DE2942477A1 - Piezoelektrischer schwinger - Google Patents
Piezoelektrischer schwingerInfo
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 16
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 208000027534 Emotional disease Diseases 0.000 description 2
- 241000234642 Festuca Species 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02062—Details relating to the vibration mode
- H03H9/0207—Details relating to the vibration mode the vibration mode being harmonic
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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Description
7.3.Ι969 PHN. 926 if
"Piezoelektrischer Schwinger"
Die Erfindung bezieht sich auf einen
piezoelektrischen Schwinger mit einem Körper in Form eines langgestreckten rechteckigen Blocks, der aus einem Quarzkristall
gemäss einem AT-Schnitt ausgeschnitten ist, wobei der Körper zwei langgestreckte Ilauptflachen mit der Längsachse
in der Z'-Richtung und der Breitenachse in der X-Richtung
des Kristallschnittes aufweist, und auf einem Teil der Hauptflächen einander gegenüberliegende Elektroden
angebracht sind, die zum Anregen eines kombinierten Schwjngungsmodus
dienen, der aus einer XY'-Dicken-Seherschwingung
und einer XY'-Biegeschwingung besteht, während der Körper
in der Nähe einer ersten der die beiden Hauptflächen in der Z'-Richtung begrenzenden Endflächen mit Mitteln zur
Befestigung des Schwingers auf einem Träger versehen ist.
Ein derartiger Schwinger ist aus der
DE-OS 2.7OI.J4I6 bekannt und eignet sich insbesondere zur
Anwendung in elektronischen ULaen . Durch den angegebenen
Kristallschnitt wird erreicht, dass die beiden durch die
Elektroden in dem Körper angeregten Schwjngungsinodcn eine
Bewegungsrichtung aufweisen, die in der XY'-Ebene liegt,
d.h. in einer Ebene senkrecht zur Längsachse des Körpers. Weiter wird mit Hilfe der Elektroden ein sogenannter Energieeinfang
("Energy trapping") bewirkt, d.h., dass die erzeugten Schwingungen im wesentlichen auf das Gebiet
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7.3.1969 /2 PHN. 9264
■ k-
zwischen den Elektroden beschränkt sind, während die Amplitude
der Schwingungen der angegebenen Schwingungsmoden ausserhalb des Elektrodengebietes als Funktion des Abstandes
von diesem Elektrodengebiet verhältnismässig stark abnimmt:.
Dies ist für die notwendige Befestigung
des Schwingers besonders nützlich. Venn die Endflächen des
Körpers nämlich in einem derartigen Abstand von dem Elektrodengebiet liegen, dass angenommen werden kann, dass die
Schwingungen an diesen Endflächen völlig ausgedämpft sind,
können diese Endflachen als Tragflächen für den Körper verwendet, z.B. eingeklemmt werden, ohne dass dadurch das
Schwingungsrnuster in dem Körper beeinflusst wird. Als Tragpunkte
für den Körper werden dabei meistens die elektri-
sehen Anschlussklemmen für die Elektroden benutzt, die dann
aiif diesen Endflächen angeordnet und elektrisch mit den
Elektroden verbunden sind.
In der genannton DE-OS sind grundsätzlich
zwei mögliche Bauarten für einen derartigen Schwinger an-20
gegeben. Bei der ersten Bauart sind die Elektroden zentral auf den beiden Hauptflachen angeordnet, während jede der
in einem Abstand von diesen Elektroden liegenden Endflächen GJno Anschlussklemme für eine der Elektroden enthält und
als !Vagpunkt für den Schwinger dient. Bei der zweiten
25
möglichen Bauart enthält eine der Endflächen beide Anschlussklemmen
und dient nur diese Endfläche als Tragpunkt für den Schwinger. Da die zweite Endfläche bei dieser Bauart
nicht als Tragpunkt dient und demzufolge eine Be;vegung
vollführen kann, brauchen die Elektroden nicht mehr zentral 30
auf den beiden Hauptflachen angeordnet zu werden, sondern
kann der Abstand zwischen der zweiten (freien) Endfläche und den Elektroden kleiner als der zwischen der ersten
(eingeklemmten) Endfläche und dicsenElektroden sein. Dabei
wird aber angegeben, dass der Abstand zwischen dieser 35
zweiten Endfläche und den Elektroden nicht unbeschränkt klein sein darf. Diese Bedingung fändet offenbar ihren
Grund in der Annahme, dass neben den genannten Schwingungs-
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moden auch ein Schwingungsmodus mit einer Bewegungsrichtung parallel zur Längsachse des Körpers, insbesondere der
erwähnte Dicken-Torsionsmodus, auftreten kann, und dass dafür gesorgt werden muss, dass an der Stelle dieser zweiten
Endfläche diese Schwingung genügend stark gedämpft ist, um über die durch diese Endfläche auferlegten Randbedingungen
keine Störung des Schwingungsmusters, was eine Verringerung des Gütefaktors des Schwingers zur Folge haben würde,
einzuführen.
