DE2939397A1 - Verfahren zur herstellung einer elektretvorrichtung - Google Patents
Verfahren zur herstellung einer elektretvorrichtungInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 15
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 11
- 238000004049 embossing Methods 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 11
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000007723 die pressing method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical group FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G7/00—Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
- H01G7/02—Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
- H01G7/021—Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric
- H01G7/023—Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric of macromolecular compounds
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- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1002—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with permanent bending or reshaping or surface deformation of self sustaining lamina
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1002—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with permanent bending or reshaping or surface deformation of self sustaining lamina
- Y10T156/1039—Surface deformation only of sandwich or lamina [e.g., embossed panels]
- Y10T156/1041—Subsequent to lamination
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49226—Electret making
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
3 Registered Representatives
~~ before the
European Patent Office
Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha,
KawacaVi-chi Τλπ^π MÖNstraBe 37
Kawasaki shi, Japan D-8000 München 80
Tel: 089/982085-87 Telex: 0529802 hnkld
Telegramme: ellipsoid
28. September 197 SI-54P433-3
Verfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung. Ein Elektret ist bekanntlich ein Produkt,
dasNdurch Anlegung einer elektrischen Dauerpolarisation
an ein dielektrisches Material, das keine spontane Polarisation besitzt, hergestellt worden ist.
Elektrete fallen bekanntlich in eine Gruppe, deren piezoelektrische
oder pyroelektrische Eigenschaft ausgenutzt wird, und in eine Gruppe, deren elektrostatisches Feld ausgenutzt
wird. Das elektrostatische Elektret wird dabei als Quelle für eine Polarisationsspannung bei einem elektrostatischen
Mikrophon oder Kopfhörer eingesetzt, und es ist für nahezu alle Vorrichtungen nutzbringend verwendbar, bei denen eine
elektrostatische Umwandlung eines elektrischen Signals in ein mechanisches Signal oder umgekehrt erforderlich ist.
Die eben genannte elektrostatische Signalumwandlung kann mit zunehmender Polarisationsspannung noch wirksamer stattfinden.
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Im Hinblick auf Dauerleistung und gleichmäßige Güte solcher Vorrichtungen wird es als wesentlich angesehen, daß die
Elektrete für ein und dieselbe Vorrichtungsart jeweils einen hohen und gleich großen Spannungspegel besitzen.
Da zudem die Lebensdauer der elektrischen Ladung eines Elektrets ein die Betriebslebensdauer einer ein solches
Elektret verwendenden Vorrichtung unmittelbar bestimmender Faktor ist, besteht ein anderes, wesentliches Erfordernis
darin, daß alle hergestellten Elektretelemente jeweils eine gleich lange Lebensdauer besitzen müssen.
Die bisherigen Verfahren, nach denen ein den genannten Erfordernissen
genügendes Elektret herstellbar ist, umfassen grundsätzlich 1) das thermische, 2) das elektrische, 3) das
mechanische, 4) das photographische Elektretformierverfahren, 5) das Strahlungs-Elektretformierverfahren, 6) ein
magnetisches Elektretformierverfahren sowie verschiedene Kombinationen dieser Verfahren.
Beim thermischen und beim elektrischen Verfahren kann der Polarisationsgrad bzw. die elektrische Ladung und demzufolge
auch der Spannungspegel eines Elektrets leicht gesteuert werden? diese Verfahren werden bereits industriell angewandt.
Andererseits sind diese Verfahren aus praktischen Erwägungen bezüglich Stabilität und Lebensdauer {des Elektrets)
nicht voll zufriedenstellend.
Zur Verbesserung von Stabilität und Lebensdauer wurde bereits vorgeschlagen (vgl. GB-PS 1 340 158), eine elektrische
Ladung der Oberfläche eines Dielektrikums aufzuprägen, das mit winzigen konvexen und konkaven Bereichen versehen worden
ist, und dabei dieses Dielektrikum zu einem Elektret zu formieren. Diese vorgeschlagene Elektret erwies sich jedoch
in der Praxis als bezüglich seiner Leistung nicht voll zufriedenstellend
.
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Die Oberfläche eines nach einem der bisherigen Formierverfahren hergestellten Elektretelements enthält eine instabile
Ladung. Aus diesem Grund wurde es als unabdingbar betrachtet, einen Stabilisierungsprozeß zur Beseitigung
instabiler elektrischer Ladung durchzuführen (vgl. JA-OSen 43999/1972 und 19360/1975).
Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung eines Elektretelements
mit langer Lebensdauer und mit gleichmäßigem Oberflächenpotential ohne die Notwendigkeit für die anschließende
Durchführung eines Stabilisiervorgangs.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
die Oberfläche eines dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterials unter Bildung von kleinsten bzw. winzigen gedehnten bzw. gestreckten
und verdichteten Bereichen in dieser Oberfläche plastisch verformt wird. Dieses Verfahren kennzeichnet
sich weiterhin dadurch, daß die kleinsten gedehnten und verdichteten Bereiche dadurch ausgebildet werden, daß ein
Druckverformungserkzeug bzw. Prägestempel, der mit kleinsten bzw. winzigen konvexen und konkaven Bereichen versehen
ist, gegen die Oberfläche des dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterial angepreßt und dann von dieser Oberfläche
zurückgezogen wird.
Für die praktische Anwendung der erfindungsgemäß hergestellten Elektretvorrichtung wird ein leitendes Element an der
der Fläche, in welcher die gedehnten und verdichteten Bereiche geformt sind, gegenüberliegenden Seite angebracht.
Bevorzugt werden dabei die kleinen gedehnten und verdichteten Bereiche in der Oberfläche des dielektrischen Materials
nach dessen Laminierung oder Beschichtung mit dem leitenden Element dadurch ausgebildet, daß eine mit zahlreichen klein-
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sten konvexen und konkaven Bereichen versehene Vorrichtung (Prägestempel) gegen die Oberfläche des Dielektrikums
angepreßt und dann zurückgezogen wird.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es
zeigen:
Fig. 1a und 1b in vergrößertem Maßstab gehaltene Schnittansichten zur Veranschaulichung der Ausbildung
der kleinen gedehnten und verdichteten Bereiche in der Oberfläche eines dielektrischen Ausgangsmaterialfilms
für eine Elektretvorrichtung,
Fig. 2 und 3a bis 3f jeweils eine Seitenansicht und eine Aufsicht auf erfindungsgemäß verwendbare Prägestempel
,
Fig. 4 eine perspektivische Darstellung der Arbeitsgänge bei der Herstellung einer Elektretvorrichtung,
Fig. 5 bis 7 graphische Darstellungen der Eigenschaften
einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Elektretvorrichtung,
Fig. 8 eine graphische Darstellung der Eigenschaften
eines erfindungsgemäß hergestellten Elektretelements im Vergleich zu den Eigenschaften einer
Vergleichsprobe,
Fig. 9 eine schematische Darstellung der Anordnung einer
Meßvorrichtung zur Messung eines thermisch
stimulierten oder angeregten Stroms,
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Fig. 10 eine graphische Darstellung der Spektrumskennlinie eines in einem erfindungsgemäß hergestellten
Elektretelements auftretenden, thermisch stimulierten oder angeregten Stroms im Vergleich
zu bisherigen Elektretelementen und
Fig. 11 eine schematische Darstellung der Anordnung eines elektrostatischen Kopfhörers unter Verwendung
eines erfindungsgemäß hergestellten Elektretelements .
Erfindungsgemäß werden kleinste bzw. winzige gedehnte oder gestreckte Bereiche A und verdichtete Bereiche B in zweckmäßiger
Verteilung (dispersively) in der Oberfläche eines dielektrischen Ausgangsmaterialfilms 1 für eine Elektretvorrichtung
dadurch geformt (vgl. Fig. 1a und 1b), daß ein Druckverformungswerkzeug bzw. ein Prägestempel 2, der
mit zahlreichen kleinsten konvexen und konkaven Bereichen versehen ist, an die Filmoberfläche angepreßt bzw. in diese
hineingepreßt und dann zurückgezogen wird. Es hat sich gezeigt, daß in diesen kleinsten gedehnten und verdichteten
Bereichen A bzw. B eine äußerst stabile elektrische Ladung aufrechterhalten bleibt.
Die Entstehung der stabilen elektrischen Ladung wird der lokalen Änderung der Molekularkonfiguration bzw. -struktur
eines Ausgangsdielektrikums zugeschrieben, die durch das kraftvolle Anpressen des Prägestempels 2 an die Oberfläche
des Dielektrikums und das Zurückziehen des Prägestempels 2 von dieser Oberfläche hervorgerufen wird.
Als Ausgangsdielektrikum für die erfindungsgemäß hergestellte Elektretvorrichtung eignen sich ein Copolymeres aus
Tetrafluoräthylen und Hexafluorpropylen (im folgenden auch als "FEP-Teflon" bezeichnet), Polytetrafluoräthylen und
Polyperfluoralkoxyd. Weiterhin können beliebige Ausgangsdielektrika,
wie Polyäthylen-terephthalat, Polyimid, PoIy-
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vinylchlorid und Polyvinylidenfluorid, mit einem der genannten
Dielektrika, wie FEP-Teflon und Polytetrafluoräthylen,
laminiert werden. Der Prägestempel erfüllt seinen Zweck sehr gut, vorausgesetzt, daß er eine andere Ladungstendenz
besitzt als das Elektret-Ausgangsmaterial. Für praktische Zwecke wird eine Metall-Prägeform, beispielsweise mit galvanisierter
Oberfläche bevorzugt. Der Pegel der Elektretspannung läßt sich durch entsprechende Wahl des Werkstoffs
für die Beschichtung bzw. Galvanisierung der Oberfläche des Prägestempels einfach steuern.
Die zahlreichen kleinsten, konvexen Bereiche auf der Oberfläche des Prägestempels 2 besitzen z.B. gemäß Fig. 2
die Form quadratischer, trapezförmiger Vorsprünge 3 oder runder, kegelstumpfförmiger Vorsprünge 4 (vgl. Fig. 3a).
Die konvexen Bereiche des Prägestempels 2 können aber auch eine beliebige andere Form besitzen, beispielsweise die
Form eckiger bzw. rechteckiger, säulenförmiger Vorsprünge 5 (Fig. 3b), halbkugeliger Vorsprünge 6 (Fig. 3c), halbelliptischer Vorsprünge 7 (Fig. 3d), eines spiralförmigen
Vorsprungs 8 (Fig. 3e) oder mehrerer konzentrischer Vorsprünge 9 (Fig. 3f), vorausgesetzt, daß der Prägestempel 2
die Oberfläche des Ausgangsmaterials unter Bildung von gedehnten oder verdichteten Bereichen in dieser Oberfläche
plastisch zu verformen vermag.
Im folgenden soll die Wirkung untersucht werden, die auf das
Oberflächenpotential des Elektretelements durch Änderung der
Dichte oder Zahl der verteilten, kleinsten konvexen und konkaven Bereiche des Prägestempels, die Andruckkraft des
Prägestempels gegen die Oberfläche des Elektret-Ausgangsmaterials und die Dicke dieses dielektrischen Ausgangsmaterials
ausgeübt wird.
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Gemäß Fig. 4a wird ein dielektrischer Elektret-Ausgangsmaterial-Film
aus z.B. FEP-Teflon auf einem Aluminiumsubstrat 10 ausgebildet. Sodann wird gemäß Fig. 4b der Prägestempel
2 mit den konvexen Bereichen der Form gemäß Fig. 2 an die Oberfläche des dielektrischen Films 1 angedrückt und anschließend
von ihr zurückgezogen, so daß gemäß Fig. 4c ein Elektretelement erhalten wird, das zahlreiche kleinste
gedehnte bzw. gestreckte und verdichtete Bereiche besitzt. Es wurde der Einfluß von Änderungen der Dichte oder
Zahl der kleinsten, über die Oberfläche des Prägestempels 2 verteilten Vorsprünge auf das Oberflächenpotential eines
Elektretelements gemessen; die Ergebnisse sind in Fig. 5 angegeben. Auf dieselbe Weise wurde der Einfluß bestimmt,
den der Andruck des Prägestempels 2 gegen die Oberfläche des dielektrischen Ausgangsmaterialfilms sowie die Dicke dieses
dielektrischen Materials auf das Oberflächenpotential eines Elektretelements ausüben; die Ergebnisse sind in den Fig. 6
und 7 veranschaulicht. Gemäß Fig. 5 erfolgte die Messung oder Bestimmung, bei anderweitig unveränderten Bedingungen,
durch Änderung der Dichte oder Zahl der verteilten, kleinsten konvexen und konkaven Bereiche des Prägestempels 2.
Gemäß Fig. 6 wurde die Andruckkraft des Prägestempels 2 gegen die Oberfläche des dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterialfilms
unter anderweitig unveränderten Bedingungen gemessen. Gemäß Fig. 7 wurde die Dicke des dielektrischen
Elektretfilms bei sonst unveränderten Bedingungen variiert.
Die Fig. 5, 6 und 7 veranschaulichen, daß innerhalb des Bereichs, in welchem die Oberfläche eines dielektrischen Films
zur Herstellung eines Elektretelements unter Bildung kleinster, gedehnter und verdichteter Bereiche plastisch verformt
werden kann, das Oberflächenpotential des dielektrischen Films um so stärker zunimmt, je größer die Zahl der verteilten,
konvexen und konkaven Bereiche des Prägestempels 2 bzw. der komplementären, gedehnten und verdichteten Bereiche in der
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Oberfläche des dielektrischen Films ist und je größer die Andruckkraft des Prägestempels 2 gegen die Oberfläche des
dielektrischen Films und die Dicke dieses Films sind.
Die oben genannten Faktoren werden in Abhängigkeit vom erforderlichen
Oberflächenpotential des Elektretelements und von der Art des Ausgangsmaterials für dieses gewählt.
Wenn ein Elektretelement (Oberflächenpotential 1200 f~ I 1500 I V) für einen elektroakustischen Wandler
beispielsweise aus FEP-Teflon besteht, werden für praktische Zwecke die Dichte der verteilten konvexen und konkaven
Bereiche itiit 2000 bis 7500 Bereiche /cm2 f die Andruckkraft
des Prägestempels 2 mit 10 bis 75 kg/cm2 und die Dicke des dielektrischen Films mit 5^ bis 150 μπι gewählt; erforderlichenfalls
können diese Faktoren zweckmäßig miteinander kombiniert werden.
Im Fall eines Elektretelements mit einem Oberflächenpotential
von 500 bis 1000 V zur Verwendung bei einem Kopfhörer wird beispielsweise vorteilhaft ein Prägestempels 2 der Art gemäß
Fig. 2 verwendet, bei dem. pro cm2 5500 bis 6000 konvexe und konkave Bereiche vorhanden sind, während die Prägestempel-Andruckkraft
auf 30 bis 60 kg/cm2 eingestellt und ein dielektrischer FEP-TeflonfiIm mit einer Dicke von 50 bis
100 um benutzt wird.
Für ein Elektretelement mit einem Oberflächenpotential
von 2OQ bis 600 V zur Verwendung bei einem Mikrophon werden
vorzugsweise je cm2 5500 bis 6000 konvexe und konkave Bereiche am Prägestempel vorgesehen, während die Prägestempel-Andruckkraft
auf 10 bis 30 kg/cm2 eingestellt und die Dicke des dielektrischen FEP-Teflonfilms mit 50 bis 100 um
gewählt werden.
Zur Herstellung eines Elektretelements mit einem OberflächenpottJitial
von 300 bis 800 V zur Verwendung bei einer Ton-
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abnehmerkapsel wird ein Prägestempel benutzt, der pro cm3
2000 bis 3000 konvexe und konkave Bereiche besitzt. Die Prägestempel-Andruckkraft beträgt dabei 20 bis 60 kg/cms,
während die Dicke des dielektrischen Ausgangsmaterialfilms aus FEP-Teflon mit 100 bis 150 μπι gewählt wird.
Je nach der Art des Ausgangsmaterials für das Elektretelement
können die Geschwindigkeit bzw. die Kraft des Andrucks des Prägestempels gegen die Oberfläche des dielektrischen
Films und die Bedingungen, unter denen das dielektrische Material erwärmt wird, innerhalb des Erfindungsbereichs gewählt
werden.
Im folgenden sei die Stabilität (Lebensdauer) eines nach dem erfindungsgemäSen Verfahren hergestellten Elektretelements
(Beispiel) untersucht. Es wurde das Oberflächenpotential des FEP-Teflon-Elektretelements gemäß der Erfindung mit demjenigen
eines oberflächlich angerauhten dielektrischen Elektretmaterials
(Vergleichsbeispiel) verglichen, das nach dem bisherigen thermischen Verfahren, ohne Ausbildung der gedehnten
und verdichteten Bereiche,· durch vorheriges lokales Schmelzschneiden
oder Formen hergestellt wurde; die Ergebnisse sind in Fig. 8 zusammengefaßt.
Das erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel wurde aus einem unbehandelten,
dielektrischen FEP-TefIon-Film mit einer Dicke von 75 μπι hergestellt. Ein Prägestempel mit den kleinen konvexen
und konkaven Bereichen gemäß Fig. 2 (7000 konvexe und konkave Bereiche je cm2) wurde mit einer Kraft von 40 kg/cm*
gegen die Oberfläche des dielektrischen Films angedrückt und anschließend von dieser Oberfläche zurückgezogen. Die Vergleichsprobe
wurde aus einem gleichartigen dielektrischen Film hergestellt, der in dieselbe Form wie das erfindungsgemäß
hergestellte Elektretelement gebracht worden war und dem durch Koronaentladung dasselbe Oberflächenpotential
verliehen wurde. Die gemessene Lebensdauer beider Elektret-
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elemente ist als die Zeitspanne (in Jahren) angegeben, während welcher das Anfangspotential beider Elektretelernente
eine Dämpfung von -3dB erfährt. In Fig. 8 gelten die Kurven a und b für das erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel
bzw. die Vergleichsprobe. Aus Fig. 8 geht hervor, daß die Lebensdauer des erfindungsgemäß hergestellten Elektretelements
erheblich verlängert ist und daß dieses Elektretelement eine wesentlich verbesserte Stabilität seiner elektrischen
Ladung besitzt. Die Kurve c in Fig. 8 gibt die Lebensdauer eines Elektretelements an, gegen dessen Oberfläche
der Prägestempel mit den Erhebungen gemäß Fig. 3b oder 3c angepreßt wurde und welches dasselbe Oberflächenpotential besaß
wie die Vergleichsprobe.
Wie vorstehend beschrieben, werden beim erfindungsgemäßen
Verfahren die Eigenschaften eines Elektretelements dadurch verbessert, daß die Oberfläche eines dielektrischen Ausgangsmaterials
für das Elektretelernent mittels eines Prägestempels
plastisch verformt wird, so daß in dieser Oberfläche kleinste gedehnte bzw. gestreckte und verdichtete Bereiche entstehen.
Das erfindungsgemäße Elektretelement erweist sich auch dann als vorteilhaft, wenn ihm zusätzlich zu der elektrischen
Ladung, die ihm bereits durch das Andrücken und Zurückziehen des Prägestempels erteilt wurde t mittels einer anderen
Einrichtung eine zusätzliche elektrische Ladung verliehen wird. Dieses Elektret behält zudem seise Wirksamkeit bei,
wenn Ihm mittels einer solchen anderen Einrichtung nach Aufhebung der vorher durch den Prägestempel erzeugten elektrischen
Ladung eine netie elektrische Ladung aufgeprägt wird.
Erfindungsgemäß ist es nämlich möglich, beispielsweise eine negative elektrische Ladung, welche der Oberfläche des dielektrischen
Materials ursprünglich durch das Andrücken und Zurückziehen des Prägestempels aufgeprägt wurde* durch eine
positive Ladung aufzuheben bzw. zu ersetzen, die beispielsweise durch eine Koronaentladung oder Ionenimplantation erzeugt
wird. Anschließend kann nach Aufhebung der ursprünglichen nega-
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tiven Ladung das Elektretelernent mit einer neuen, positiven
Ladung versehen werden. Die gewünschte oder angestrebte Wirkung kann auch dadurch hervorgebracht werden, daß während
des Andrückens des Prägestempels gegen die Oberfläche des dielektrischen Materials und beim Zurückziehen des Prägestempels 2 zwischen diesem und das einen Teil der Elektretvorrichtung bildende, leitfähige Substrat 10 eine Spannung
angelegt wird.
Die Stabilität einer elektrischen Ladung auf der Oberfläche eines dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterials wurde mittels einer in Fig. 9 dargestellten Mefivorrichtung zur Bestimmung des thermisch stimulierten Stroms bestimmt, wobei
diese Meßvorrichtung mit einem Aufzeichnungsgerät bzw. Schreiber 50 versehen war.' Bei diesem Versuch wurde ein
FEP-Teflonfilm 20 verwendet, der ohne konvexe und konkave
Bereiche, d.h. Erhebungen und Vertiefungen, zu einem Elektretelement geformt wurde. Auf den FEP-Teflonfllm 20 wurde ein
handelsüblicher Polyimidfilm 21 aufgebracht. Zwei Elektroden 22 und 23 wurden elektrisch zusammengesetzt ltet. Sodann wurde
der durch einen Kurzschlußkreis fließende Strom gemessen, während die Temperatur fortschreitend mit vorgeschriebener
Geschwindigkeit erhöht wurde. Bei dieser Messung wurde ein Spektrum (Kurve a gemäß Fig. 10) eines thermisch stimulierten Stroms aufgezeichnet. Derselbe Versuch wurde auch mit
einer Elektretvorrichtung aus einem FEP-Teflonfilm durchgeführt, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren mittels des
Prägestempels mit zahlreichen kleinsten, konvexen und konkaven Bereichen versehen worden war. Ein thermisch stimulierter, die erfindungsgemäß hergestellte Elektretvorrichtung
mit angerauhter Oberfläche durchfließender Strom besaß das durch die Kurve b gemäß Fig. 10 dargestellte Spektrum.
Nach der Messung des Spektrums (Kurve b) des thermisch stimulierten Stroms (nach Aufhebung der nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren erzeugten Elektretladung) wurde das vorgenannte dielektrische Material erneut auf elektrischem Wege zu einem
Elektret formiert. Der hierauf durch die so formierte Elektret-
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vorrichtung fließende, thermisch stimulierte Strom besaß das Spektrum gemäß Kurve c nach Fig. 10. Fig. 10 zeigt,
daß Elektretvorrichtungen oder -elemente mit gleichem Oberflächenpotential
unterschiedliche Stabilitätsgrade ihrer elektrischen Ladung besitzen. Mit anderen Worten: Fig. 10
belegt, daß die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Elektretvorrichtung eine bei weitem höhere Stabilität der
elektrischen Ladung (vgl. Kurve b, c) besitzt als ein bisheriges Elektretelement (vgl. Kurve a).
Ein weiterer, wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens
zur Herstellung einer Elektretvorrichtung, bei dem in der Oberfläche eines dielektrischen Ausgangsmaterials
kleinste konvexe und konkave Bereiche ausgebildet werden, besteht darin, daß die Oberfläche der Elektretvorrichtung,
obgleich mit den winzigen Vertiefungen und Erhebungen versehen, bei makroskopischer Betrachtung eine weitgehende Ebenheit
besitzt. Der Grund hierfür wird nachstehend noch näher erläutert werden. Das Hauptanwendungsgebiet der Elektretvorrichtung
liegt bei elektrostatischen Mikrophonen und elektrostatischen Kopfhörern. Bei Verwendung einer solchen Elektretvorrichtung
in einem elektrostatischen Kopfhörer sollte die
Strecke zwischen der Oberfläche der Elektretvorrichtung 30 und einer Schwingelektrode 34 (vgl. Fig. 11) vorzugsweise
möglichst klein sein, um den elektroakustischen Wandlungsgrad zu erhöhen. Falls die Oberfläche der Elektretvorrichtung
30 im Betrieb des Kopfhörers mit der Schwingelektrode 34 in Berührung gelangt, können sich ihre Eigenschaften
sehr stark verschlechtern und der Kopfhörer selbst kann möglicherweise eine Beschädigung erleiden. Aus diesem Grund
ist es erforderlich, eine Elektretvorrichtung bzw. ein Elektretelement zu verwenden, daß unabhängig von den zahlreichen
winzigen Erhebungen und Vertiefungen - makroskopisch gesehen im
wesentlichen flach bzw. eben ist.
030049/0632
Da beim erfindungsgemäßen Verfahren die Oberfläche des Prägestempels,
obgleich dieser mit winzigen konvexen und konkaven Bereichen versehen ist (makroskopisch betrachtet),
weitgehend flach ist, können ähnliche, winzige konvexe und konkave Bereiche in der Oberfläche eines dielektrischen Ausgangsmaterials
ausgebildet werden, wobei dieses, auch wenn es anfänglich eine unebene Oberfläche besitzt, aufgrund des
Prägevorgangs eine weitgehend flache Oberfläche erhält. Bei Verwendung in einer Anordnung gemäß Fig. 11 bildet die
so hergestellte Elektretvorrichtung somit einen stabilen elektrostatischen, elektroakustischen Wandler. Bei der Anordnung
gemäß Fig. 11 sind ein Abstandsstück 35, eine feste Elektrode 36 (leitfähiges Substrat), ein Transformator 37
und eine akustische Signalquelle 38 vorgesehen.
Das vorstehend beschriebene Verfahren gemäß der Erfindung bietet den Vorteil, daß eine Elektretvorrichtung mit außerordentlich
stabiler elektrischer Ladung ohne den elektrischen Ladungsstabilisierungsprozeß hergestellt werden kann, der bei
der bisherigen Elektretherstellung unabdingbar war, wodurch die Lebensdauer der erfindungsgemäß hergestellten Elektretvorrichtung
beträchtlich verlängert wird. Die Elektretvorrichtung kann ohne weiteres dadurch hergestellt werden, daß
ein Prägestempel, dessen mit sehr feinen Unregelmäßigkeiten besetzte Oberfläche makroskopisch betrachtet im wesentlichen
flach ist, an die Oberfläche eines dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterials angepreßt und von dieser Oberfläche zurückgezogen
wird, wodurch die Fertigungsvorgänge vereinfacht und die Ausstoßmenge erhöht werden. Die Verteilung einer elektrischen
Ladung auf der Oberfläche der Elektretvorrichtung kann ohne weiteres durch Einstellung der Dichte gesteuert werden,
mit welcher die winzigen konvexen und konkaven Bereiche über die Oberfläche der Elektretvorrichtung verteilt sind, so daß
die Elektretvorrichtung ein gleichmäßiges Oberflächenpotential besitzen kann. Das Oberflächenpotential der Elektretvorrichtung
kann außerdem einfach dadurch gesteuert werden, daß die Art des dielektrischen Ausgangsmaterials, die Werkstücke für den
030049/0632
Prägestempel und die Größe des Drucks, mit welchem der Prägestempel
gegen die Oberfläche des dielektrischen Ausgangsmaterials angepreßt wird, zweckmäßig gewählt werden.
03GG49/G632
Claims (5)
- PatentansprücheVerfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche eines dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterials unter Bildung von kleinsten bzw. winzigen gedehnten bzw. gestreckten und verdichteten Bereichen in dieser Oberfläche plastisch verformt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die kleinsten gedehnten und verdichteten Bereiche dadurch ausgebildet werden, daß ein Druckverformungswerkzeug bzw. Prägestempel, der mit kleinsten bzw. winzigen konvexen und konkaven Bereichen versehen ist, gegen die Oberfläche des dielektrischen Elektret-Ausgangsmaterial angepreßt und dann von dieser Oberfläche zurückgezogen wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des dielektrischen Materials, das mit den kleinsten gedehnten und verdichteten Bereichen versehen und im voraus negativ aufgeladen worden ist, mit positiv030049/06^2ORIGINAL INSPECTEDgeladenen Teilchen bestrahlt bzw. beschossen (irradiated) und dadurch endgültig positiv aufgeladen wird.
- 4. Verfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung, insbesondere nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein dielektrisches Elektret-Ausgangsmaterial mit einem leitfähigen Element laminiert bzw. beschichtet wird und daß ein Druckverformungswerkzeug bzw. Prägestempel, dessen Oberfläche mit zahlreichen kleinsten, konvexen und konkaven Bereichen besetzt ist, an die Oberfläche des Ausgangsmaterials angedrückt und von ihr zurückgezogen wird, so daß in dieser Oberfläche kleinste gedehnte und verdichtete Bereiche entstehen.
- 5. Verfahren zur Herstellung einer Elektretvorrichtung für einen elektroakustischen Wandler, insbesondere nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein leitfähiges Element mit einem eine Dicke von 50 150 μπι besitzenden Film aus einem Tetrafluoräthylen-Hexafluorpropylen-Copolymeren beschichtet wird und daß anschließend ein Prägestempel o.dgl., dessen Oberfläche pro cm2 mit 2000 bis 7500 kleinsten bzw. winzigen konvexen und konkaven Bereichen besetzt ist* mit einem Druck von 10-75 kg/cm2 an die Oberfläche des Copolymerfilsm angepreßt und sodann von ihr zurückgezogen wird.030049/0632 COPY
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6400779A JPS55157223A (en) | 1979-05-25 | 1979-05-25 | Method of manufacturing electret |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2939397A1 true DE2939397A1 (de) | 1980-12-04 |
DE2939397C2 DE2939397C2 (de) | 1987-07-16 |
Family
ID=13245692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19792939397 Granted DE2939397A1 (de) | 1979-05-25 | 1979-09-28 | Verfahren zur herstellung einer elektretvorrichtung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4356049A (de) |
JP (1) | JPS55157223A (de) |
CA (1) | CA1122722A (de) |
DE (1) | DE2939397A1 (de) |
GB (1) | GB2050058B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1997243B (zh) * | 2005-12-31 | 2011-07-27 | 财团法人工业技术研究院 | 可挠式扬声器及其制法 |
DE102018108720A1 (de) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Elektretwandler und Verfahren zur Herstellung eines Elektretwandlers |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2098802B (en) * | 1981-05-20 | 1985-09-04 | Pook Harold Wilson Meredith | A method of manufacturing an electret assembly |
JPS5857897A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-06 | Toshiba Corp | エレクトレット装置 |
US4513049A (en) * | 1983-04-26 | 1985-04-23 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Electret article |
US4567382A (en) * | 1984-04-10 | 1986-01-28 | Microtel B.V. | Electret transducer and a method for manufacturing an assembly of backplate, electret foil and diaphragm plate |
US4606955A (en) * | 1985-06-18 | 1986-08-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Conductive pyrolyzed dielectrics and articles made therefrom |
US5450497A (en) * | 1992-05-11 | 1995-09-12 | Linaeum Corporation | Audio transducer improvements |
US20020149107A1 (en) * | 2001-02-02 | 2002-10-17 | Avery Dennison Corporation | Method of making a flexible substrate containing self-assembling microstructures |
US20150061458A1 (en) * | 2012-04-17 | 2015-03-05 | National University Corporation Saitama University | Electret structure and method for manufacturing same, and electrostatic induction-type conversion element |
USD770027S1 (en) | 2015-06-30 | 2016-10-25 | Delta T Corporation | Fan |
USD797917S1 (en) | 2015-08-17 | 2017-09-19 | Delta T Corporation | Fan with light |
USD847969S1 (en) | 2016-01-04 | 2019-05-07 | Delta T, Llc | Fan canopy |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1802327A1 (de) * | 1967-10-10 | 1969-08-21 | Kalle Ag | Elektrischer Kondensator |
FR2147264A1 (de) * | 1971-07-28 | 1973-03-09 | Tokyo Shibaura Electric Co |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3967027A (en) * | 1969-12-19 | 1976-06-29 | Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Stable electret retaining a high surface potential and method of making the same |
SE371358B (de) * | 1973-10-24 | 1974-11-11 | Ericsson Telefon Ab L M |
-
1979
- 1979-05-25 JP JP6400779A patent/JPS55157223A/ja active Granted
- 1979-09-25 GB GB7933131A patent/GB2050058B/en not_active Expired
- 1979-09-26 CA CA336,374A patent/CA1122722A/en not_active Expired
- 1979-09-28 DE DE19792939397 patent/DE2939397A1/de active Granted
-
1981
- 1981-03-10 US US06/242,166 patent/US4356049A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1802327A1 (de) * | 1967-10-10 | 1969-08-21 | Kalle Ag | Elektrischer Kondensator |
FR2147264A1 (de) * | 1971-07-28 | 1973-03-09 | Tokyo Shibaura Electric Co |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Soviet Physics-Solid State, Vol. 8, Nr. 5, 1966, S.1240-1244 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1997243B (zh) * | 2005-12-31 | 2011-07-27 | 财团法人工业技术研究院 | 可挠式扬声器及其制法 |
DE102018108720A1 (de) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Elektretwandler und Verfahren zur Herstellung eines Elektretwandlers |
DE102018108720B4 (de) | 2018-04-12 | 2019-12-24 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Elektretwandler und Verfahren zur Herstellung eines Elektretwandlers |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA1122722A (en) | 1982-04-27 |
JPS55157223A (en) | 1980-12-06 |
DE2939397C2 (de) | 1987-07-16 |
GB2050058A (en) | 1980-12-31 |
US4356049A (en) | 1982-10-26 |
JPS616534B2 (de) | 1986-02-27 |
GB2050058B (en) | 1983-06-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: HENKEL, G., DR.PHIL. FEILER, L., DR.RER.NAT. HAENZ |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |