DE2825222C2 - Druckmeßumformer - Google Patents
DruckmeßumformerInfo
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckmeßumformer
mit einem in einem Gehäuse angeordneten, mit dem zu messenden Druck beaufschlagten Meßelement,
das aus zwei nebeneinander angeordneten, elastischen scheibenförmigen Teilen besieht, die unter Bildung
eines inneren Hohlraumes an ihrem äußeren Umfange dichtend miteinander verbunden sind, wobei das eine
scheibenförmige Teil eine Mittenausnehmung aufweist und dort mn dem Gehäuse verbunden ist. im Bereich der
Mittenöffnung eine Öffnung des Gehäuses in den inneren Hohlraum mündet und an dem anderen
scheibenförmigen Teil zentrisch ein Übertragungselement
.ingebracht ist.
Bei einem bekannten Druckmeßumformer dieser Art (FRPS IJ(ii4h4) sind die scheibenförmigen Teile
jeweils von Membranen gebildet, die an ihrem äußeren Umfang miteinander verschweißt sind. Dies führt zu
hohen mechanischen Belastungen im Randbereich und Zu Hysterese-Erscheinungen.
Der F rfindiing liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Druckmeßumformer vorzuschlagen, der sich durch eine
hohe I Iberiragungsgenaiiigkeil auszcichnei und geringe
Fehler durch statische Urückänderungen aufweist.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einem Druckmeßumformer der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß
die beiden scheibenförmigen Teile an ihrem äußeren Umfang von einem Ring umfaßt und und
an ihren voneinander abgewandten Außenkanten fest mit dem Ring verbunden.
Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen
DruckmeBumfarmers besteht darin, daß der Ring ein
gewissermaßen ringförmiges Scharnier bildet, so daß am äußeren Rand der scheibenförmigen Teile hohe
mechanische Belastungen nicht auftreten können. Damit sich auch Hysterese-Erscheinungen vermieden.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Druckmeßumformers wird darin gesehen, daß er mit jedem
beliebigen Abgriff kombinierbar ist. So kann an das Übertragungselement beispielsweise ein bewegbarer
Kern eines Differentialtransformators angeschlossen werden; auch ist es möglich, mit dem Übertragungseil
ment eine bewegliche Platte eines Differentialkonden sators zu verbinden. Ferner läßt «ich das Übertragungselement
des erfindungsgjmäßen Druckmeßumformers mit einer Durchführungsanordnung verbinden, wie sie in
der DE-OS 23 11 733 beschrieben ist. Ferner ist darauf
hinzuweisen, daß der erfindungsgemäße Druckmeßumformer
nicht mit zwei Trennmembranen ausgerüstet werden muß. weil der äußere Bereich seines Meßelementes
ohne schädliche Auswirkungen auf das Meßergebnis direkt dem Medium ausgesetzt werden kann,
dessen Druck bestimmt werden soll.
Bei dem erfindungsgemäßen Druckmeßumformer müssen nicht beide scheibenförmigen Teile aus Federwerkstoff
bestehen. Aus konstruktiven und herstellungstechnischen Gründen wird es aber als vorteilhaft
angesehen, wenn bfide scheibenförmigen Teile aus Federmaterial hergestellt sind. Dabei hat es sich als
vorteilhaft herausgestellt, wenn beide scheibenförmigen Teile wie Tellerfedern ausgebildet sind.
Bei dem erfindungsgemäßen Druckmeßumformer ist der die scheibenförmigen Teile umfassende Ring
vorteilhafterweise als Metallring ausgeführt und mit den scheibenförmigen Teilen an den angegebenen Außenkanten
verschweißt.
Zur Erzielung einer besonders einfachen konstruktiven Ausführung kann es mitunter vorteilhaft sein, wenn
das Übertragungselement außen an dem anderen scheibenförmigen Teil angebracht ist und mit einer
Abgriffeinrichtung in Verbindung steril. In diesem Falle
ist dann über die in den innernen Hohlraum mündende Öffnung des Gehäuses die © -Seite des Druckmeßumformers
mit dem inneren Hohlraum verbunden, während der Außenraum des Meßelementes mit der
©-Seite in Verbiml'ingsteht.
/ur Erläuterung der Erfindung ist in
F ι g I ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Druckmeßumformers in schematischer Darstellung,
in
F ig 2 im Schnitt eine vergrößerte Darstellung des
Gehäuses mit einem Meßelement. in
Fig. 1 ein weiieres Ausführungsbeispiel mil mehreren
Meßelementen und in
F ι g. 4 in schematischer Darsiellung ein Schnitt durch
ein zusätzliches Ausführungsbeispiel gezeigt.