Ausser einem hohen Gütefaktor sind die
Abmessungen des Schwingers von besonderer Bedeutung. Da diese Schwinger in erster Linie zur Anwenlung in Uhrenschaltungen
bestimmt sind, geht ein starkes Bestroben dahin,
die Abmessungen dieser Schwinger möglichst zu verkleinern.
Die Erfindung hat zur Aufgabe, einen
Schwinger zu schaffen, der unter Beibehaltung des hohen Gütefaktors mit kleineren Abmessungen hergestellt werden
kann. Der Schwingel1 nach der Erfindung ist dazu dadurch
gekennzeichnet, dass sich die beiden auf den llauptf lachen
angeordneten Elektroden bis zur zweiten der die beiden llauptf lachen begrenzenden Endflächen erstrecken.
Der Erfindung liegt dabei die Erkenntnis zugrunde, dass innerhalb des Elektrodengebietes des Körpers
in hohem Masse nur Schwingungen erzeugt werden, deren Βολνο-
gungsrichtungen in der XY'-Ebene liegen, d.h. in einer zu
den Endflächen parallelen Ebene. Dies bedeutet jodoch, dass es dann zulässig ist, die zweite Endfläche mit dem
Hand der Elektroden zusammenfallen zu lassen, da sich diese
Endfläche frei in der XY'-Richtung bewegen kann und
demzufolge keine Störung der Schwingungen mit einer Bewegungsrichtung
in der XY'-Ebene herbeiführt. Dies bedeutet, dass die Längsabmessung dos Schwingers auf ein Mindestmass
herabgesetzt worden kann, wodurch dieser Schwinger in einer
möglichst kleinen Umhüllung untergebracht werden kann. 35
Der Schwinger nach der Erfindung ist vorzugsweise dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis
zwischen der Abmessung des Körpers in der X-Richtung und
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• G-
der Abmessung in der Y'-Richtung innerhalb eines der nachstehenden
Bereiche liegt:
zwischen 1,1 und 1,9 zum Anregen der zweiten Harmonischen der Biegeschwingung
zwischen 2,2 und 3,6 zum Anregen der vierten Harmo
nischen der Biegeschwingung
zwischen 3,6 und 5>3 zum Anregen der sechsten Harmonischen
der Biege schwingung
zwischen 5»1 und 6,8 zum Anregen der achten Harmonischen
der Biegeschwingung
zwischen 6,5 und 8,'l zum Anregen der zehnten Harmonischen
dor Biegeschwingung und
zwischen 8 und 10,^ zum Anregen der zwölften Harmonischen
der Biegeschwingung. Ein Ausfübrungsboispiel der Erfindung
ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden nä'her beschrieben. Es zeigen:
Figuren 1 und 2 zwei Ausführungsformen
bekannter Schwinger und
Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel des Schwingers nach der Erfindung.
Der Schwinger nach Fig. 1 der in der obengenannten deutschen Patentanmeldung beschriebenen Art
enthält einen langgestreckten rechteckigen Block 1, der aus einem Quarzkristall geniäss dem AT-Schnitt ausgeschnitten
ist. Dabei haben, wie in der Figur dargestellt ist, sowohl die Y-Achse als auch die Z-Achse eine Drehung von
etwa 350O1 erfahren. Dieser Block 1 enthält zwei Haupt-
flächen 2 und 3, die sich parallel zur XZ'-Ebene des
Kristal1 schnittes erstrecken, wobei sich die Längsachse
dieser Ilauptf lachen in dor Z ' -Richtung erstrockt. Auf jeder
der beiden Ilauptf lachen 2 und 3 ist eine Elektrode U bzw.
5 angebracht. Diese beiden Elektroden k und 5 erstrecken
35
sich in X-Richtung bis zu den beiden Seitenflächen des
Blockes 1. Jn dor Z'-Richtung (Längsachse dos Blockes 1)
ist ihre Abmessung beschränkt, und zwar derart, dass nur ein zentral liegendes Gebiet des Körpers 1 von einer an
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η. 3.79 ^ PHN.926it
• T-
diese Elektroden h und 5 angelegten Spannung angeregt
wird .
Um diese Spannungen an die Elektroden anlegen zu können, ist die Elektrode h über einen auf der
Hauptf lä'che 2 angebrachten Leiter 1 1 mit einer Anschlussklemme 9 verbunden, während die Elektrode 5 über einen auf
der Hauptfläche 3 angebrachten Leiter 10 mit einer Anschlussklemme
8 verbunden ist. Diese beiden Anschlussklemmen 8 und 9 sind auf den Endflächen 6 und 7 des Körpers
befestigt und weisen eine derartige Bauart auf, dass sie zugleich zur Befestigung des Körpers 1 auf einem Träger
dienen können.
Durch Anlegen eines elektrischen Signals
an die Elektroden k und 5 wird ein kombinierter Schwingungsmodus angeregt, der aus einer Dicken-Scherschwingung und
einer Biegeschwingung besteht, wobei die Bewegungsrichtungen dieser beiden Schwingungen zur XY'-Ebene parallel sind.
Weiter hat sich herausgestellt, dass bei diesem Scbwingungsmodus
ein verhältnisniässig starker Energieeinfang auftritt,
d.h., dass die Schwingungen im wesentlichen auf das Gebiet
des Körpers 1 zwischen den Elektroden h und 5 beschränkt
bleiben und ausserhalb dieses Gebietes mit zunehmendem Abstand der Elektroden k und 3 von den Endflächen 6 und
ist nun derart gewühlt, dass sichergestellt ist, dass an
25
den Stellen dieser Endflächen alle Schwingungen, sowohl
die gewünschton als auch die gegebenenfalls auftretenden
unerwünschten Schwingungen, praktisch völlig ausgedämpft sind. Dies bedeutet, dass dann diese Endflächen ohne Bedenken
als Stützflächen des Körpers dienen können, ohne dass 30
dies zu einer Störung des Sch\\ringungsmusters innerhalb
des Körpers führt.
Weiter wird vorzugsweise das Breite/Dicke-Verhältnis des Körpers 1 innerhalb bestimmter Grenzen gewählt
wobei die Breite die Abmessung in der X-Richtung 35
und die Dicke die Abmessung in der Y'-Richtung ist. Vie
in der genannten deutschen Patentanmeldung angegeben ist, wird dieses Verhältnis vorzugsweise innerhalb des Bereiches
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S-
von 1,1 bis 1,9 für die zweite Harmonische der Biegeschwingung,
innerhalb dos Bereiches von 2,2 bis 3»6 für dio vierte Harmonische der Bicgoschwingung, innerhalb des
Bereiches von 3,6 bis 5.3 für die sechste Harmonische der
" Biegeschwingung, innerhalb des Bereiches von 5>1 bis 6,8
für die achte Harmonische der Biegeschwingung, innerhalb dos Bereiches von 6,5 bis 8,4 für die zehnte Harmonische
der Biegeschwingung und innerhalb des Bereiches von 8 bis 10,4 für die zwölfte Harmonische der Biegeschwingung gewählt.
Es hat sich herausgestellt, dass damit Schwinger mit einem sehr hohen Gütefaktor erhalten werden, wobei
Herstellungstoleranzen nur einen beschränkten Einfluss
ausüben.
Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform
des bekannten Schwingers, wobei entsprechende Elemente mit
den gleichen Bezugsziffern wie in Fig. 1 bezeichnet sind.
Die beiden Hauptflachen 2 und 3 enthalten
wieder die einander gegenüber angeordneten Elektroden h und 5· Im Gegensatz zu dem Schwinger nach Fig. 1 wird nun
20
aber nur ein Ende des Körpers 1 als Tragpunkt benutzt.
Dazu sind auf den Hauptflächen 2 und 3 dieses Körpers 1 in der N/i ha der Endfläche 7 zwei Abstützungen 8 und 9 befestigt,
die sowohl zur mechanischen Befestigung des Schwingers
als auch zum elektrischen Anschluss dianen. Die Elek-
25
troden 4 und 5 sind über elektrische Leiter 11 und 10 mit
diesen Abstützungen verbunden. In bezug auf den Abstand zwischen der Endfläche 7 und dem Elektrodengebiet gilt
naturgemöss dieselbe Bedingung, die in bezug auf den
Schwinger nach Fig. 1 gestellt wurde.
