DE2855912A1

DE2855912A1 - Einrichtung zur messung der dicke von ueberzuegen

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Publication number: DE2855912A1
Application number: DE19782855912
Authority: DE
Inventors: Nichtnennung Beantragt
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1978-12-23
Filing date: 1978-12-23
Publication date: 1980-06-26
Also published as: US4400665A; DE2855912C2

Description

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Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung der Dicke von Überzügen auf einem Grundmaterial aufgrund der abstandsabhängigen, elektromagnetischen Wechselwirkung zwischen einer in Anlage an den Überzug gebrachten Meßsonde und dem Grundmaterial.

Solche Einrichtungen werden in zwei Ausführungsformen eingesetzt, und zwar zur Messung der Dicke von nicht-magnetischen Überzügen, wie beispielsweise galvanischen Überzügen, Anstrichen usw., auf einem magnetischen Grundmaterial, insbesondere Stahl und Nickel sowie zur Messung der Dicke von isolierenden Überzügen auf einem elektrisch leitenden Grundmaterial.

Bei der Messung der Dicke von nicht-magnetischen Überzügen auf einem magnetischen Grundmaterial ändert sich der magnetische Fluß in der Meßsonde in Abhängigkeit von dem Abstand zwischen der Meßsonde und dem magnetischen Grundmaterial und damit von der Dicke der Schicht. Diese Änderung des magnetischen Flusses wird beispielsweise aus der Frequenz eines magnetischen Schalters ermittelt und in ein Signal umgewandelt, das zur Anzeige gebracht wird.

Bei der Messung der Dicke von nicht-leitenden Überzügen auf einem leitenden Grundmaterial werden durch die mit Wechselströmen hoher Frequenz erregte Meßsonde Wirbelströme im leitenden Grundmaterial erzeugt, die auf die Meßsonde zurückwirken. Diese Rückwirkung hängt von der Dicke der Schicht ab, so daß sie in ein 'entsprechendes, elektrisches Signal umgewandelt werden kann, das wiederum zur Anzeige gebracht wird.

Diese bekannten Einrichtungen haben jedoch verschiedene Nachteile. So hat die Abhängigkeit des Meßsignals von der Schichtdicke einen Verlauf, der näherungsweise, jedoch nicht exakt,

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einer Hyperbel entspricht. Dies bedeutet, daß'sich bei äußerst dünnen Schichten eine sehr starke Änderung des Meßsignals ergibt, während bei größeren Schichtdicken die Änderung des Meßsignals nur noch sehr gering ist. Um diesen ungünstigen Kurvenverlauf bei der Anzeige auszugleichen, wird oft der Anfangs-Meßbereich durch Vormagnetisierung, Zwischenlegung von Platten aus verschiedenen Stoffen oder durch ähnliche Maßnahmen gespreizt. Dadurch erhöht sich jedoch der apparative Aufwand wesentlich. Außerdem läßt sich das Meßsignal nicht einfach digitalisieren, da, wie erwähnt, die Meßkurve von einer Hyperbelform abweicht. Es müssen deshalb besondere Maßnahmen vorgesehen werden, um das Ausgangssignal mit einem entsprechenden digitalen Wert zu korrelieren.

Wegen des hierzu erforderlichen, hohen Aufwandes sind digital anzeigende Geräte bisher nicht auf dem Markt erschienen.

Ein weiteres Problem bei den bekannten Einrichtungen ist, daß es sich um äußerst empfindliche Schaltungen handelt, die insbesondere bei Teinperaturschwankungen zu ungenauen Meßergebnissen führen. Diese Einflüsse lassen sich bisher nur mit großem apparativem Aufwand berücksichtigen. Und schließlich machen sich bei diesen Einrichtungen auch Änderungen der im allgemeinen von einer Batterie gelieferten Versorgungsspannung stark bemerkbar, so daß zusätzliche Maßnahmen getroffen und beispielsweise eine Anzeige vorgesehen werden müssen, um das Ende der Lebensdauer der Batterie anzuzeigen.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Messung der Dicke von Überzügen auf einem Grundmaterial der angegebenen Gattung zu schaffen, bei der die oben erwähnten Nachteile nicht auftreten.

Insbesondere soll eine Einrichtung vorgeschlagen werden, die auf konstruktiv einfache Weise eine sehr exakte, auch die digitale Anzeige ermöglichende Messung erlaubt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Kompen-

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COPV

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sationssonde, deren Abstand von einem Vergleichskörper mit ; ähnlichen elektromagnetischen Eigenschaften wie das Grundmaterial solange verstellbar ist, bis sich die gleiche elektromagnetische Wechselwirkung wie bei der Meßsonde ergibt, und durch eine Einrichtung zur Anzeige des Abstandes zwischen Kompensationssonde und Vergleichskörper.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile beruhen insbesondere darauf, daß keine Absolutmessung eines elektrischen Signals mehr erforderlich ist, sondern eine Vergleichsmessung durchgeführt wird. Bei diesem Vergleich werden neben etwaigen Temperaturschwankungen ode;: Änderungen der Versorgungsspannung auch der oben erwähnte, nahezu hyperbelförmige Kurvenverlauf berücksichtigt, so daß sich auch bei Änderungen der Betriebsbedingungen ein sehr exaktes Signal ergibt. Dieses Signal kann auch auf einfache Weise digitalisiert werden, da hierzu nur eine entsprechende, feste Korrelation zwischen einer digitalen Anzeige und dem vorher meßbaren Abstand zwischen Kompensationssonde und Vergleichskörper durchgeführt werden muß.

Zweckmäßigerweise wird ein automatischer Regelkreis verwendet, um den Abstand zwischen Kompensationssonde und Vergleichskörper einzustellen. Dadurch läßt sich eine sehr rasche und gleichzeitig auch exakte Dickenmessung erreichen.

Es stehen verschiedene Möglichkeiten zur Verfügung, um den Abstand zwischen Kompensationssonde und Vergleichskörper zu ermitteln und in eine Anzeige umzuwandeln. Beispielsweise kann der Vergleichskörper mittels einer Spindel verstellt werden, so daß die Lage der Spindel ein direktes Maß für den Abstand zwischen Kompensationsonde und Vergleichskörper und damit die Dicke der Schicht gibt. Diese Lage der Spindel kann direkt mittels eines Zählwerkes angezeigt werden.

Als Alternative hierzu ist es auch möglich, die Lage der Spindel auf optoelektronischem Wege zu ermitteln und elektronisch, also mit Leuchtdioden oder mit Flüssigkristallanordnungen, anzuzeigen. 03ÖÖ26/OA90

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Bei Schichtdicken im Bereich von einigen μ ist die mechanische Messung des Abstandes sehr aufwendig und unter Umständen kaum möglich. Hierbei kann eine optische Abstandsmessung eingesetzt werden, und zwar durch Interferenz von monochromatischen Lichtstrahlen. '

Zweckmäßigerweise wird die Meßsonde so ausgelegt, daß der eigentliche Meßteil beim Auflegen auf den überzug etwas in eine Hülse hineinverschoben wird, wodurch ein Schalter geschlossen und damit der Meßkreis eingeschaltet wird. Dies bedeutet also, daß nur während der eigentlichen Messung Strom verbraucht und der Meßkreis nach Beendigung der Messung, also nach dem Abheben der Sonde, wieder unterbrochen wird.

Gleichzeitig wird hierdurch der Meßwert in dem Zähler bis zur Durchführung der nächsten Messung gespeichert, ohne daß zusätzliche Bauteile erforderlich sind.

Bei der Messung der Dicke von unmagnetischen überzügen auf ferromagnetischen Grundmaterialien nimmt der magnetische Fluß durch den Probekörper bei Verringerung der Schichtdicke stark zu, so daß es zu einer starken magnetischen Belastung des Grundmaterials und unter Umständen sogar zu Fehlmessungen kommt. Deshalb wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform die Einrichtung so eingeregelt, daß bei dieser Meßmethode das Grundmaterial unabhängig von der Schichtdicke immer mit dem gleichen magnetischen Fluß beaufschlagt wird. Außerdem läßt sich hieiflurch auch bei magnetisch schlechten Materialien eine Verzerrung des Meßergebnisses vermeiden.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine Schaltskizze einer Ausführungsform einer Einrichtung zur Messung der Dicke von isolierenden

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Überzügen auf einem leitenden Grundmaterial,

Fig. 2 eine Schaltskizze einer Ausführungsform einer Einrichtung zur Messung der Dicke von nicht-ferromagnetisehen Überzügen auf einem ferromagnetischen Grundmaterial,

Fig. 3 eine Prinzipskizze einer digitalen Anzeige mittels eines Rollenzählwerks,

Fig. 4 den Aufbau einer Anordnung zur optischen Abstandsmessung, und

Fig. 5 einen Schnitt durch die Meßsonde.

In Fig. 1 ist eine Ausführungsform dargestellt, mit der die Dicke von nicht-leitenden, also isolierenden,Überzügen auf einem elektrisch leitenden Grundmaterial gemessen werden kann.

Dabei ist ein Wechselstromgenerator G vorgesehen, der sowohl eine Meßsonde X., als auch eine Kompensationssonde X_x. speist. Die beiden Sonden X.. und X„ werden also durch den gleichen Wechselstrom erregt.

Zur Durchführung der Schichtdickenmessung wird die Meßsonde X_M auf den isolierenden Überzug eines schematisch angedeuteten Probekörpers P_M gelegt; dieser isolierende Überzug befindet sich auf einem elektrisch leitenden Grundmaterial.

Bei der Berührung zwischen der Meßsonde X_M und dem Probekörper Pj. ändert sich der im allgemeinen komplexe Widerstand der Meßsonde X,., so daß ein entsprechendes Ausgangs signal auftritt und einem Eingang eines Nullverstärkers V zugeführt wird. Der andere Eingang des Nullverstärkers V erhält ein Ausgangssignal der Kompensationssonde X„.

Da der komplexe Widerstand der Meßsonde X„ ungleich dem komplexen Widerstand der Kompensationssonde X_R ist, erzeugt der Nullverstärker V ein dieser Differenez entsprechendes, verstärktes,

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phasenrichtiges Ausgangssignal, das einem Demodulator D zugeführt wird. Dieses Ausgangssignal wird in dem Demodulator D gleichgerichtet und auf einen Gleichstrommotor M gegeben.

Solange der Gleichstrommotor ein Signal von dem Demodulator D erhält, dreht er seine Abtriebswelle in der durch die Pfeile angedeuteten Richtung, wodurch über einen schematisch angedeuteten Umsetzer U ein elektrisch leitender Vergleichskörper P„ in der durch die Pfeile angedeuteten Richtung verschoben und dadurch der Abstand des leitenden Vergleichskörpers P von der Korapensationssonde X„ verändert wird.

Der Abstand zwischen dem leitenden Vergleichskörper P_K und der Komperisationssonde X_R wird solange verstellt, bis die Widerstände von Meßsonde X und Kompensationssonde X„ gleich sind. Dann wird das Ausgangssignal des Nullverstärkers V Null, so daß der Gleichstrommotor M kein Signal mehr erhält und stehenbleibt.

Bei symmetrischer Auslegung von Meßsonde X„ und Kompensationssonde X_x. entspricht dann der Luftspalt zwischen der Kompensationssonde X„ und dem leitenden Vergleichskörper P der Dicke des nicht-leitenden Überzugs auf dem Probekörper P„.

An die Welle des Gleichstrommotors M ist mit entsprechender Untersetzung ein digitales Zählwerk angekoppelt, das die Zahl der Umdrehungen der Welle und damit nach entsprechender Eichung direkt die Dicke des nicht leitenden Überzugs auf dem Probekörper P in Millimeter anzeigt.

Dieses Zählwerk kann beispielsweise als Rollenzählwerk Z ausgebildet werden, wie es im folgenden unter Bezugnahme auf Fig. 3 noch im einzelnen erläutert werden soll.

Die Empfindlichkeit der Einrichtung sinkt mit größer werdender Dicke des nicht-leitenden Überzugs. Dies wird dadurch kompensiert, daß das Ausgangssignal der Meßsonde X_M auf den Generator G zurückgekoppelt wird, wie in Fig. 1 durch die gestrichelte Linie angedeutet ist. Bei größer werdender Dicke gibt der re-

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gelbare Generator G eine größere Einspeisung in die beiden Sonden X., und X„ a]

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kompensieren läßt.

Sonden X., und X„ ab, wodurch sich der oben erwähnte Effekt

rl JX

In Fig. 2 ist eine Ausführungsform dargestellt, mit der die Dicke von unmagnetischen Überzügen auf einem magnetischen Grundmaterial gemessen werden kann. Hierbei speist ein Generator G zwei Primärspulen einer Meßsonde S„ sowie einer Kompensationssonde S₇,..

Bei Annäherung der Meßsonde S„ an den nicht magnetischen Überzug des Probekörpers P wird in der Sekundärspule der Meßsonde S„ eine größere Spannung induziert, die auf einen Verstärker V gegeben und mit dem entsprechenden Signal der Sekundärspule der Kompensationssonde S_v verglichen wird. Das Ausgangssignal des Verstärkers V wird wie bei der Ausführungsform nach Fig. 1 verarbeitet und zur Verstellung des Vergleichskörpers P_K benutzt, bis der Abstand zwischen Kompensationssonde S_R und dem magnetischen Vergleichskörper P„ der Dicke des nicht magnetischen Überzugs auf dem Probekörper P. entspricht. Dieser Regelmechanismus soll nicht nochmals erläutert werden.

Um die Empfindlichkeit der Einrichtung zu erhöhen, besteht prinzipiell die Möglichkeit, den Primärstrom so groß wie möglich zu machen. Dadurch erhält jedoch der magnetische Fluß in dem Probekörper P,., insbesondere bei äußerst geringen Schichtdicken, so hohe Werte, daß es in dem magnetischen Grundmaterial zur Sättigung kommen kann. Aus diesem Grunde muß der Strom in der Primärspule, insbesondere bei geringen Schichtdicken, auf ein Maximum begrenzt werden.

Bei größer werdender Schichtdicke nimmt jedoch der magnetische Fluß rasch ab, wodurch wiederum die Empfindlichkeit nachläßt. Gerade in diesem Bereich wird jedoch eine Erhöhung der Empfindlichkeit benötigt, so daß nun der Strom durch die Primärspule erhöht werden sollte.

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Deshalb wird bei der Ausführungsform nach Fig. 2 der durch die Primärspule der Sonden S„ und S_K fließende Strom in Abhängigkeit von der Dicke des unmagnetischen Überzugs auf dem Probekörper P.. erhöht. Zu diesem Zweck-wird das Ausgangssignal der Meßsonde S zu dem Generator G zurückgekoppelt, wie durch die gestrichelte Linie angedeutet ist. In Abhängigkeit von diesem Ausgangssignal der Meßsonde . wird also der Ausgangsstfom des Generators G und damit der durch die Primärspulen fließende Strom eingestellt. Dadurch erhält man einerseits die gewünschte, höhere Empfindlichkeit bei größeren Schichtdicken und vermeidet gleichzeitig die Fehlmessungen, wie sie aufgrund der Sättigung des Grundmaterials bei sehr dünnen Schichten auftreten können.

In Fig. 3 ist die digitale Anzeigeeinrichtung im Detail dargestellt. Dabei ist ein entsprechend untersetzter Elektromotor 10 vorgesehen, der dem Gleichstrommotor M bei den Ausführungsformen nach den Figuren 1 und 2 entspricht.

Der Elektromotor 10 weist eine verlängerte Achse auf, die als Gewindespindel 11 ausgebildet ist. Am Ende der Gewindespindel 11 sitzt ein Zahnrad 12, das über ein weiteres Zahnrad 13 ein Rollenzählwerk 15 antreibt. Ein bei 19 gelagerter Hebel 16 greift an seinem oberen Ende mit einer Mutter in die Gewindespindel 11 ein. Am unteren Teil des Hebels 11 ist eine Abgleichplatte 18 befestigt.

Beim Betrieb des Elektromotors 10 und damit bei einer Drehung der Gewindespindel 11 nähert sich die Abgleichplatte 18 mehr oder weniger einer Kompensationssonde 17, bis schließlich der oben erläuterte Abgleich durchgeführt ist. Gleichzeitig dreht sich auch das Rollenzählwerk 15, so daß die abzulesenden Ziffern des Zählwerkes 15 immer den Abstand zwischen der Kompensationssonde 17 und der Abgleichplatte 18 anzeigen. Bei Gleichheit der Abstände zwischen Vergleichskörper und Kompensationssonde einerseits und Probekörper und Meßsonde andererseits kann also

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sofort die Schichtdicke digital abgelesen werden.

Die Meßsonde ist in Fig. 3 schematisch bei 20 dargestellt. Die vorspringende Spitze kann auf den Überzug aufgesetzt werden/ dessen Dicke bestimmt werden soll.

An dem Zahnrad 13 ist ein Knopf 13' vorgesehen, der seitlich aus dem Gehäuse der Einrichtung herausgeführt wird. Durch leichten Druck mit der Fingerkuppe auf den Knopf 13' kann das Zahnrad 13 seitlich verschoben und dadurch das Rollenzählwerk 15 von dem Zahnrad 12 entkoppelt werden; wird der Knopf 13' gleichzeitig gedreht, so läßt sich jeder beliebige Anzeigewert einstellen, ohne daß der Hebel 16 mitbewegt wird.

Beim Loslassen des Knopfes 13' rückt die auf der Welle des Zahnrades 13 sitzende Feder 14 das Zahnrad 13 gemäß der Darstellung in Fig. 3 wieder nach rechts, so daß es mit dem Zahnrad 12 gekuppelt ist.

Durch diese Verstellung des Zählwertes läßt sich also der Nullpunkt der Einrichtung oder ein anderer, bekannter Meßwert einstellen.

Der freie Raum zwischen der Meßsonde 20 und dem Elektromotor 10 ist für die Elektronik bestimmt, die hier nicht mehr dargestellt ist.

Wenn die Anzei.ge durch Leuchtdioden (LED) oder Flüssigkristall-Anzeigen (LCD) erfolgen soll, so wird statt des Zahnrades 12 eine Lochblende verwendet, die mit einer kleinen Lichtschranke zusammenwirkt. Bei der Drehung der Lochblende werden bei der Unterbrechung bzw. der Freigabe der Lichtschranke Impulse erzeugt, die ein Maß für die Drehung der Welle 11 des Elektromotors 10 darstellen. Diese Impulse werden direkt auf das Display gegeben, wo sie die Zahl der Umdrehungen der Welle 11 und damit die Dicke des Überzugs direkt digital darstellen. Bei dieser Ausführungsform werden die Elemente 13, 14 und 15 nicht benötigt.

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Der Elektromotor 10 mit der Spindel 11 kann auch durch ein Tauchspulensystem ersetzt werden, wobei der mechanische Hub direkt auf den Hebel 16 wirkt. in diesem Fall erfolgt die Anzeige zweckmäßigerweise durch einen elektrischen oder mechanischen Längengeber, beispielsweise eine Meßuhr.

Bei extrem dünnen Schichten kann ein piezo- oder magnetostriktiver Wandler zur mechanischen Verstellung des Vergleichskörpers eingesetzt werden. Es ist auch möglich, die thermische Ausdehnung eines elektrisch beheizten Drahtes zu benutzen, um den Vergleichskörper P„ gegenüber der Kompensationssonde X_R bzw. S„ zu verstellen.

Im Bereich von einigen μ läßt sich der Abstand zwischen dem Vergleichskörper P„ und der Kompensationssonde nur mit großen Schwierigkeiten mechanisch messen. In diesem Fall kann eine optische Abstandsmessung anhand der Interferenz von monochromatischen Lichtstrahlen erfolgen. Eine entsprechende Ausführungsform ist in Fig. 4 dargestellt.

Bei dieser Ausführungsform ist ein beweglicher Teil 21 vorgesehen, der starr mit dem Vergleichskörper P„ verbunden und mit ihm bewegt wird. An dem Teil 21 ist eine Platte 18 mit einem Spiegel 22 befestigt.

An der Kompensationssonde 17 befindet sich ein stationärer Spiegel 23.

Von einer monochromatischen Lichtquelle 24 fällt paralleles Licht auf beide Spiegel, wird dort reflektiert und über eine Sammellinse auf eine Photozelle 25 geleitet. Wird nun gemäß der oben erläuterten Verstellbewegung die Platte 18 von dem" Teil 21 verschoben, so werden auf der Photozelle 25 in Folge von Interferenz Helligkeits-Maxima bzw. -Minima in genauer Relation zu der Verstellung der Platte 18 erzeugt. Die Photozelle 25 liefert entsprechende Impulse, die wiederum von dem Abstand zwischen dem Vergleichskörper und der Kompensationssonde abhängen. Die Impulse stellen also ein direktes Maß für die Dicke des Überzugs dar, so daß sie nach entsprechender

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Umrechnung angezeigt werden können.

Auch bei dieser Ausführungsform kann entsprechend Fig. 3 eine Nullpunkts-Verstellung erfolgen.

In Fig. 5 ist eine Ausführungsform der Meßsonde dargestellt. Diese Meßsonde weist einen stiftförmigen Meßteil 1 auf,dessen vorderes Ende 1a etwas verbreitert ist. Auf dem hinteren, schmalen Endbereich 1b des Meßteils 1 sitzt eine Schraubenfeder 3. Das Meßteil 1 kann gegen die Kraft der Schraubenfeder 3 etwas in eine Sondenhülse 2 hineingeschoben werden, wenn das vordere Ende 1a auf einen Überzug aufgelegt und die Meßsonde nach unten gedrückt wird.

Bei dieser Bewegung des Meßteils 1 in die Sondenhülse 2 hinein schließt der hintere Bereich 1b des Meßteils 1 einen Schalter 4, der als Hauptschalter für die gesamte Einrichtung dient. Erst durch Schließen dieses Schalters wird also die Stromversorgung eingeschaltet, so daß nur solange Strom verbraucht wird, wie die Meßsonde gegen einen Probekörper gedrückt wird, also eine Messung durchgeführt wird. Wenn nach Beendigung der Messung die Meßsonde wieder von dem Probekörper abgehoben wird, wird das Meßteil 1 aus der Sondenhülse 2 herausgedrückt, so daß der Schalter 4 wieder geöffnet und damit die Stromversorgung unterbrochen wird. Dies bedeutet gleichzeitig, daß der in dem Zählwerk vorhandene Meßwert konstant bleibt und bis zur nächsten Messung gespeichert wird.

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Leerseite

Claims

Patentanwalt Dr. Lothar WIa«<9 55912 Dipl.-Phys.

Am Brombeerschlag 1 8000 München 70 Telefon 089 713813

Anwaltsakte 5206 München, 22. Dez. 1978

Dr. Norbert Nix

Robert Perthel Str. 2-4 5000 Köln 60

Einrichtung zur Messung der Dicke von Überzügen

Patentansprüche

Q Einrichtung zur Messung der Dicke von überzügen auf einem Grundmaterial aufgrund der abstandsabhängigen, elektromagnetischen Wechselwirkung zwischen einer in Anlage an den Überzug gebrachten Meßsonde und dem Grundmaterial, gekennzeichnet durch eine Kompensationssonde (X„, S_v, 17).deren Abstand von einem Vergleichskörper (P„, 18) mit ähnliehen Eigenschaften wie das Grundmaterial solange verstellbar ist, bis sich die gleiche elektromagnetische Wechselwirkung wie bei der Meßsonde (X , S„, 20) ergibt, und durch eine Einrichtung (M, Z; 13, 14, 15; 21, 22, 23, 24, 25) zur Anzeige des Abstandes zwischen Kompensationssonde (X„, S_w 17) und Vergleichskörper (P₁.,, 18).

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2. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen automatischen Regelkreis (V, D, M, U) zur Verstellung des Abstandes zwischen Vergleichskörper (P„, 18) und Kompensationssonde (X_v, S_T., 17).

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Regelkreis einen Generator zur Speisung der Meßsonde (X., S„, 20) bzw. der Kompensationssonde (X„, S„, 17) einen Nullverstärker (V) für die Ausgangssignale der beiden Sonden, einen Demodulator (D) für die Gleichrichtung des Ausgangssignals des Nullverstärkers (V) sowie eine Anordnung (M, 11, 16j 21) zur Verschiebung des Vergleichskörpers (P„, 18) aufweist.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung (M, 11, 16; 21) zur Verschiebung des Vergleichskörpers (P„, 18) einen Elektromotor enthält.

5. Einrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen piezo- oder magnetostriktiven Wandler für die Verschiebung des Vergleichskörpers (P_K, 18).

6. Einrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen elektrisch geheizten Draht zur Verschiebung des Vergleichskörpers (P_K/ 18).

7. Einrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch ein Tauch-

spulensystem zur Verschiebung des Vergleichskörpers (P„, 18).

is.

■8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch eine mit einer Lichtschranke zusammenwirkende Lochblende zur Erzeugung von Impulsen für die digitale Anzeige des Abstandes zwischen Vergleichskörper (P_v, 18) und Kompensationssonde (Xw S_K, 17).

9. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Welle (11) des Elektromotors (M, 10) mit einem Rollenzählwerk (Z, 15) gekuppelt ist.

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10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch ge«

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kennzeichnet, daß das Ausgangssignal des Generators (G) in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal der Meßsonde(X„, S_M, 20) regelbar ist.

11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsonde ein unter Druckexnwirkung verschiebbares Meßteil (1) zur Einschaltung des Stromkreises aufweist.

12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch eine Anordnung (13, 13', 14) zur manuellen Verstellung des Nullpunktes der Anzeigeeinrichtung (Z, 15).

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