Das in FΊ g. 1 dargestellte Ausführungsbeispiel zeig!
einen Druckmeßumiormer 1. der ein Gehäuse 2 und
Druckkappen 3 und 4 aufweist, die mit dem Gehäuse 2 durch Schrauben verbunden sinci. Die Druckkappen 3
und 4 sind mit Durchgangslöchern 5 und 6 zur
Zufuhrung des Druckes ausgerüstet.
Das Gehäuse 2 ist auf jeder Seite mit einer Trennmembran 7 und 8 versehen. In einer Öffnung 9 im
Gehäuse 2 befindet sich ein Meßelement 10, das aus zwei scheibenförmigen Teilen 11 und 12 besteht. Das
eine scheibenförmige Teil 11 weist eine Mittenausnehmung
13 auf und ist im Bereich dieser Mitteilöffnung mit dem Gehäuse 2 verbunden. Das andere scheibenförmige
Teil 12 trägt an seiner Innenseite ein Übertragungselement 14, das durch eine weitere Öffnung 15 im Gehäuse
2 ragt. Mit dem von dem anderen scheibenförmigen Teil 12 abgewandten Ende 16 ist das Übertragungselement
14 mit einer Abgriffeinrichtung 17 mechanisch verbunden.
Die beiden scheibenförmigen Teile 11 und 12 bind —
wie F i g. 1 erkennen läßt — unter Bildung eines inneren Hohlraumes 18 nebeneinander angeordnet, wobei der
Hohlraum 18 nach außen dadurch abgeschlossen ist, daß
die beiden scheibenförmigen Teile 11 und 12 an ihrem äußeren Umfange 19 dichtend miteinander verbunden
sind. Der innere Hohlraum 18 des Meßelementes 10 ist somit gegenüber dem AuBenraum des Meßelementes
vollkommen abgedichtet und steht über die als Kanal ausgebildete öffnung 15 mit der θ Seite des
Druckrneßumformers in Verbindung; der Außenraum des Meßelementes 10 dagegen ist dem Druck auf der
© -Seite ausgesetzt.
Infolge einer Druckdifferenz zwischen der © -Seite und der θ-Seite des Druckmeßumfcrmers 1 werden
die beiden scheibenförmigen teile 11 und 12 des Meßelementes 10 mehr oder weniger weit zusammengedrückt,
wodurch das Übertragungselement H verschoben wird. Mit der Verschiebung des Übertragungselementes
14 wird ein Stab 20 der Abgriffeinrichtung 17 an seinem oberen Ende 21 verschwenkt, wodurch eine
Mittenplatte 22 eines Differentmlkondensators 23 in ihrer Stellung verändert wird. Infolge einer an Klemmen
24 und 25 angelegten Wechselspannung kann dann an einer Ausgangsklemme 26 eine Meßgröße abgegriffen
werden, die der Verschiebung des I ibertragungselemenles
14 und — weil diese dem Druck bzw. der Druckdifferenz proportional isi - dem jeweiligen
Druck bzw der jeweiligen Druckdifferenz entspricht.
Die vergrößerte Darstellung de«. Gehäuses 2 gemäß
F i g. 2 läßt erkennen, daß das eine scheibenförmige Teil
11 an seiner inneren Kante 30 mit dem Gehäuse 2 ringsum verschweißt ist. Das Übertragungselement 14
ist an der Stelle 31 außen mit dem anderen scheibenförmigen Teil 12 verschweißt. Umfaßt sind
beide scheibenförmige Teile 11 und 12 an ihrem äußeren
Umfange von einem vorzugsweise als Metdllring 32 ausgebildeten Ring, der mit den jeweiligen Außenkanten
33 und 34 der beiden scheibenförmigen Teile 11 und
12 verschweißt ist. Auf diese Weice ist der Raum
zwischen der Trennmembran 7 und dem Gehäuse 2. d. h. der Auiienraum 35 des Meßelementes 10 gegenüber
dem inneren Hohlraum 16 abgedichtet, der von den beiden vorzugsweise als Tellerfedern ausgebildeten
scheibenförmigen Teilen 11 und 12 gebildet ist.
Der innere Hohlraum 18 des Meßelementes 10 ist
über die als Kanal ausgebildete Öffnung 15 mit dem Innenraum im Gehäuse 2 verbunden, der vorzugsweise
mit einem Silikonöl gefüllt ist.
Das Ausführungsbnispiel nach Fig. 3 unterscheide:
sich von dem nach den F i g. I und 2 dadurch, daß zur Erfassung von relativ hohen Drücken zwei Meßelemente
miteinander gewissermaßen in Reihe geschaltet sinrl. Das eine scheibenförmige Teil 40 des einen Meßelementes
41 ist dabei wiederum im Bereich seiner Mittenausnehmung an einer Kante 42 mit dem Gehäuse 2
verschweißt, während das andere scheibenförmige Teil
43 dieses Meßelementes 41 eine zentrische Ausneh mung 44 besitzt, in der sich ein Verbindungselement 45
befindet. Mit diesem Verbindungselement 45 ist das andere scheibenförmige Teil 43 an seiner Innenkante 46
verschweißt. Außerdem ist das Verbindungselement 45 mit der Innenkante 47 eines scheibenförmigen Teiles 48
eines weiteren Meßelementes 49 durch Schweißung verbunden. Das andere scheibenförmige Teil 50 des
weiteren Meßelementes 49 trägt ein Übertragungselement 51, das durch ein Durchgangsloch 52 des
Verbindungsgliedes 45 hindurch bis zur Abgriffeinrichtung 53 geführt ist; diese kann in gleicher Weise
aufgebaut iein, wie es anhand der Fig. 1 und 2 beschrieben worden ist. Im übrigen nterscheidet sich
diese Auslührungslorm nicht von der nc ;h den F ι g I
und 2.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig.4 ist wiederum
ein scheibenförmiges Teil 60 eines Meßelementes 61 mit ein-·; Ausnehmung 62 versehen und im Bereich
dieser Ausnehmung an einer Kante 63 mit dem Gehäuse 64 verschweißt. Über einen Ring 65 ist das eine
scheibenförmige Teil 60 in bereits beschriebener Weise mit dem anderen scheibenförmigen Teii 66 verbunden.
Das andere scheibenförmige Teil 66 trägt auf seiner vom inneren Hohlraum 67 abgewendeten Seite ein
Übertragungselement 68, das beispielsweise aus Glas besteht und in das andere scheibenförmige Teil 66
eingeschmolzen ist. Mit dem Übertragungselement 68 ist eine Platte 69 verbunden, die mit weiteren Platten 70
und 71 einen Differentialkondensator 72 bildet. Die Platten 70 und 71 sind über isolierende Halterungen 73
und 74 am Gehäuse 64 befestigt.
Das Gehäuse 64 weist als eine öffnung einen Kanal
75 auf. der mit dem inneren Hohlraum 67 des Meuelementes 61 in Verbindung steht. Das andere Ende
76 des Kanals 75 ist zur Beaufschlagung mit dem /u messenden Druck vorgesehen. Im voi liegenden Fall ist
also die © -Seite des Meßumformers mit dem inneren Hohlraum 67 verbunden, während der Außenraum des
Meßelementes 61 mit der Q -Seite in Verbindung steht.
Auch bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig.4 muß
selbstverständlich das Übertragungselement 68 nicht mit einer Abgriffeinrichtung verbunden werden, die als
Differentialkondens,-Mor ausgebildet ist; vielmehr lassen
sich auch andere Abgriffeinrichtungen verwenden, die
eine Verschiebung des Übertragungselementes 68 mit arsre.-hcnder Genauigkeit in eine elektrische Größe
umsetzen.
Hier/u 2 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Druckmeßumformer mit einem in einem Gehäuse angeordneten, mil dem zu messenden
Druck beaufschlagten Meßelement, das aus zwei nebeneinander angeordneten, elastischen scheibenförmigen
Teilen besteht, die unter Bildung eines inneren Hohlraumes an ihrem äußeren Umfange
dichtend miteinander verbunden sind, wobei das eine scheibenförmige Teil eine Mittenausnehmung aufweist
und dort mit dem Gehäuse verbunden ist, im Bereich der Mittenausnehmung eine öffnung des
Gehäuses in den inneren Hohlraum mündet und an dem anderen scheibenförmigen Teil zentrisch ein
Übertragungselement angebracht ist, dadurch
gekennzeichnet, daß die beiden scheibenförmigen TeUe(II, 12) an ihrem äußeren Umfange von
einem Ring (32) umfaßt und an ihren voneinander abgewandten Außenkanten (33, 34) fest mit dem
Ring (32) verbanden sind (F i g. 2).
2. Druckmeßumformer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden scheibenförmigen
Teile (11, 12) wie Tellerfedern ausgebildet sind (Fig.l).
3. Druckmeßumformer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ring (32) ein
Metallring ist und mit den scheibenförmigen Teilen (11,12) verschweißt ist. (F ig. 2).
4. Druckmeßumformer nach einem der Ansprüche 1 bis 3. dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungselement
v68) außen an dem anderen scheibenförmigen
Te'l (66) an&ebrach ist und mit einer
Abgriffeinrichtung (72) in ''erbindurg steht (F i g. 4).
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