30
In bezug auf die Endfläche 6 ist dies
nicht mehr der Fall. Da diese Endfläche 6 nicht mehr eingeklemmt
ist, d.h., da sie sich frei bewegen kann, ist es zulassig, dass an der Stelle dieser Endfläche Schwingungen
mit einer zu dieser Endfläche parallelen Bewegungsrichtung 35
auftreten. Dies bedeutet, dass der Abstand zwischen dieser Endfläche 6 und dem Elektrodengebiet kleiner als der Abstand
zwischen der Endfläche 7 und dem Elektrodcngebiet
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7-3.79 -if PHN. 926 it
. 9-
gewählt werden kann. In der genannten deutschen Patentanmeldung wird besagt, dass in dem Körper eine Dicken-Torsionsschwingung
in der Z'-Richtung auftreten kann, deren Amplitude als Funktion des Abstandes vom Elektrodengebiet
exponentiell abnimmt. Daraus lässt sich ableiten, dass der Abstand zwischen der Endfläche 6 und dem Elektrodengebiet
offenbar derart sein muss, dass diese Dicken-Torsionsschwingung an der Stelle der Endfläche 6 genügend stark
gedämpft ist. Die Endfläche 6 würde nämlich bestimmt eine an der Stelle auftretende Schwingung in der Z'-Richtung
beeinflussen und dadurch den Gütefaktor dos Schwingers beeinträchtigen.
Fig. 3 zeigt schliosslich ein Ausführungsbeispiel dos Schwingers nach der Erfindung. Dio Befesti-
gung dor Abstützungen 8 und 9 a"i Körper 1 und der Anschluss
der Elektroden 't und 5 an diese Abstützungen erfolgt auf
völlig gleiche Weise wie beim Schwinger nach I^ig. 2. Der
wesentliche Unterschied zum .Schwinger nach Fig. 2 besteht
darin, dass die Endfläche 6 mit dem Rand dos Klektrodenge-20
bietes zusammenfallt, mit anderen Worten, dass sich die
Elektroden ^t und 5 bis zu dieser Endfläche 6 erstrecken.
Diese Positionierung der Endfläche 6 gründet sich auf die
Erkenntnis, dass von den Elektroden h und 5 praktisch nur
Schwingungen angeregt werden, die eine Bewegungsrichtung
25
in einer zur XY'-Ebene parallelen und somit zur Endfläche
parallelen Ebene aufweisen.
Dies bedeutet, dass es zulässig ist, die
Endfläche 6 mit dem Rand dor Elektroden Ί und 5 zusammenfallen
zu lassen. Damit wird dann eine Mindostabrnessung 30
dos Schwingers erzielt. Ausserdein wird dadurch ein Mindestwert
des über den Anschlussklemmen der Elektroden gemessenen
Eiiigangswiderstandes gewährleistet. Dies ist der Tatsache
zuzuschreiben, dass durch das Zusammenfallen der
Endfläche 6 mit dem Rand des Elektrodengobietes das ange-35
regte Schwingungsmuster bosser· auf das Elektrodengebiet
beschränkt bleibt. Dadurch ist ein Höchstwert dor dynamischen Kapazität (Bowogungskapazitä t) gesichert, dor wieder
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'40-
zu einem Mindestwert des genannten Eingangswiderstandes
führt.
Um die Abmessungen des Schwingers noch weiter zu beschränken, kann nach einer weiteren Massnahme gemäss der
Erfindung eine Fazettierung des Körpers angewandt werden,
wie in Fig. 3 schematisch durch die strichpunktierte
Linie 12 dargestellt ist. Diese Fazottierung bringt mit
sich, dass die Dicke des Körpers 1 (Abstand zwischen den Hauptflächen 2 und 3) in der Nähe der Endfläche 7 allmählieh
abnimmt. Durch diese Fazottierung wird erreicht, dass
die im Körper erzeugten Schwingungen zusätzlich gedämpft werden, bevor sie die Endfläche 7 erreichen können, was ja
erforderlich ist, um es zu ermöglichen, die Befestigungs—
mittel 8 und 9 an der Stelle dieser Endfläche 7 anzubringen.
Durch diese zusätzliche Dämpfung infolge der Fazettierung 12 kann der Abstand zwischen der Endfläche 7 und den
Elektroden 3 und k also kleiner gewählt werden, wodurch die
Gesamtabmessung des Schwingers herabgesetzt wird. Erwünschtcni'ui
1 s können selbstverständlich auch unier Beibehaltung
derselben Abmessungen die Abmessungen der Elektroden
3 und h grosser gewählt werden, was für den Einstellbereich
der Resonanzfrequenz günstig ist.
