DE10243411B4 - Verfahren zur Kalibrierung von Messgeräten zur quantitativen Infrarotstrahlungsmessung - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Kalibrierung von Messgeräten zur quantitativen Infrarotstrahlungsmessung, dadurch gekennzeichnet, dass
eine zweidimensionale Temperaturverteilung der strahlenden Oberfläche eines Kalibrierstrahlers (1) quantitativ gemessen wird,
daraus eine zweidimensionale Verteilung der Strahldichte der Strahleroberfläche bestimmt wird,
die Strahldichte auf den vom zu kalibrierenden Messgerät (13) erfassten Bereich eingegrenzt wird, und
die eingegrenzte Strahldichte mit der zweidimensionalen, relativen Empfindlichkeit im Gesichtsfeld des Messgeräts (13) gewichtet wird und dann als wahre Strahldichte im Kalibrierverfahren verwendet wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren, insbesondere zum radiometrischen und geometrischen Kalibrieren von Messgeräten zur quantitativen Infrarot-Strahlungsmessung, eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie ein Verfahren zum Auswerten von mittels der Einrichtung erhaltenen Daten.
  • Messgeräte für quantitative Messungen müssen grundsätzlich kalibriert werden, da erst durch eine Kalibrierung ein Zusammenhang zwischen Ein- und Ausgangsgröße des Messgeräts, also zwischen Messgröße und Messwert, hergestellt werden kann. Hierbei können auch von der Messgröße abgeleitete Größen zum Messwert in Beziehung gesetzt werden. Für die Kalibrierung wird ein Messgerät mit quantitativ bekannten Eingangsgrößen beaufschlagt und in Abhängigkeit davon wird die Ausgangsgröße aufgezeichnet. Für eventuell von einer Eingangsgröße abgeleitete Größen muss zu dieser eine feste, bekannte Beziehung herrschen. Die Eingangsgrößen werden mit sogenannten Standards oder Normalen erzeugt.
  • Nachfolgend werden insbesondere Infrarotmessgeräte, wie Radiometer oder Spektrometer behandelt, (wobei hier als Radiometer auch Pyrometer und andere Infrarotmessgeräte zur berührungslosen Temperaturmessung bezeichnet werden), die zur quantitativen Messung emittierter Strahlung und daraus abgeleiteter Größen, wie Temperatur, Emissionsgrad, Reflexionsgrad und Transmissionsgrad fester oder flüssiger Materialien/Oberflächen, sowie Konzentration, Temperatur und Druck von Gasen, usw. verwendet werden.
  • Solche Geräte werden häufig in rauer Umgebung in der Umwelt- und Prozessmesstechnik eingesetzt. Dabei sind in der Regel wiederholte Kalibrierungen notwendig, da durch Witterungseinflüsse, wie Aufheizung durch Sonneneinstrahlung bzw. Abkühlung durch Wind, ein unter Laborbedingungen stabiles Gerät im Feldeinsatz Driften beispielsweise der Empfindlichkeit aufweisen kann. Insbesondere der Messbereich im Bereich von Wellenlängen um 10μm ist kritisch, da hier das Maximum der Strahlungsemission für die natürliche Umgebungstemperatur liegt und daher Schwankungen der mitgemessenen Strahlung des Inneren des Messgerätgehäuses großen Einfluss haben können.
  • Als Normale zur Kalibrierung von Strahlungsmessgeräten im infraroten Spektralbereich, wie Radiometern und Spektrometern, werden Strahlungsquellen verwendet, deren Konstruktion und Betriebsweise diesen weitgehend die Eigenschaft von Schwarzen Körpern verleihen soll. Der von solchen Geräten emittierte Strahlungsfluss wird dann durch das Plancksche Strahlungsgesetz beschrieben, d.h. der Emissionsgrad der Quellen wird ε = 1; die Temperatur wird als uniform über die gesamte für die Kalibrierung relevante Fläche der Quelle angenommen.
  • Da die zum Aufbau der Strahler verwendeten Materialien tatsächlich strahlungsundurchlässig sind, also ein Transmissionsgrad τ = 0 realisiert ist, muss durch geeignete Gestaltung/Beschichtung der strahlenden Oberfläche ein Reflexionsgrad ρ = 0 geschaffen werden. Dann ist der für die Kalibrierung geforderte Zusammenhang zwischen Messgröße und Messwert über das Plancksche Strahlungsgesetz nur durch die Temperatur des Kalibrierstrahlers und damit eindeutig bestimmt und nur noch von der Genauigkeit der Kenntnis dieser Temperatur abhängig.
  • Die weiteren technischen Eigenschaften von Kalibrierstrahlern sind vorgegeben durch die Forderung nach quantitativer Vorhersagbarkeit und Reproduzierbarkeit der emittierten Strahlung, also auch nach hoher Kurz- und Langzeitstabilität. Ferner dürfen ihre Fehlergrenzen nicht die Fehlergrenzen der Kalibrierung und damit der Messergebnisse dominieren und müssen daher enger sein als die des zu kalibrierenden Messgeräts.
  • Bezogen auf den im Idealfall einzig wirksamen Parameter, die Temperatur des Strahlers, ist dies eine extreme Forderung angesichts von Radiometern mit einer Temperaturauflösung von 0,01K. Das bedeutet, dass die Abweichung der Oberflächentemperatur des Standards von der Uniformität weniger als 0,01K betragen darf.
  • In derselben Größenordnung sollte auch die Unsicherheit bei der Kenntnis dieser Temperatur liegen. Bei diesen hohen Anforderungen an die Genauigkeit der Temperatur werden Strahler verwendet, die mit flüssigen Metallen beheizt werden, welche am exakt bekannten Erstarrungspunkt betrieben werden. Sollen verschiedene Temperaturen eingestellt werden, müssen unterschiedliche Metalle verwendet werden. Derartige Systeme sind sehr aufwendig und nur im Labor zu betreiben. Für Kalibrierungen im Feld sind sie ungeeignet; daher sind feldtaugliche Normale erforderlich.
  • Es werden drei Klassen von Standards mit folgender Spezifizierung unterschieden:
    • – Primärstandard (überprüft mit PTB Standard): Strahler nach dem Verfahren des Erstarrungspunktes, mit: Emissionsgrad ε = 0,999, Uniformität der Temperatur 0,01K.
    • – Sekundärstandard: sphärische oder doppelkonische Hohlraumstrahler mit Emissionsgrad ε = 0,999; Uniformität der Temperatur 0,05K.
    • – Arbeitsstandard: zylindrische oder konische Hohlraumstrahler, strukturierte Flächen, mit Emissionsgrad ε > 0,99; Uniformität der Temperatur 1,0K.
  • Vorstehende Auflistung zeigt, dass hinsichtlich der Temperaturuniformität weder Sekundär- und noch weniger Arbeitsstandards den technischen Leistungen moderner Infrarotmessgeräte gerecht werden – nicht einmal im Laborbetrieb. Dies ist ein gravierender Nachteil. Speziell durchgeführte Untersuchungen haben gezeigt, dass kommerziell erhältliche Kalibrierstandards unter Umständen nicht einmal die für Arbeitsstandards geforderte Temperaturuniformität erfüllen.
  • Bekannte Kalibrierstrahler verfügen über keine Einrichtung zur Überprüfung der Temperaturuniformität ihrer strahlenden Oberfläche, was im Feldeinsatz unter dem Einfluss von Wind und Sonnenschein als besonders nachteilig angesehen wird. Bei allen bekannten Kalibrierverfahren wird ε = 1 gesetzt und die Temperatur als uniform angenommen, was nicht korrekt ist und zu Fehlern führt.
  • In aller Regel wird die Temperatur an nur einer Stelle des Kalibrierstrahlers mittels eines Fühlers gemessen. Die dadurch gegebene Unsicherheit der Temperaturbestimmung bezüglich der gesamten strahlenden Fläche wird als zusätzlicher Nachteil angesehen. Weiterhin ist dabei nachteilig, dass die Fühlermessung an einer Stelle im Inneren der Kalibrierquelle vorgenommen wird und nicht an der strahlungswirksamen Oberfläche, wodurch ein Fehler durch den Temperaturgradienten zwischen dem Inneren und der Oberfläche entsteht.
  • Die bei Flächenstrahlern übliche Oberflächenbeschichtung verstärkt den Temperaturgradienten, insbesondere wenn sie dick ist. Ist die Schichtdicke inhomogen, kommt es dadurch zu weiteren Nichtuniformitäten der Temperaturverteilung auf der Oberfläche. Strukturierte Oberflächen weisen zusätzliche Temperaturgradienten auf. Bei v-förmigen Furchen sind die „Täler" wärmer als die „Gipfel".
  • Die Unsicherheiten bei der Temperaturbestimmung und der Annahme der Temperaturuniformität sind besonders groß bei Standards mit ausgedehnter Fläche, wie sie zur Kalibrierung von Strahlungsmessgeräten großer Apertur, beispielsweise bei Messgeräten mit Teleskopen, verwendet werden. Strahlerflächen von 30 cm Durchmesser und mehr sind im Gebrauch. Je größer die Fläche, desto höher wird der Aufwand zur Erzielung der Temperaturuniformität und ihrer Erhaltung im Feld. Dabei treten auch Temperaturgradienten vom Rande zum Zentrum der Strahlerfläche auf. Sehr häufig werden die Strahler mit ihrer Fläche senkrecht zur Erdoberfläche betrieben. Dann entsteht ein weiterer Temperaturgradient durch die Konvektion der Luft an der Strahleroberfläche.
  • Der erforderliche Aufwand zur Uniformierung der Temperatur der Fläche wird als weiterer Nachteil der gegenwärtigen Kalibriersysteme und -verfahren angesehen. Ebenso wie die zu kalibrierenden Infrarotmessgeräte unterliegen Kalibrierstrahler im Feld den Wettereinflüssen. Eigentliches Ziel der Feldkalibrierung ist die Korrektur dieser Einflüsse auf das Messgerät. Da Sonne und Wind aber auch die Oberflächentemperatur des Kalibrierstrahlers verändern können, ist die Feldkalibrierung ohne exakte Kenntnis der Wirkung dieser Einflüsse auf den Kalibrierstrahler zweifelhaft, was ein weiterer Nachteil ist.
  • In DE 197 19 210 A1 ist ein Kalibrierungsverfahren beschrieben, bei welchem mindestens drei gemeinsame Spektren von Schwarzen Strahlern verwendet werden, die auf unterschiedlichen konstanten Temperaturen gehalten sind. Die Gerätefunktionen, d.h. die spektrale Empfindlichkeit eines Spektrometers und die spektrale Eigenstrahlung des Geräts, werden nicht als unabhängige Veränderliche, sondern als Funktionen der zu bestimmenden Strahlungstemperaturen der Schwarzen Strahler aufgefasst. Zum Berechnen der gesuchten Temperaturen wird eine nichtlineare und iterative Gauß'sche Ausgleichsrechnung verwendet, wobei die Gerätefunktionen mit Hilfe einer den Iterationen unterlagerten linearen Ausgleichsrechnung ermittelt werden. Dieses Kalibrierungsverfahren wird zur Kalibrierung von Spektralradiometern, insbesondere von Fourier-Spektrometern für Messungen im Infrarot-Bereich eingesetzt.
  • Zusammenfassend ist festzustellen, dass die radiometrische Kalibrierung von Infrarotmessgeräten insbesondere im Feld, aber auch im Labor hinsichtlich der angewendeten Verfahren und Systeme mit großen Unsicherheiten behaftet ist.
  • Darüber hinaus ist nachteilig, dass bei der Messung mit Radiometern und Spektrometern in der Regel deren Empfindlichkeit als Funktion des Gesichtsfelds als konstant angenommen wird, obwohl sie es nicht ist, sondern meist den Verlauf einer Glockenkurve hat. Es werden hierzu zwei Fälle der Anwendung des Radiometers/Spektrometers angeführt, nämlich
    • a) die Messung einer radiometrisch homogenen Fläche und
    • b) die Messung einer radiometrisch inhomogenen Szene.
  • Der Fall a) ist typisch für Anwendungen im Labor, der Fall b) ist typisch für Anwendungen der Fernerkundung/Erdbeobachtung, wo vom Flugzeug oder aus dem Weltraum große (naturgemäß thermisch inhomogene) Bodensegmente beobachtet werden.
  • Die in beiden Fällen übliche Strahldichtekalibrierung erfordert die oben beschriebene homogene Kalibrierquelle, die hier als gegeben vorausgesetzt werden soll. Dann ist für Messungen des Falles a) die Empfindlichkeit als Funktion des Gesichtsfelds unerheblich. Im Fall b) aber ist es für die Messgenauigkeit entscheidend zu wissen, wie die Strahldich teverteilung der beobachteten Szene im Bezug auf das Gesichtsfeld ist. Die Bereiche der Szene im Zentrum des Gesichtsfelds werden mit höherer Empfindlichkeit bewertet als die am Rande. Sie tragen also stärker zum Signal bei, wenn eine homogene Empfindlichkeit als Funktion des Gesichtsfeldes angenommen wird. Insbesondere bei radiometrisch stark inhomogenen Szenen, beispielsweise wenn ein Teil der Szene ein großes Feuer (Waldbrand) oder vulkanische Lava enthält, können dadurch große Messfehler verursacht werden.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, bei Verfahren und Einrichtung zum Kalibrieren von Messgeräten eine höhere Zuverlässigkeit und Genauigkeit und dadurch eine Reduzierung der Unsicherheit bei quantitativen, radiometrischen/spektralradiometrischen Messungen, wie Infrarot-Strahlungsmessungen zu erreichen.
  • Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand von auf das Verfahren nach Anspruch 1 unmittelbar oder mittelbar rückbezogenen Ansprüchen. Ferner sind Einrichtungen zum Durchführen des Verfahrens sowie ein Verfahren zum Auswerten der mittels der Einrichtung erhaltenen Daten angegeben.
  • Nachfolgend wird die Erfindung auch anhand der anliegenden Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine Einrichtung zur Kalibrierung von Strahlungsmessgeräten, und zwar zur Bestimmung der relativen radiometrischen Empfindlichkeit als Funktion des Gesichtsfelds, also der geometrischen Kalibrie rung;
  • 2 einen Kalibrierstrahler mit großer Apertur;
  • 3 ein temperaturskaliertes Infrarotstrahlungsbild eines Doppelhohlraum-Strahlers;
  • 4 ein Histogramm einer Temperaturverteilung;
  • 5 die Temperaturverteilung entlang einer horizontalen und einer vertikalen Zeile des Infrarotstrahlungsbildes, und
  • 6 die Einrichtung zur Kalibrierung von Strahlungsmessgeräten nach 1, und zwar zur radiometrischen Kalibrierung.
  • 1 zeigt in schematischer Darstellung als zentrales Element einen punktförmigen Infrarotstrahler 10 hoher Strahlungsleistung, der als Globar in einem Gehäuse mit kleiner Öffnung als strahlender Apertur ausgebildet sein kann und im folgenden auch als Punktstrahler 10 bzw. Punktstrahlungsquelle 10 bezeichnet wird.
  • Der Punktstrahler 10 ist an einer Positioniereinrichtung 11 montiert, die zum Verfahren des Punktstrahlers 10 in vertikaler y-Richtung bzw. in horizontaler x-Richtung eine Verfahreinheit 11y bzw. eine Verfahreinheit 11x aufweist. Hierzu sind die beiden Verfahreinheiten 11x, 11y jeweils z.B. mit ferngesteuerten Schrittmotoren 12 und entsprechender Antriebsmechanik ausgerüstet. Der Punktstrahler 10 kann motorisch und ferngesteuert an jede gewünschte Stelle in einer xy-Ebene verfahren und dort positioniert werden. Die Längen der beiden Verfahreinheiten 11x und 11y und damit die Längen der Verfahrwege sind so gewählt, dass in der nachfolgend beschriebenen Kalibrierung die Punktstrahlungsquelle 10 jeweils bis an den Rand des Gesichtsfeldwinkels des zu kalibrierenden Geräts verfahren werden kann. Das Zentrum der xy-Ebene ist der Ort, an dem sich der Punktstrahler 10 befindet, wenn er jeweils in der Mitte der in x- bzw. y-Richtung verlaufenden Verfahrwege steht.
  • 1 zeigt ferner auf einer schematisch dargestellten optischen Bank 15 schematisch zwei Infrarotstrahlungsmessgeräte, nämlich z.B. ein zu kalibrierendes Radio/Spektrometer 13 und ein Wärmebildgerät 14, und die jeweiligen Aufnahmevorrichtungen für die beiden Geräte, die eine optische Justierung durch Drehung in zwei Achsen (Azimut und Elevation), eine Höhenverstellung sowie eine Fixierung der Geräte jeweils in Bezug auf die Punktstrahlungsquelle 10 ermöglichen. Diese Justierung kann mittels vereinfacht dargestellter mechanischer Einstellvorrichtungen in den zwei angegebenen Achsen erfolgen, die entweder von Hand mittels feiner nicht näher dargestellter Einstellschrauben oder aber auch beispielsweise über ferngesteuerte Schrittschaltmotore 12 verstellt werden können.
  • Entsprechendes gilt auch für die Einstellung der Montagehöhe der Geräte 13, 14. Hierbei erfolgt die Einstellung so, dass deren optische Achsen bei horizontaler Orientierung in Höhe der Mitte des in y-Richtung verlaufenden Verschiebewegs liegen.
  • Ferner weist in 1 die Positioniereinrichtung 11 noch eine weitere Verfahreinheit 11z zum Verfahren der beiden Verfahreinheiten 11x und 11y und damit des Punktstrahlers 10 in horizontaler z-Richtung auf. Hierdurch ist ein Verfahren der Punktstrahlungsquelle 10 entlang der optischen Achsen der Geräte 13, 14 ermöglicht, also die Einstellung des Abstands zwischen den Geräten 13, 14 und der Punktstrahlungsquelle 10. Die in z-Richtung verlaufende Achse ist somit senkrecht zur xy-Ebene und geht durch deren Zentrum. Der geometrische Ort der Montage für das zu kalibrierende Radiometer/Spektrometer 13 ist so eingerichtet, dass die optische Achse des Geräts 13 in die yz-Ebene gelegt werden kann.
  • Zur Durchführung einer geometrischen Kalibrierung werden die Temperatur und damit der Strahlungsfluss der Punktstrahlungsquelle 10 mittels einer Regelung konstant gehalten. Die Punktstrahlungsquelle 10 wird in der Mitte der beiden Verschiebeachsen x und y positioniert, also in der Mitte der xy-Ebene. Der Abstand zwischen den Geräten 13, 14 und der Punktstrahlungsquelle 10 sowie die optische Fokussierung der Geräte 13, 14 werden so gewählt, dass die Punktstrahlungsquelle 10 scharf abgebildet wird. Der Abstand wird durch eine Verschiebung der Verfahreinheit 11z eingestellt. Mittels der Höheneinstellung sind die Geräte 13, 14 so eingestellt, dass das Zentrum ihrer Empfangsapertur in Höhe der Mitte der xy-Ebene liegt.
  • Mittels der Zwei-Achsen-Justiervorrichtung wird das Wärmebildgerät 14 so ausgerichtet, dass das Bild der Punktstrahlungsquelle 10 im Zentrum des Gesichtfeldwinkels (im Zentrum des Bildes) liegt. Entsprechend erfolgt die Ausrichtung des Radiometers oder Spektrometers 13 zur Punktstrahlungsquelle 10, so dass das Gerät das maximale Signal anzeigt. Die Punktstrahlungsquelle 10 liegt dann im Gesichtsfeldbereich maximaler Empfindlichkeit, der sich in aller Regel auch in (oder nahe) dem geometrischen Zentrum des Gesichtfeldwinkels befindet.
  • Von einem Rechner zur Steuerung und Datenerfassung/-verarbeitung wird dann ferngesteuert und schrittweise die Punktstrahlungsquelle 10 mittels der Verfahreinheit 11x bzw. der Verfahreinheit 11y an jede gewünschte Position im Gesichtsfeld der Geräte 13, 14 verfahren. Die jeweiligen Messsignale werden erfasst und in digitaler Form im Rechner gespeichert. Die Schrittweite des Verfahrens der Punktstrahlungsquelle 10 ist per Programm-Menue an einer Bedieneinheit des Rechners wählbar, beispielsweise in Einheiten des Blendendurchmessers der Punktstrahlungsquelle 10.
  • Auf diese Weise werden Werte der relativen Empfindlichkeit als Funktion des Gesichtfeldwinkels der Geräte 13, 14 gewonnen (und im Rechner gespeichert), was als geometrische Kalibrierung bezeichnet wird. Die relative Empfindlichkeit kann beispielsweise auf die maximale Empfindlichkeit bezogen werden, die beispielsweise zu Hundert gesetzt wird. Alle anderen Werte sind dann kleiner als Hundert und geben direkt in Prozent an, wie viel der maximalen Empfindlichkeit jeweils vorliegt.
  • Aus den gemessenen Daten werden für die Geräte (Wärmebildgerät 14 und Radiometer/Spektrometer 13) die jeweiligen geometrischen Zentren der Gesichtsfelder ermittelt und im Rechner gespeichert. Dies ist bei rechteckigen Gesichtsfeldern der Schnittpunkt der Diagonalen, bei kreisförmigen der Mittelpunkt des Kreises. Durch die beschriebene Messung und Speicherung der Messdaten besteht eine eindeutige Zuordnung zwischen den Gesichtsfeldern der Messgeräte.
  • In 2 ist ein im wesentlichen aus DE 195 31 536 C2 bekannter Kalibrierstrahler 1, der als Doppelhohlraum ausgebildet ist, mit einem Gehäuse 2 und einer großen Apertur dargestellt. Ein Feld von kleinen Hohlräumen wird durch eine Wabenstruktur 3 aus Metall gebildet, die auf einer elektrisch beheizten Platte 4 mit einem Durchmesser von 30cm aufgebracht ist. Die Waben 3 und die Platte 4 sind hochemittierend beschichtet.
  • Die Anordnung befindet sich in einem großen Hohlraum 5, der im wesentlichen durch einen großen sphärischen Spiegel 6 gebildet und begrenzt wird, der für den Strahlungsaustritt eine kreisförmige Öffnung mit einem Durchmesser von 16cm aufweist. Der Spiegel 6 ist nicht beheizt, jedoch thermisch gegenüber dem Gehäuse 2 des Kalibrierstrahlers 1 isoliert. Strahlung, die nicht direkt in Richtung Öffnung emittiert wird, trifft auf den sphärischen Spiegel 6 und wird wieder zum Hohlraumfeld reflektiert.
  • Wie 3 bis 5 zeigen, ist selbst bei einem so aufwendigen Strahler 1, wie dem in 2 dargestellten, die Temperatur der Oberfläche nicht uniform, sondern nimmt im gezeigten Beispiel innerhalb der Aperturfläche Werte zwischen 116°C und 122°C an; die Nichtuniformität liegt also in einem Temperaturbereich von 6°C.
  • Ähnliche Verhältnisse liegen grundsätzlich auch bei anderen Ausführungsformen von Flächenstrahlern vor. Die Temperaturgradienten sind meist noch stärker ausgeprägt. Bei kleinen Hohlraumstrahlern ist eine geringere Abweichung von der Uniformität zu erwarten, ganz verschwinden wird sie aber nicht.
  • Im Hinblick auf die vorstehend geschilderten Gegebenheiten liegt daher nicht ein bezüglich der Temperaturuniformität idealer Kalibrierstrahler vor. Vielmehr soll gemäß der Erfindung eine nicht uniforme Temperaturverteilung eines realen Kalibrierstrahlers erfasst und bei der Kalibrierung berücksichtigt werden. Hierzu wird die Temperaturverteilung der Strahleroberfläche mittels eines Wärmebildgeräts gemessen und in das Kalibrierverfahren eingebracht.
  • Eine Wärmebildmessung wird ihrerseits über Temperaturfühler am Kalibierstrahler kalibriert. Alternativ hierzu kann auch das Verfahren der inhärenten Temperaturbestimmung mittels Kalibrierung bei drei oder mehr Temperaturen mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kombiniert werden. Mittels optomechanischer Justiervorrichtungen werden die bei der Kalibrierung wirksamen Bereiche des Kalibrierstrahlers eindeutig identifiziert.
  • Zum Kalibrieren eines Infrarotmessgeräts wird ein in 6 dargestellter Aufbau verwendet, der gegenüber 1 leicht modifiziert ist. Der radiometrischen Kalibrierung geht die vorstehend beschriebene, geometrische Kalibrierung voraus. Im Anschluss daran wird die Punktstrahlungsquelle 10 wieder ins Zentrum der xy-Ebene positioniert. Das zu kalibrierende Radiometer/Spektrometer 13 verbleibt in der Position, die für die geometrische Kalibrierung eingestellt wurde.
  • Es befinden sich dann die Punktstrahlungsquelle 10 und der Gesichtsfeldbereich maximaler Empfindlichkeit in der yz-Ebe ne und auf einer Parallelen zur z-Achse. Diese Parallele fällt mit der optischen Achse des Radiometers/Spektrometers 13 zusammen. Das Wärmebildgerät 14 wird auch so ausgerichtet, dass die Punktstrahlungsquelle 10 sich im Zentrum dessen Gesichtsfeldes befindet.
  • Die Punktstrahlerquelle 10 wird dann ersetzt durch eine Einrichtung mit einem oder mehreren Kalibrierstrahlern 1 ausgedehnter strahlender Fläche (Flächenstrahlern), wie in 6 dargestellt. Der/die Kalibrierstrahler 1 ist/sind so montiert bzw. verschiebbar angeordnet, dass er/sie jeweils in die bisherige Position der Punktstrahlungsquelle gebracht werden kann/können. Dabei befindet sich das Zentrum der Flächenstrahler 1 an der Position der Punktstrahlerquelle 10, also die optische Achse des zu kalibrierenden Messgeräts 13 geht durch das Zentrum des Flächenstrahlers 1.
  • Werden mehrere Flächenstrahler 1 verwendet, wie in 6 dargestellt, so kann jeder von ihnen wahlweise mittels der Verfahreinheit 11x an die bisherige Position der Punktstrahlungsquelle 10 gefahren und dort fixiert werden. Mittels der Verfahreinheit 11z wird dann der Abstand zwischen dem zu kalibrierenden Messgerät 13 und dem Flächenstrahler 1 so geändert und in die Kalibrierdistanz gebracht, dass die strahlende Fläche das Gesichtsfeld des Geräts vollständig überdeckt.
  • Das Gesichtsfeld des Wärmebildgeräts 14 ist größer als das des zu kalibrierenden Messgeräts 13 und wird in dieser Kalibrierdistanz vom Flächenstrahler 1 nicht ganz ausgefüllt. Da zwischen dem Verfahrweg in z-Richtung und der optischen Achse des Wärmebildgeräts 14 eine Parallaxe besteht, wird mittels der Zwei-Achsen-Justiereinrichtung das Wärmebildgerät 14 wieder so justiert, dass seine optische Achse durch das Zentrum des Flächenstrahlers 1 geht.
  • Hierbei wird unter optischer Achse der Mittelstrahl des Winkels eines räumlichen Gesichtsfelds verstanden. Ist/Sind das/die Gesichtfeld/er nicht kreisförmig, sondern beispielsweise quadratisch oder rechteckig, was bei Wärmebildgeräten häufig der Fall ist, dann steht die optische Achse senkrecht auf dem Schnittpunkt der Diagonalen in der Bildfeldebene.
  • Der gesamte Gesichtsfeldwinkel des Wärmebildgeräts 14 ist also etwas größer als der des zu kalibrierenden Geräts 13. Somit ist der vom Wärmebildgerät 14 erfasste Bereich des Strahlers 1 etwas größer und konzentrisch zu dem vom Wärmebildgerät 14 erfassten Bereich. Die Größe beider Gesichtsfelder und der beiden erfassten Strahlerbereiche wurden gemessen und sind daher genau bekannt. Der relative Verlauf der radiometrischen Empfindlichkeit in bezug auf das Gesichtsfeld des zu kalibrierenden Messgeräts 13 wurde gemessen und ist im Rechner des Kalibriersystems gespeichert. Dies gilt insbesondere für die Randbereiche des Gesichtsfeldes mit abnehmender Empfindlichkeit. Die Grenze am Gesichtsfeldrand kann der Anwender nach seinen Vorgaben setzen, beispielsweise bei 1% oder 0,5%, o.ä. von der maximalen Empfindlichkeit.
  • Die relative spektrale Empfindlichkeit des Wärmebildgeräts 14 wurde zuvor in bekannter Weise bestimmt und im Rechner des Kalibriersystems gespeichert. Die Ausdehnung der gesamten Strahlerfläche ist deutlich größer als der mittels des zu kalibrierenden Geräts erfasste Bereich. Beispielsweise ist der Durchmesser der Strahlerfläche in alle Richtungen doppelt so groß wie der vom Wärmebildgerät erfasste Bereich. Dadurch und durch die konzentrische Messanordnung wird der Bereich großer Temperaturgradienten am Rande des Strahlers von der Messung ausgeschlossen.
  • Insbesondere wegen der Parallaxe sollten die optischen Achsen von Wärmebildgerät 14 und zu kalibrierendem Gerät 13 einen möglichst kleinen Winkel einschließen, was durch eine Montage der beiden Geräte möglichst nahe beieinander erreicht ist. Der abbildungsoptische Einfluss der Parallaxe wird rechnerisch berücksichtigt. Bei diesem Aufbau ist besonders vorteilhaft, dass die Messungen mittels des Wärmebildgeräts 14 und des zu kalibrierenden Geräts 13 gleichzeitig erfolgen können. Dadurch sind eventuelle Fehler durch zeitliche Schwankung der Oberflächentemperaturen des Kalibrierstrahlers 1 vermieden, die bei zeitlich nacheinander erfolgenden Messungen auftreten könnten.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist der Kalibrierstrahler 1 im Zentrum seiner strahlenden Fläche, d.h. an der Auftreffstelle der optischen Achse von Wärmebildgerät 14 bzw. zu kalibrierenden Gerät 13 auf die strahlende Fläche, und an einer Anzahl n weiterer gleichmäßig über die strahlende Fläche verteilter Stellen, die alle im Gesichtsfeld der beiden Geräte liegen, unmittelbar unter der Oberfläche eingebaute Temperaturfühler auf. Die Zahl n ist nicht kleiner als 4 und so gewählt, dass der Abstand zwischen den Temperaturfühlern etwa 3cm beträgt.
  • Hierbei ist die Lage jedes einzelnen Temperaturfühlers bezüglich des Zentrums des Kalibrierstrahlers (optische Achse) genau festgelegt. Aus der Lage der Temperaturfühler in der Gegenstandsebene der Anordnung ergibt sich durch geometrische Zuordnung deren äquivalente Lage in der Bildebene des Wärmebildgeräts 14 und somit in Infrarot-Strahlungsbildern. Die Koordinaten der äquivalenten Lage jedes Temperaturfühlers im mittels des Wärmebildgeräts 14 erhaltenen Wärmebild sind im Rechner der Anordnung gespeichert.
  • Der/die Kalibrierstrahler 1 sind auf die zur Kalibrierung erforderliche/n Temperatur/en eingestellt. Vom Wärmebildgerät 14 wird ein Infrarotstrahlungsbild der Oberfläche des Kalibrierstrahlers 1, wie beispielsweise in 3 dargestellt ist, jedoch nicht temperaturskaliert, aufgenommen. Die Temperaturen der eingebauten Fühler werden zeitgleich mit der Bildaufnahme registriert.
  • Das Wärmebildgerät 14 wird dann für die Aufnahme so eingestellt (fokussiert), dass die Oberfläche scharf abgebildet wird. Unmittelbar danach wird eine Kalibriermessung mit dem zu kalibrierenden Gerät 13 vorgenommen. Die Temperaturen der eingebauten Fühler werden zeitgleich mit der Kalibriermessung registriert. Alternativ erfolgen alle Aufnahmen und Messungen gleichzeitig. Die Daten aller Messungen werden im Rechner gespeichert.
  • Die Auswertung erfolgt programmgesteuert im Rechner des Systems, wobei dem Benutzer die Ergebnisse aller Verarbeitungsschritte auf Wunsch angezeigt werden können.
  • Beim ersten Schritt der Auswertung wird durch Vergleich der Datensätze der mittels der Temperaturfühler beim Kalibrierstrahler 1 gemessenen Temperaturen zu den Zeitpunkten der Wärmebildaufnahme und der Kalibriermessung sichergestellt, dass die Strahlertemperaturen nicht über ein zulässiges Maß (Schwellenwert) voneinander abweichen. Hierbei kann der Schwellenwert vom Benutzer vorgegeben werden. Bei Überschreiten des Schwellenwerts erfolgt in jedem Falle eine Anzeige.
  • Beim zweiten Schritt wird das Infrarotstrahlungsbild exakt auf die Größe des vom zu kalibrierenden Messgerät erfassten Flächenbereichs eingeschränkt, und zwar bis zur vorgegebenen Grenze dessen Empfindlichkeit, beispielsweise 1% von der maximalen Empfindlichkeit.
  • Beim dritten Schritt wird für die Bildpunkte, für welche Temperaturmesswerte der Fühlermessungen vorliegen, unter Anwendung des Planckschen Strahlungsgesetzes und unter Verwendung der relativen spektralen Empfindlichkeit des Wärmebildgeräts die Strahldichte LMn des Kalibrierstrahlers berechnet.
  • Beim vierten Schritt wird, basierend auf den beim dritten Schritt berechneten Werten der Strahldichte LMn, für jeden Bildpunkt i die Strahldichte Li durch lineare Interpolation (bezogen auf die Werte LMn) aus dem Infrarotstrahlungsbild berechnet.
  • Beim fünften Schritt werden unter Anwendung des Planckschen Strahlungsgesetzes und unter Einbeziehung der relativen spektralen Empfindlichkeit des Wärmebildgeräts 14 aus den Strahldichtewerten Li die Temperaturen in den Bildpunkten, d.h. die Temperaturen der Strahleroberfläche berechnet. Dadurch entsteht ein äquivalentes Temperaturwertebild nach 2.
  • Beim sechsten Schritt wird anschließend aus diesem Bild ein Histogramm der Temperaturverteilung der Oberfläche des Strahlers nach 3 bestimmt. Dazu werden die Temperaturwerte auf die signifikante Dezimalstelle gerundet, wobei die signifikante Dezimalstelle durch die relative Temperaturauflösung des Wärmebildgeräts bestimmt ist, bzw. durch dessen Strahldichte-Nachweisvermögen NER (noise equivalent radiance), aus dem sich die Temperaturauflösung ergibt.
  • Beim siebten Schritt wird für alle ermittelten Temperaturen unter Anwendung des Planckschen Strahlungsgesetzes die spektrale Strahldichte L(σ) Schwarzer Strahler berechnet. Mit Hilfe der beim sechsten Schritt berechneten Temperaturverteilung wird daraus ein äquivalentes Bild der Strahldichteverteilung berechnet.
  • Ist das zu kalibrierende Gerät (13) optisch so eingestellt, dass es die Strahleroberfläche scharf abbildet, wird jeder der Strahldichte-Bildpunkte mit dem ihm zugeordneten Wert der relativen Empfindlichkeit des Gesichtsfelds des zu kalibrierenden Gerät (13) gewichtet (multipliziert).
  • Die gewichteten Strahldichtewerte werden aufsummiert und die Summe wird durch die Zahl der enthaltenen Werte (Zahl der Bildpunkte im Gesichtsfeld des zu kalibrierenden Geräts 13) dividiert. Das Resultat ist die bei der Kalibrierung tatsächlich wirksame spektrale Strahldichte des Kalibrierstrahlers (1) im Bereich des Gesichtsfelds des zu kalibrierenden Geräts (13).
  • Wird vom zu kalibrierenden Gerät (13) die Strahleroberfläche nicht scharf abgebildet, werden die berechneten Strahldichtewerte mit ihrer sich aus dem Histogramm ergebenden Häufigkeit gewichtet und durch die Zahl der enthaltenen Werte (Zahl der Bildpunkte im Gesichtsfeld des zu kalibrierenden Geräts 13) dividiert. Daraus ergibt sich die mittlere Strahldichte im Gesichtsfeld, die mit der relativen Empfindlichkeit des Gesichtsfelds multipliziert wird.
  • Das Resultat der Auswertung ist die bei der Kalibrierung tatsächlich wirksame spektrale Strahldichte des Kalibrierstrahlers 1 im Bereich des Gesichtsfelds des zu kalibrierenden Geräts 13, die zu dessen Kalibrierung verwendet werden.
  • Hierbei werden zur Kalibrierung bekannte Verfahren, wie Kalibrierung bei einer oder zwei Temperatur/en, sowie bei drei und mehr Temperaturen, eingesetzt. Auch die Kalibriermethode mit inhärenter Bestimmung der Strahlertemperaturen kann mit dem erfindungsgemäßen Verfahren verknüpft werden.
  • Erfindungsgemäß ist die Methode zur Temperaturbestimmung dergestalt erweitert, dass die relative Verteilung der Temperaturen im Histogramm und die Zahl der darin verwendeten Messwerte, sowie die relative Empfindlichkeit des Messgeräts (14) in Bezug auf dessen Gesichtsfeld und die Verteilung der Temperaturen des jeweiligen Strahlers in Bezug auf ihre Lage im Gesichtsfeld des Messgeräts (14) als zusätzliche, bekannte Daten im Ausgleichsalgorithmus verwendet werden.
  • Es wird jeweils nur eine Temperatur berechnet und unter Verwendung des Histogramms und der anderen bekannten Daten die für den Vergleich der Messung mit der Rechnung benötigte Strahldichte nach dem siebten Schritt bestimmt.
  • 1
    Kalibrierstrahler
    2
    Gehäuse
    3
    Wabenstruktur
    4
    Platte
    5
    Hohlraum
    6
    Spiegel
    10
    Infrarotstrahler (Punktstrahler)
    11
    Positioniereinrichtung
    11x, 11y, 11z
    Verfahreinheiten
    12
    Schrittmotor
    13
    Radio/Spektrometer
    14
    Wärmebildgerät
    15
    optische Bank

Claims (8)

  1. Verfahren zur Kalibrierung von Messgeräten zur quantitativen Infrarotstrahlungsmessung, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweidimensionale Temperaturverteilung der strahlenden Oberfläche eines Kalibrierstrahlers (1) quantitativ gemessen wird, daraus eine zweidimensionale Verteilung der Strahldichte der Strahleroberfläche bestimmt wird, die Strahldichte auf den vom zu kalibrierenden Messgerät (13) erfassten Bereich eingegrenzt wird, und die eingegrenzte Strahldichte mit der zweidimensionalen, relativen Empfindlichkeit im Gesichtsfeld des Messgeräts (13) gewichtet wird und dann als wahre Strahldichte im Kalibrierverfahren verwendet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum Bestimmen der zweidimensionalen Verteilung der Strahldichte der Strahleroberfläche ein Wärmebildgerät (14) verwendet wird.
  3. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine mechanisch verwindungssteife Basisstruktur mit einer mehrteiligen Positioniereinrichtung (11) zum reproduzierbaren, dreidimensionalen Verfahren eines Punktstrahlers (10) oder mindestens eines Kalibrierstrahlers (1) mit ausgedehnter strahlender Fläche und mit einer optischen Bank (15) mit dreidimensional reproduzierbar verstellbaren Aufnahmeeinrichtungen für zwei unabhängig von einander optisch justierbare, höhenverstell bare und fixierbare Geräte in Form eines Wärmebildgeräts (14) und eines zu kalibrierenden Messgeräts (13) und einen Rechner zum Steuern, Erfassen und Verarbeiten von Kalibrierdaten.
  4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mehrteilige Positioniereinrichtung (11) zum Verfahren des Punktstrahlers (10) oder mindestens eines Kalibrierstrahlers (1) in vertikaler y-Richtung eine Verfahreinheit (11y ) und in horizontaler x-Richtung eine Verfahreinheit (11x ) und zum Einstellen des Abstandes zwischen dem Punktstrahler (10) oder dem mindestens einen Kalibrierstrahler (1) und dem Wärmebildgerät (14) und dem zu kalibrierenden Messgerät (13) in einer horizontalen, zur x-Richtung senkrechten z-Richtung eine Verfahreinheit (11z ) aufweist, und die Verfahreinheiten (11x , 11y , 11z ) ferngesteuerte Schrittmotoren (12) mit entsprechender Antriebsmechanik aufweisen.
  5. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass mittels optomechanischer Justiervorrichtungen das Wärmebildgerät (14) und/oder das zu kalibrierende Messgerät (13) in Bezug auf den Kalibrierstrahler (11) definiert derart ausrichtbar ist, dass die optischen Achsen der beiden Geräte, welche nacheinander in derselben Position montierbar sind, deckungsgleich verlaufen und senkrecht auf das Zentrum der Oberfläche des Strahlers (11) auftreffen.
  6. Beim Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, und in Verbindung mit einer Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5 einsetzbarer Kalibrierstrahler (1) mit großer Apertur in Form einer elektrisch beheizten, vorzugsweise kreisförmigen Metallplatte (4), deren strahlende Fläche als metallische Wabenstruk tur (3) ausgebildet und mit hochemittierendem Material beschichtet ist, wobei Metallplatte (4) und Wabenstruktur (3) thermisch gut leitend miteinander verbunden sind und über der Wabenstruktur (3) ein gegenüber dem Gehäuse (2) des Kalibrierstrahlers (1) isolierter, sphärischer Hohlspiegel angeordnet ist, in dessen Scheitelpunkt eine, als Apertur dienende Öffnung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass an der Auftreffstelle der optischen Achse des Wärmebildgeräts (14) und des zu kalibrierenden Messgeräts (13) auf die als strahlende Fläche dienende Wabenstruktur (3) und an einer Anzahl n weiterer im Gesichtsfeld des Wärmebildgeräts (14) und des zu kalibrierenden Messgeräts (13) liegenden, gleichmäßig über die strahlende Fläche verteilter Stellen unmittelbar unter der Oberfläche der Wabenstruktur (3) Temperaturfühler vorgesehen sind.
  7. Einrichtung, nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl n ≥ 4 ist und so gewählt ist, dass der Abstand zwischen den Temperaturfühlern etwa 3cm beträgt, wobei die Lage jedes Temperaturfühlers bezogen auf die Auftreffstelle genau festgelegt ist und die Koordinaten der äquivalenten Lage jedes Temperaturfühlers in einem mittels des Wärmebildgeräts (14) erhaltenen Wärmebilds im Verarbeitungsrechner gespeichert sind.
  8. Verfahren zur Auswertung von gemäß dem Verfahren nach Anspruch 1 und mittels der Einrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7 ermittelten Daten, dadurch gekennzeichnet, dass durch Vergleich von Datensätzen von mittels der Temperaturfühler gemessener Temperaturen zu Zeitpunkten der Wärmebildaufnahme und der Kalibriermessung sichergestellt wird, dass die Strahlertemperaturen im Bereich einer für die Kalibrie rung wirksamen Fläche nicht über ein zulässiges Maß voneinander abweichen, ein Infrarot-Strahlungsbild exakt auf die Größe des vom zu kalibrierenden Messgerät (13) erfassten Flächenbereichs beschränkt wird, für Bildpunkte, für welche mittels der Temperaturfühler erhaltene Temperaturmesswerte vorliegen, unter Anwendung des Planckschen Strahlungsgesetzes und unter Berücksichtigung der relativen spektralen Empfindlichkeit des Wärmebildgeräts (14) die Strahldichte Lmn des Kalibrierstrahlers (1) berechnet wird, basierend auf den berechneten Werten der Strahldichte LMn für jeden Bildpunkt i, bezogen auf die Strahldichtewerte Lmn, die Strahldichte Li durch lineare Interpolation aus dem Infrarot-Strahlungsbild berechnet wird, mit Hilfe des Planckschen Strahlungsgesetzes und unter Berücksichtigung der relativen spektralen Empfindlichkeit des Wärmebildgeräts (14) aus den Strahldichtewerten Li die Temperaturen in den Bildpunkten i, und damit die Temperaturen der Strahleroberfläche berechnet werden, aus den berechneten Temperaturwerten ein Histogramm der Temperaturverteilung der Oberfläche des Strahlers bestimmt wird, für alle ermittelten Temperaturen mit Hilfe des Planckschen Strahlungsgesetzes die spektrale Strahldichte L(σ) eines Schwarzen Strahlers berechnet wird und mit Hilfe der vorher berechneten Temperaturverteilung daraus ein äquivalentes Bild der Strahldichteverteilung der Strahleroberfläche erstellt wird, jeder Bildpunkt i mit dem ihm zugeordneten Wert der relativen Empfindlichkeit des Gesichtsfelds des zu kalibrierenden Messgeräts (13) gewichtet wird, die gewichteten Strahldichtewerte aufsummiert werden, die erhaltene Summe durch die Zahl der enthaltenen Werte dividiert wird, und das hierdurch erhaltene Resultat als die bei der Kalibrierung tatsächlich wirksame spektrale Strahldichte des Kalibrierstrahlers (1) im Bereich des Gesichtsfelds des zu kalibrierenden Messgeräts (13) gespeichert wird, um zur Kalibrierung des Messgeräts (13) verwendet zu werden.
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