneys

B 920

Strahlungssensor

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur pyrometrisehen Messung der Temperatur eines Meßobjektes, mit einem mehrere in Serie geschaltete Thermoelemente aufweisenden Thermopile, wobei die Thermoelemente jeweils erste Bereiche aufweisen, die der von einem Meßobjekt ausgesandten Strahlung ausgesetzt sind und zweite Bereiche, die mit einem Wärmeleiter in thermischem Kontakt stehen, und einem Temperaturfühler zum Ermitteln der Temperatur des Wärmeleiters .

Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist aus der DE 196 15 Al bekannt. Hier ist ein Sensor zur strahlungspyrometrischen Messung der Temperatur eines Meßobjektes offenbart. Der Sensor weist ein zylindrisches Gehäuse auf, in welchem Thermoelemente in im wesentlichen axialer Richtung angeordnet und miteinander in Serie geschaltet sind. Die Lötstellen, welche die thermisch aktiven Elemente miteinander verbinden, liegen auf den Grundflächen des zylindrischen Körpers. Eine Kompensation von nicht strahlungsbedingten Temperaturunterschieden zwischen den Lötstellen wird dadurch erreicht, daß ein Teil der an sich der Strahlung des Meßobjektes ausgesetzten Lötstellen durch einen strahlungsundurchlässigen Schild abgedeckt sind. Zur Temperaturkompensation ist vorgesehen, ein Thermoelement im Bereich des Schildes anzuordnen, um dort die Eigentemperatur

der Anordnung zu erfassen. Durch die Wahl der Materialien ist dieser Sensor auch bei hohen Temperaturen, bis zu 400 C, beständig.

Nachteilig an dem geschilderten Aufbau ist jedoch, daß die Anordnung der Thermoelemente durch die erforderliche Fädel- und Schweißtechnik äußerst kompliziert ist, was die Herstellung des gattungsgemäßen Sensors sehr kostenintensiv gestaltet. Ferner ist die strahlungssensitive Fläche, bedingt durch die sehr begrenzte Anzahl an Lötstellen, gering, wodurch sich bei gegebener Strahlungsintensität ein vergleichsweise geringerer Meßeffekt ergibt, mit anderen Worten, es liegt eine geringe Empfindlichkeit vor.

Andere bekannte Sensoren, welche in Serie geschaltete Thermoelemente - sogenannte Thermopiles - verwenden, weisen häufig den Nachteil auf, daß sie nicht bei hohen Umgebungstemperaturen eingesetzt werden können. Oft liegen die Ein-

o &ogr; Satztemperaturen nur zwischen 60 C bis 80 C, allen-

o
falls bei 100 C. Die Nachteile durch diesen niedrigen Temperaturbereich lassen sich begrenzt dadurch ausgleichen, daß der jeweilige Sensor in einem größeren Abstand von dem zu vermessenden Objekt bzw. Vorgang plaziert wird. Häufig ist jedoch eine möglichst nahe Plazierung am Prozeß wünschenswert, insbesondere um hierdurch Störeffekte, beispielsweise durch Wasserdampf, zu vermeiden.

Ferner bestehen allgemeine Anforderungen an Sensoren zur strahlungspyrometrisehen Messung. Generell arbeiten die Thermoelemente aufgrund einer Temperaturdifferenz zwischen ihren aktiven Bereichen. Damit der Temperatursensor eine möglichst hohe Empfindlichkeit aufweist, sollte der Warmbereich des Sensors eine möglichst geringe Wäremkapazität

in

aufweisen, so daß bereits geringe Energieänderungen zu großen Temperaturdifferenz-Signalen führen, während der Kaltbereich eine möglichst große Wärmekapazität aufweisen sollte, um - bildlich gesprochen - eine Wärmesenke darzustellen.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die A u f g ab e zugrunde, vor dem Hintergrund der grundsätzlichen Anforderungen an Sensoren zur strahlungspyrometrischen Messung, einen Strahlungssensor bereitzustellen, welcher die genannten Nachteile ausräumt; insbesondere soll der Sensor bei hohen Umgebungstemperaturen einsetzbar und gleichzeitig in einfacher Weise herstellbar sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Die Erfindung sieht daher bei einem gattungsgemäßen Sensor im Grundprinzip vor, daß die Thermoelemente radial angeordnet sind, wobei ihre ersten Bereiche im wesentlichen zum Zentrum der Anordnung weisen und ihre zweiten Bereiche am Rand der radialen Anordnung liegen. Dieser Aufbau ermöglicht es, einen Hochtemperatursensor in einfacher Weise zu fertigen, insbesondere unter Vermeidung der genannten Probleme im Rahmen der Fädel- und Schweißtechnik des Standes der Technik. Weiterhin wird durch die radiale Anordnung der Thermoelemente die strahlungssensitive Fläche im Vergleich zum Sensor des Standes der Technik erhöht, was zu einer vergrößerten Empfindlichkeit des Sensors führt. Die radiale Anordnung der Thermoelemente ist weiterhin im Hinblick auf die Lokalisierung der Warmbereiche und der Kaltbereiche nützlich. Die Warmbereiche liegen eher im Zentrum des Aufbaus, so daß in einfacher geometrischer Anordnung

diese Bereiche dem Strahlungsfeld des Meßobjektes ausgesetzt werden können. Hingegen liegen die Kaltbereiche am Rand des Thermopiles, was eine Wärmeabführung und somit das Bereitstellen einer Wärmesenke vereinfacht.

Bevorzugt ist die radiale Anordnung der Thermoelemente beidseitig von einer temperaturbeständigen Folie bedeckt. Eine derartige Folie schützt die empfindlichen Thermoelemente vor äußeren Einflüssen; aufgrund Ihrer Temperaturbeständigkeit steht sie dem Einsatz der Anordnung bei hohen Temperaturen nicht im Wege.

Bevorzugt weist die temperaturbeständige Folie einen möglichst großen Absorptionskoeffizienten im infraroten Strahlungsbereich auf. Dies ist nützlich, damit die bestrahlte Fläche, welche von der Folie bedeckt wird, bei gegebener Strahlungsenergie möglichst stark erwärmt wird. Insbesondere kann durch einen hohen Absorptionskoeffizienten der Folie selbst auf eine zusätzliche IR-Absorptionsschicht verzichtet werden.

Die genannten Eigenschaften der temperaturbeständigen Folie liegen beispielsweise bei einer Polyimidfolie vor. Diese ist äußerst temperaturbeständig, und ihr Absorptionskoeffizient ist im interessierenden Bereich relativ hoch.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Thermoelemente des Thermopiles in einem Hochtemperaturkleber eingebettet sind. Dies erlaubt einerseits den Einsatz bei hoher Temperatur, andererseits verleiht der Kleber der Anordnung die erforderliche Stabilität.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn ein Hochtemperaturkleber

verwendet wird, welcher im Bereich von 200 C polymerisiert. Eine solche Polymerisation führt zu einer weiteren

Erhöhung des Absorptionsgrades und somit zu einer weiteren Verbesserung der Eigenschaften des Sensors.

Vorzugsweise hat die Anordnung aus Thermoelemten, Hochtemperaturkleber und temperaturbeständiger Folie eine Dicke im Bereich von 120 &mgr;&idiagr;&eegr;. Diese geringe Dicke ermöglicht es, der Anforderung an eine möglichst geringe Wärmekapazität im bestrahlten Bereich gerecht zu werden.

Bevorzugt steht der Wärmeleiter topfartig in thermischem Kontakt zu dem Randbereich der radialen Anordnung. Auf diese Weise ist es möglich, einerseits eine große Materialmenge und somit eine große, an den Kaltstellen erforderliche, Wärmekapazität zur Verfügung zu stellen, andererseits, aufgrund des Hohlraums im Inneren der topfartigen Anordnung die strahlungssensitive Fläche des Thermopiles möglichst unbeeinflußt zu lassen.

Der Wärmeleiter besteht bevorzugt aus einem Metall mit hoher Wärmekapazität und geringem Emissionsgrad. Aufgrund der hohen Wärmekapazität ist der Temperaturausgleich im Randbereich des Thermopiles besonders günstig bereitzustellen; der geringe Emissionsgrad verhindert eine übermäßige Strahlungseinwirkung auf den sensitiven Bereich, was das Meßergebnis insgesamt verbessert.

In diesem Zusammenhang ist es ebenfalls nützlich, wenn die Innenseite des topfartigen Wärmeleiters verspiegelt oder poliert ist.

Bevorzugt weisen die in Serie geschalteten Thermoelemente einen radial nach außen führenden Anschlußbereich auf. Damit liegen die Anschlüsse in einem Bereich, welcher nicht der Strahlung des Meßobjektes ausgesetzt ist, was wiederum eine Beeinflussung des Meßergebnisses ausschließt.

Der topfartige Wärmeleiter weist vorzugsweise in dem Anschlußbereich der Thermoelemente eine Ausnehmung auf. Auf diese Weise wird die Gefahr eines Kurzschlusses der Anschlußleitungen aufgrund des metallischen Wärmeleiters ausgeschlossen.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Thermopile und der Wärmeleiter in einem Gehäuse angeordnet sind. Damit wird der Sensor handhabbar, und die empfindlichen Bauteile sind wirkungsvoll geschützt.

Vorzugsweise ist das Gehäuse auf der dem Meßobjekt zugewandten Seite durch eine Frontplatte verschlossen, welche eine IR-strahlungsdurchlässige Öffnung aufweist. Eine strahlungsdurchlässige Öffnung in der Frontplatte ermöglicht einen variablen Öffnungswinkel und somit eine Optimierung der Meßfunktionen.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Thermopile im Bereich der Öffnung der Frontplatte durch eine Scheibe abgedeckt ist, welche IR-strahlungsdurchlässig ist. Damit kann einerseits die zu vermessende Strahlung von dem Meßobjekt zu dem Thermopile gelangen, andererseits ist das Thermopile vor äußeren Einflüssen geschützt.

Etwa kann die Scheibe, mit welcher das Thermopile abgedeckt ist, im IR-Bereich selektiv strahlungsdurchlässig sein. Damit ist es möglich, den Sensor spektral begrenzt einzusetzen.

Um weitgehend das gesamte IR-Spektrum zu erfassen, wird als abdeckende Scheibe bevorzugt eine Siliziumscheibe verwendet. Ebenfalls können beispielsweise Scheiben aus Germanium oder Bariumfluorit verwendet werden.

Für besondere Meßaufgaben kann das Meßfeld auch durch optische Hilfsmittel verändert werden.

Ferner kann nützlich sein, wenn im Bereich der Öffnung eine Freiblasexnrichtung vorgesehen ist, insbesondere um das Beschlagen oder Verschmutzen der Scheibe, welche einen möglichst ungehinderten Strahlungsdurchgang ermöglichen soll, zu verhindern.

Zur Erhöhung der Meßempfindlichkeit kann das Gehäuse evakuiert oder mit einem Inertgas gefüllt werden.

Bei bevorzugten Ausführungformen der vorliegenden Erfindung werden Cu/CuNi-Thermoelemente verwendet.

Die Anschlußleitungen sind mit den Thermoelementen und dem Temperaturfühler zum Ermitteln der Temperatur des Wärmeleiters vorzugsweise über Hartlötstellen verbunden. Diese Maßnahme ist besonders beim Hochtemperatureinsatz des Sensors nützlich.

Der Erfindung liegt die überraschende Erkenntnis zugrunde, daß ein einfach zu fertigender Sensor bereitgestellt werden konnte, wobei dieser zuverlässig im Hochtemperaturbereich einsetzbar ist.

Die Erfindung wird mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen anhand einer bevorzugten Ausführungsform beispielhaft erläutert. Dabei zeigt:

Fig. 1 eine Aufsicht auf ein Thermopile, welches bei dem erfindungsgemäßen Sensor zum Einsatz kommt;

Fig. 2 einen Schnitt durch ein Thermopile gemäß Fig.l;

Fig. 3 eine Aufsicht auf ein Thermopile gemäß Fig. 1, wobei funktionelle Bereiche markiert sind; und

Fig. 4 einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Sensor.

Fig. 1 zeigt eine Aufsicht auf ein Thermopile 2, welches bei einem Sensor gemäß der vorliegenden Erfindung zum Einsatz kommt. Das Thermopile 2 weist elektrisch in Serie geschaltete Thermoelemente 4 auf. Die zum Zentrum des Thermopiles weisenden Spitzen der Thermoelemente 4 sind die Warmstellen 6 der Thermoelemente 4, während die im Randbereich liegenden Kontaktstellen der Thermoelemente 4 die entsprechenden Kaltstellen 8 darstellen. Das Thermopile 2 ist beidseitig von einer hitzebeständigen Folie 22 bedeckt. Am Anschlußbereich 10 der Thermoelemente 4 des Thermopiles 2 sind.über Hartlötverbindungen oder Schweißverbindungen zwei Anschlußlitzen bzw. Drähte 12, 14 elektrisch leitend angeordnet .

Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch das in Fig. 1 dargestellten Thermopile 2, etwa in Richtung der Anschlußdrähte 12, 14. Dargestellt sind zwei Schenkel von Thermoelementen 4, sowie deren Kontaktstellen 16, 18. Die Thermoelemente sind in einem Hochtemperaturkleber 20 eingebettet. An einem der Schenkel der Thermoelemente 4 ist ein Anschlußdraht 12, 14 dargestellt. Beidseitig ist der Thermopile 2 von einer hitzebeständigen Folie 22, vorzugsweise aus Polyimid, bedeckt. Während die Klebeschicht 20 insgesamt eine Dicke von ca. - 70 &mgr;&pgr;&igr; aufweist, hat die Folie 22 eine Dicke von etwa 25 &mgr;&pgr;&igr;. Die Thermoelemente 4 weisen eine Dicke von ca. 10 &mgr;&igr;&agr; auf.

Fig. 3 ist eine Darstellung, welche im wesentlichen der Darstellung aus Fig. 1 entspricht. Zusätzlich ist durch die Schraffierung A der Bereich des Thermopiles 2 angedeutet, welcher der Strahlung des Meßobjektes ausgesetzt ist und diese aufnimmt. Der Bereich B zeigt die Wärmesenke (Vergleichsstelle). Der Bereich A weist bei noch vertretbarer Stabilität des Detektors eine möglichst geringe Wärmekapazität auf, während im Bereich B eine möglichst große Wärmekapazität vorliegen sollte. Durch letztere Maßnahme soll eine Wärmesenke bereitgestellt werden, in welcher eine möglichst homogene Temperaturverteilung vorliegt. Um Störeinflüsse zu eliminieren, wird die Temperatur der in dem Bereich B verwirklichten Wärmesenke über einen in Fig. 3 nicht gezeigten Temperaturfühler erfaßt.

Fig. 4 zeigt einen Schnitt durch den Gesamtaufbau des erfindungsgemäßen Sensors. Der Sensor weist ein Gehäuse 24 auf, in welches an einer Seite über ein temperaturbeständiges Kabel 26 die erforderlichen elektrischen Zuleitungen eingeführt werden. Das Kabel 26 gelangt über eine PG-Verschraubung 28 (Panzergewinde-Verschraubung) in den Innenbereich 30 des Gehäuses 24. Die Abdichtung im Bereich der PG-Verschraubung 28 erfolgt durch einen Synthesekautschuk,

welcher bis zu einer Temperatur von 250 C eine zuverlässige Dichtheit gewährleistet. Zwei der über das Kabel 26 in das Gehäuse 24 eingeführten Zuleitungen 32, 34 kontaktieren einen Temperaturfühler 36, während die anderen beiden Zuleitungen 38, 40 in den in Fig. 1 dargestellten Anschlußlitzen 12, 14 enden und den Anschlußbereich 10 des Thermopiles 2 kontaktieren. Der Temperaturfühler 36 sitzt in oder an dem Vergleichsstellenblock oder Isothermalblock 42, welcher die Kaltstellen 8 (vgl. Fig. 1 und Fig. 3) rundum abdeckt und für eine gleichmäßige Temperaturverteilung sorgt. Im Anschlußbereich 10 des Thermopiles 2 weist der

topfartige Isothermalblock 42 eine Ausnehmung 44 auf, um ein Kurzschließen der Anschlußlitzen 12, 14 durch den metallischen, als Wärmeleiter wirkenden Isothermalblock zu vermeiden.

Der Isothermalblock 42 wird durch eine Frontplatte 46 gegen das Gehäuse 24 gedrückt und somit fixiert. Eine Dichtung dichtet die Frontplatte 46 gegen das Gehäuse 44 ab. Diese vorzugsweise aus Synthesekautschuk bestehende Dichtung 48 stellt unter anderem sicher, daß keine Feuchtigkeit zwischen Frontblende 46 und der Wand des Gehäuses 24 eindringen kann. In der Frontplatte 46 ist eine Öffnung 50 vorgesehen, durch welche von einem Meßobjekt ausgesendete Strahlung hindurchtreten kann, um auf das Thermopile 2 aufzutreffen. Um das Eindringen von Schmutz, Dämpfen und Feuchtigkeit zu vermeiden, ist eine Siliziumscheibe 52 - oder eine andere, wenigstens teilweise für IR-Strahlung durchlässige Scheibe - vorgesehen, welche zwischen einem Dichtungsring 54, - vorzugsweise aus Synthesekautschuk - und einem Lagerring 56, - vorzugsweise aus glasfaserverstärktem PTFE - eingeklemmt ist.

Der Lagerring 56 drückt das Folienthermopile 2 gegen den Isothermalblock 42, wodurch ein möglichst guter thermischer Kontakt zwischen der Vergleichsstelle an dem Folienthermopile 2 und dem Isothermalblock 42 hergestellt wird. Der freie Raum 58 hinter dem Folienthermopile 2 stellt sicher, daß der Einfluß des Isothermalblockes 42 auf die strahlungssensitive Fläche des Folienthermopiles 2 möglichst gering ist. Der Isothermalblock 42 sollte aus einem Metall bestehen, welches eine hohe Wärmeleitfähigkeit und einen geringen Emissionsgrad aufweist. Damit wird einerseits die erforderliche Wärmekapazität an der Vergleichsstelle des

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Thermopiles 2 bereitgestellt, andererseits wird der Einfluß auf die sensitive Fläche des Thermopiles 2 begrenzt. Um diesen Effekt zu unterstützen, ist der an den freien Raum 58 angrenzende Bereich 60 des Isothermalblockes 42 vorzugsweise verspiegelt oder glänzend poliert.

Aufgrund der Begrenzung der Fläche des Thermopiles 2 durch die Öffnung 50 in der Frontplatte 46 sind Flächenmessungen von z.B. Stoffbahnen, Kunststoffolien etc. möglich. Es sind zahlreiche Variationen der Gesamtanordnung denkbar; beispielsweise könnten auch optische Hilfsmittel zur Erzeugung eines veränderten Meßfeldes zum Einsatz kommen. Ebenfalls ist der Einsatz von Freiblaseinrichtungen denkbar, um so ein Beschlagen und/oder Verschmutzen der strahlungsdurchlässigen Scheibe 52 zu verhindern.

Unter Verwendung der genannten Materialien ist ein Einsatz des erfindungsgemäßen Sensors in einem Bereich bis zu etwa

&ogr;
250 C möglich. Bei Verwendung anderer Dichtungs- bzw.

Isolationsmaterialien darf die Umgebungstemperatur bis ca.

&ogr;
400 C betragen.

Die in der vorstehenden Beschreibung, in den Zeichnungen sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung wesentlich sein.

