DE29624257U1 - Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen mit einer verbesserten Durchlaßbereichs-Charakteristik und einem verbesserten Freiheitsgrad zum Einstellen von Eingangs- und Ausgangsimpedanzen - Google Patents

Description

SEEGElEt & SEEGER

Patentanwälte & European Patent Attorney* Dipl-Phys. Wolfgang Seeger* Dipl-Phys. Andrea Seeger

Anwaltsakte: 75GM1-DE-AZW

Anmelder: FUJITSU LIMITED

1-1, Kamikodanaka 4-chome,
Nakahara-ku, Kawasaki-shi,
Kanagawa, 211-8588, JAPAN

VORRICHTUNG FÜR AKUSTISCHE OBERFLÄCHENWELLEN MIT EINER VERBESSERTEN DURCHLASSBEREICHS-CHARAKTERISTIK UND EINEM VERBESSERTEN FREIHEITSGRAD ZUM EINSTELLEN VON EINGANGS- UND

AUSGANGSIMPEDANZEN

Georg-Hager-Str 40 Telefon (089) 7866*5*31 htfpJ^^www'seeger-plätlKiis.de .DreSSner-Bank Mfln(}ien: Postgiro München D-81369 München Telefax(089)·78546?6 &bull;'geeger&seeger^fetents'de .*.4<onte*No; 40202Q000.:.Konto-No. 196 858-807

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TITEL DER ERFINDUNG

VORRICHTUNG FÜR AKUSTISCHE OBERFLÄCHENWELLEN MIT EINER VERBESSERTEN DURCHLASSBEREICHS-CHARAKTERISTIK UND EINEM VERBESSERTEN FREIHEITSGRAD ZUM EINSTELLEN VON EINGANGS- UND AUS-GANGSIMPEDANZEN

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf Vorrichtungen für akustische Oberflächenwellen (SAW) (Surface Acoustic Wave) und insbesondere auf eine SAW-Vorrichtung mit einer verbesserten Durchlaßbereichs-Charakteristik. Die vorliegende Erfindung bezieht sich ferner auf eine SAW-Vorrichtung, die im Aufbau flexibel ist, um Eingangs- und Ausgangsimpedanzen der SAW-Vorrichtung nach Wunsch einzustellen. SAW-Vorrichtungen werden häufig für einen Filter oder einen Resonator in kompakten, in einem VHF- oder UHF-Band arbeitenden Funktelekommunikationsgeräten verwendet, wobei ein typisches Beispiel ein in einem MHz-Band oder GHz-Band arbeitendes tragbares Telefongerät ist.

In solchen Funktelekommunikationsgeräten für hohe Frequenzen ist es erforderlich, daß die SAW-Filter oder SAW-Resonatoren, die darin verwendet werden, einen weiten Durchlaßbereich und gleichzeitig eine sehr scharfe Dämpfung von Nachbarbändern aufweisen. Die SAW-Filter- und -Resonatoren sollten ferner eine Impedanzanpassung mit einer zusammenarbeitenden Schaltung erreichen können, welche eine integrierte Schaltung sein kann, die das elektronische Gerät bildet, in welchem die SAW-Vorrichtung verwendet wird.

FIG. IA und IB zeigen den Aufbau eines typischen herkömmliehen SAW-Filters.

Nach FIG. IA ist der SAW-Filter eine Vorrichtung des sogenannten Doppelmoden-Typs und enthält ein Paar Reflektoren 1OA und 1OB auf einem piezoelektrischen Substrat 1, wie es in einem SAW-Filter üblich ist, worin das piezoelektrische Substrat eine Y-X-geschnittene Einkristallplatte aus LiTaO₃ oder LiNbO₃ sein kann. Ferner sind zwischen den vorhergehenden Reflektoren 1OA und 1OB vom Reflektor 1OA zum Reflektor 1OB hintereinander Elektroden HA, HB und HC vorgesehen.

In dem veranschaulichten Beispiel von FIG. IA ist das Substrat iT'auä* ei*nöt"EäIukrl"stallp!l:3tte"kusj 36⁰JY-X-LiTaO₃ ge-

bildet, und die Reflektoren 1OA und 1OB, die in einer X-Richtung des Substrats 1 ausgerichtet sind, definieren einen Ausbreitungsweg einer auf dem piezoelektrischen Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle. Jede der Elektroden HA, HB und HC enthält eine primär seit ige Interdigitalelektrode wie z.B. eine Elektrode (HA)₁, (HB)₁ oder (HC)₁ und eine sekundärseitige Interdigitalelektrode wie z.B. eine Elektrode (HA)₂, (HB)₂ oder (HC)₂, worin die primärseitige Elektrode und die sekundärseitige Elektrode so angeordnet sind, daß die Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der entsprechenden sekundärseitigen Elektrode, wie in einer Interdigitalelektrode üblich, sich in jeweiligen, wechselseitig entgegengesetzten Richtungen erstrecken. Die Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode werden dadurch abwechselnd in der X-Richtung auf dem Substrat 1 wiederholt und kreuzen den Weg der sich in der X-Richtung auf dem Substrat 1 fortpflanzenden akustischen Oberflächenwelle. Der Abstand der Elektrodenfinger ist durch eine Zentralfrequenz des zu bildenden SAW-Filters sowie durch die Schallgeschwindigkeit der sich auf dem Substrat 1 in der X-Richtung fortpflanzenden akustischen Oberflächenwelle bestimmt. In der X-Richtung betrachtet überlappen die Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode einander mit einer Überlappungsbreite W.

In dem Aufbau von FIG. IA ist die primärseitige Elektrode (HA)₁ der Elektrode HA gemeinsam mit der primärseitigen Elektrode (HC)₁ der Elektrode HC mit einem Eingangsanschluß verbunden. Auf der anderen Seite sind die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HC)₂ beide geerdet. Dadurch bildet der SAW-Filter von FIG. IA eine Vorrichtung des sogenannten Dualeingang-Einzelausgang-Typs.

Der Doppelmoden-SAW-Filter eines solchen Aufbaus verwendet eine Mode erster Ordnung einer akustischen Oberflächenwelle, die zwischen den vorhergehenden Reflektoren 1OA und 1OB mit einer Frequenz f_x gebildet wird, und eine Mode dritter Ordnung einer akustischen Oberflächenwelle, die ebenfalls zwischen den Reflektoren 1OA und 1OB mit einer Frequenz f₃ gebildet viirdv worj!ii..<äpr. 3&Aacgr;$&iacgr;&Egr;3-1&idiagr;&bgr;&Egr;··&thgr;&idigr;;&igr;&egr; EiuicBlaßbereichs-

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Charakteristik wie in FIG. 2 angegeben liefert. FIG. 2 zeigt die Dämpfung des SAW-Filters als Funktion der Frequenz. Es sollte besonders erwähnt werden, daß in FIG. 2 ein Durchlaßbereich zwischen der vorhergehenden Frequenz f_x der Mode erster Ordnung und der Frequenz f₃ der Mode dritter Ordnung gebildet wird. FIG. IB zeigt die Energieverteilung der in der Struktur von FIG. IA angeregten akustischen Oberflächenwelle.

Herkömmlicherweise wurde praktiziert, die Interdigitalelektroden HA - HC so zu bilden, daß sie hinsichtlich der entsprechenden Symmetrie der Mode erster Ordnung und der Mode dritter Ordnung der angeregten akustischen Oberflächenwellen um die Mitte der X-Achse im wesentlichen symmetrisch sind (siehe FIG. IB), so daß die akustische Oberflächenwelle der Mode erster Ordnung und die akustische Oberflächenwelle der Mode dritter Ordnung effizient angeregt werden. Folglich wurde herkömmlicherweise praktiziert, eine Anzahl N₁, die die Anzahl der durch die primärseitigen Elektrodenfinger und die sekundärseitigen Elektrodenfinger in der Interdigitalelektrode HA gebildeten Elektrodenfingerpaare angibt, so einzustellen, daß sie gleich einer Anzahl N₃ ist, die die Anzahl der durch die primärseitigen Elektrodenfinger und die sekundärseitigen Elektrodenfinger in der Interdigitalelektrode HC gebildeten El ekt rodenf ingerpaare angibt (N₁ = N₃) .

FIG. 2 zeigt jedoch deutlich, daß in der SAW-Vorrichtung verschiedene unerwünschte Spitzen außerhalb des durch die Frequenzen f_x und f₃ definierten Durchlaßbereichs existieren. Es sollte besonders erwähnt werden, daß als Folge der Existenz solcher unerwünschter Spitzen die Schärfe einer Dämpfung einer akustischen Oberflächenwelle außerhalb des Durch-0 laßbereichs, insbesondere im Frequenzbereich zwischen 1550 MHz und 1600 MHz unerwünscht reduziert wird. Es sollte besonders erwähnt werden, daß die Dämpfung eines SAW-Filters oder -Resonators innerhalb des Durchlaßbereichs flach und minimal sein und außerhalb des Durchlaßbereichs steil zunehmen sollte. Um die Selektivität des Filters zu maximieren, ist erwünscht, die Dämpfung außerhalb des Durchlaßbereichs zu maximieren .

In dem herkömmlichen SAW-Filter von FIG. IA weisen alle Interdigitalelektroden HA, HB und HC die gleiche Öberlappungsbreitb »i'tler* Efl'eJttiodeiifiijQger ^Uf .·&Oacgr;&iacgr;&egr; iExhgangs- und die

Ausgangsimpendanzen des SAW-Filters sind somit durch die Anzahl von Paaren der Elektrodenfinger in den Elektroden HA HC bestimmt. Es sollte besonders erwähnt werden, daß im allgemeinen die Eingangs- und Ausgangsimpendanzen eines SAW-Filters der Anzahl der Elektrodenfingerpaare N₁ und N₃ und der Überlappung W für die Elektroden HA - HC umgekehrt proportional ist. Da die Anzahl N₁ und die Anzahl N₃ der Elektrodenf ingerpaare einander gleich festgelegt sind und die Überlappungsbreite W in herkömmlichen SAW-Vorrichtungen konstant ist, war es schwierig, die Eingangs impedanz und die Ausgangsimpedanz unabhängig und nach Wunsch festzulegen. Herkömmliche SAW-Filter sind folglich dabei gescheitert, die Anforderung nach der Fähigkeit zum flexiblen Einstellen der Eingangs- und Ausgangsimpedanzen zu erfüllen, obgleich eine solche Anforderung nach einem flexiblen Einstellen der Eingangs- und Ausgangsimpendanzen in den neuesten kompakten Funkgeräten für GHz-Anwendungen wie z.B. tragbaren oder mobilen Telefongeräten besonders akut ist.

0 ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Dementsprechend ist eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine neue und nützliche SAW-Vorrichtung zu schaffen, worin die vorhergehenden Probleme eliminiert sind.

Eine andere und konkretere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine SAW-Vorrichtung zu schaffen, die unerwünschte Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs effektiv unterdrücken und gleichzeitig eine scharfe Dämpfung außerhalb des Durchlaßbereichs schaffen kann.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine SAW-Vorrichtung zu schaffen, die eine Eingangsimpedanz und eine Ausgangsimpedanz unabhängig und flexibel einstellen kann.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine SAW-Vorrichtung zu schaffen, aufweisend: ein piezoelektrisches Substrat;

zumindest erste und zweite SAW-Elemente, die gemeinsam auf dem piezoelektrischen Substrat jeweils entlang einem vorbestimmten Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet sind;

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wobei jedes der ersten und zweiten SAW-Elemente mehrere Interdigitalelektroden enthält, die entlang dem vorbestimmten Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind;

jede der mehreren Interdigitalelektroden eine primärseitige Elektrode, die wiederum mehrere wechselseitig parallele Elektrodenfinger enthält, die sich in einer ersten Richtung über den Ausbreitungsweg erstrecken, und eine sekundärseitige Elektrode enthält, die wiederum mehrere wechselseitig parallele Elektrodenfinger enthält, die sich in einer zweiten entgegengesetzten Richtung über den Ausbreitungsweg erstrecken; welche Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode in jeder der Interdigitalelektroden in jedem der ersten und zweiten SAW-Elemente abwechselnd entlang dem Ausbreitungsweg angeordnet sind, daß. sie mit einer vorbestimmten Überlappungsbreite überlappen, wenn sie in einer Richtung des Ausbreitungsweges betrachtet werden,-

welche Überlappungsbreite einen ersten Wert gemeinsam in der Mehrzahl Interdigitalelektroden aufweist, die das erste SAW-Element bilden, und einen zweiten verschiedenen Wert gemeinsam in der Mehrzahl von Interdigitalelektroden, die das zweite SAW-Element bilden;

welches erste SAW-Element mit dem zweiten SAW-Element in Kaskade verbunden ist, indem die sekundärseitige Elektrode einer in dem ersten SAW-Element enthaltenen Interdigitalelektrode mit einer primärseitigen Elektrode einer in dem zweiten SAW-Element enthaltenden Interdigitalelektrode verbunden wird.

Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine SAW-Vorrichtung zu schaffen, aufweisend: ein piezoelektrisches Substrat;

erste und zweite Reflektoren, die auf dem piezoelektrischem Substrat entlang einem Ausbreitungsweg einer auf dem piezoelektrischen Substrat angeregten akustischen Oberflächenwelle vorgesehen sind; und

eine Mehrzahl von Interdigitalelektroden, die auf dem piezoelektrischen Substrat vom ersten Reflektor zum zweiten Reflektor hintereinander angeordnet sind;

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wobei jede der Mehrzahl von Interdigitalelektroden eine primärseitige Elektrode enthält, die eine Mehrzahl wechselseitig paralleler Elektrodenfinger enthält, die sich in einer ersten Richtung über den Ausbreitungsweg der akustischen 5 Oberflächenwelle erstrecken, und eine sekundärseitige Elektrode, die eine Mehrzahl wechselseitig paralleler Elektrodenfinger enthält, die sich in einer zweiten entgegengesetzten Richtung über den Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle erstrecken, wobei die Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode in jeder der Mehrzahl von Interdigitalelektroden abwechselnd entlang dem Ausbreitungsweg angeordnet sind und mit einer vorbestimmten Überlappungsbreite überlappen, wenn sie in einer Richtung des Ausbreitungsweges der akustischen Oberflächenwelle betrachtet werden;

welche Mehrzahl von Interdigitalelektroden in Kaskade verbunden ist, indem eine sekundärseitige Elektrode einer Interdigitalelektrode mit einer sekundärseitigen Elektrode einer anderen Interdigitalelektrode verbunden ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die Eingangs impendanz und Ausgangs impedanz der SAW-Vorrichtung nach Wunsch einzustellen, indem die Überlappung der Elektrodenfinger in dem ersten SAW-Element und in dem zweiten SAW-Element oder in einer ersten Interdigitalelektrode und einer zweiten, mit der ersten Interdigitalelektrode in Kaskade verbundenen Interdigitalelektrode geeignet eingestellt wird, ohne den Abstand der Interdigitalelektroden zu ändern. Da der Abstand der Interdigitalelektroden nicht geändert wird, wird die Frequenzcharakteristik des SAW-Filters nicht beeinflußt, und in 0 der vorliegenden Erfindung werden nur die Ausgangs- und Eingangs impendanz en gemäß dem Bedarf des Schaltungsaufbaus unabhängig und beliebig eingestellt.

Als Ergebnis einer solchen beliebigen Einstellung der Eingangs- und Ausgangsimpendanzen kann eine Anzahl derartiger SAW-Filter erfolgreich in Kaskade verbunden werden, was eine verbesserte Unterdrückung unerwünschter Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs ergibt. Mit anderen Worten, man erhält einen SAW-Filter mit einer sehr scharfen Selektivität. Durch Verbinden mehrerer SAW-Filter in einer Kaskade, um eine SAW-FiIt er-Ancir driving rzix :s*<r]jä.f f*e*ui .ist*:qä*f*Qrnejr rmcjglich, das Ver-

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hältnis zwischen der Eingangsimpendanz und der Ausgangsimpedanz der SAW-Filter-Anordnung so einzustellen, daß es einen sehr großen Wert hat, der durch einen einstufigen SAW-Filter nicht erreicht werden kann.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine SAW-Vorrichtung zu schaffen, aufweisend:

einen Baugruppenkörper, der darauf ein piezoelektrisches Substrat trägt;

zumindest ein SAW-Element, das auf dem piezoelektrischen Substrat gebildet ist;

welches SAW-Element eine Mehrzahl von entlang einem Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat angeordneten Interdigitalelektroden enthält, wobei jede der Interdigitalelektroden eine eingangsseitige Interdigitalelektrode und eine ausgangsseitige Interdigitalelektrode enthält;

welche eingangsseitige Interdigitalelektrode mit einer auf dem Baugruppenkörper vorgesehenen ersten Erdungs-Anschlußflache verbunden ist;

welche ausgangsseitige Interdigitalelektrode mit einer auf dem Baugruppenkörper vorgesehenen zweiten verschiedenen Erdungs-Anschlußfläche verbunden ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das Problem einer Interferenz zwischen der Erdungselektrode der eingangsseitigen Interdigitalelektrode und der Erdungselektrode der ausgangsseitigen Interdigitalelektrode erfolgreich beseitigt, und die Durchlaßbereichs-Charakteristiken der SAW-Vorrichtung werden wesentlich verbessert.

Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Doppelmoden-SAW-Vorrichtung zu schaffen, aufweisend: ein piezeoelektrisch.es Substrat;

erste und zweite Reflektoren, die auf dem piezoelektrischen Substrat entlang einem Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat vorgesehen sind;

erste, zweite und dritte Interdigitalelektroden, die auf dem piezoelektrischen Substrat vom ersten Reflektor zum zweiten Reflektor hintereinander vorgesehen sind;

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wobei jede der ersten bis dritten Interdigitalelektroden jeweils eine erste bis dritte Anzahl von Paaren von Elektrodenfingern enthält;

worin die erste Anzahl von Paaren Elektrodenfinger für die erste Interdigitalelektrode von der dritten Anzahl von Paaren Elektrodenfinger für die dritte Interdigitalelektrode verschieden ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Symmetrie in der Struktur der SAW-Vorrichtung in der Ausbreitungsrichtung der SAW-Vorrichtung absichtlich verloren, indem die erste und dritte Anzahl von Paaren Elektrodenfinger verschieden festgelegt wird. Dadurch löschen die durch den ersten Reflektor reflektierte akustische Oberflächenwelle und die durch den zweiten Reflektor reflektierte akustische Oberflächenwelle einander aus, und die mit einer solchen Interferenz der Vorrichtungen mit reflektierten akustischen Oberflächenwellen verbundenen unerwünschten Spitzen werden erfolgreich eliminiert .

