DE2855411C2 - Vorrichtung und Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem Teilungskreis - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem TeilungskreisInfo
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/201—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
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Description
Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf
einem Teilungskreis. Die Einrichtung zur Ausführung
ίο einer Radialskala gemäß der Erfindung kann zur
Erzeugung von Teilungskreisen von winkelmessenden geodätischen, astronomischen und ähnlichen Geräten
dienen.
Es sind Vorrichtungen zur Ausführung von auf Teilungskreisen auf chemischem oder mechanischem
Wege aufzutragenden Skalen bekannt Die mit diesen Teilungskreisen ausgestatteten Geräte zur Winkelmessung
haben gewöhnlich zur Erhöhung der Ablesegenauigkeit verschiedene optische Systeme, wie mikrometrisehe
Teilungen, Mikroskope und dergleichen mehr eingebaut.
Es sind auch Geräte zum Auftragen einer Winkelskala auf einer Scheibe, z. B. in Form von auf ihrem Umfang
verteilten Zähnen oder Strichen bekannt, die einen Lichtstrahl unterbrechen und die Erzeugung einer
bestimmten Anzahl zum Umdrehungswinkel der Scheibe proportionalen Impulse verursachen.
Der wichtigste Nachteil der Geräte zur mechanischen Auftragung von Skalen ist ihre derzeitige ungenügende
JO Genauigkeit der Auftragung der Striche und die begrenzte Möglichkeit der Verdichtung der Skala. Die
Erhöhung der Genauigkeit mit Hilfe der zusätzlichen optischen Geräte verursacht einen beträchtlichen
Anstieg der Kosten des Gerätes selbst und letztlich
J5 seiner Benutzung.
Nachteile der Vorrichtungen zum Auftragen der optischen Skalen auf die Teilungskreise sind: der
komplizierte technologische Herstellungsprozeß, hohe Kosten der Ausführung dieser Scheiben und die mit der
schwierigen Aussonderung verbundenen Fehler, die die Notwendigkeit der Verwendung sehr empfindlicher
elektronischer Ableseschallungen verursachen.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Ausführung von Radialskalen mit großer Verdichtung und hohem
Auflösungsvermögen zu ermöglichen und eine viel größere Genauigkeit der Bestimmung der einzelnen
Striche von im Vergleich mit den mit bekannten Vorrichtungen erhaltenen Skalen zu gewährleisten.
Diese Aufgabe wird durch den Bau eines Gerätes !realisiert, in dem auf einer Grundlage eine Achse der
Vorrichtung angeordnet ist, auf der Fassungen zur zentrischen Einstellung und Blockierung eines Musterkreises
und eines Teilungskreises drehbar und unabhängig voneinander befestigt sind, wobei die Konstruktion
der Achse im Gerät die Blockierung der Fassung des Teilungskreises als auch die Kopplung beider Fassungen
und ihr gemeinsames Drehen um die Achse ermöglicht, und in dem im vorgegebenen Winkel bezüglich der
oberen Fläche des Teilungskreises ein Projektor
ω schwenk- und verschiebbar angeordnet ist, der aus
einem optischen System, einer schwenkbaren Gegenstandsplatte zur Anordnung eines linearen Mustermaßstabes,
einem Kondensor, einem Verschluß und einer Lichtquelle besteht, wobei die Achse des Projektors und
die Achse der Vorrichtung in einer Ebene liegen, und über dem Musterkreis eine Anordnung zur Winkelmessung
angeordnet ist, die mit einem Objektiv und einem Bildschirm mit unbeweglicher Skala, über dem sich ein
mit einein Zähler und einem elektrischen Meßgerät gekoppelter Strahlungsdetektor befindet, ausgestattet
ist, wobei unter dem Musterkreis sich eine Lichtquelle befindet, die die Auszählung der Striche der Skala des
Musterkreises auf dem Bildschirm ermöglicht Bei einem '
Verfahren der angegebenen Galtung wird die Erfindungsaufgabe
durch die im Kennzeichen des Anspruchs 2 enthaltenen Maßnahmen gelöst.
Nachstehend wird die Erfindung unter Bezug auf ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung und eine Zeich- iu
nung, die eine erfindungsgemäße Vorrichtung im senkrechten Schnitt zeigt, näher erläutert
Auf einer Grundlage I ist die Achse 2 der Vorrichtung angeordnet, auf der Fassungen 3 und 4 zur zentrischen
Einstellung und Blockierung des Musterkreises 5 und \r>
des Teilungskreises 6 drehbar und unabhängig voneinander befestigt sind. Die Konstruktion der Achse 2
ermöglicht die Blockierung der Fassung 4 als auch die Kopplung beider Fassungen 3 und 4 und ihr
gemeinsames Drehen um die Achse 2. 2"
Im vorgegebenen Winkel bezüglich der oberen Fläche des Teilungskreises 6 ist ein Projektor 7
schwenk- und verschiebbar angeordnet, der aus einem optischen System 8, einer schwenkbaren Gegenstandsplatte
9 zur Aufnahme eines linearen Mustermaßstabes 2r>
10, einem Kondensor 11, einem Verschluß 12 und einer
Lichtquelle 13 besteht.
Die Achse des Projektors 7 und die Achse 2 des Gerätes liegen in einer Ebene.
Über dem Musterkreis 5 ist eine Anordnung zur so Winkelmessung 14 angeordnet, die mit einem Objektiv
15 und einem Bildschirm 16 mit unbeweglichem Maßstab, über dem sich ein mit einem Zähler 18 und
einem elektronischen Meßgerät 19 gekoppelter Strahlungsdetektor 17 befindet, ausgestattet ist. Γι
Unter dem Musterkreis 5 ist eine Leuchtquelle 20 angeordnet die die Auszählung der Striche der Skala
des Musterkreises 5 iuf dem Bildschirm 16 ermöglicht
Das Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem Teilungskreis mil Hilfe der Vorrichtung gemäß
der Erfindung ist wie foigt: Auf der schwenFbaren Gegenstandsplatte 9 wird ein linearer, am besten
holographischer Mustermaßstab 10 im vorgegebenen Winkel derart angeordnet, daß die Maßstabslinien
parallel sind und symmetrisch bezüglich der durch die optische Achse des Projektors 7 und die Drehachse 2
des Gerätes verlaufende Fläche verteilt sind, wonach dieser Maßstab auf optisch fotographischem Wege auf
dem mit lichtempfindlicher Emulsion bedeckten, auf der Fassung 4 des Gerätes angeordneten Teilungskreis 6
wiedergegeben wird. Danach wird der mit dem Musterkreis 5 gekoppelte Teilungskreis 6 um einen
Winkel gedreht, der einem Segment der auszuführenden Skala gemäß der Anzeige des Zählers 18 der Anordnung
zur Winkelmessung 14 entspricht und es wird die zweite Exposition des Skalensegmentes auf dem Teilungskreis
6 ausgeführt, der anschließend blockiert wird. Der Musterkreis 5 wird dann gelöst und bezüglich der
Anordnung zur Winkelmessung 14 um einen Winkel zurückgedreht, der einem Skalensegment entspricht.
Jetzt werden beide Kreise gekoppelt und nach dem Lösen der Befestigung des Teilungskreises 6 zusammen
weiter vorwärts um einen Winkel gedreht, der einem Skalensegment entspricht und es wird die nächste
Exposition ausgeführt.
Diese oben beschriebenen Operationen werden nacheinander bis zur letzten Exposition eines Skalensegmentes
wiederholt. Die Genauigkeit der Anordnung von zwei benachbarten Skalensegmenten ist durch die
Bestimmung des optimalen aus dem Strahlungsdetektor 17 mit Hilfe des elektrischen Meßgerätes 19 erhaltenen
elektrischen Signals gegeben.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
l^^
Claims (2)
- Patentansprüche:1, Vorrichtung zum Ausführen einer Radialskala auf einem Teiiungskreis. dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Grundlage (1) eine Achse (2) der Vorrichtung angeordnet ist, auf der Fassungen (3 und 4) zur zentrischen Einstellung und Blockierung eines Musterkreises (5) und eines Teilungskreises (6) drehbar und unabhängig voneinander befestigt sind, wobei die Konstruktion der Achse (2) die Blockierung der Fassung (4) als auch die Kopplung beider Fassungen (3, 4) und ihre gemeinsame Drehung um die Achse (2) ermöglicht und daß im vorgegebenen Winkel bezüglich der oberen Fläche des Teilungskreises (6) ein Projektor (7) schwenk- und verschiebbar angeordnet ist, der aus einem optischen System (8), einer schwenkbaren Gegenstandsplatte (9) zur Anordnung eines linearen Mustermaßstabes (10), einem Kondensor (11), einem Verschluß (12) und einer Leuchtquelle (13) besteht, wobei die Achse des Projektors (7) und die Achse (2) der Vorrichtung in einer Ebene liegen, und über dem Musterkreis (5) eine Anordnung zur Winkelmessung (14) angeordnet ist, die mit einem Objektiv (15.) und einem Bildschirm (16) mit unbeweglicher Skala ausgestattet ist, über dem sich ein mit einem Zähler (18) und einem elektrischen Meßgerät (19) gekoppelter Strahlungsdetektor (17) befindet, wobei unter dem Musterkreis (5) eine die Auszählung der Striche der Skala des Musterkreises (5) auf dem Bildschirm (16) ermöglichende Leuchtquelle (20) angeordnet ist.
- 2. Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf dem Teilungskreis mit großer Verdichtung der bezüglich der Kreismitte konvergenten Striche auf der Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß auf der schwenkbaren Gegenstandsplatte der lineare, am besten holographische Musterstab im vorgegebenen Winkel derart angeordnet wird, daß die Meßstabslinien parallel sind und symmetrisch bezüglich der durch die optische Achse des Projektors und die Drehachse der Vorrichtung verlaufenden Fläche verteilt sind, wonach dieser Maßstab auf dem optofotographischen Wege auf dem mit lichtempfindlicher Emulsion bedeckten, auf einer Fassung der Vorrichtung angeordneten Teilungskreis wiedergegeben wird und wonach beide gekoppelten Kreise, der Teilungskreis und der Musterkreis, um einen Winkel gedreht werden, der einem Segment der auszuführenden Skala gemäß der Anzeige des Zählers der Anordnung zur Winkelmessung entspricht, wonach die zweite Exposition des Skalensegmentes auf dem Teilungskreis ausgeführt wird, der danach blockiert wird, wonach der Musterkreis gelöst und bezüglich der Anordnung zur Winkelmessung um einen Winkel zurückgedreht wird, der einem Skalensegment entspricht, wonach die beiden Kreise zusammengekoppelt und nach dem Lösen der Befestigung des Teilungskreises vorwärts um einen Winkel gedreht werden, der einem Skalensegment entspricht, wonach die nächste Exposition ausgeführt wird und dann die beschriebenen Operationen nacheinander bis zur Exposition des letzten Skalensegmentes wiederholt werden, wobei die Genauigkeit der Verbindung von zwei benachbarten Skalensegmenten durch die Bestimmung des optimalen aus dem Strahlungsdetektor mit Hilfe des elektrischen Meßgeräts erhaltenen elektrischen Signals gegeben wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782855411 DE2855411C2 (de) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Vorrichtung und Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem Teilungskreis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19782855411 DE2855411C2 (de) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Vorrichtung und Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem Teilungskreis |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2855411B1 DE2855411B1 (de) | 1980-03-13 |
DE2855411C2 true DE2855411C2 (de) | 1980-11-06 |
Family
ID=6057964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782855411 Expired DE2855411C2 (de) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Vorrichtung und Verfahren zur Ausführung einer Radialskala auf einem Teilungskreis |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2855411C2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007025101A1 (de) | 2007-05-24 | 2008-12-04 | Atanassow, Atanas, Dipl.-Ing. | Biosensor und seine radiale Strahlung |
-
1978
- 1978-12-21 DE DE19782855411 patent/DE2855411C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2855411B1 (de) | 1980-03-13 |
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