DE29712337U1 - Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen - Google Patents

Description

Beschreibung

Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.

Als Hintergrund der Erfindung ist festzustellen, daß unter anderem auf dem Gebiet der Ultrakurzzeitspektroskopie häufig Korrelationsmethoden verwendet werden, bei denen Signale als Funktion des zeitlichen Abstands kurzer Lichtimpulse gemessen werden. Zu diesem Zweck benötigt man ein Element, das die Ankunftszeit der Lichtimpulse an einem bestimmten Ort mit entsprechend hoher Zeitaufiösung variieren kann. Die Erzeugung ultrakurzer Lichtimpulse weit unter 100 fs ist heutzutage zu einer Standardtechnik fortgeschritten und entsprechende Laser sind kommerziell erhältlich. In vielen Anwendungen werden ultrakurze Impulse verwendet, deren Ankunftszeit an bestimmten Orten möglichst auf „die Femtosekunde genau" eingestellt werden muß. Neben der Notwendigkeit dieser hohen zeitlichen Auflösung von wenigen Femtosekunden ist zusätzlich oft ein Variationsbereich von vielen 100 Pikosekunden bis Nanosekunden erforderlich. Eine übliche Methode, die Ankunftszeit von Lichtimpulsen um At zu variieren, nutzt die Veränderung AL des von einem Lichtstrahl zurückzulegenden Weges entsprechend der Abhängigkeit &Dgr;&iacgr; = AL/c (c = Lichtgeschwindigkeit). Ein auf einem Support befestigtes Umlenkelement erfüllt diesen Zweck. Fig. 2 zeigt eine übliche dem Stand der Technik entsprechende Ausführung einer variablen Verzögerungsstrecke. Der Lichtstrahl (20) wird von einem Umlenkelement (21) bestehend z.B. aus zwei unter 90° zusammengesetzten Spiegeln seitenversetzt retroreflektiert (23). Das Umlenkelement (21) befindet sich auf einem Support (22), der z.B. von einem Schrittmotor (24) in Richtung (25) bewegt wird. Die minimale Schrittweite des Schrittmotors und des Spindeltriebs bestimmen die erreichbare Zeitauflösung des Verzögerungselements, da die pro Schritt zurückgelegte Wegstrecke

AL sich in einer Änderung der Impulslaufzeit um 2AL/c widerspiegelt. Will man nur sehr kurze Verzögerungsstrecken realisieren, so liefert die in Fig. 2 gezeigte Anordnung akzeptable Ergebnisse. Sind dagegen Verzögerungen von wenigen Femtosekunden bis zu einigen Nanosekunden erforderlich, so müssen variable Verzögerungsstrecken von typisch 100 cm und mehr realisiert werden. Bei so langen Verschiebewegen erweist sich die mechanische Präzision üblicher Supports oft als ungenügend. Ein Verfahren des Supports bewirkt meist eine leichte Veränderung der Lage des retroreflektierenden Spiegelaufbaus (21) (i.A. ein leichtes vertikales Verkippen des Spiegels ) und führt so zu Abweichungen von der gewünschten Strahllage am Zielort (23). Bei sehr präzisen Anwendungen mit hoher Ortsauflösung oder Strahllagensensitivität ist dies absolut inakzeptabel. Man denke z.B. an eine interferometrische Überlagerung zweier Strahlen, von denen einer diese Verzögerungsstrecke durchläuft. Folglich können mit der beschriebenen Anordnung nur sehr kurze Verzögerungsstrecken von wenigen Millimetern bzw. einigen Pikosekunden Verstellbereich ohne merkliches Strahlwandern realisiert werden. Längere Verzögerungsstrecken erfordern strahllagenstabilisierende Vorkehrungen, die im wesentlichen aus mechanisch und elektrisch sehr aufwendigen, aktiv rückgekoppelten Positioniereinrichtungen bestehen.

Ein diesbezüglich dem Stand der Technik entsprechendes Anwendungsbeispiel ist den folgenden Fachartikeln zu entnehmen:

- C. Doland, W. B. Jackson, and A. Andersson: ,ßeam overlap for long delay lines using active feedback". Opt. Lett., Vol. 12, No. 2, p. 96- 98, Feb. 1987;

- C. N. Ironside and D. J. Morris: ,^A self-aligning scanning optical delay line", J. Phys. E: Sei. Instrum., Vol. 17, p. 440 - 441, 1984;

In beiden Artikeln wird angesichts der Problematik eines Strahlwanderns im Zuge eines Verschiebens des Umlenkelements prinzipiell der gleiche Lösungsvorschlag gemacht. Der vom Umlenkelement retroreflektierte Strahl (23) wird mittels eines Strahlteilers aufgespalten. Während der Hauptteil zum Experiment geführt wird, trifft der abgespaltene schwächere Anteil auf einen positionssensitiven Detektor, z.B.

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eine Vierquadranten-Diode. Eine vom bewegten Verzögerungselement (21) verursachte Strahlbewegung wird auf dem positionssensitiven Detektor ermittelt und von einer komplexen Regelelektronik ausgewertet. Stellt die Regelelektronik eine Veränderung der Strahllage fest, so wird das Umlenkelement so bewegt bzw. justiert, daß der Strahl wieder auf seine ursprüngliche Position am Detektor zurückkehrt. Zusätzlich zu dem Freiheitsgrad der Verschiebung des Umlenkelements (21) in Strahlrichtung (25), benötigen diese beschriebenen Lösungsvorschläge daher mindestens zwei weitere elektronisch regelbare Justagefreiheitsgrade des Umlenkelements, um die ursprüngliche Strahlposition auf dem zweidimensionalen positionssensitiven Detektorfeld wieder herzustellen. In den Fachartikel wird dies über zwei weitere motorgetriebene Stellelemente realisiert, die das Umlenkelement entsprechend nachjustieren. Zusammenfassend besteht das dem Technikstandard entsprechende Verzögerungselement aus zwei grundlegenden Bestandteilen. Zum einen aus der eigentlichen variablen Verzögerung des Lichtstrahls und zum zweiten aus dem positionssensitiven aktiv rückgekoppelten Regelkreis mit Nachjustage der Strahlführung. Die Nachteile dieser dem Technikstandard entsprechenden Verzögerungselemente mit aktiver Rückkopplung sind offensichtlich:

• Komplexe Elektronik und aufwendige Positionieranordnung für das Umlenkelement mit mindestens drei motorgetriebenen Justagefreiheitsgraden.

• Antwort, bzw. Reaktionszeiten des Regelkreises sind vom Nutzer einzukalkulieren.

• Elektronische Störanfälligkeit.

• Erhöhung des Rauschens durch ständiges aktives Eingreifen in die Strahlführung.

• Tatsächlich wird die Strahllage nicht wirklich konstant gehalten, sondern lediglich die Position auf dem Quadrantendetektor wird reproduziert. Winkeländerungen der Strahllage können durch diese Regelstrecke nicht festgestellt und schon gar nicht eleminiert werden. Am Ort des Experiments werden daher i.A. trotzdem Änderungen der absoluten Strahlposition auftreten.

Vor dem Hintergrund der geschilderten Problematik und des offensichtlichen Bedarfs liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine variable Verzögerungsstrecke für elektromagnetische Strahlung, insbesondere für Lichtstrahlen, zu realisieren, die auch bei sehr langen Verzögerungsstrecken (z.B. größergleich 100 cm) die Lage des verzögerten Strahls sehr stabil beibehält und ohne aktive Nachjustage arbeitet.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Die als Erfindung gemeldete Vorrichtung erzeugt eine einstellbare zeitliche Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen, wobei allein durch eine spezielle geometrische Anordnung eine theoretisch perfekte Strahllagenstabilität über prinzipiell beliebig lange Wegstrecken aufrecht erhalten wird und zugleich optimale zeitliche Auflösung im Femtosekundenbereich gewährleistet ist. Eine aktiv korrigierende Justage während des Betriebs — verbunden mit großem technischen und elektronischen Aufwand — ist nicht erforderlich!

Zur Erzeugung einer Verzögerungsstrecke benutzt die Erfindung zwei orthogonal zueinander orientierte Umlenkelemente, von denen jedes nach folgendem Funktionsprinzip arbeitet: ein auf das Umlenkelement auftreffender Strahl wird in einer Ebene zweimal umgelenkt, wobei die beiden für die zweifache Umlenkung verantwortlichen reflektierenden Flächen (z.B. Spiegel) möglichst exakt unter einem Winkel von 90° zueinander angeordnet sind. Die zweifache Umlenkung erfolgt so, daß der Strahl anschließend seitenversetzt parallel zur einfallenden Strahlrichtung zurückläuft. Die beiden Umlenkelemente befinden sich jeweils auf einem Support und sind relativ zueinander so angeordnet, daß der zum Zwecke der Verzögerung einfallende Lichtstrahl vom ersten Umlenkelement in der Höhe innerhalb einer Ebene versetzt in Richtung des zweiten Umlenkelements umgelenkt wird. Dieses zweite Umlenkelement lenkt den Strahl seitlich innerhalb einer Ebene versetzt um und führt den Strahl zum ersten Umlenkelement zurück. Dieses versetzt ihn auf die ursprüngliche Höhe zurück. Die

Variation der Verzögerungsstrecke kann durch Verschieben der Supports der Umlenkelemente parallel zur Einfallsrichtung des Strahls erfolgen. Erfüllen beide Umlenkelemente die Bedingung, daß der Winkel ihrer für die Strahlumlenkung verantwortlichen Flächen exakt 90° beträgt, so zeigen geometrische Überlegungen, daß durch ein Verkippen des entsprechend obiger Beschreibung ersten Umlenkelements keinerlei Strahllagenänderung auftritt. Verkippen wird entsprechend der beschriebenen Strahlführung in der erfindungsgemäßen Vorrichtung von selbst geometrisch korrigiert. Ein entsprechendes Verkippen des zweiten Umlenkelements würde dagegen zu einer Strahllagenänderung führen. Aus diesem Grund werden lange variable Verzögerungen durch Verschieben des ersten Umlenkelements strahllagenstabil durchgeführt. Kurze Verzögerungsstrecken mit nur geringer Gefahr eines allzu starken Ver kippens des betreffenden Umlenkelements können dagegen auch durch Verschieben des zweiten Umlenkelements getätigt werden. Da das zweite Umlenkelement den Strahl nur einmal, das erste Umlenkelement dagegen zweimal umlenkt, kann die Bewegung des zweiten Elements Feinverstellungen der Verzögerungsstrecke mindestens mit der doppelten Auflösung gegenüber einer Bewegung des ersten Umlenkelements durchführen.

Bevorzugte Ausführungsformen sowie weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung sind den Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung entnehmbar, in der ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert wird. Es zeigen:

Fig.l: Prinzip darstellung einer Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen.
Fig.2: Prinzip darstellung einer dem Stand der Technik entsprechenden variablen Verzögerungsstrecke für elektromagnetische Strahlung.

Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird der Grundaufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, ins-

besondere von Lichtstrahlen, erläutert. In diesem Anwendungsbeispiel wird jedes der beiden Umlenkelemente (1) und (2) aus zwei unter 90° zusammengesetzten Spiegelflächen gebildet. Alternativ sind andere Umlenkelemente denkbar, z.B. rechtwinklige Glasprismen. Die beiden Umlenkelemente (1) und (2) befinden sich jeweils auf einem Support (3) und (4) und sind entsprechend Fig.l angeordnet. Der einfallende und zu verzögernde Lichtstrahl (5) trifft zunächst auf Umlenkelement (1) und wird von diesem parallel versetzt in Richtung Umlenkelement (2) umgelenkt. Dabei liegen der einfallende und der umgelenkte Strahl in einer Ebene. Von Umlenkelement

(2) wird der Strahl wiederum seitlich versetzt innerhalb einer Ebene, die allerdings orthogonal zur Umlenkebene von Element (1) liegt, zu Umlenkelement (1) zurückreflektiert. Von diesem Umlenkelement (1) wird der Strahl ein zweites mal innerhalb einer Ebene parallel seitenversetzt umgelenkt und verläßt die Vorrichtung parallel entgegengesetzt zum einfallenden Strahl (5) in Richtung (7). Eine Variation der vom Strahl zu durchlaufenden Wegstrecke kann sowohl durch Verschieben des Supports

(3) in Richtung (8) oder durch Verschieben des Supports (4) in Richtung (9) erfolgen. Beide Verschieberichtungen (8) und (9) sind parallel zur Richtung des einfallenden Strahls (5). Leichte Führungsungenauigkeiten der mechanischen Verschiebeelemente (3) (4) verursachen beim Verschieben eine Strahllagenveränderung. Besonders gravierend machen sich diese Führungsfehler bei einer Bewegung über längere Strecken von mehreren Zentimetern in Form von Lageänderungen der mitbewegten Umlenkelemente bemerkbar. Vor allem ein Verkippen der Umlenkelemente in Richtung (6) ist zu beobachten. In Fig.l ist (6) nur für Umlenkelement (1) dargestellt, dieses Verkippen gilt jedoch ebenso für Element (2) auf Support (4). Prinzipiell würde ein derartiges Kippen der Umlenkelemente ein höhenversetzendes Strahlwandern (10) hervorrufen. Bei einem Verkippen von Element (2) wäre dies auch tatsächlich der Fall! Geometrische Überlegungen zeigen jedoch, daß ein entsprechendes Verkippen (6) des Umlenkelementes (1) bei der dargestellten Strahlführung in der erfindungsgemäßen Vorrichtung keine Änderung der Strahlposition bei (7) verursacht, sofern die beiden Umlenkelemente die eingangs beschriebene 90°-Spiegelflächenanordnung exakt erfüllen.

Ein seitliches parallel versetzendes Wandern orthogonal zu (10) würde z.B. auftreten, wenn der einfallende Strahl (5) nicht parallel zur Verschieberichtung (8) bzw. (9) laufen würde. Dies kann aber durch einmalige Justage des Strahls (5) nahezu beliebig optimiert werden. Zu beachten ist dabei vor allem, daß ein vertikales Spiegelverkippen (6) wesentlich stärkeren Einfluß auf übliche Meßanordnungen hat als eine nicht exakt parallel zur Verschieberichtung justierte Strahlführung. Für viele Anwendungen werden zu Meßzwecken die Lichtstrahlen mit einer Linse auf das zu untersuchende Objekt fokussiert. Parallele Fehljustage führt zu einem ebenfalls parallelen Strahlversatz, der in gewissen Grenzen keinen Einfluß auf die Strahlposition im Fokus der Linse hat. Dagegen führt ein vertikales Verkippen des Spiegels zu einer Winkeländerung des Lichtstrahls und damit zu einer Veränderung der Strahlposition im Fokus der Linse mit fatalen Folgen für die Fokusposition!

Ein seitliches Verkippen der Umlenkelemente orthogonal zu (6) würde zwar geometrisch nicht kompensiert werden, doch tritt ein solch seitliches Kippen in der Regel beim Verschieben des Supports gar nicht auf. Das höhenversetzende Verkippen (6) dagegen beruht auf Ungenauigkeiten und Verschleiß der Führungsschiene des Supports in Richtung der Auflagefläche der vom Support transportierten Masse („Durchhängen" oder Durchdrücken der Führung) und stellt somit das eigentliche Problem dar. Die erfindungsgemäße Vorrichtung vermeidet dieses Problem, indem sie lange Verzögerungsstrecken durch Verschieben von Umlenkelement (1) bzw. dessen Support (3) erzeugt.

Neben der absolut erreichbaren Verzögerung ist i.A. auch die Auflösung, d.h. die minimale Schrittweite mit der die Verzögerungsstrecke variiert werden kann, von großem Interesse. Die minimale Schrittweite des Verschiebetisches bestimmt die erreichbare Zeitauflösung des Verzögerungselements, da die pro Schritt zurückgelegte Wegstrecke AL sich in einer Änderung der Impulslaufzeit um 2AL/c widerspiegelt. Bei schrittmotorgetriebenem Support ist diese minimale Schrittweite durch den pro Motorschritt zurückgelegten Verschiebeweg gegeben. Wie Fig.l zu entnehmen ist, wird eine Wegänderung AL von Support (3) bzw. Umlenkelement (1) in Richtung

(8) vom Lichtstrahl viermal durchlaufen. Ein entsprechender Schritt von Support (4) bzw. Umlenkelement (2) in Richtung (9) wird dagegen nur zweimal durchlaufen, so daß dieses Umlenkelement im Vergleich zu Element (1) bei gleicher Schrittweite mit der doppelten Genauigkeit verfahren werden kann. Übliche Schrittmotoren und Spindelsteigungen kommerzieller Supports erreichen in dieser Konfiguration eine Auflösung von etwa 1 &mgr;&idiagr;&eegr;. Der vierfache Strahldurchlauf bei Bewegung von Umlenkelement (1) um 1 &mgr;&tgr;&agr; entspricht einer Strahllaufzeit von etwa 13 fs, was für ultrakurze Laserimpulse (Impulsdauern < 100 fs) oftmals schon zu ungenau ist. Aus diesem Grund besitzt Umlenkelement (2) in der erfindungsgemäßen Vorrichtung einen eigenen Support (4), der unabhängig von Support (3) bewegt werden kann. Der Support (4) kann dabei auf verschiedene Weise realisiert werden. Die naheliegendste Lösung ist ebenfalls ein schrittmotorgetriebener Verschiebetisch, es kann aber auch ein wesentlich feineres piezoelektrisches Verschiebeelement eingesetzt werden, um damit wesentlich feinere Schrittweiten als mit dem &ldquor;Langstreckensupport" (3) zu erreichen. Dadurch daß eine Wegänderung von (2) vom Lichtstrahl nur zweimal durchlaufen wird, erhält man eine Verbesserung der Zeitauflösung um einen Faktor 2 gegenüber eines entsprechenden Schrittes von Element (1). Mit dieser Vorrichtung ist es somit möglich, eine sehr große Wegänderung strahllagenstabil durch Verschieben des Umlenkelements (1) durchzuführen, während über Umlenkelement (2) zu jeder beliebigen Position von (1) eine Feineinstellung der Verzögerungsstrecke durchgeführt werden kann. Eine Bewegung von (2) ist zwar nicht gegenüber einem Verkippen (6) stabil, doch wird dieses Element auch nur für Feinverstellungen des Verzögerungsweges benutzt und somit nur sehr wenig bewegt. Die Gefahr einer allzu starken Strahllagenänderung durch Verkippen besteht an dieser Stelle nicht. Würde man dagegen Umlenkelement (2) fixieren und stattdessen das Element (1) mit einer zweiten zusätzlichen Feinverstellung ausstatten, so wäre neben der komplexeren mechanischen Realisierung immer noch der doppelte Weg gegenüber einer analogen Verstellung des Elements (2) vom Lichtstrahl zurückzulegen und die Zeitauflösung wäre um einen Faktor 2 schlechter.

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Zusammenfassend ist die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung einer variablen Verzögerungsstrecke für elektromagnetische Strahlung, insbesondere Lichtstrahlen, in vielerlei Hinsicht vorteilhaft und technisch relevant:

&bull; Die Vorrichtung erlaubt gleichzeitig die Realisierung langer Verzögerungsstrecken über Verschieben des Umlenkelements (1) und eine sehr hochauflösende Feinverstellung der Verzögerung über Verschieben von Umlenkelement (2).

&bull; Das bei dem Stand der Technik entsprechenden Verzögerungselementen auftretende Strahlwandern durch Verkippen von optischen Elementen im Zuge deren mechanischer Verschiebung wird bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung durch eine rein geometrische Selbstkorrektur vermieden. Da keine allzu hohe Anforderung an die Präzision der Verschiebetische gestellt werden muß, kann die Vorrichtung mit handelsüblichen Supports ausgestattet werden. Ein ebenfalls dem Stand der Technik entsprechendes höchst aufwendiges elektronisches Nachjustieren der Optiken ist nicht notwendig. Damit ist der Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung sehr einfach, relativ platzsparend und kostengünstig. Darüberhinaus besteht keinerlei elektronische Störanfälligkeit.

&bull; Voraussetzung für die geometrische Selbstkorrektur der Vorrichtung ist die Verwendung von Umlenkelementen, deren reflektierende Flächen (z.B. Spiegel) möglichst exakt unter einem Winkel von 90° zueinander angeordnet sind. Die Konstruktion von nahezu perfekten 90° Winkeln ist heute ebenfalls Stand der Technik und stellt somit kein Problem bei der Realisierung der Vorrichtung dar. (Sowohl rechtwinklige Prismen als auch Spiegelpaare, die unter 90° aufgesprengt werden, sind kommerziell mit Winkelabweichungen von unter 2" erhältlich.)

&bull; In vielen Bereichen der zeitaufgelösten Spektroskopie sind oft gleichzeitig lange Verzögerungsstrecken von Lichtimpulsen im Nanosekundenbereich und Femtosekundenstellgenauigkeit gefragt. Ein selbstkorrigierendes Verzögerungselement kann die Präzision und den zugänglichen Meßbereich erheblich verbessern. Die Vorrichtung kann zu einem Standardelement der zeit- und/oder ortsaufgelösten Analytik und Diagnostik werden.

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&bull; Auch sogenannte "scannende" Systeme sind bekannt, die periodisch mit zum Teil sehr hoher Frequenz eine bestimmte Strecke variieren (z.B. in Impulsdauermeßsystemen, sogenannten Autokorrelatoren). Solche periodisch variierenden Verzögerungselemente verfügen präzisionsbedingt in der Regel nur über sehr kleine Verstellwege. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann durch Kombination eines langreichweitigen Supports (3) mit einem kurzreichweitigen aber periodisch arbeitenden Support (4) eine perfekte Lösung für solche scannenden Systeme darstellen, indem beliebig lange Verzögerungsstrecken über Support (3) eingestellt und vom scannenden Support (4) im Rahmen von dessen schmalen Verstellbereich periodisch um eine Zentrallage variiert werden.

Claims (11)

-1 - Schutzansprüche

1. Vorrichtung zur einstellbaren zeitlichen Verzögerung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Lichtstrahlen, gekennzeichnet durch

&bull; mindestens zwei Umlenkelemente, die einen Strahl innerhalb einer Ebene mindestens zweimal so umlenken, daß er seitenversetzt parallel zur einfallenden Richtung zurückläuft,

&bull; die Anordnung mindestens zweier Umlenkelemente derart, daß deren Umlenkebenen orthogonal zueinander stehen,

&bull; und mindestens ein Umlenkelement, das sich auf einem Support befindet.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch mindestens ein Umlenkelement mit mindestens zwei umlenkenden Flächen, die in einem 90°-Winkel zueinander stehen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jedes von mindestens zwei Umlenkelementen sich auf jeweils einem Support befindet.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschieberichtung mindestens eines Supports parallel zur Strahleinfallsrichtung verläuft.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschieberichtung mindestens zweier Supports parallel zueinander verläuft.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Support elektronisch steuerbar ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Support eine periodische Bewegung ausführt.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung die Verzögerungszeit zwischen mindestens zwei Lichtstrahlen verändert.

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9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung Bestandteil einer spektral- oder zeitaufgelösten Meßanordnungen

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung Bestandteil von Korrelatoren ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung die Verzögerungsstrecke mit interferometrischer Genauigkeit verändert.

SS

(Henning M. Hauenstein)