DE2951943C2 - Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen - Google Patents

Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen

Info

Publication number
DE2951943C2
DE2951943C2 DE2951943A DE2951943A DE2951943C2 DE 2951943 C2 DE2951943 C2 DE 2951943C2 DE 2951943 A DE2951943 A DE 2951943A DE 2951943 A DE2951943 A DE 2951943A DE 2951943 C2 DE2951943 C2 DE 2951943C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
objects
connections
pads
alignment
destination
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2951943A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2951943A1 (de
Inventor
Shuji Yokohama Kanagawa Takeshita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Publication of DE2951943A1 publication Critical patent/DE2951943A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2951943C2 publication Critical patent/DE2951943C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D41/00Casting melt-holding vessels, e.g. ladles, tundishes, cups or the like
    • B22D41/50Pouring-nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • B23Q15/20Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work before or after the tool acts upon the workpiece
    • B23Q15/22Control or regulation of position of tool or workpiece
    • B23Q15/24Control or regulation of position of tool or workpiece of linear position

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Image Processing (AREA)
DE2951943A 1978-12-27 1979-12-22 Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen Expired DE2951943C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15998178A JPS5588347A (en) 1978-12-27 1978-12-27 Automatic aligning system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2951943A1 DE2951943A1 (de) 1980-07-03
DE2951943C2 true DE2951943C2 (de) 1984-07-19

Family

ID=15705387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2951943A Expired DE2951943C2 (de) 1978-12-27 1979-12-22 Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4319845A (US06174465-20010116-C00003.png)
JP (1) JPS5588347A (US06174465-20010116-C00003.png)
DE (1) DE2951943C2 (US06174465-20010116-C00003.png)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3546216A1 (de) * 1984-12-26 1986-07-03 TDK Corporation, Tokio/Tokyo Einrichtung zur befestigung von elektronischen bauelementen auf gedruckten schaltkreisplatten
DE3708119A1 (de) * 1986-03-15 1987-09-24 Tdk Corp Vorrichtung und verfahren zur anbringung eines schaltelements auf einer gedruckten leiterplatte
DE4127696A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Adalbert Fritsch Vorrichtung zum positionieren von smd-bauelementen, insbesondere smd-chips

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57113356A (en) * 1980-12-30 1982-07-14 Fujitsu Ltd Article inspection system
US4495589A (en) * 1982-09-20 1985-01-22 Crane Co. Aircraft ground velocity determination system
US4671650A (en) * 1982-09-20 1987-06-09 Crane Co. (Hydro-Aire Division) Apparatus and method for determining aircraft position and velocity
JPS59180307A (ja) * 1983-03-30 1984-10-13 Fujitsu Ltd 自動位置合わせ方法
DE3372673D1 (en) * 1983-09-23 1987-08-27 Ibm Deutschland Process and device for mutually aligning objects
JPS61213612A (ja) * 1985-03-19 1986-09-22 Hitachi Ltd プリント基板のパタ−ン検査装置
GB2179155B (en) * 1985-08-13 1989-08-16 English Electric Valve Co Ltd Spatial characteristic determination
GB2183820A (en) * 1985-11-09 1987-06-10 Dynapert Precima Ltd Electronic component placement
US4799268A (en) * 1985-11-12 1989-01-17 Usm Corporation Lead sense system for component insertion machine
US4736108A (en) * 1986-07-29 1988-04-05 Santana Engineering Systems Apparatus and method for testing coplanarity of semiconductor components
US5438416A (en) * 1988-11-17 1995-08-01 Nater; Charles Laser dual wavelength selection system
JPH02108814U (US06174465-20010116-C00003.png) * 1989-02-17 1990-08-29
US5030839A (en) * 1989-12-13 1991-07-09 North American Philips Corporation Method and apparatus for measuring body to lead tolerances of very odd components
US6330354B1 (en) * 1997-05-01 2001-12-11 International Business Machines Corporation Method of analyzing visual inspection image data to find defects on a device
WO2010109887A1 (ja) * 2009-03-25 2010-09-30 新日本製鐵株式会社 連続鋳造用浸漬ノズル
DE102010028496A1 (de) * 2010-05-03 2011-11-03 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zur Positionierung und/oder Justage von Bauteilen und entsprechendes optisches Justagesystem
GB202010350D0 (en) * 2020-07-06 2020-08-19 Univ Strathclyde Methods and apparatus for use in the spatial registration of objects