Claims

ANSPRÜCHE

1. Sensor zur pyrometrischen Messung der Temperatur eines Meßobjektes, mit

- einem mehrere in Serie geschaltete Thermoelemente

(4) aufweisenden Thermopile (2), wobei die Thermoelemente (4) jeweils erste Bereiche (6) aufweisen, die der von einem Meßobjekt ausgesandten Strahlung ausgesetzt sind und zweite Bereiche (8), die mit einem Wärmeleiter (42) in thermischem Kontakt stehen,

- und einem Temperaturfühler (36) zum Ermitteln der Temperatur des Wärmeleiters (42),

dadurch gekennzeichnet, daß die Thermoelemente (4) radial angeordnet sind, wobei ihre ersten Bereiche (6) im wesentlichen zum Zentrum der Anordnung zeigen und ihre zweiten Bereiche (8) am Rand der radialen Anordnung liegen.

2. Sensor nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet, daß die radiale Anordnung von Thermoelementen (4) beidseitig von einer temperaturbeständigen Folie (22) bedeckt ist.

3. Sensor nach Anspruch 2,

dadurch gekennzeichnet, daß die temperaturbeständige Folie (22) einen möglichst großen Absorptionskoeffizienten im infraroten Strahlungsbereich aufweist.

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4. Sensor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die temperaturbeständige Folie (22) eine Polyimidfolie ist.

5. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Thermoelemente (4) in einem Hochtemperaturkleber (20) eingebettet sind.

6. Sensor nach Anspruch 5,

dadurch gekennzeichnet, daß der Hochtemperaturkleber (20) im Bereich von

&ogr;
200 C polymerisiert.

7. Sensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung aus Thermoelementen (4), Hochtemperaturkleber (20) und temperaturbeständiger Folie (22) eine Dicke von etwa 120 &mgr;&pgr;&igr; aufweist.

8. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeleiter (42) topfartig in thermischem Kontakt zu dem Randbereich (B) der radialen Anordnung steht.

9. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeleiter (42) aus einem Metall mit hoher Wärmekapazität und geringem Emissionsgrad besteht.

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10. Sensor nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenseite des topfartigen Wärmeleiters (42) verspiegelt oder poliert ist.

11. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in Serie geschalteten Thermoelemente (4) einen radial nach außen führenden Anschlußbereich (10) aufweisen.

12. Sensor nach Anspruch 11,

dadurch gekennzeichnet, daß der topfartige Wärmeleiter (42) in dem Anschlußbereich (10) eine Ausnehmung (44) aufweist.

13. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Thermopile (2) und der Wärmeleiter (42) in einem Gehäuse (24) angeordnet sind.

14. Sensor nach Anspruch 13,

dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (24) auf der dem Meßobjekt zugewandten Seite durch eine Frontplatte (46) verschlossen ist, welche eine IR-strahlungsdurchlässige Öffnung (50) aufweist.

15. Sensor nach Anspruch 14,

dadurch gekennzeichnet, daß das Thermopile im Bereich der Öffnung (50) der Frontplatte (46) durch eine IR-strahlungsdurchlässige Scheibe (52) abgedeckt ist.

16. Sensor nach Anspruch 15,

dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (52) im IR-Bereich selektiv strahlungsdurchlässig ist.

17. Sensor nach Anspruch 15,

dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (52) eine Silizium-, Germanium-, Bariumfluoridscheibe oder dergleichen ist.

18. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßfeld durch optische Hilfsmittel veränderbar ist.

19. Sensor nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Öffnung (50) eine Freiblaseinrichtung vorgesehen ist, insbesondere um Beschlagen und/ oder Verschmutzen der Scheibe (52) zu verhindern.

20. Sensor nach einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (42) evakuiert oder mit Intergas gefüllt ist.

21. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Cu/CuNi-Thermoelemente (4) vorgesehen sind.

22. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußleitungen (12, 14, 32, 34, 38, 40) mit den Thermoelementen (4) und mit dem Temperaturfühler (36) zum Ermitteln der Temperatur des Wärmeleiters (42) über Hartlötstellen oder Schweißstellen verbunden sind.