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Claims (3)
- 7.3-79 PHN.9264PATENTANSPRÜCHEv 1 . Piezoelektrischer »Schwinger mit einemKörper in Form eines langgestreckten rechteckigen Blockes, der aus einem Quarzkristall gemäss einem AT-Schnitt ausgeschnitten ist, wobei der Körper zwei langgestreckte Hauptgflächen mit der Längsachse in der Z'-Richtung und der Breitenachso in der X-Richtung dos Kristallschnittes aufweist, und auf einem Teil der llaiiptf lachen einander gegenüberliegende Elektroden angeordnet sind, die dazu dienen, einen kombinierten Schwdngungsinodus anzuregen, der auseiner XY'-Dicken-Scherschwingung und einer XY'-Biegeschwingung besteht, während der Körper in der Nähe einer ersten der die beiden Hauptflächen in. der Z'-Richtung begrenzenden Endflächen mit Befestigungsinitteln zur Befestigung des Schwingers auf einem Träger versehen ist,dadurch gekonnzeichnet, dass sich die beiden auf den Ilauptf lachen (2 und 3) angeordneten Elektroden (H und 5) bis ZUi1 zvfo it on dor die beiden Ilauptf lachen begrenzenden Endflächen (6) erstrecken.
- 2. Piezoelektrischer Schwinger nach Anspruch1, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis zwischen der Abmessung des Körpers (1) in der X-Richtung und der Abmessung in der Y'-Richtung innerhalb eines der nachstehenden Bereiche liegt:zwischen 1,1 und 1 ,9 zum Anregen der zweiten llarmo-0300 1 9/07378.3-79 2 PHN 9264nischen der Biegeschwingungzwischen 2,2 und 3,6 zum Anregen der vierten Harmonischen der Biegeschvingungzwischen 3t6 und 5»3 zum Anregen der sechsten Harmo-5 nischen der Biegeschwingungzwischen 5|1 und 6,8 zum Anregen der achten Harmonischen der Biegeschwingungzwischen 6,5 und 8,4 zum Anregen der zehnten Harmonischen der Biegeschwingung und10 zwischen 8 und 10,4 zum Anregen der zwölften Harmonischen der Biegeschwingung.
- 3. Piezoelektrischer Schwinger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der rechteckige Block in dem Sinne fazettiert ist, dass der Abstand zwischen den beiden 15 Hauplflachen in der Nähe der Befestigungsmittel einen zu der nahe liegenden Endfläche hin abnehmenden Verlauf aufweist.030019/0737
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL7810583A NL7810583A (nl) | 1978-10-24 | 1978-10-24 | Piezoelektrische triller. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2942477A1 true DE2942477A1 (de) | 1980-05-08 |
Family
ID=19831764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19792942477 Withdrawn DE2942477A1 (de) | 1978-10-24 | 1979-10-20 | Piezoelektrischer schwinger |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5558613A (de) |
BE (1) | BE879590A (de) |
CH (1) | CH627045B (de) |
DE (1) | DE2942477A1 (de) |
ES (1) | ES485253A1 (de) |
FR (1) | FR2440115A1 (de) |
GB (1) | GB2037070A (de) |
NL (1) | NL7810583A (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS5917629U (ja) * | 1982-07-23 | 1984-02-02 | 京セラ株式会社 | 厚みすべり振動子の電極構造 |
JPS5929819U (ja) * | 1982-08-18 | 1984-02-24 | 富士通株式会社 | 水晶発振器 |
US4525647A (en) * | 1983-12-02 | 1985-06-25 | Motorola, Inc. | Dual frequency, dual mode quartz resonator |
US4642511A (en) * | 1986-03-31 | 1987-02-10 | Motorola, Inc. | Edge-mounting configuration for at-strip resonators |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4071797A (en) * | 1976-01-20 | 1978-01-31 | Societe Suisse Pour L'industrie Horlogere Management Services S.A. | Quartz piezo-electric element vibrating in a coupled mode |
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-
1978
- 1978-10-24 NL NL7810583A patent/NL7810583A/nl not_active Application Discontinuation
-
1979
- 1979-10-19 GB GB7936423A patent/GB2037070A/en not_active Withdrawn
- 1979-10-20 DE DE19792942477 patent/DE2942477A1/de not_active Withdrawn
- 1979-10-22 JP JP13534979A patent/JPS5558613A/ja active Pending
- 1979-10-22 CH CH946279A patent/CH627045B/de unknown
- 1979-10-22 ES ES485253A patent/ES485253A1/es not_active Expired
- 1979-10-23 BE BE0/197787A patent/BE879590A/fr unknown
- 1979-10-24 FR FR7926396A patent/FR2440115A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL7810583A (nl) | 1980-04-28 |
ES485253A1 (es) | 1980-05-16 |
JPS5558613A (en) | 1980-05-01 |
GB2037070A (en) | 1980-07-02 |
CH627045B (de) | |
BE879590A (fr) | 1980-04-23 |
FR2440115A1 (fr) | 1980-05-23 |
CH627045GA3 (de) | 1981-12-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |