DE2901426A1 - Verfahren und einrichtung zur korrektur der ablenkaberrationen in einem korpuskularstrahlgeraet - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur korrektur der ablenkaberrationen in einem korpuskularstrahlgeraet

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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • G—PHYSICS
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