DE29522263U1 - Mehrwellenvakuumpumpe - Google Patents

Mehrwellenvakuumpumpe

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Description

Batzers-Pfeiffer GmbH
Mehrwellenvakuumpumpe
Die Erfindung betnfft eine Mehrwellenvakuumpumpe nach dem Oberbegriff des 1. Pat&emispruches.
Bei dieser Art von Pumpen rotieren zwei oder mehr Kolben in einem Pumpengehäuse. Die gegenläufige Rotation ist ein aufeinander Abwickeln der Kolben ohne gegenseitige Berührung bei gleichzeitiger linien- oder flächenförmiger Abdichtung der Saugseite gegenüber der Ausstoßseite. Diese Bewegung wird durch Getriebe bewirkt, die sich in besonderen vom Schöpfraum abgetrennten Getrieberäumen befinden. Zur Übertragung der Drehbewegung auf die Kolben werden die Wellen durch trennende Bauteile zwischen Getriebe- bzw. Lagerräumen und Schöpfraum geführt. Die Getriebe- und Lagerräume sind bis zu einer bestimmten Höhe mit Öl gefüllt, welches in geeigneter Weise den Wellenlagern und den Zahnrädern der Getriebe zugeführt wird. Da eine Vakuumpumpe der hier beschriebenen Art im Schöpfraum ölfrei arbeiten soll, muß vermieden werden, daß Öl oder sonstige Schmierstoffe aus den Getriebe- bzw. Lagerräumen in die Schöpfräume gelangen. Ebenso sollten keine Schadstoffe, die im Schöpfraum gefördert werden, in die Getnebe- bzw. Lagerräume gelangen und dort die Schmiermittel verunreinigen oder zersetzen können. Aus diesen Gründen muß dafür gesorgt werden, daß Schöpfräume und Getnebe- bzw. Lagerräume an den Stellen der Wellendurchführungen wirkungsvoll abgedichtet sind.
-2-
Um diese Abdichtung zu erreichen, werden unterschiedliche Dichtkonzepte an den Wellendurchführungen zwischen den Getriebe- bzw. Lagerräumen und den Schöpfräumen verwendet. Gebräuchliche Dichtungsarten sind Spalt- und Labyrinthdichtungen, Kolbenringabdichtungen sowie die Abdichtung mit Radialwellendichtungen. In vielen Fällen besteht die Abdichtung auch aus Kombinationen der genannten Dichtungskonzepte.
Spalt- und Labyrinthdichtungen stellen keine absolute Dichtung dar, haben jedoch den Vorteil, daß sie keinem Verschleiß unterworfen sind. Da bei Spaltabdichtungen aus fertigungstechnischen Gründen die Spalte nicht alle gleich groß sind, können Druckdifferenzen auftreten, welche Ausgleichsströmungen zwischen den einzelnen Wellendurchführungen hervorrufen. Dieser Effekt tritt verstärkt bei mehrstufigen Pumpen auf, bei denen an den Durchführungen verschiedene Drücke anstehen. Die vorgenannten Ausgleichsströmungen stehen einem optimalen Pumpverhalten entgegen. Durch sie können Schmiermitteldämpfe in den Schöpfraum, der ölfrei sein sollte, gelangen und ebenso können Dämpfe aus dem Schöpfraum in die Getriebe- bzw. Lagerräume gelangen, wo sie kondensieren, die Schmiermittel verunreinigen oder diese zersetzen können.
Kolbenringabdichtungen weisen einen geringen Verschleiß auf, ihre Abdichtung ist aber für viele Anwendungsgebiete unzureichend.
Radialwellendichtringe ergeben eine gute Abdichtung, bringen aber den Nachteil mit sich, daß sie bei Trockenlauf hohem Verschleiß unterworfen sind.
Der Einsatzbereich der Pumpe kann beträchtlich erweitert werden, wenn sie in vertikaler Position betrieben werden kann. In diesem Falle kommen die nachteiligen Eigenschaften der vorgenannten Konstruktionen zum Teil noch stärker zur Wirkung. Außerdem können bei vertikalem Betrieb Flüssigkeiten noch leichter in die Dichtelemente eindringen und so Korossionen und erhöhten Verschleiß verursachen. Flüssigkeiten und Kondensate werden weder durch Labyrinthe noch durch Kolbenringe wirkungsvoll aufgehalten.
Das Druckverhältnis zwischen Getriebe- bzw. Lagerräumen und Schöpfräumen ist während des Betriebes der Pumpe nicht konstant. Es ist abhängig von Ansaug- und Ausstoßdruck der Pumpe sowie von den betriebsbedingten Temperaturen bzw. Temperaturschwankungen.
Um die Trenn wirkung der Abdichtung zu verbessern, werden diese mit prozessverträglichem Sperrgas beaufschlagt. Der Sperrgasdruck in der Abdichtung muß bei jedem Betnebszustand der Pumpe gleich bzw. größer als der Druck in den Getriebe- bzw. Lagerräumen und in den benachbarten Schöpfräumen sein.
Aufgrund der Tatsache, daß keine der erwähnten Dichtungskonzepte eine absolute Dichtheit gewährleistet, strömt Sperrgas sowohl in die Getriebebzw. Lagerräume als auch in die benachbarten Schöpfräume ein.
Diese Sperrgasleckage beeinträchtigt nicht nur das Betriebsverhalten der Pumpe, sondern stellt auch einen beträchtlichen Betriebskostenfaktor dar. Bei einigen Anwendungen ist sogar ein Trennverfahren zwischen gepumpten Gasen und Sperrgas erforderlich.
-4-
Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, eine Mehrwellenvakuumpumpe mit wirkungsvoller Abdichtung zwischen Getriebe- bzw. Lagerräumen und Schöpfräumen vorzustellen, bei der die vorgenannten Nachteile vermieden werden. Insbesondere sollen auch Verschmutzungen und die Ansammlung von Flüssigkeiten an den Rändern und in den Ecken der Dichtungen ausgeschlossen werden. Darüber hinaus wird eine verschleißmindernde Bauweise angestrebt, um die Lebensdauer der Bauteile zu erhöhen. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist, die Sperrgasmenge auf ein Minimum zu begrenzen. Schließlich soll die Pumpe sowohl in waagerechter als auch in senkrechter Lage betrieben werden können ohne daß dies einen nachteiligen Einfluß auf die Betriebsweise hat.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des 1. spruches gelöst. Die Ansprüche 2 bis 4 stellen weitere Ausgestaltungen der Erfindung dar.
Durch die Anordnung der beiden Lippendichtungen, so daß die Lippen der einen Dichtung in Richtung Schöpfraum und die Lippen der anderen Dichtung in Richtung Getriebe- bzw. Lagerraum weisen, ergeben sich eine Reihe von Vorteilen. Verschmutzungen in den Ecken, Hinterschneidungen und Vertiefungen im unmittelbaren Dichtbereich der Dichtungen durch Ansammeln von Stoffen aus dem Schöpfraum oder aus dem Getriebebzw. Lagerraum werden vermieden, da die genannten kritischen Stellen der Dichtungen diesen Räumen nicht zugewandt sind. Dieser Vorteil macht sich bei senkrechtem Einsatz der Pumpe besonders bemerkbar.
Dadurch, daß die Dichtlippe auf der Seite des Schöpfraumes so angeordnet ist, daß sie in eine Aussparung am innendurchmesser des Kolbens ragt und durch die Formgebung dieser Aussparung wird vermieden, daß Räume entstehen, wo sich Flüssigkeiten und Kondensate ansammeln können. Diese werden zusammen mit unvermeidlichem Abrieb von den kritischen Stellen weggefördert.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird es möglich und sinnvoll, einen Gaseinlaß zwischen den beiden Lippendichtungen anzubringen. Beim Betrieb der Pumpe kann durch diesen Gaseinlaß entsprechend dem Anspruch 4 Sperrgas zwischen die beiden Dichtungen geführt werden. Dies hat zur Folge, daß ein kontinuierlicher Strom von Sperrgas, welcher in Abhängigkeit vom Druck und/oder Gasmenge gesteuert werden kann, unter den Dichtlippen in Richtung Schöpfraum und in Richtung Getriebe- bzw. Lagerraum fließt. Insbesondere ermöglicht es die erfindungsgemäße Anordnung, den Sperrgasverbrauch auf ein Minimum zu beschränken und so die Nachteile, die durch das Einströmen von Sperrgas in die Getriebe- bzw. Lagerräume und benachbarte Schöpfräume entstehen, weitgehend zu beseitigen. Die den Verschleiß beeinflussende Vorspannung der Dichtlippen wird so verringert, womit auch die Reibung auf ein Minimum reduziert und ein verschleißarmer Lauf der Pumpe garantiert wird. Zusätzlich wird das Eindringen von Stoffen aus dem Schöpf raum in den Getriebe- bzw. Lagerraum und umgekehrt verhindert.
An Hand der Abbildungen 1 und 2 soll die Erfindung am Beispiel einer Zweiwellenvakuumpumpe näher erläutert werden.
Abbildung 1 zeigt einen Längsschnitt einer erfindungsgemäßen Pumpe. Abbildung 2 zeigt einen Ausschnitt aus Abbildung 1 mit einer detaillierteren Darstellung der Dichtelemente.
Im Schöpfraum 1 einer Zweiwellenvakuumpumpe rotieren zwei Kolben 2 und 3, welche sich auf den Wellen 4 und 5 befinden. Die Wellen werden in Lagern 6 und 7 geführt. Die Rotationsbewegungen werden durch Getriebe 8, die in Getrieberaum 9 angebracht sind, gesteuert. Zur Übertragung der Rotationsbewegung vom Getriebe 8 auf die Kolben 2 und 3 ist das Lagerschild 10, welches als Trennwand zwischen Schöpfraum 1 und Getriebebzw. Lagerraum 9 dient, mit Wellendurchführungen 11 und 12 versehen. In diesen Wellendurchführungen befinden sich die erfindungsgemäßen Dichteinnchtungen 13 und 14, welche den Schöpfraum 1 vom Getriebe- bzw. Lagerraum 9 trennen.
Abbildung 2 zeigt in detaillierter Darstellung die Ausführung einer Dichteinnchtung 13. Die Lagerbuchse 15 trägt die beiden Lippendichtungen 16 und 17. Diese sind so angeordnet, daß die Lippe der Dichtung 16 unter die Kolben 2, 3 in den Schöpfraum 1 hineinragt, und die Lippe der Dichtung 17 jener abgewandt ist und dem Lager 6 und somit dem Getriebe- bzw- Lagerraum 9 zugewandt ist. Eine Verbindungsleitung 18 dient dazu, Sperrgas von außen zwischen die beiden Lippendichtungen zu führen. Dieses Sperrgas kann dann zwischen den Lippen und der Laufbuchse 19 nach beiden Seiten in Richtung Schöpfraum und in Richtung Getriebe- bzw. Lagerraum strömen.
-7-
Eine Aussparung 20 am Innendurchmesser der Kolben und eine Abschrägung 21 sind auf der der Lippendichtung zugewandten Seite der Kolben angebracht.
Die erfindungsgemäßen Einrichtungen sind am Beispiel einer Durchführung zwischen einem Schöpfraum und einem Getriebe- bzw. Lagerraum beschrieben. Sie werden ebenso bei den übrigen Wellen und deren Durchführungen in die entsprechenden Räume angewandt.
• · · I

Claims (3)

1. Mehrwellenvakuumpumpe zur Förderung von Gasen mit in einem oder mehreren Schöpfräumen rotierenden Kolben (2, 3), welche auf Wellen (4, 5) montiert sind, wobei diese Wellen durch ein Getriebe (8) gesteuert werden, und dieses Getriebe sich in einem Getrieberaum (9) befindet, welcher durch ein Lagerschild (10) vom Schöpf- bzw. Getrieberaum abgetrennt ist, und dieses Lagerschild mit Wellendurchführungen (11, 12) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß sich innerhalb dieser Wellendurchführungen Dichteinrichtungen (13) befinden, die so gestattet sind, daß sie aus jeweils zwei Lippendichtungen (16, 17) bestehen, wobei die Lippe der einen Lippendichtung (16) in Richtung Schöpfraum (1) weist, und die Lippe der anderen Lippendichtung (17) in Richtung Getriebe- bzw. Lagerraum (9) weist.
2. Mehrwellenvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtlippen der dem Schöpfraum zugewandten Lippendichtungen (16) in die in den Kolben (2, 3) vorgesehene Aussparungen (20) ragen.
3. Mehrwellenvakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolben auf den den Dichtlippen zugewandten Seiten am Innendurchmesser mit Abschrägungen (21) versehen sind, welche so gestaltet sind, daß Flüssigkeiten und Kondensate vom Dichtbereich weggefördert werden.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003071134A1 (de) 2002-02-23 2003-08-28 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102014107684A1 (de) 2014-06-02 2015-12-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
EP2499374B1 (de) 2009-11-11 2016-12-28 Edwards Limited Korrosionsbeständige wellendichtung für eine vakuumpumpe

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003071134A1 (de) 2002-02-23 2003-08-28 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
US7153093B2 (en) 2002-02-23 2006-12-26 Leybold Vacuum Gmbh Vacuum pump
EP2499374B1 (de) 2009-11-11 2016-12-28 Edwards Limited Korrosionsbeständige wellendichtung für eine vakuumpumpe
DE102014107684A1 (de) 2014-06-02 2015-12-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
EP2952678A1 (de) 2014-06-02 2015-12-09 Pfeiffer Vacuum GmbH Vakuumpumpe mit kühlrippen

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