DE29802947U1

DE29802947U1 - Schleuseneinrichtung zum Ein- und/oder Ausbringen von Substraten in und/oder aus einer Behandlungskammer

Info

Publication number: DE29802947U1
Application number: DE29802947U
Authority: DE
Original assignee: Leybold Systems GmbH
Current assignee: Applied Materials GmbH and Co KG
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1998-02-19
Publication date: 1999-06-24
Anticipated expiration: 2008-02-20

Description

LEYBOLD SYSTEMS GmbH Wilhelm-Rohn-Straße 25

63450 Hanau

Schleuseneinrichtung zum Ein- und/oder Ausbringen von Substraten in und/oder aus einer Behandlungskammer

Die Erfindung betrifft eine Schleuseneinrichtung zum kontinuierlichen Ein- und/oder Ausbringen von Werkstücken in und/oder aus atmosphärisch voneinander separierten Räumen mit mindestens einem die Räume verbindenden Schleusenkanal.

Gattungsgemäße Schleuseneinrichtungen sind z. B. aus der P 27 47 061 bekannt. Diese herkömmliche Schleuseneinrichtung dient dazu, endlose Trägerbänder, welche in einer Vakuumkammer zu beschichten sind, mittels der Schleusenvorrichtung vom umgebenden, Normaldruck aufweisenden Außenraum in die Beschichtungskammer einzubringen bzw. nach erfolgtem Beschichtungsprozeß aus der Beschichtungskammer herauszuführen. Der Druckunterschied zwischen dem atmosphärischen Außendruck und dem für vakuumgestützte Beschichtungsprozesse üblichen Va-

kuumdruck von maximal 10~³ mbar wird über eine Druckstufenstrecke aufrechterhalten, welche mehrere hintereinander angeordnete schlitzförmige Blenden aufweist, durch welche das Trägerband geführt wird. Wesentliche Elemente dieser sogenannten Bandschleusen, welche die Druckdifferenz gegenüber dem Druck in der eigentlichen Beschichtungskammer überbrücken, sind die als Schlitze oder Spalten ausgebildeten Blenden, welche der Luftströmung einen merklichen Widerstand entgegensetzen, so daß unter Einsatz von Vakuumpumpen die Erzeugung der gewünschten Druckdifferenz möglich ist. Um eine ausreichende atmosphärische Trennung zwischen dem Beschichtungsraum und dem Außenraum zu gewährleisten ist es erforderlich, die Blenden dem Profil des Trägerbandes anzupassen, um den Durchtritt von z. B. Luft in die Beschichtungskammer zu verhindern. Eine weitere Einschränkung einer derartigen Schleuseneinrichtung ist, daß das Trägerband selbst für die dichtende Funktion der Blenden notwendig ist, so daß es erforderlich ist, daß das Trägerband ausschließlich endlos durch die bekannte Schleuseneinrichtung transportiert werden kann, um einen Druckanstieg in der Beschichtungskammer zu vermeiden. Dies schränkt die Verwendung dieser bekannten Schleuseneinrichtung auf die durch eine Schleuse zu transportierenden Werkstücke nachteilig sehr stark ein.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Schleuseneinrichtung zu schaffen, die einen kontinuierlichen Transport von Werkstücken zwischen zwei Räumen ermöglicht,

wobei die beiden Räume voneinander atmosphärisch getrennt sind, jedoch nicht die vorgenannten nachteiligen Einschränkungen aufweist.

Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 dadurch gelöst, daß die atmosphärisch voneinander separierten Räume mit einem Schleusenkanal verbunden sind, in welchem mindestens eine das zu schleusende Werkstück aufnehmende Schleusenkammer zwischen den Räumen verfahrbar angeordnet ist, und wobei die Schleusenkammer eine Offnung zum Be- und Entladen der Werkstücke und mindestens eine Dichtungsvorrichtung aufweist, mittels welcher der Schleusenkammerinnenraum atmosphärisch von den benachbarten Räumen abgedichtet ist.

Die erfindungsgemäße Schleuseneinrichtung ist geeignet, die Werkstücke zwischen Räumen mit identischem Atmosphärendruck wie auch zwischen Räumen, welche unterschiedliche Atmosphärendrücke aufweisen, zu schleusen, wie im Anspruch 2 angegeben.

Ein besonderer Vorteil ergibt sich dann, wenn einer der Räume gemäß Anspruch 3 atmosphärischen Normaldruck und der andere Raum atmosphärischen Unterdruck aufweist. Da während des Ein- bzw. Ausschleusens der Werkstücke in bzw. aus dem Unterdruckraum der Unterdruck aufrecht erhalten bleibt, können die z. B. in dem Unterdruckraum durchgeführten, einen Vakuumdruck erfordernden Behandlungsprozesse kontinuierlich durchgeführt werden. Das Belüften und anschließende Evakuieren der Va-

kuumkammer, insbesondere zum Ein- und/oder Ausbringen der zu behandelnden Werkstücke ist erfindungsgemäß nicht erforderlich. Mit der erfindungsgemäßen Schleuseneinrichtung ist es somit möglich, die Werkstücke in effizienter Weise zeit- und kostengünstig in den unter einem vom Außenraum abweichende Atmosphärenbeschaffenheit aufweisenden Raum hinein bzw. aus diesem heraus zu transportieren.

In der Praxis wurde eine Vakuumbeschichtungskammer, welche einen Atmosphärenunterdruck von maximal 10~³ mbar während des Beschichtungsprozesses aufwies, erfolgreich mittels der erfindungsgemäßen Schleuseneinrichtung mit zu beschichtenden Werkstücken vom Normaldruck aufweisenden Außenraum beschickt bzw. mit den in der Vakuumbeschichtungskammer beschichteten Werkstücken (Substraten) entladen.

Eine besonders einfache Konstruktion der Schleuseneinrichtung ergibt sich nach den Merkmalen des Anspruchs 5. Danach besteht die Schleuseneinrichtung aus einer Karussellschleuse, welche im wesentlichen ein Karussellgehäuse und ein in dem Karussellgehäuse drehbar gelagertes Schleusenkammerrad umfaßt. In dem Schleusenkammerrad sind umfangsseitig einzelne Schleusenkammern eingelassen, deren einzelne Öffnungen in radialer Richtung zugänglich sind. Das den Schleusenkanal bildende Karussellgehäuse weist umfangsseitig gemäß Anspruch 6 Dichtungsvorrichtungen auf, die während des Schleusungstransports dichtend an der Innenwand

des Schleusenkanals anliegen, wodurch die einzelnen Schleusenkammern voneinander und von den z. B. unterschiedliche Atmosphärendrücke aufweisenden Räumen atmosphärisch getrennt sind. Von Vorteil hat sich erwiesen, die einzelnen Schleusenkammern während ihres Übergangs vom Raum höheren Drucks zum Raum mit niedrigerem Atmosphärendruck druckmäßig über eine Druckstufe anzupassen, um das Einbringen von in den Schleusenkammern mitgeführtem Atmosphärengas in die Vakuumkammer zu vermeiden. Hierzu ist vorgesehen, den Sqhleusenkanal mittels geeigneter Pumpen, z. B. Vakuumpumpen zu evakuieren. Dazu ist der Schleusenkanal über mehrere Saugstutzen an Vakuumpumpen angeschlossen. Die Auslegung der Vakuumpumpen ist so gewählt, daß der atmosphärische Druck in dem Schleusenkanal über den Transportweg der Substrate in die Vakuumkammer kontinuierlich oder stufenweise abnimmt oder ansteigt (siehe Anspruch 7). Die einzelnen zueinander benachbarten Schleusenkammern weisen somit abhängig von ihrer Position unterschiedliche Drücke auf.

Die zwischen den Schleusenkammern und der Innenwand des Schleusengehäuses angeordneten Dichtvorrichtungen bestehen aus Schieberdichtelementen, welche auf dem Umfang des Schleusenkammerrades dichten, und aus Radialdichtungen, welche durchgehend und z. B. einstückig als Dichtungsband umlaufend am Schleusenkammerrad angeordnet sind und den Durchtritt von Atmosphärenluft in axialer Richtung des Schleusenkammerrades verhindern. Die Dichtungseinrichtung ist vorteilhaft als Trockendich-

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tung ausgebildet, was die Verwendung von Schmierstoffen vermiedet. Hierzu wird vorgeschlagen, einzelne Schieber aus einem abriebfesten elastischen Kunststoff, z. B. aus Teflon zu verwenden.

Gemäß den Merkmalen des Anspruchs 8 sind zum Be- und/oder Entladen der Schleusenkammern Beladevorrichtungen vorgesehen, welche vorzugsweise diametral zueinander und benachbart zum Schleusenkammerrad in den atmosphärisch voneinander getrennten Räumen angeordnet sind. ,.Diese Be-/Entladevorrichtungen weisen jeweils Greifvorrichtungen auf, die z. B. die unbehandelten Substrate zum Einschleusen in eine Behandlungskammer in die einzelnen Schleusenkammern befördern und welche die behandelten Substrate zum Ausschleusen in die einzelnen Schleusenkammern befördern.

Weiterhin wird gemäß Anspruch 9 vorgeschlagen, die erfindungsgemäße Schleuseneinrichtung zum Ein- und Ausschleusen von mittels eines Vakuumbeschichtungsprozesses zu beschichtenden Substraten in/aus eine(r) Beschichtungskammer, welche eine Beschichtungsquelle aufweist, einzusetzen. Als Beschichtungsquelle eignen sich bekannte Verdampferquellen und/oder Sputterkathodenquellen zur ' Erzeugung einer Wolke aus verdampftem und/oder zerstäubtem Beschichtungsmaterial zum Niederschlag auf die zu beschichtenden Substrate. Die Substrate bestehen aus Kunststoffbehältern, z. B. Flaschen, auf deren Außenwandung eine optisch transparente, jedoch für den Durchtritt von Gasen und/oder Flüssigkeiten undurchlässige Sperrschicht abgeschieden wird.

Hierzu wird mittels der Verdampfungs- bzw. Sputterkathodenquelle siliziumhaltiges Quellenmaterial verdampft bzw. zerstäubt, welches mit einem Sauerstoff enthaltenden Reaktionsgas, welches in die Beschichtungskammer eingeleitet wird, reagiert und als SiC^-Schicht auf den Kunststoffbehältern niederschlägt .

Weitere vorteilhafte, erfindungsgemäße Merkmale sind in den übrigen Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines bevorzugten und in Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 den Längsschnitt durch eine Schleuseneinrichtung mit benachbarter Behandlungskammer sowie mit schematisch dargestelltem Transportweg der Werkstücke in der Behandlungskammer,

Fig. 2 die Schleuseneinrichtung gemäß Fig. 1 mit Schleusenkammerrad mit zugeordneten Beladevorrichtungen mit zwei beladenen Schleusenkammern,

Fig. 3 die Darstellung gemäß Fig. 2 in einer weiter getakteten Transportmomentaufnahme des Schleusenkammerrades und der Beladeeinrichtungen,

Fig. 4 die Darstellung gemäß Fig. 3 bei weitergetakteter Transportmomentaufnahme,

Fig. 5 die Darstellung gemäß Fig. 4 bei weitergetaktetem Transportweg,

Fig. 6 die Darstellung gemäß Fig. 5 bei weitergetaktetem Transportweg,

Fig. 7 die Darstellung gemäß Fig. 6 bei weitergetaktetem Transportweg,

Fig. 8 Schnittansicht gemäß. der Schnittlinie S-S' durch die Karussellschleuse nach Fig. 1,

Fig. 9 eine vergrößerte Darstellung eines Teilausschnittes des Umfangs des Schleusenkammerrades mit Dichtungsvorrichtung,

Fig. 10 Schnittansicht entlang der Schnittlinie U-U' in Fig. 9 und

Fig. 11 einen Ausschnitt des Schleusenkammerrades gemäß Fig. 2 in vergrößerter Darstellung mit Schleusenkammer und zugeordneten Dichtungsvorrichtungen.

Die Schleuseneinrichtung 2 zum kontinuierlichen Ein- und/oder Ausbringen von Werkstücken in und/oder aus atmosphärisch voneinander separierten Räumen 1,4 besteht im wesentlichen aus einem als Karussellgehäuse 24 ausgebildeten Schleusenkanal 6, der einen Behandlungsraum 4 zum Bearbeiten der Substrate 3,13 mit dem Außenraum 1 verbindet. Die

Schleuseneinrichtung 2 umfaßt neben dem Karussellgehäuse 24 ein in diesem drehbar gelagertes Schleusenkammerrad 10, in welchem umfangsseitig und äquidistant zueinander beabstandet einzelne Schleusenkammern 7a-7m eingelassen sind. Zum Einschleusen der Werkstücke 3 von dem Außenraum 1 in den Behandlungsraum 4 werden die einzelnen Werkstücke 3 in der in den Fig. 2-7 eingezeichneten Beschickungsstation A über den Transportweg Ti (siehe Fig. 2) an die im Außenraum 1 angeordnete Beschickungsstation A herangeführt. Die Beschikkungsstation A umfaßt ein Übergabehandlung 15', dem eine Greifvorrichtung 16' zugeordnet ist. Mittels der Greifvorrichtung 16' wird das über den Transportweg Ti herangeführte Substrat 3 vorzugsweise endseitig ergriffen und durch eine gleichzeitig erfolgende, radial gerichtete Streckbewegung der Greifvorrichtung 16' und einer 180°-Drehung des Übergabehandlings 15' gegenüber einer leeren Schleusenkammer 7a positioniert. Das Substrat 3 wird dann durch eine in Richtung der Schleusenkammer 7a gerichtete Streckbewegung der Greifvorrichtung 16' durch die Schleusenkammeröffnung 20 (siehe Fig. 11) in die Schleusenkammer 7a eingebracht. Gleichzeitig wird ein beschichtetes Substrat 13 in analoger Weise, jedoch mit umgekehrtem Bewegungsablauf mittels des Übergabehandlings 15 und der zugeordneten Greifvorrrichtung 16 aus der Schleusenkammer 7m entnommen. Zum Transport der in die Schleusenkammern 7a-7m eingebrachten Substrate 3 bzw. 13 in Richtung der Vakuumkammer 4 bzw. in Richtung des Außenraums 1 dreht das Schleusenkammerrad 10 entsprechend der in den Fig.

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1 bis 8 dargestellten Drehrichtung R. Zur Anpassung des Drucks in den Schleusenkammern 7a - 7m an den im Bereich der Übergabestationen A und H bzw. B und G ist die Karussellkammer 24 über radial verteilt angeordnete Saugstutzen 8 an nicht dargestellte Vakuumpumpen angeschlossen. Die Auslegung der einzelnen Pumpen ist derartig getroffen, daß die Drücke Pi, P2, P3, P4 (siehe Fig. 1) in der Reihenfolge ihrer Aufzählung abnehmen. Da die einzelnen Schleusenkammern 7a-7m mittels Dichtungsvorrichtungen 30,32,33,34,35,36 atmosphärisch voneinander und gleichzeitig vom Außenraum 1 und von dem Behandlungsraum 4 vollständig getrennt sind, bilden jeweils sechs Schleusenkammern 7a - 7f bzw. 7g - 7m jeweils eine sogenannte Druckstufenstrecke, die das Eindringen von im Außenraum 1 herrschender Atmosphärenluft in die Behandlungskammer 4 wirksam unterdrückt und gleichzeitig den Transport von Substraten 3 bzw. 13 in bzw. aus der Behandlungskammer 1 in den Außenraum 4 ermöglicht bei konstantem Atmosphärendruck in der Behandlungskammer 4. Die in den Behandlungsraum 4 eingeschleusten Substrate 3 werden in analoger Weise wie bei der Beschickungsstation A bzw. der Entladestation H bei der Übergabestation auf ein in den Figuren nicht dargestelltes Transportband übergeben. Das Transportband durchläuft die Transportstrecke T2, welche in Fig. 1 durch eine strichpunktierte Linie wiedergegeben ist. Die 2. B. mittels einer schwenkbaren Haltevorrichtung an dem Transportband lösbar befestigten Substrate 3 werden entlang der Transportstrecke T₂ vor einzelnen Behandlungsstationen entlangbewegt.

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Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel bestehen die Behandlungsstationen aus einzelnen, nicht dargestellten Beschichtungsquellen für die Vakuumbeschichtung. Diese Beschichtungsquellen, z. B. Verdampfungsquellen und/oder Kathodenzerstäubungsquellen, erzeugen in bekannter Art bezogen auf den Quellenmittelpunkt eine radialsymmetrische dreidimensionale Dichteverteilung 9 des verdampften bzw. zerstäubten Beschichtungsmaterials. Entsprechend der von den,Prozeßparametern der Beschichtungsquelle und dem Beschichtungsmaterial abhängigen Emissionscharakteristik bilden sich sogenannte 25 %-Dichte- bzw. 50 %-Dichte-Verteilungen 9,12 aus, wie in Fig. 1 dargestellt.

Um eine gleichmäßige, homogene Beschichtung der Substrate 3,13 sowohl auf ihren äußeren Wandflächen als auch auf deren Bodenfläche zu gewährleisten, werden die Substrate 3,13 zunächst in einer Wandbeschichtungsposxtion schräg zu den vorzugsweise am Boden der Beschichtungskammer 4 angeordneten Beschichtungsquellen ausgerichtet. Während des Transports der Substrate 3,13 in der Wandbeschichtungsposition P₅ werden die Substrate 3,13 um ihre Längsachse gedreht, um eine Rundumbeschichtung zu gewährleisten. Nach erfolgter Beschichtung der Wandflächen wendet die Transportstrecke T₂ um 180° mit einer in der Fig. 1 nicht dargestellten Wendeeinrichtung, wobei die Substrate 3,13 gleichzeitig von einer schrägen Beschichtungsposition P₃ in eine vertikale Beschichtungsposition P_v überführt werden. Die mit ihrer Bodenfläche zu den Be-

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Schichtungsquellen ausgerichteten Substrate werden an den Beschichtungsquellen vorbeigeführt, wobei, wie in Fig. 1 dargestellt, die Substrate 3,13 nunmehr oberhalb der gleichzeitig in der Wandbeschichtungsposition P₅ befindlichen Substrate 3,13 beschichtet werden. Nach Durchlaufen der Transportstrecke T2 in der Bodenbeschichtungsposition P_v werden die Substrate 3,13 durch eine Wendevorrichtung 11 parallel, jedoch entgegengesetzt zur ersten Bodenbeschichtungsposition P_v an den Beschichtungsquellen in einer weiteren Bodenbeschichtungsposition Py entlangbewegt. Im Anschluß an diese Beschichtungsphase wendet der Transportweg abermals um 180°, woran sich eine abschließende Beschichtungsphase, die die Substrate 3 nunmehr in einer Wandbeschichtungsposition P₃ durchlaufen, anschließt .

Die beschichteten Substrate 13 werden durch das Transportband entlang der Transportstrecke T2 zur Übergabestation G transportiert. Nach der Übergabe der Substrate 13 in die Schleusenkammern 7a - 7m des Schleusenkammerrades 10 werden die beschichteten Substrate 13 durch Drehung des Schleusenkammerrades 10 in Drehrichtung R zur Entladestation H verfahren, wo sie in der oben geschilderten Weise mittels des in den Fig. 2 bis 7 dargestellten Übergabehandlings 15 und der Greifvorrichtung 16 der Transportstrecke &Tgr;&khgr; zugeführt werden (siehe Fig. 2) .

Die Ausbildung der Schleuseneinrichtung 2 als Karussellschleuse ist der Fig. 8 zu entnehmen. Die

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Schleuseneinrichtung 2 besteht im wesentlichen aus dem Karussellgehäuse 24, in welches das Schleusenkammerrad 10 auf einer Welle 44 drehbar angeordnet ist. Die Welle 44 wird mittels zwei in Lagergehäusen 40 bzw. 42 eingepaßten Lagern 48 bzw. 46 gehalten. In dem Schleusenkammerrad 10 sind einzelne, jeweils diametral gegenüberliegende und äquidistant zueinander beabstandete, über den Umfang des Schleusenkammerrades 10 angeordnete Schleusenkammern 7a - 7m ausgebildet. Wie der Fig. 8 zu entnehmen ist, sind die Schleusenkammern 7c bzw. 7j stellvertretend für die übrigen Schleusenkammern mittels Dichtungsvorrichtungen 34,34',36, 32a,32b,50a,50b gegenüber dem Schleusenkanal 41 atmosphärisch druckdicht, insbesondere vakuumdicht, vorzugsweise hochvakuumdicht getrennt. Die Dichtungsvorrichtungen 34,34',36,32a,32b,50a,50b bestehen aus jeweils ober- und unterhalb der einzelnen Schleusenkammern 7c zw. 7j ausgebildeten Radialdichtungen 50a, 50b, die, wie in den Fig. 9 und 10 abgebildet, gegenüber der Schleusenkanalinnenwand 22 einerseits und Schiebern 32b, die fest mit dem Schleusenkammerrad 10 und benachbart zu den Schleusenkammern 7a-7m angeordnet sind, andererseits atmosphärisch dichten. Der Schieber 32b wird in einer in einem zugeordneten Schieber 32a ausgebildeten Kulisse geführt, wobei mittels eines elastisch verformbaren Ausgleichselements 36 zwischen dem Schieber 32b und dem Schieber 32a diese federnd dichtend in Kontakt gehalten werden. Die Schieber 32a bzw. 32b werden in radialer Richtung durch Federelemente 34,34' (siehe Fig. 11), welche durch eine Schraube 35 in dem Schleusenkammerrad

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10 fixiert sind, radial nach außen gedrückt, wodurch die Schieber 32a,32b auch bei Drehung des Schleusenkarnmerrades 10 in dynamischem dichtendem Kontakt mit der Schleusenkammerinnenwand 22 gehalten werden. Durch die Dichtungsvorrichtung 34, 34', 36,32a,32b,50a,50b ist somit gewährleistet, daß die einzelnen Schleusenkammern 7a, 7b,... während des Schleusungsvorganges atmosphärisch und ausreichend vakuumdichtend voneinander getrennt sind.

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Bezugszeichenliste

Raum, Außenraum Schleuseneinrichtung Substrat, Behälter, Werkstück Raum, Behandlungsraum, Beschichtungskammer
Kammerwand Schleusenkanal&ldquor; Schleusenkammer Pumpöffnungen, Saugstutzen Bedampfungswolke, 25 %-Dichteverteilung Karussellrad, Schleusenkammerrad Wendevorrichtung Bedampfungswolke, 50 %-Dichteverteilung Substrat, beschichtet Schleusenkammerwand Übergabehandling Greifvorrichtung Übergabehandling Greifvorrichtung Schleusendeckel, Schleusenboden Schleusenkammeröffnung Schleusenkanalinnenwandung Schleusenkanal, Karussellgehäuse, Karussell kammer Dichtungsvorrichtung Schieber
Schieber
Federelement Schraube

20 98 -514

36 Ausgleichselement

38 Zahnrad

40 Lagerdeckel

41 Schleusenkanal

42 Lagerdeckel 44 Welle

4 6 Lager

48 Lager

50a,b Radialdichtung

52 Dichtelement

60 Beschichtungsquelle

A Beschickungsstation

B Übergabestation

C,D,E,F Transportweg

G Übergabestation

H Entladestation

R Drehrichtung

P₅ Behälterwandbeschichtungsposition

Pv Behälterbodenbeschichtungsposition

Ti Transportstrecke / Außenraum

T₂ Transportstrecke / Innenraum

Claims

15 98 Schutzansprüche

1. Schleuseneinrichtung zum kontinuierlichen Ein- und/oder Ausbringen von Werkstücken in und/oder aus atmosphärisch von einander separierten Räumen mit mindestens einem die Räume verbindenden Schleusenkanal, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Schleusenkanals (24,41) mindestens eine ,zwischen den benachbarten Räumen (1,4) verfahrbare und das zu schleusende Werkstück (3,13) aufnehmende Schleusenkammer (7a-7m) vorgesehen ist, wobei die Schleusenkammer (7a-7m) eine Öffnung (20) zum Be- und Entladen der Werkstücke (3,13) aufweist und die Schleusenkammer (7a-7m) mindestens eine Dichtungsvorrichtung (30) aufweist, mittels welcher in Zusammenwirken mit der Innenwandung (22) des Schleusenkanals (24,41) der Schleusenkammerinnenraum (7a-7m) atmosphärisch von den Räumen (1,4) während des Schleusendurchtritts abgedichtet ist.

2. Schleuseneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Räume (1,4) unterschiedliche Atmosphärendrücke aufweisen.

3. Schleuseneinrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Räume (1) atmosphärischen Normaldruck und der andere Raum (4) Unterdruck aufweist.

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4. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterdruck aufweisende Raum (4) als Vakuumbeschichtungskammer ausgebildet ist, in welcher ein Atmosphärendruck von maximal 10"³ mbar während eines Beschichtungsprozesses eingestellt ist.

5. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, welche als Karussellschleuse ausgebildet ist und eine Karussellkammer (24) mit einem in dieser drehbar gelagerten Schleusenkammerrad (10) umfaßt, wobei in dem Schleusenkammerrad (10) umfangsseitig mindestens eine Schleusenkammer (7a-7m) mit einer Öffnung (20) zum Be- und Entladen des Schleusenkammerrades (10) mit zu schleusenden Werkstücken vorgesehen ist, welche in den umlaufenden Seitenrand des Schleusenkammerrades (10) eingelassen ist.

6. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Schleusenkammerrad (10) umfangsseitig Dichtungsvorrichtungen (30) vorgesehen sind, welche Dichtungselemente (50b,52,32a,32b) aufweisen, die während des Schleusungsvorganges der Substrate (3,13) von einer Beschickungsstation (A) zu einer Übergabestation (B) bzw. von einer Übergabestation (G) zu einer Entladestation (H) derartig dichtend an der Kanalinnenwand (22) des Schleusenkanals (41) anliegen, daß die

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Schleusenkammer (7a-7m) atmosphärisch dicht sowohl von dem Außenraum (1) als auch von dem Behandlungsraum (4) getrennt ist.

7. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schleusenkanal (41) als differentiale Druckstufe ausgebildet ist, wobei der Schleusenkammerdruck in dem Schleusenkanal (41) ausgehend von der Beschickungsstation (A) bzw. der Entladestation (H) im Außenraum (1) über den Umfang des zwischen dem Schleusenkammerrad (14) und dem Karussellrad (10) ausgebildeten Schleusenkanal (41) umlaufend in Richtung der Übergabestation (B) bzw. der Übergabestation (G) von dem im Außenraum (1) herrschenden atmosphärischen Druck auf den in den Behandlungsraum (4) herrschenden Druck abnimmt.

8. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Beladen und/oder Entladen des Schleusenkammerrades (10) mit den Substraten (3,13) Beladevorrichtungen (15,15'; 17,17') vorgesehen sind, welche mittels Greifvorrichtungen (16,16'; 18,18') die unbehandelten Substrate (3) bzw. die behandelten Substrate (13) in die Schleusenkammer (7a-7m) bzw. aus der Schleusenkammer (7a-7m) befördern.

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9. Schleuseneinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Behandlungskammer (4) mindestens eine Beschichtungsquelle, vorzugsweise eine Verdampferquelle und/oder eine Sputterkathodenquelle zur Erzeugung einer Wolke aus verdampftem und/oder zerstäubtem Beschichtungsmaterial zum Niederschlag auf die zu beschichtenden Substrate (3,13) vorgesehen ist, und wobei die Substrate (3,13) vor der Beschichtungsquelle verfahrbar angeordnet sind.