Andere Aufgaben und weitere Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung ersichtlich werden, wenn sie in Verbindung mit den beigelegten Zeichnungen gelesen wird.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

FIG. IA und IB sind Diagramme, die einen Aufbau bzw. ein Arbeitsprinzip eines herkömmlichen Doppelmoden-SAW-Filters zeigen,-

FIG. 2 ist ein Diagramm, das eine theoretische Frequenzcharakteristik des SAW-Filters der FIG. IA und IB zeigt,-FIG. 3 ist ein Diagramm, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,-

FIG. 4 ist ein Diagramm, das eine theoretische Frequenzcharakteristik des SAW-Filters von FIG. 3 im Vergleich mit einer entsprechenden theoretischen Frequenzcharakteristik des SAW-Filters der FIG. IA und IB zeigt;

FIG. 5 ist ein Diagramm, das eine beobachtete Frequenzcharakteristik des SAW-Filters von FIG. 3 zeigt,-FIG. 6 ist ein Diagramm, das eine beobachtete Frequenz-

charakteriqfc'iS;Iclea"S*L^Ö3.1ters.der :KG^#."iA iuid'ilB zeigt; &bull; · · · ··· · · · ···· · · · ? · ·

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FIG. 7 ist ein Diagramm, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

FIG. 8 ist ein Diagramm, das eine Modifikation des SAW-Filters von FIG. 7 zeigt;

FIG. 9 ist ein Diagramm, das eine weitere Modifikation des SAW-Filters von FIG. 7 zeigt;

FIG. 10 ist ein Diagramm, das eine Frequenzcharakteristik SAW-Filters von FIG. 9 zeigt;

FIG. 11 ist ein Diagramm, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

FIG. 12 ist ein Diagramm, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

FIG. 13 ist ein Diagramm, das eine Frequenzcharakteristik des SAW-Filters von FIG. 12 zeigt;

FIG. 14 ist ein Diagramm, das den Aufbau des SAW-Filters von FIG. 12 einschließlich eines Metalldeckels in einem auseinandergezogenen Zustand zeigt;

FIG. 15 ein Diagramm ist, das eine Frequenzcharakteristik des SAW-Filters von FIG. 14 zeigt;

FIG. 16 ein Diagramm ist, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

FIG. 17 ein Diagramm ist, das einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

FIG. 18 ein Diagramm ist, das eine Modifikation des SAW-0 Filters von FIG. 17 zeigt;

FIG. 19 ein Diagramm ist, das eine andere Modifikation des SAW-Filters von FIG. 17 zeigt; und

FIG. 20 ein Diagramm ist, das eine weitere Modifikation des SAW-Filters von FIG. 17 zeigt.
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AUSFUHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFUHRUNGSFORMEN [ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM]

Zunächst wird das Prinzip der vorliegenden Erfindung mit Verweis auf FIG. 3 beschrieben, die einen SAW-Filter 11 gemäß einer ersten^Ausf^Sii^^qforftio.eLef ^ö-rlie'geMfeifiErfindung

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zeigt, worin diejenigen Teile, die den vorher beschriebenen Teilen entsprechen, durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, und deren Beschreibung wird weggelassen.

Bezug nehmend auf FIG. 3 weist der SAW-Filter 11 ähnlich dem herkömmlichen SAW-Filter von FIG. IA ein Doppelmoden-Aufbau auf, außer daß die Anzahl der Elektrodenfingerpaare N₁ für die Interdigitalelektrode HA und die Anzahl der Elektrodenfingerpaare N₃ für die Interdigitalelektrode HC und ferner die Anzahl der Elektrodenfingerpaare N₂ für die Interdigitalelektrode HB voneinander verschieden sind (N₁ * N₃ * N₂) .

FIG. 4 zeigt eine berechnete theoretische Frequenzcharakteristik des SAW-Filters H von FIG. 3, worin die durchgezogene Linie von FIG. 4 das Ergebnis für einen herkömmlichen Fall angibt, in welchem die Anzahlen der Elektrodenfingerpaare N₁, N₂ und N₃ auf 20, 40 bzw. 20 eingestellt sind. Es sollte besonders erwähnt werden, daß in diesem Fall eine Beziehung N₁ = N₃ gilt. Die gestrichelte Linie von FIG. 4 gibt ferner das Ergebnis für einen Fall an, in welchem die Anzahlen der Elektrodenfingerpaare N₁, N₂ und N₃ auf 25, 35 bzw. 45 eingestellt sind. In diesem Fall gilt eine Beziehung N₁ *

N₃ * N₂. Die gepunktete Linie von FIG. 4 gibt das Ergebnis für einen Fall an, in welchem die Anzahlen der Elektrodenfingerpaare N₁, N₂ und N₃ auf 20, 40 bzw. 30 eingestellt sind. In diesem Fall gilt ebenfalls die Beziehung N₁ * N₃ &phgr; N₂.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß bei der Berechnung von FIG. 4 für das Substrat 1 eine Einkristallplatte eines 36⁰Y-X-LiTaO₃ angenommen ist und die Berechnung für den Fall vorgenommen ist, in welchem die Interdigitalelektroden auf dem Substrat 1 aus Al mit einer Dicke entsprechend 8 % der Wellenlänge der auf dem Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle gebildet sind.

Im Verlauf einer Untersuchung, die eine solche theoretische Berechnung der Frequenzcharakteristik des SAW-Filters H einschließt, hat der Erfinder der vorliegenden Erfindung entdeckt, daß wie in FIG. 4 angegeben die Höhe der unerwünschten Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs signifikant und wesentlich abnimmt, wenn die Anzahlen N₁ und N₃ der Elektrodenf ingerpaare* &iacgr;&udiagr;&kgr;: ?Hj2 "liitjirdlgikaljslekitjjocje ha und HC

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asymmetrisch (N₁ &Phi; N₃) um die zentrale Interdigitalelektrode HB festgelegt sind. Obgleich die Ursache einer derartigen Unterdrückung der unerwünschten Spitzen nicht vollständig verstanden ist, ist man der Ansicht, daß ein solcher asymmetrischer Aufbau des SAW-Filters 11 eine Auslöschung der durch die Interdigitalelektrode HA angeregten und zur Interdigitalelektrode HB nach Reflexion am Reflektor 1OA zurückkehrenden akustischen Oberflächenwellen und der akustischen Oberflächenwellen erleichtert, die durch die Interdigitalelektrode HC angeregt werden und nach Reflexion am Reflektor 1OB zur Interdigitalelektrode HB zurückkehren.

FIG. 5 zeigt eine tatsächlich beobachtete Frequenzcharakteristik des SAW-Filters 11 von FIG. 3 für den Fall, in dem für das piezoelektrische Substrat 1 eine Einkristallplatte aus 42⁰Y-X-LiTaO₃ verwendet wird und die Anzahlen der Elektrodenfingerpaare N₁, N₂ und N₃ auf 20, 40 bzw. 30 eingestellt sind (N₁ : N₂ : N₃ = 20 : 40 : 30) . Es sollte besonders erwähnt werden, daß in FIG. 5 die Interdigitalelektroden HA HC aus Al mit einer Dicke gebildet sind, die 6 % der Wellenlänge der auf dem Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle entspricht.

Auf der anderen Seite zeigt FIG. 6 eine tatsächlich beobachtete Frequenzcharakteristik des herkömmlichen SAW-Filters von FIG. IA für den Fall, in welchem für das piezoelektrische Substrat 1 ähnlich dem Fall von FIG. 5 eine Einkristallplatte aus 42⁰Y-X-LiTaO₃ verwendet wird und die Anzahlen der Elektrodenfingerpaare N₁, N₂ und N₃ auf 21, 35 bzw. 21 eingestellt sind (N₁ : N₂ : N₃ = 21 : 35 : 21) . Die Interdigitalelektroden HA - HC sind ähnlich dem Fall von FIG. 5 aus Al mit einer 6 % der Wellenlänge der auf dem Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle entsprechenden Dicke geschaffen.

Bezugnehmend auf FIG. 5 und 6 sollte besonders erwähnt werden, daß die Höhe der vorherrschenden unerwünschten Spitzen, die an der Seite niedrigerer Frequenz des Durchlaßbereichs in der Charakteristik von FIG. 6 erscheinen, in der Charakteristik von FIG. 5 wesentlich reduziert ist. Ferner wird die auf der Seite höherer Frequenz des Durchlaßbereichs erscheinende unerwünschte Spitze im wesentlichen unterdrückt.

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Es sollte besonders erwähnt werden, daß der SAW-Filter 11 der vorliegenden Ausführungsform zur Verwendung in einem GHz-Band entworfen ist. Es sollte besonders erwähnt werden, daß in einem SAW-Filter zur Verwendung in solch einem Ultrahochfrequenzband die Dicke der Interdigitalelektrode auf dem piezoelektrischen Substrat 1 bezüglich der Wellenlänge der angeregten SAW nicht länger ignoriert werden kann und ein Effekt einer addierten Masse unübersehbar auftritt. Solch ein Effekt einer addierten Masse bewirkt eine Verschiebung des optimalen Schnittwinkels eines Einkristallsubstrats aus LiTaO₃ oder . LiNbO₃ zu einer Seite mit höherem Winkel. Im Fall eines Li-TaO₃-Substrats wird der optimale Schnittwinkel 4O⁰Y - 44⁰Y, was wesentlich höher als der herkömmlicherweise verwendete optimale Schnittwinkel von 36°Y ist. Im Fall eines LiNbO₃-Substrats fällt der optimale Schnittwinkel in den Bereich zwischen 66⁰Y und 74°Y, wenn der Effekt einer addierten Masse der Elektrode betrachtet wird.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß in dem SAW-Filter 11 der Effekt einer addierten Masse besonders unübersehbar auftritt, wenn die Dicke der Interdigitalelektroden HA - HC im Bereich von 5 - 10 % der Wellenlänge der angeregten SAW liegt, vorausgesetzt daß für das Substrat 1 LiTaO₃ verwendet wird und die Elektroden HA - HC aus Al oder einer Al-Legierung gebildet sind. Wenn für das Substrat 1 LiNbO₃ verwendet wird, tritt andererseits unübersehbar der Effekt einer addierten Masse auf, wenn die Dicke der Interdigitalelektroden HA - HC in den Bereich von 4 - 12 % der Wellenlänge der angeregten akustischen Oberflächenwelle fällt. Auch in diesem Fall wird für die Interdigitalelektroden HA - HC die Verwendung von Al oder einer Al-Legierung angenommen.

[ZWEITE AUS FÜHRUNGS FORM]

Als nächstes wird eine SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf FIG. 7 beschrieben, worin die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird.

Bezugnehmend auf FIG. 7 ist die SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform auf dem Substrat 1 aus ein^rf$:-d:nkr*i,st^*i.jlip.lät;t^;au*s.i43⁰Y_>-.X-rji^ITaa₃ aufgebaut und

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enthält zusätzlich zu dem SAW-Filter 11 einen weiteren SAW-Filter 21, der Reflektoren 2OA und 2OB enthält, die auf dem gleichen Substrat 1 in der X-Richtung ausgerichtet sind, worin der SAW-Filter 21 ferner Interdigitalelektroden 21A, 21B und 2IC enthält, die vom Reflektor 20A zum Reflektor 2OB hintereinander angeordnet sind. Ähnlich wie zuvor enthält der SAW-Filter 11 die Reflektoren 1OA und 1OB sowie die Interdigitalelektroden HA, HC, die alle auf dem gleichen gemeinsamen Substrat 1 angeordnet sind.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß im Aufbau von FIG. 7 die primärseitige Elektrode (HB)₁, die einen Teil der Interdigitalelektrode HB bildet, mit einer entsprechenden sekundärseitigen Elektrode (21B)₂ der Interdigitalelektrode 21B verbunden ist. Dadurch sind der SAW-Filter 11 und der SAW-Filter 21 in Kaskade verbunden. In jedem der SAW-Filter 11 und 21 kann ähnlich dem Fall der ersten Ausführungsform die vorhergehende Beziehung N₁ &phgr; N₂ * N₃ gelten. Die vorliegende Ausführungsform schließt jedoch auch den Fall ein, in welchem die vorhergehende Beziehung nicht gilt.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß in der Ausführungsform von FIG. 7 jede der primärseitigen Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ der Interdigitalelektroden HA bzw. HC gemeinsam mit einer Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden sind. Die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HC)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC sowie die primärseitige Elektrode (HB)₁ der Interdigitalelektrode HB sind ferner geerdet. Dadurch bildet der SAW-Filter 11 einen Filter eines sogenannten Dualeingang-Einzelausgang-Typs. Auf der anderen Seite sind die sekundärseitigen Elektroden (21A)₂ und (21C)₂ der Interdigitalelektroden 2IA bzw. 2IC gemeinsam mit einer Ausgangselektroden-Anschlußfläche im SAW-Filter 21 verbunden. Die primärseitigen Elektroden (21A)₁ und (21C)₁ der Interdigitalelektroden 21A bzw. 21C sowie eine sekundärseitige Elektrode (21B)₂ der Interdigitalelektrode 21B sind ferner geerdet. Dadurch bildet der SAW-Filter 21 einen Filter eines Einzeleingang-Dualausgang-Typs .

In der Ausführungsform von FIG. 7 überlappen die Elektrodenfinger in dem SAW-Filter 11 miteinander mit einer Überlappungsbreitjf W₁, wenn^sie in der Fortpflanzungsrichtung der

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akustischen Oberflächenwelle in dem SAW-Filter Il betrachtet werden. Ähnlich überlappen die Elektrodenfinger einander in dem SAW-Filter 21 mit einer Überlappungsbreite W₂, wenn sie in der Fortpflanzungsrichtung der akustischen Oberflächenwel-Ie in dem SAW-Filter 21 betrachtet werden, worin die SAW-Filter 11 und 21 derart ausgebildet sind, daß die Überlappungsbreite W₂ für den SAW-Filter 21 von der Überlappungsbreite W₁ für den SAW-Filter 11 verschieden ist. Dadurch zeigt die SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung als Ganzes eine Eingangsimpedanz gleich der Eingangsimpedanz des SAW-Filters 11 und eine Ausgangs impedanz gleich der Ausgangs impedanz des SAW-Filters 21, worin die Eingangsimpedanz des SAW-Filters durch die vorhergehende Überlappungsbreite W₁ bestimmt wird, während die Ausgangsimpedanz des SAW-Filters 21 durch die Überlappungsbreite W₂ bestimmt wird. Durch unabhängiges Einstellen der Überlappungsbreiten W₁ und W₂ ist es somit möglich, die Eingangs impedanz und die Ausgangs impedanz der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung unabhängig und nach Wunsch zu entwerfen.

FIG. 8 zeigt eine Modifikation der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung von FIG. 7, worin die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird.

Bezugnehmend auf FIG. 8 sollte besonders erwähnt werden, daß die primärseitige Elektrode (HB)₁ der Interdigitalelektrode HB mit einer Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist und die sekundärseitige Elektrode (HB)₂ geerdet ist. Auf der anderen Seite sind die primärseitigen Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ der Interdigitalelektrode HA und HC geerdet, und die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HC)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC sind mit der primärseitigen Elektrode (21A)₁ der Interdigitalelektrode 21A bzw. der primärseitigen Elektrode (21C)₁ der Interdigitalelektrode 21C verbunden. Der SAW-Filter H der Ausführungsform von FIG.

8 hat somit einen Einzeleingang-Dualausgang-Auf bau.

Auf der anderen Seite sind in dem SAW-Filter 21 die Sekundärelektroden (21A)₂ und (21C)₂ der Interdigitalelektroden 2IA und 2IC geerdet, und die Ausgabe wird an der sekundärseitigen Elektrode (21B)₂ der Interdigitalelektrode 21B erhal-

_&bgr;#2

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ten. Folglich weist der SAW-Filter 21 einen Dualeingang-Einzelausgang-Aufbau auf.

In der SAW-Filter-Vorrichtung von FIG. 8 ist es auch möglich, die Eingangs impedanz und die Ausgangs impedanz der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung nach Wunsch einzustellen, indem die Überlappungsbreite W₁ und die Überlappungsbreite W₂ in dem SAW-Filter 11 und dem SAW-Filter 21 unabhängig eingestellt werden.

FIG. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung von FIG. 7, worin die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird.

Bezugnehmend auf FIG. 9 hat der SAW-Filter Il ähnlich der Ausführungsform von FIG. 7 einen Einzeleingang-Dualausgang-Aufbau. Der SAW-Filter 21 hat ferner ähnlich der Ausführungsform von FIG. 7 einen Dualeingang-Einzelausgang-Aufbau. So sind die primärseitigen Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ der Interdigitalelektroden HA und HC gemeinsam mit einer Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden, und die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HB)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC sowie die primärseitige Elektrode (HB)₁ der Interdigitalelektrode HB sind geerdet.

In dem SAW-Filter 21 sind die primärseitigen Elektroden (21A)₁ und (21C)₁ der Interdigitalelektroden 21A und 21C gemeinsam mit der sekundärseitigen Elektrode (HB)₂ der Interdigitalelektrode HB verbunden, und die sekundärseitigen Elektroden (21A)₂ und (21C)₂ sind geerdet. Die sekundärseitige Elektrode (21B)₂ der Interdigitalelektrode 21B ist ferner mit einer Ausgangselektroden-Anschlußfläche verbunden. Mit anderen Worten, der Aufbau von FIG. 9 enthält zwei SAW-Filter H und 21 mit Einzeleingang und Dualausgang in einer Kaskadenverbindung .

Es sollte besonders erwähnt werden, daß in der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung von FIG. 9 die SAW-Filter H und 21 in Kaskade derart verbunden sind, daß eine Impedanzanpassung zwischen der Ausgangsseite des SAW-Filters 11 und der Eingangsseite des SAW-Filters 21 eingerichtet wird, um den als Ergebnis einer solchen Kaskadenverbindung auftretenden Verlust zu minimieren.

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Konkreter ist bekannt, daß eine allgemeine Beziehung Z₁ : Z₂ = Z₃ : Z₄

zwischen dem SAW-Filter Il und dem SAW-Filter 21 gilt, wo Z₁ und Z₂ für die Eingangs impedanz bzw. Ausgangs impedanz des SAW-Filters 11 stehen und Z₃ und Z₄ für die Eingangs impedanz bzw. Ausgangsimpedanz des SAW-Filters 21 stehen.

Die vorliegende Ausführungsform realisiert eine Impedanzanpassung zwischen den SAW-Filtern 11 und 21, wie durch eine Bedingung
Z₂ = Z₃

dargestellt wird, indem die Überlappungsbreiten W₁ und W₂ geeignet eingestellt werden.

Als Ergebnis gilt eine Beziehung zwischen den Impedanzen Z₁, Z₂, Z₃ und Z₄ wie folgt:
Z₂ = Z₃ = V(Z₁ · Z₄)

In der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung von FIG. 9 ist die Überlappungsbreite W₁ des SAW-Filters 11 auf 60&lgr; eingestellt, während die Überlappungsbreite W₂ des SAW-Filters 21 auf 35&lgr; eingestellt ist, worin &lgr; die Wellenlänge der auf dem piezoelektrischen Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle repräsentiert und im vorliegenden Beispiel einen Wert von etwa 4,3 &mgr;&tgr;&eegr; hat. Ferner gilt die folgende Beziehung für die SAW-Filter 11 und 21 in der SAW-Filtervorrichtung von FIG. 9:
N₁ : N₂ : N₃ = 15 : 21 : 15

In diesem Fall hat der SAW-Filter 11 eine Eingangsimpedanz von 50 &OHgr;, worin dieser Wert der Eingangs impedanz des SAW-Filters 11 die Eingangsimpedanz der Schaltungsvorrichtung mit in Kaskade verbundenen SAW-Filtern von FIG. 9 liefert. Der so konfigurierte SAW-Filter 21 weist ferner eine Ausgangsimpedanz von 150 &OHgr; auf, worin diese Ausgangs impedanz des SAW-Filters 21 die Ausgangsimpedanz der Schaltungsvorrichtung mit in Kaskade verbundenen SAW-Filtern liefert.

In der SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung von FIG. 9, wo eine Impedanzanpassung zwischen den in Kaskade verbundenen SAW-Filtern 11 und 21 existiert, ist es möglich, die Anzahl der in Kaskade verbundenen Stufen weiter zu erhöhen, so daß die Ausgangs ijneedaxiz .der, SAW-Filt^er.-S.qh.altynasyorrichtung

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sehr viel größer oder sehr viel kleiner als die Eingangsimpedanz der gleichen SAW-Filter-Schaltungsvorrichtung wird.

Ferner sollte besonders erwähnt werden, daß eine solche Schaltungsvorrichtung mit in Kaskade verbundenen SAW-Filtern, welche darin viele in Kaskade verbundene SAW-Filter enthalten kann, zum Unterdrücken der unerwünschten Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs und zum Verbessern der Selektivität des Filters extrem effektiv ist.

FIG. 10 zeigt die Durchlaßbereichs-Charakteristik der Schaltungsvorrichtung mit in Kaskade verbundenen SAW-Filtern von FIG. 9 für den Fall, in welchem die Eingangsseite durch einen Widerstand von 50 &OHgr; abgeschlossen ist und die Ausgangsseite durch einen Widerstand von 150 &OHgr; abgeschlossen ist.

Nach FIG. 10 versteht man, daß die unerwünschten Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs effektiv unterdrückt werden, indem die SAW-Filter 11 und 21 derart in Kaskade verbunden werden. Mit anderen Worten, FIG. 10 zeigt klar, daß ein Effekt eines Unterdrückens unerwünschter Spitzen ähnlich dem Effekt, der durch den SAW-Filter der ersten Ausführungsform erzielt wird, in der vorliegenden Ausführungsform ebenfalls erzielt wird.

[DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM]

FIG. 11 zeigt den Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer

dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, worin die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird. In der vorliegenden Ausführungsform sind die Eingangsimpedanz und die Ausgangsimpedanz für einen einzigen SAW-Filter geändert.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß nach FIG. 11 die primärseitige Elektrode (HB)₁ der Interdigitalelektrode HB mit einer ersten Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist, während die sekundärseitige Elektrode (HB)₂ der Interdigitalelektrode HB mit einer zweiten Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist. Der SAW-Filter von FIG. 11 arbeitet somit als eine Differentialfiltervorrichtung, wenn verschiedene.fiingangssignale, an die..vorhergehende primärsei-

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tige Elektrode (11B)_x bzw. die sekundärseitige Elektrode (HB)₂ geliefert werden. Alternativ dazu kann die Elektrode (HB)₂ geerdet sein.

In dem SAW-Filter von FIG. 11 sind die sekundärseitige Elektrode (HA)₂ und die sekundärseitige Elektrode (HC)₂ miteinander verbunden, und die primärseitige Elektrode (HA)₁ der Interdigitalelektrode HA ist mit einer ersten Ausgangselektroden-Anschlußfläche verbunden, die primärseitige Elektrode (HC)_x der Interdigitalelektrode HC ist mit einem zweiten Ausgangsanschluß verbunden. Dadurch sind die Interdigitalelektrode HA und die Interdigitalelektrode HC in Kaskade verbunden. Die Elektrode (HA)_x und die Elektrode (HC)_x können geerdet sein.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß im Aufbau von FIG. 11 die Interdigitalelektroden HA - HC eine gemeinsame Überlappungsbreite W für die Elektrodenfinger aufweisen. Selbst in solch einem Aufbau wird die Ausgangs impedanz des SAW-Filters als Ganzes durch eine Summe einer Ausgangsimpedanz Z₁ der Interdigitalelektrode HA und einer Ausgangsimpedanz Z₃ der Interdigitalelektrode HC geliefert. Mit anderen Worten, der Aufbau von FIG. 11 erlaubt eine Anpassung der Ausgangsimpedanz des SAW-Filters als Ganzes bezüglich der Eingangsimpedanz obgleich der Freiheitsgrad einer solchen Einstellung im Vergleich zur vorherigen Ausführungsform ziemlieh beschränkt ist. In dem SAW-Filter von FIG. 11 wird die Eingangsimpedanz durch die Eingangsimpedanz Z₂ der Interdigitalelektrode HB geliefert.

[VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM]

FIG. 12 zeigt einen Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einschließlich einer Baugruppe einschließt, worin die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird.

Nach FIG. 12 wird das piezoelektrische Substrat 1, das einen SAW-Filter ähnlich dem SAW-Filter von FIG. 7 darauf trägt, auf einem keramischen Baugruppenkörper 100 gehalten, worin der Baugruppenkörper 100 darauf an seiner ersten Seite zusammen mit einer Eingangselektroden-Anschlußfläche 102 Er-

dungselektrcSfen-AnsirfifrJßfläptiefl. lQl"U,n£*l0£ fcr^gt, so daß die

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- 19 -	"75GM1-DE-AZW

Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und 103 an beiden seitlichen Seiten der Eingangselektroden-Anschlußfläche 102 liegen. Der Baugruppenkörper 100 trägt ähnlich auf seiner zweiten gegenüberliegenden Seite darauf zusammen mit einer Ausgangselektroden-Anschlußfläche 105 Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 derart, daß die Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 an beiden seitlichen Seiten der Ausgangselektroden-Anschlußfläche 105 liegen.

Im Aufbau von FIG. 12 ist die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode HA, die der Elektrode (HA)₂ von FIG. 7 entspricht, durch einen Al-Draht 107 mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 101 auf dem Baugruppenkörper 100 verbunden. Ferner ist die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode HC, die der Elektrode (HC)₂ von FIG. 7 entspricht, durch einen anderen Al-Draht 107 mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 103 auf dem Baugruppenkörper 100 verbunden. Die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode HB, die der Elektrode (HB)₁ von FIG. 7 entspricht, ist ähnlich durch noch einen weiteren Al-Draht 107 mit der vorhergehenden Erdungselektrode 103 verbunden. Die Ausgangselektroden der Interdigitalelektroden HA und HC, die den Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ entsprechen, sind ferner gemeinsam mit der zwischen der Erdungselektroden-Anschlußfläche 101 und der Erdungselektroden-Anschlußfläche 103 angeordneten Eingangselektroden-Anschlußfläche 102 durch jeweilige Al-Drähte 107 gemeinsam verbunden.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß in^ dem ebenfalls auf dem gleichen piezoelektrischen Substrat 1 geschaffenen SAW-Filter 21 die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode 21A, die der Elektrode (21A)₁ von FIG. 7 entspricht, durch einen anderen Al-Draht 107 mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 104 auf dem Baugruppenkörper 100 verbunden ist. Die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode 21C, die der Elektrode (21C)₂ von FIG. 7 entspricht, ist ferner über noch einen anderen Al-Draht 107 mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 103 auf dem Baugruppenkörper 100 verbunden. Die Erdungselektrode der Interdigitalelektrode 21B, die der Elektrode (21B)₂ von FIG. 7 entspricht, ist ferner durch einen weiteren Al-Draht 107 mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 104 Terbundjen.,· i>i.e'A.^sSf^ngpeiek.terocle^ 'der Interdigi-

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talelektroden 21A und 21C₁ die den Elektroden (21A)₂ und (21C)₂ entsprechen, sind ferner mittels eines weiteren Al-Drahtes 107 mit der zwischen den vorhergehenden Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 vorgesehenen Eingangselektroden-Anschlußflache 105 gemeinsam verbunden. Der SAW-FiIter 11 und der SAW-Filter 21 sind überdies in Kaskade verbunden, indem die eingangsseitige Elektrode (HB)₂ der Interdigitalelektrode HB mit der primärseitigen Elektrode (21B)₁ der Interdigitalelektrode 2IB verbunden wird.

Im allgemeinen bilden auf einer Keramikbaugruppe vorgesehene Elektroden mehr oder weniger eine kapazitive Kopplung miteinander, obgleich die vorliegende Erfindung das Problem vermeidet, das mit einer solchen kapazitiven Kopplung der Elektroden verbunden ist, indem die eingangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und 103 auf dem ersten Rand des Baugruppenkörpers 100 und die ausgangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 auf dem zweiten gegenüberliegenden Rand des Baugruppenkörpers 100 angeordnet werden. Durch derartiges Anordnen der Erdungselektroden ist es möglich, Interferenz zwischen den eingangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußflächen und den ausgangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußflachen zu vermeiden, und die Selektivität des SAW-Filters als Ganzes wird verbessert. Es sollte ferner besonders erwähnt werden, daß im Aufbau von FIG. 12 für eine weitere Unterdrückung der Interferenz die Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und 103 getrennt sind und die Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 getrennt sind.

FIG. 13 zeigt die Durchlaßbereichs-Charakteristik des SAW-Filters von FIG. 12 für den Fall, in welchem die Erdungs-0 verbindungen der SAW-Filter 11 und 21 beide mit der Eingangsseite, wo die Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und 103 vorgesehen sind, und der Ausgangsseite hergestellt sind, wo die Erdungselektroden-Anschlußflächen 104 und 106 vorgesehen sind.

Bezug nehmend auf FIG. 13, die Charakteristikkurven A und B zeigt, repräsentiert die Charakteristikkurve B die Durchlaßbereichs -Charakteristik für den SAW-Filter von FIG. 12, wie er ist, während die Charakteristikkurve A die Durchlaßbereichs-Charakteristik des SAW-Filters von FIG. 12 für den Fall repräpej$»derfc₄"i4 iWelcliefr^diei Sse.kundäirsjeitigen Elektro-

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·*-* 21 - 75GM1-DE-AZW

den (HA)₂ und (HC)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC mit den Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und 104 bzw. ferner mit den Erdungselektroden-Anschlußflächen 103 und 106 durch jeweilige Al-Drähte 107 verbunden sind. Die sekundärseitigen Elektroden (21A)₂ und (21C)₂ der Interdigitalelektroden 21A und 21C sind im Fall der Charakteristikkurve A ähnlich mit den Erdungselektroden-Anschlußflächen 101 und bzw. ferner mit den Erdungselektroden-Anschlußflächen 103 und 106 durch jeweilige Al-Drähte 107 verbunden.

Wie man FIG. 13 klar entnimmt, wird die Unterdrückung der unerwünschten Spitzen außerhalb des Durchlaßbereichs des SAW-Filters im Fall der Charakteristikkurve A verschlechtert, was die Effektivität des Aufbaus von FIG. 12 angibt, der die Charakteristikkurve B liefert.

[FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM]

Ein SAW-Filter wird im allgemeinen in der Form einer Baugruppe verwendet, in welcher der SAW-Filter in einem Baugruppenkörper untergebracht ist. Die Baugruppe des SAW-Filters erfordert somit auch eine Verbesserung, insbesondere bezüglich eines Metallschutzdeckels, der in der Baugruppe verwendet wird, um die darin untergebrachte SAW-Vorrichtung zu schützen.

FIG. 14 zeigt eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die auf solch eine Verbesserung der Baugruppe gerichtet ist, worin FIG. 14 die Baugruppe, die den SAW-Filter von FIG. 12 aufnimmt, in einem auseinandergezogenen Zustand zeigt. In FIG. 14 sind die vorher beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet, und deren Be-Schreibung wird weggelassen.

Nach FIG. 14 enthält die Baugruppe einen Baugruppenkörper entsprechend dem Baugruppenkörper 100 von FIG. 12, worin der Baugruppenkörper 100 wiederum aus einer Basis lOOA und einem auf der Basis lOOA vorgesehenen Halterstück lOOB geschaffen ist, worin das Halterstück lOOB mit einer zentralen Öffnung ausgebildet ist, um darin einen SAW-Filter unterzubringen, der beispielsweise einen Aufbau von FIG. 12 haben kann. Die SAW-Baugruppe enthält ferner ein Abstandshalterelement 110, das auf dem vorhergehenden Baugruppenkörper 100 vorgesehen ist, und e'd!rt JMetal'li^QkHl ·&iacgr;£({ .ist'*;aft;£ *c*em feo* sAif dem Baugrup-&bull; · · · ··· · · . ···. . . .

·*·- *2&Ggr;2 - *· * " "?5GM1-DE-AZW

penkörper 100 vorgesehenen Abstandshalterelement 110 vorgesehen, um den im Baugruppenkörper 100 gehaltenen SAW-Filter zu schützen.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß die Basis lOOA des Baugruppenkörpers 100 an dessen vier Ecken mit abgeschrägten Oberflächen 100A₁, 100A₂, 100A₃ und 100A₄ ausgebildet ist und eine Erdungselektrode lOOG auf der Oberseite wie in FIG. 14 angegeben ausgebildet ist, worin die Erdungselektrode lOOG sich in der Richtung des ausgangsseitigen Randes in der Form von Elektrodenleitungen lOOGa und 100Gb erstreckt. Elektrodenleitungen lOOga und lOOgb erstrecken sich ferner in einer Abwärtsrichtung auf der Seitenwand der Basis lOOA von den Elektrodenleitungen 100Ga bzw. lOOGb. Elektrodenleitungen lOOGc und 100Gd erstrecken sich ähnlich von der Erdungselektrode lOOG in Richtung auf den eingangsseitigen Rand der Basis lOOA, und Elektroden lOOgc und lOOgd, die in FIG. 14 nicht gezeigt sind, verlaufen von den Elektrodenleitungen lOOGc und 100Gd auf der Seitenwand der Basis lOOA in der Abwärtsrichtung ähnlich den Elektrodenleitungen lOOga bzw. lOOgb.

Die Basis lOOA trägt darauf das piezoelektrische Substrat 1 des SAW-Filters, und das Halterstück lOOB ist auf der Basis lOOA wie vorher bemerkt wurde, so montiert, daß der SAW-Filter auf der Basis lOOA in der im Halterstück lOOB gebildeten zentralen Öffnung untergebracht ist. Das piezoelektrische Substrat 1 ist dadurch an einen Teil der Erdungselektrode lOOG geklebt, der durch die zentrale Öffnung des Halterstücks lOOB freigelegt ist.

Das Halterstück lOOB ist an seinen vier Ecken mit abgeschrägten Oberflächen 100B₁ - 100B₄ geschaffen, die in dieser Reihenfolge den abgeschrägten Oberflächen 100A₁ - 100A₄ entsprechen, und die Elektroden-Anschlußflächen 101 - 103 sind auf der Oberseite des Halterstücks lOOB entlang einem eingangsseitigen Rand wie in FIG. 14 angegeben ausgebildet. Die Elektroden-Anschlußflächen 104 - 106 sind ähnlich auf der Oberseite des Halterstücks lOOB entlang einem ausgangsseitigen Rand geschaffen.

Elektrodenleitungen 104a, 105a und 106a erstrecken sich ferner auf der Seitenwand des Halterstücks lOOB in dieser Reihenfolge*·vtth d&i.BlÄtBOdfen LO'4 :·-·· i«öjS ±n:di»r Abwärtsrich-

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tung, worin die Elektrodenleitung 104a mit der Elektrodenleitung lOOga auf der Seitenwand der Basis lOOA verbunden ist. Ähnlich ist die Elektrodenleitung 106a mit der Elektrodenleitung lOOgb verbunden, und die Elektrodenleitung 105a ist mit einer Elektrodenleitung lOOo verbunden, die auf der Seitenwand der Basis lOOA zwischen den Elektrodenleitungen lOOga und lOOgb vorgesehen ist. Ähnliche Elektrodenleitungen sind ebenfalls auf der Eingangsseite des Halterstücks lOOB in Entsprechung zu den Elektroden-Anschlußflächen 101 - 103 ausgebildet.

Das Abstandshalterelement 110 hat eine ringförmige Form und legt einen Teil der Elektroden-Anschlußflächen 101 - 106 sowie einen Teil des piezoelektrischen Substrats 1 frei, wobei man aus FIG. 14 erkennt, daß das Abstandshalterelement 110 abgeschrägte Oberflächen HO₁ - HO₄ aufweist, die in dieser Reihenfolge den abgeschrägten Oberflächen 100B₁ 100B₄ des Halterstücks lOOB entsprechen. Das Abstandshalterelement 110 trägt darauf eine Erdungselektrode HOA, und ein Metalldeekel 120 ist auf die so auf dem Abstandshalterelement 110 geschaffene Erdungselektrode HOA hartgelötet.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß die Erdungselektrode HOA eine Erdungsleitung enthält, die auf der abgeschrägten Oberfläche HO₁ in der Abwärtsrichtung verläuft, worin bei Montage des Abstandshalterelements HO auf dem HaI-terstück lOOB die Erdungsleitung mit einer entsprechenden Erdungsleitung 104a' verbunden ist, die von der Erdungselektroden-Anschlußfläche 104 auf dem Halterstück lOOB zur abgeschrägten Oberfläche 100B_x verläuft. Mit anderen Worten, der Metalldeckel 120 ist mit der Erdungselektroden-Anschlußfläche 104 allein und nicht mit anderen Erdungselektroden-Anschlußflächen 101, 103 oder 106 verbunden. Durch derartiges Konfigurieren der baugruppenstruktur ist es möglich, daß Problem einer durch die Interferenz der Erdungselektroden-Anschlußflächen hervorgerufenen Verschlechterung der Durchlaßbereichs-Charakteristik des SAW-Filters zu vermeiden, die wird, die mit Verweis auf FIG. 13 erläutert wurden.

FIG. 15 zeigt die Durchlaßbereichs-Charakteristik des SAW-Filters von FIG. 14.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß nach FIG. 15, die CharakteristiJifcu^ij^Atliind^^eiglii^aff: Cliatakteristikkurve B

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die Durchlaßbereichs-Charakteristik des SAW-Filters von FIG. 14 angibt, während die Charakteristikkurve A die Durchlaßbereichs -Charakteristik des SAW-Filters angibt, in welchem der Metalldeckel 120 an allen seinen vier Ecken im Aufbau von FIG. 14 geerdet ist.

Wie man FIG. 14 klar entnimmt, nimmt der unerwünschte Pegel außerhalb des Durchlaßbereiches in dem Fall wesentlich zu, in dem der Metalldeckel 120 an allen seinen vier Ecken geerdet ist, im Vergleich zu dem Fall von FIG. 14, in welchem der Metalldeckel 120 nur an einer Ecke von ihm geerdet ist. Das Ergebnis von FIG. 15 demonstriert deutlich die Existenz einer Interferenz zwischen verschiedenen Er dungs elektroden ·- Anschlußflächen, die über den Metalldeckel 120 wirkt.

[SECHSTE AUSFÜHRUNGSFORM]

FIG. 16 zeigt den Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einschließlich des Baugruppenkörpers, worin der SAW-Filter von FIG. 16 eine Modifikation des SAW-Filters von FIG. 12 ist.

Folglich sind die Teile des SAW-Filters von FIG. 16, die denjenigen von FIG. 12 entsprechen, mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet, und deren Beschreibung wird weggelassen.

Nach FIG. 16 trägt das auf dem Baugruppenkörper 100 gehaltene piezoelektrische Substrat 11 darauf nur den SAW-Filter 11 oder 21. Die Interdigitalelektroden HA und HC der Ausgangsseite sind dadurch an den ausgangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußflachen 104 bzw. 106 geerdet. Die Interdigitalelektrode HB der Eingangsseite ist ferner an der eingangsseitigen Erdungselektroden-Anschlußfläche 101 geerdet.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß in dem SAW-Filter von FIG. 16 ein Eingangssignal auch an die Erdungselektroden-Anschlußfläche 101 geliefert wird. Dadurch arbeitet der SAW-Filter von FIG. 16 wie ein Filter vom Differenz- oder Differentialtyp.

In dem SAW-Filter 14 ist auch die Wechselwirkung der eingangsseitigen Erdungs-Anschlußfläche und der ausgangsseitigen Erdungs-Anschlußfläche über die kapazitive Kopplung erfolgreich und effektiv eliminiert, und eine ausgezeichnete Durchlaßbereichs -Charakteristik ähnlich der in FIG. 12 oder 12 gezeigten wdirci: erhalten; ·.'.'. ·**::. ·"::!." **" · ·

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[SIEBTE AUSFÜHRUNGSFORM]

FIG. 17 zeigt den Aufbau eines SAW-Filters gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, worin die vorher mit Verweis auf die vorhergehenden Zeichnungen beschriebenen Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, und deren Beschreibung wird weggelassen.

Ähnlich dem SAW-Filter von FIG. 16 kann der SAW-Filter der vorliegenden Ausführungsform ebenfalls als ein Filter vom Differenztyp verwendet werden, indem ein Eingangssignal nicht nur an die Eingangselektroden-Anschlußfläche, sondern auch an die Erdungselektroden-Anschlußfläche geliefert wird. Die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HC)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC des SAW-Filters von FIG. 16 sind somit nicht geerdet, sondern werden mit einem zweiten Eingangssignal IN₂ versorgt, das von einem ersten Eingangssignal IN₁ verschieden ist, welches an die primärseitigen Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ der Interdigitalelektroden HA und HC geliefert wird. Es sollte besonders erwähnt werden, daß dadurch die primärseitige Elektrode (HB)₁ der Interdigitalelektrode HB nicht geerdet ist, sondern ein Ausgangs signal OUT₂ erzeugt, das von einem Ausgangssignal OUT₁ verschieden ist, das an der sekundärseitigen Elektrode (HB)₂ der Interdigitalelektrode HB erhalten wird.

Es sollte besonders erwähnt werden, daß ähnlich der Ausführungsform von FIG. 3 im Aufbau von FIG. 17 die Beziehung

N₁ * N₂ * N₃

zwischen den Anzahlen N₁, N₂ und N₃ der Elektrodenfingerpaare gilt.

0 FIG. 18 zeigt eine Modifikation der Ausführungsform von FIG. 17, in der der SAW-Filter in einen Differentialmodus in FIG. 18 betrieben wird, während die den vorher beschriebenen Teilen entsprechenden Teile durch die gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind und deren Beschreibung weggelassen wird.

Nach FIG. 18 werden die sekundärseitigen Elektroden (HA)₂ und (HC)₂ der Interdigitalelektroden HA und HC gemeinsam mit einem Eingangssignal IN₂ versorgt, das von einem Eingangssignal IN₁ verschieden ist, das an die primärseitigen Elektroden (HA)₁ und (HC)₁ geliefert wird. Ein Ausgangs-

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signal OUT₂, das von einem Ausgangssignal OUT₂ verschieden ist, das von den sekundärseitigen Elektroden (21A)₂ und (21C)₂ erhalten wird, wird ferner von der primärseitigen Elektrode (21A)_x der Interdigitalelektrode 21A und der primärseitigen Elektrode (21C)₁ erhalten. Es sollte besonders erwähnt werden, daß ähnlich dem Fall von FIG. 7 der SAW-Filter von FIG. 18 einen Aufbau hat, in welchem die Überlappungsbreite W₁ für den SAW-Filter 11 von der Überlappungsbreite W₂ für den SAW-Filter 21 verschieden ist.

FIG. 19 und 20 zeigen ein Beispiel zum Modifizieren der SAW-Filter von FIG. 8 bzw. 9, um SAW-Filter mit Differentialmodus zu schaffen. In diesen Beispielen wird auch ein Eingangssignal IN₂, das von dem im Beispiel von FIG. 8 oder FIG. 9 verwendeten Eingangssignal IN₁ verschieden ist, an die Erdungselektrode geliefert wird, und ein Ausgangssignal OUT₂, das vom Ausgangssiganl OUT₁ verschieden ist, wird an der Erdungselektrode erhalten. Da der Aufbau der FIG. 19 und 20 aus der bisherigen Beschreibung offensichtlich ist, wird dessen weitere Beschreibung weggelassen. Es sollte besonders erwähnt werden, daß im Aufbau der FIG. 19 und 20 der differentielle Aufbau nur für die Eingangsseite oder die Ausgangsseite vorgesehen werden kann.

Es ist in jeder der bisher beschriebenen Ausführungsformen vorzuziehen, eine Y-geschnittene Einkristallplatte aus LiTaO₃ oder LiNbO₃ mit einem Schnittwinkel von 40⁰Y - 44⁰Y zu verwenden, wenn LiTaO₃ verwendet wird, oder mit einem Schnittwinkel von 66⁰Y - 74⁰Y, wenn LiNbO₃ verwendet wird. Wird für das piezoelektrische Substrat 1 LiTaO₃ verwendet, ist es vorzuziehen, die Dicke der Interdigitalelektroden auf dem Substrat 1 so einzustellen, daß sie eine Dicke von 5-10 % der Wellenlänge der auf dem piezoelektrischen Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle hat, vorausgesetzt daß die Interdigitalelektroden aus Al oder einer Al-Legierung gebildet sind. Ist das piezoelektrische Substrat 1 aus LiNbO₃ geschaffen, ist es andererseits vorzuziehen, die Interdigitalelektroden mit einer Dicke entsprechend 4 - 12 % der Wellenlänge der auf dem piezoelektrischen Substrat 1 angeregten akustischen Oberflächenwelle auszubilden.

Die vorliegende Erfindung ist ferner nicht auf die bisher beschriebeh'eji'Kusfuh^näsfdrjrSsn fcteegKifattktl Sondern verschiej &idigr; &idigr; · · * *** * * *

_·2&tgr;··-»·^# ·..' &Ggr; '..^5SIiI-DE-AZW

dene Variationen und Modifikationen können vorgenommen werden, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen.

Claims (17)

1. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, aufweisend:
ein piezoelektrisches Substrat (1);
zumindest erste und zweite Elemente (11, 21) für akustische Oberflächenwellen, die gemeinsam auf dem piezoelektrischen Substrat jeweils entlang einem vorbestimmten Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet sind;
wobei jedes der ersten und zweiten Elemente für akustische Oberflächenwellen eine Mehrzahl von Interdigitalelektroden (11A-11C; 21A-21C) enthält, die entlang dem vorbestimmten Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind;
wobei jede der Mehrzahl von Interdigitalelektroden eine primärseitige Elektrode ((11A)₁, (11B)₁, (11C)₁; (21A)₁, (21B)₁, (21C)₁) mit einer Mehrzahl wechselseitig paralleler Elektrodenfinger, die in einer ersten Richtung quer über den Ausbreitungsweg verlaufen, und eine sekundärseitige Elektrode mit einer Mehrzahl wechselseitig paralleler Elektrodenfinger enthält, die in einer zweiten, zur ersten Richtung entgegengesetzten quer Richtung über den Ausbreitungsweg verlaufen;
welche Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und welche Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode in jeder der Interdigitalelektroden in jedem der ersten und zweiten Elemente für akustische Oberflächenwellen abwechselnd entlang dem Ausbreitungsweg angeordnet sind, um mit einer vorbestimmten Überlappungsbreite (W₁, W₂) zu überlappen, wenn sie in einer Richtung des Ausbreitungswegs betrachtet werden;
welche Überlappungsbreite einen ersten Wert (W₁) gemeinsam für die Mehrzahl von Interdigitalelektroden hat, die das erste Element (11) für akustische Oberflächenwellen bilden, und einen zweiten verschiedenen Wert (W₂) gemeinsam für die Mehrzahl von Interdigitalelektroden, die das zweite Element (21) für akustische Oberflächenwellen bilden;
welches erste Element (11) für akustische Oberflächenwellen mit dem zweiten Element (21) für akustische Oberflächen-Wellen in Kaskade verbunden ist, indem eine sekundärseitige Elektrode ((11B)₂) einer Interdigitalelektrode (11B), die in dem ersten Element (11) für akustische Oberflächenwellen enthalten ist, mit einer primärseitigen Elektrode ((21B)₁) einer Interdigitalelektrode (21B) verbunden wird, die in dem zweiten Element (21) für akustische Oberflächenwellen enthalten ist.

2. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 1, worin der erste Wert (W₁) der Überlappungsbreite und der zweite Wert (W₂) der Überlappungsbreite derart eingestellt sind, daß eine Ausgangsimpedanz (Z₂) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen mit einer Eingangsimpedanz (Z₃) der zweiten Vorrichtung (21) für akustische Oberflächenwellen zusammenpaßt.

3. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 2, worin die Ausgangsimpedanz des ersten Elements für akustische Oberflächenwellen und die Eingangsimpedanz des zweiten Elements für akustische Oberflächenwellen durch eine Beziehung &radic;(Z_in . Z_out) gegeben sind, worin Z_in eine Eingangsimpedanz des ersten Elements für akustische Oberflächenwellen repräsentiert und Z_out eine Ausgangsimpedanz des zweiten Elements für akustische Oberflächenwellen repräsentiert.

4. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 1, worin jedes der ersten und zweiten Elemente (11, 21) für akustische Oberflächenwellen eine Doppelmoden-Typ- Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen ist und erste und zweite Reflektoren (10A, 10B; 20A, 20B) enthält, die auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Substrats gebildet sind, welche erste und zweite Reflektoren dadurch den Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle definieren, wobei jedes der ersten und zweiten Elemente für akustische Oberflächenwellen ferner erste, zweite und dritte Interdigitalelektroden (11A-11C; 21A-21C) enthält, die zwischen den ersten und zweiten Reflektoren vom ersten Reflektor zum zweiten Reflektor als die Mehrzahl von Interdigitalelektroden hintereinander angeordnet sind.

5. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 4, worin jede der ersten und zweiten Interdigitalelektroden (11A, 11C) der ersten Vorrichtung (11) für akustische Oberflächenwellen eine primärseitige Elektrode ((11A)₁, (11C)₁) enthält, die gemeinsam mit einer Eingangselektroden- Anschlußfläche verbunden ist, und worin die zweite Interdigitalelektrode (11B) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((11B)₂) enthält, die mit einer primärseitigen Elektrode ((21B)₁) der zweiten Interdigitalelektrode (21B) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen verbunden ist.

6. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 4, worin die zweite Interdigitalelektrode (11B) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine primärseitige Elektrode ((11B)₁) enthält, die mit einer Eingangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist;
die zweite Interdigitalelektrode (21B) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((21B)₂) enthält, die mit einer Ausgangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist;
die erste Interdigitalelektrode (11A) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((11A)₂) enthält, die mit einer primärseitigen Elektrode ((21A)₁) der ersten Interdigitalelektrode (21A) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen verbunden ist; und
worin die dritte Interdigitalelektrode (11C) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((11C)₂) enthält, die mit einer primärseitigen Elektrode ((21C)₁) der dritten Interdigitalelektrode (21C) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen verbunden ist.

7. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 4, worin jede der ersten und dritten Interdigitalelektroden (11A, 11C) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine primärseitige Elektrode ((11A)₁, (11C)₁) enthält, die gemeinsam mit einer Eingangselektroden- Anschlußfläche verbunden ist;
die zweite Interdigitalelektrode (21B) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((21B)2) enthält, die mit einer Ausgangselektroden-Anschlußfläche verbunden ist;
die zweite Interdigitalelektrode (11B) des ersten Elements (11) für akustische Oberflächenwellen eine sekundärseitige Elektrode ((11B)₁) enthält, die gemeinsam mit einer primärseitigen Elektrode ((21A)₁) der ersten Interdigitalelektrode (21A) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen und ferner mit einer primärseitigen Elektrode ((21C)₁) der dritten Interdigitalelektrode (21C) des zweiten Elements (21) für akustische Oberflächenwellen verbunden ist.

8. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 4, worin in jedem der ersten und zweiten Elemente (11, 21) für akustische Oberflächenwellen die ersten bis dritten Interdigitalelektroden (11A-11C; 21A-21C) entsprechende erste bis dritte Anzahlen von Paaren Elektrodenfinger (N₁, N₂, N₃) aufweisen, die voneinander verschieden sind.

9. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, aufweisend:
einen Baugruppenkörper (100), der darauf ein piezoelektrisches Substrat (1) trägt;
zumindest ein Element (11) für akustische Oberflächenwellen, das auf dem piezoelektrischen Substrat gebildet ist;
welches Element für akustische Oberflächenwellen eine Mehrzahl von Interdigitalelektroden (11A-11C) enthält, die entlang einem Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, wobei jede der Interdigitalelektroden eine eingangsseitige Interdigitalelektrode ((11A)₁, (11B)₁, (11C)₁; (21A)₁, (21B)₁, (21C)₁) und eine ausgangsseitige Interdigitalelektrode ((11A)₂, (11B)₂, (11C)₂; (21A)₂, (21B)₂, (21C)₂) enthält;
welche eingangsseitige Interdigitalelektrode mit einer ersten Erdungs-Anschlußfläche (101, 103) verbunden ist, die auf dem Baugruppenkörper vorgesehen ist;
welche ausgangsseitige Interdigitalelektrode mit einer zweiten verschiedenen Erdungs-Anschlußfläche (104, 106) verbunden ist, die auf dem Baugruppenkörper vorgesehen ist.

10. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 9, worin die erste Erdungs-Anschlußfläche (101, 103) auf einer ersten Seite des Baugruppenkörpers (100) vorgesehen ist, wo eine Eingangselektroden-Anschlußfläche (102) vorgesehen ist, und worin die zweite Erdungs-Anschlußfläche (104, 106) auf einer zweiten gegenüberliegenden Seite des Baugruppenkörpers vorgesehen ist, wo eine Ausgangselektroden- Anschlußfläche (105) vorgesehen ist.

11. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 9, worin die Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen ferner einen leitenden Deckel (120) zum Schützen des piezoelektrischen Substrats (1) enthält, worin der leitende Deckel mit nur einer der ersten und zweiten Erdungs-Anschlußflächen (104) elektrisch verbunden ist.

12. Doppelmoden-Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen mit, aufweisend:
ein piezoelektrisches Substrat (1);
erste und zweite Reflektoren (10A, 10B), die auf dem piezoelektrischen Substrat entlang einem Ausbreitungsweg einer akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat vorgesehen sind;
erste, zweite und dritte Interdigitalelektroden (11A- 11C), die auf dem piezoelektrischen Substrat vom ersten Reflektor zum zweiten Reflektor hintereinander vorgesehen sind;
wobei jede der ersten bis dritten Interdigitalelektroden entsprechende erste bis dritte Anzahlen von Paaren (N₁, N₂, N₃) Elektrodenfinger enthält;
worin die erste Anzahl von Paaren Elektrodenfinger für die erste Interdigitalelektrode von der dritten Anzahl von Paaren Elektrodenfinger für die dritte Interdigitalelektrode verschieden ist.

13. Doppelmoden-Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 12, worin eine Beziehung X < Y < Z gilt, wo X die erste Anzahl von Paaren Elektrodenfinger repräsentiert, Y die zweite Anzahl von Paaren Elektrodenfinger repräsentiert und Z die dritte Anzahl von Paaren Elektrodenfinger repräsentiert.

14. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, aufweisend:
ein piezoelektrisches Substrat (1);
erste und zweite Reflektoren (10A, 10B), die auf dem piezoelektrischen Substrat entlang einem Ausbreitungsweg einer auf dem piezoelektrischen Substrat angeregten akustischen Oberflächenwelle angeordnet sind; und
eine Mehrzahl von Interdigitalelektroden (11A-11C), die auf dem piezoelektrischen Substrat vom ersten Reflektor zum zweiten Reflektor hintereinander angeordnet sind;
wobei jede der Mehrzahl von Interdigitalelektroden eine primärseitige Elektrode ((11A)₁, (11B)₁, (11C)₁) enthält, die mehrere wechselseitig parallele Elektrodenfinger enthält, die in einer ersten Richtung über den Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle verlaufen, und eine sekundärseitige Elektrode ((11A)₂, (11B)₂, (11C)₂), die mehrere wechselseitig parallele Elektrodenfinger enthält, die in einer zur ersten Richtung entgegengesetzten zweiten Richtung über den Ausbreitungsweg der akustischen Oberflächenwelle verlaufen, welche Elektrodenfinger der primärseitigen Elektrode und welche Elektrodenfinger der sekundärseitigen Elektrode in jeder der Mehrzahl von Interdigitalelektroden abwechselnd entlang dem Ausbreitungsweg angeordnet sind und mit einer vorbestimmten Überlappungsbreite (W) überlappen, wenn sie in einer Richtung des Ausbreitungsweges der akustischen Oberflächenwelle betrachtet werden;
welche Mehrzahl von Interdigitalelektroden in Kaskade verbunden ist, indem eine sekundärseitige Elektrode einer Interdigitalelektrode mit einer sekundärseitigen Elektrode einer anderen Interdigitalelektrode verbunden wird.

15. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach einem der Ansprüche 1, 9, 12 und 14, worin das piezoelektrische Substrat (1) eine Y-rotierte Einkristallplatte aus LiTaO₃ mit einem Schnittwinkel zwischen 40°Y und 44°Y aufweist, wobei jede der Interdigitalelektroden (11A-11C) aus einem Material gebildet ist, das Al als eine Hauptkomponente enthält, und eine Dicke aufweist, die 5-10% einer Wellenlänge einer auf dem piezoelektrischen Substrat angeregten akustischen Oberflächenwelle entspricht.

16. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nach Anspruch 14, worin das piezoelektrische Substrat (1) eine Y- rotierte Einkristallplatte aus LiNbO₃ mit einem Schnittwinkel zwischen 66°Y und 74°Y aufweist, wobei jede der Interdigitalelektroden (11A-11C) aus einem Al als Hauptkomponente enthaltenden Material gebildet ist und eine Dicke aufweist, die 4-12% einer Wellenlänge einer auf dem piezoelektrischen Substrat angeregten akustischen Oberflächenwelle entspricht.

17. Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, aufweisend:
ein piezoelektrisches Substrat (1);
eine Mehrzahl von Interdigitalelektroden (11A-11C), die auf dem piezoelektrischen Substrat vorgesehen sind, wobei jede der Interdigitalelektroden eine primärseitige Elektrode ((11A)₁, (11B)₁, (11C)₁) mit einer Mehrzahl von Elektrodenfingern und eine sekundärseitige Elektrode ((11A)₂, (11B)₂, (11C)₂) mit einer Mehrzahl von Elektrodenfingern enthält, welche primärseitige Elektrode und welche sekundärseitige Elektrode derart angeordnet sind, daß die Elektodenfinger der primärseitigen Elektrode und die Elektrodenfinger der sekundärseitigen abwechselnd auf dem piezoelektrischen Substrat wiederholt werden;
welche Interdigitalelektroden eine Interdigitalelektrode (11B) mit einer primärseitigen Elektrode ((11B)₁), die mit einem ersten Eingangs/Ausgangsanschluß verbunden ist, und eine sekundärseitige Elektrode ((11B)₂) einschließt, die mit einem zweiten verschiedenen Eingangs/Ausgangsanschluß verbunden ist.