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1265435B (de) * 1964-05-20 1968-04-04 Leitz Ernst Gmbh Verfahren zur Festlegung der Orte von Messmarken
BE756467A (fr) * 1969-09-24 1971-03-22 Philips Nv Dispositif pour aligner des objets, comportant une source lumineuse, unsysteme de detection photosensible et deux porteurs pour configuration
US3806254A (en) * 1971-12-08 1974-04-23 Information Storage Systems Agc servo system having error signal responsive to a non-extinguishable intensity light energy signal
US3903363A (en) * 1974-05-31 1975-09-02 Western Electric Co Automatic positioning system and method
JPS51140488A (en) * 1975-05-30 1976-12-03 Hitachi Ltd Mask alignment device
US4065212A (en) * 1975-06-30 1977-12-27 International Business Machines Corporation Inspection tool
GB1574439A (en) * 1976-02-03 1980-09-10 Solartron Electronic Group Displacement transducers
DE2643809B2 (de) * 1976-09-29 1980-10-09 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zum Einjustieren eines Körpers
CH600362A5 (US06174465-20010116-C00003.png) * 1976-12-23 1978-06-15 Bbc Brown Boveri & Cie

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3546216A1 (de) * 1984-12-26 1986-07-03 TDK Corporation, Tokio/Tokyo Einrichtung zur befestigung von elektronischen bauelementen auf gedruckten schaltkreisplatten
DE3708119A1 (de) * 1986-03-15 1987-09-24 Tdk Corp Vorrichtung und verfahren zur anbringung eines schaltelements auf einer gedruckten leiterplatte
DE4127696A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Adalbert Fritsch Vorrichtung zum positionieren von smd-bauelementen, insbesondere smd-chips

Also Published As

Publication number Publication date
DE2951943A1 (de) 1980-07-03
JPS5758058B2 (US06174465-20010116-C00003.png) 1982-12-08
US4319845A (en) 1982-03-16
JPS5588347A (en) 1980-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2951943C2 (de) Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen
DE69300850T2 (de) Verfahren zum Montieren von Komponenten und Vorrichtung dafür.
DE102014205726B4 (de) Verfahren zum bestimmen von profildaten für ein kantenmerkmal in einem inspektionssystem mit maschineller bildverarbeitung
DE60100594T2 (de) Verfahren und system zur aufspürung von fehlern auf einer gedruckten leiterplatte
DE2620599C2 (de) Verfahren zum Betrieb einer Chip-Bond-Vorrichtung
DE2803653C3 (de) Ausrichtvorrichtung
CH657489A5 (de) Strukturerkennungsvorrichtung und verfahren zu ihrem betrieb.
CH643959A5 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen lageerkennung von halbleiterchips.
DE2260229C3 (US06174465-20010116-C00003.png)
DE2518077A1 (de) Elektrooptisches system zur bestimmung der orientierung bzw. lage von gegenstaenden, wie werkstuecken oder aehnlichem
DE2322459C3 (de) Meßverfahren für ein photogrammetrisches Gerät und Gerat zur Durchfuhrung des Verfahrens
CH651408A5 (de) Optische dokumentenpruefeinrichtung zum erfassen von fehldrucken.
DE3006578A1 (de) Bezugsbild zum ausrichten von masken fuer die herstellung von mikroschaltungen, verfahren zum ausrichten einer maske mit einer mikroschaltungsscheibe und verfahren und vorrichtung zum wahrnehmen und ausrichten von derartigen bezugsbildern
CH638625A5 (de) Verfahren zur vorpruefung von kopiervorlagen.
DE3879015T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberfruefung von lochmaskenplatten.
DE3735154A1 (de) Verfahren und einrichtung zum ermitteln der lage eines objektes
DE2643809B2 (de) Verfahren zum Einjustieren eines Körpers
DE3342491A1 (de) Automatische vorrichtung zum herstellen oder pruefen von geraeten
DE1941057B2 (de) Einrichtung zur selbsttätigen Lage justierung eines Werkstuckes gegenüber einem Bezugspunkt
DE60201358T2 (de) Methode zur Korrektur einer Photomaske, sowie Methode zur Herstellung eines Halbleiterelements
DE60224856T2 (de) Herstellungsverfahren einer Zündkerze und Vorrichtung zur Durchführung desselbens
DE10307454A1 (de) Verfahren, Vorrichtung und Software zur optischen Inspektion eines Halbleitersubstrats
DE3719538A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum einstellen eines spalts zwischen zwei objekten auf eine vorbestimmte groesse
DE3306367C2 (US06174465-20010116-C00003.png)
DE2922017A1 (de) Ausrichtverfahren mit hoher aufloesung und vorrichtung dafuer

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: G05D 3/12

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: REINLAENDER, C., DIPL.-ING. DR.-ING., PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN

8339 Ceased/non-payment of the annual fee