DE2817129C2 - Optische Anordnung zur Bildung einer Weilenfront mit gleichmäßiger Intensitätsverteilung aus einem aufgeweiteten Laserstrahl - Google Patents
Optische Anordnung zur Bildung einer Weilenfront mit gleichmäßiger Intensitätsverteilung aus einem aufgeweiteten LaserstrahlInfo
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Description
des aufgeweiteten Laserstrahls (6) bedeutet
bei holografischen Experimenten sehr lange Belichtungszeiten
und/oder den Einsatz eines großen und teuren leistungsstarken Lasers, um die Belichtungszeiten
in annehmbaren Grenzen zu halten.
Aus dem oben erwähnten Buch ist es auch bekannt, mit Hilfe eines im Strahlengang des aufgeweiteten Laserstrahls 6 angeordneten Absorptionsfilters, das eine rotationssymmetrische, in Funktion vom Achsenabstand χ kontinuierlich abnehmende Absorption aufweist
Aus dem oben erwähnten Buch ist es auch bekannt, mit Hilfe eines im Strahlengang des aufgeweiteten Laserstrahls 6 angeordneten Absorptionsfilters, das eine rotationssymmetrische, in Funktion vom Achsenabstand χ kontinuierlich abnehmende Absorption aufweist
ίο gemäß der Fig.3 die Intensität / bis zu einem
Abschneidepunkt xa durch den die Begrenzungslinie 9
läuft, auf eine gleichmäßige Intensität Ir zu reduzieren.
Der senkrecht schraffierte Bereich 13 zwischen dem nutzbaren Bereich 14 und der Gaußschen Kurve wird
vom Absorptionsfilter absorbiert Die außerhalb der Begrenzungslinien 9 liegenden, schräg schraffierten und
wiederum mit Ii und 12 bezeichneten Bereiche werden ausgeblendet
Die durch den Bereich 14 dargestellte nutzbare Gesamtintensität ist maximal, wenn die Bedingung
erfüllt wird, wobei α die Streuung der Intensität
(Standardabweichung) bedeutet. Es ist dann
Für viele Anwendungen der kohärenten Optik, z. B. in der Holografie, für Interferenzexperimente usw. wird
ein aufgeweiteter Laserstrahl benötigt, der quer zur <io
Wellenfront eine gleichmäßige Intensitätsverteilung aufweist.
Bei bekannten Anordnungen (R. J. Collier u.a., Optical Holography, Academic Press 1971, S. 164—167)
erfolgt gemäß der Fig. 1 die Aufweitung des von einem η
im sogenannten TEMoo-mode arbeitenden Laser 1 erzeugten Laserstrahls 2 mit einer Objektivlinse 3, einer
Mikroblende (pinhole) 4 und einer Kollimatorlinse 5. Der aufgeweitete Laserstrahl 6 besitzt, wie aus der
F i g. 2 ersichtlich ist, quer zur Wellenfront eine v> Intensitätsverteilung 7 von Gaußscher Kurvenform. In
der Achse 8 des aufgeweiteten Laserstrahls 6 weist die Intensität / den maximalen Wert /0 auf und fällt in
Funktion vom Achsenabstand χ nach einer Gaußschen Kurve ab. π
Zur Erzielung einer gleichmäßigen Intensitätsverteilung kann die Kollimatorlinse 5 so angeordnet werden,
daß nur ein kleiner zentraler Teil des aufgeweiteten Laserstrahls 6 ausgenützt und der restliche Teil
ausgeblendet wird. In der F i g. 2 stellt der innerhalb bo
senkrechter Begrenzungslinien 9 liegende Balken 10 den auswertbaren Teil des aufgeweiteten Laserstrahls
für den Fall dar, daß eine Gleichmäßigkeit der Intensität von ±1% verlangt wird und die schraffierten Bereiche
11, 12 auf beiden Seiten des Balkens 10 ausgeblendet tr>
werden. Es ist leicht ersichtlich, daß nur ein sehr kleiner Teil des Laserstrahls 2 genutzt werden kann. Diese sehr
schlechte Ausnutzung des Laserstrahls 2 bedingt z. B.
/r ^
(e= Basis der natürlichen Logarithmen). Die Transmission im Zentrum des Korrekturelementes ist also .
Der Gewinn C, d. h. das Verhältnis der nutzbaren Gesamtintensität zu der bei der bekannten Methode
nach der F i g. 2 nutzbaren Gesamtintensität, beträgt
35 G =
wobei ε den relativen Intensitätsfehler, d. h. den relativen Unterschied zwischen der maximalen Intensitat
Imax=k und der minimalen Intensität /,,„„, bei der
Methode nach der F i g. 2 bedeutet. Bei der Methode gemäß der F i g. 3 kann theoretisch ein Intensitätsfehler
ε = Ο erzielt werden.
Es ist auch ein optisches Absorptionsfilter bekannt (DE-AS 23 54 089), das eine rotationssymmetrische, in
Funktion vom Achsenabstand kontinuierlich abnehmende Absorption aufweist, aus einem mit einer Emulsion
versehenen Film besteht und in Verbindung mit einer mechanischen Blende in einer Lichtmoduliereinrichtung
für Kameras verwendet wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung der eingangs genannten Art zu
schaffen, die einfach ist und sich trotzdem durch eine optimale Nutzung des Laserstrahls und eine hohe
Gleichmäßigkeit der Intensitätsverteilung auszeichnet
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale.
Das aus absorbierendem Material bestehende Korrekturelement müßte theoretisch" eine solche in
Funktion vom Achsenabstand χ kontinuierlich abnehmende Dicke aufweisen, daß die Intensität h des
aufgeweiteten Laserstrahls 6 nach dem Korrekturelement über dem Strahldurchmesser bis zum Abschneidepunkt
Xa konstant ist. Bei einer Gaußschen Intensitätsverteilung
7 bedingt dies theoretisch einen parabelförmigen Verlauf der Dicke des Korrekturelementes.
Parabelförmige Gebilde im optischen Strahlengang sind aber im allgemeinen nicht erwünscht. Es wurde jedoch
gefunden, daß eine genügend genaue Annäherung an den optimalen Verlauf der Dicke erzielt werden kann,
wenn als Korrekturelement eine Linie bzw. ein Kugelabschnitt aus absorbierendem Material verwendet
wird. Die Gleichungen (1), (2) und (3) gelten in diesem Fall näherungsweise. Für den optimalen
Kugelradius R eines solchen Korrekturelementes gilt
K = Kn -r . . ι
4 A' rs
und der Intensitätsfehler ε ist hierbei
' * 32r7"-A2
14)
(5)
wobei k den Absorptionskoeffizienten des absorbierenden Materials bedeutet Für den Optimalfall x2=\f2o
können die Gleichungen (4) und (5) vereinfacht werden. Das aus absorbierendem Material bestehende Korrekturelement
kann Teil des Kollimationssystems sein und eine plankonvexe Form aufweisen, wie oben beschrieben,
oder allgemeiner auch eine oder konvexkonkave Form.
Nachfolgend werden anhand der Fig.4 und 5, die
optische Anordnungen zeigen, Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert
In der Fig.4 ist eine besonders einfache optische Anordnung dargestellt, wobei gleiche Bezugszeichen
wie in der F i g. 1 auf gleiche Teile hinweisen. Als Korrekturelement dient eine plankonvexe Kollinationslinse
15 aus absorbierendem Material. Der Durchmesser der Kollimationslinse 15 ist gemäß den
Gleichungen (1) und (2) so gewählt, daß die Teilstrahlen
mit der Intensität /= " des aufgeweiteten Laserstrahls
6 den Rand der Kollimationslinse treffen und die Teilstrahlen mit geringerer Intensität ausgeblendet
werden.
Bei der Anordnung nach der Fig.5 dient als Korrekturelement eine zwischen der Objektivlinse 3
und einer Kollimationslinse 16 angeordnete Linse 17, die aus einem absorbierenden Teil 18 und einem transparenten
Teil 19 besteht Der absorbierende Teil 18 ist gemäß den vorstehend angeführten technischen Lehren
dimensioniert und erfaßt wiederum die Teilstrahlen der Intensität />
". Der Durchmesser des transparenten
Teils 19 kann gleich oder größer sein als jener des absoi bierenden Teils 18. Die beiden Teile 18,19 können
z. B. durch Zementieren miteinander verbunden werden.
Die Formgebung des absorbierenden Teils 18 erfolgt vorzugsweise nach der Vereinigung mil dem transparenten
Teil 19, so daß die Herstellungsschwierigkeiten von Linsen mit sehr dünnen Randkanten vermieden
werden. Als absorbierender Teil 18 eignen sich
bekannte Filtergläser, vorzugsweise solche mit hoher Homogenität und konstantem Absorptionskoeffizienten
über einen ausreichend weiten Längenwellenbereich.
Die Anordnung nach der F i g. 5 ist flexibler als jene
nach der F i g. 4, bei welcher die Brennweite / nicht
beliebig wählbar ist, wenn die Gleichung (4) erfüllt werden soll.
Im folgenden werden als typisches Ausführungsbeispiel die Parameter einer praktisch ausgeführten Linse
17 genannt:
Dicke des Teils 18 im Zentrum | 0,853 mm |
Durchmesser des Teils 18 | 15,0 mm |
Kugelradius R des Teils 18 | 33,4 mm |
Zweite Oberfläche des Teils 18 | plan |
Dicke des Teils 19 im Zentrum | 3,0 mm |
Brechungsindex des Teils 18 | 1,51 |
Absorptionskoeffizient Jt bei | |
Ä=441,6nm | 1,172 mm-1 |
Intensitätsfehler ε | 0,004 |
Gewinn C | 92 |
Selbstverständlich ist es nicht notwendig, daß die Transmission im Zentrum der beschriebenen
j Korrekturelemente genau den Wert ^ aufweist Abweichungen
von ±20% vom optimalen Wert führen
durchaus noch zu einer befriedigend gleichmäßigen Intensitätsverteilung und einem hohen Gewinn. Bei der
Montage des Korrekturelementes im aufgeweiteten Laserstrahl ist hingegen darauf zu achten, daß die
Intensität an zwei kritischen Punkten identisch ist, nämlich in der Achse des Strahlengangs und am Rand
des Korrekturelementes.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Optische Anordnung zur Bildung einer Wellenfront mit gleichmäßiger Intensitätsverteilung aus
einem aufgeweiteten Laserstrahl, mit einem im Strahlengang des aufgeweiteten Laserstrahls angeordneten
Korrekturelement, das eine rotationssymmetrische, in Funktion vom Achsenabstand
kontinuierlich abnehmende Absorption aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Korrekturelement
eine aus absorbierendem Material bestehende Linse (15,17) ist
2. Optische Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (15; 17) die Form
eines Kugelabschnittes aufweist
3. Optische Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (17) aus einem
absorbierenden Teil (18) und einem transparenten Teil (19) besteht
4. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (15;
17) eine Kollimationslinse ist
5. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, mit Mitteln zum Ausblenden der außerhalb
einer vorbestimmten Abschnittstelle liegenden Teilstrahlen des aufgeweiteten Laserstrahls, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abschnittstelle (xa) mindestens
annähernd in jenem Punkt liegt, in welchem die Intensität (I) des aufgeweiteten Laserstrahls (6) den
Wert " aufweist, wobei /o die Intensität im Zentrum
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH333078 | 1978-03-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2817129B1 DE2817129B1 (de) | 1979-09-27 |
DE2817129C2 true DE2817129C2 (de) | 1980-06-19 |
Family
ID=4253632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782817129 Expired DE2817129C2 (de) | 1978-03-29 | 1978-04-19 | Optische Anordnung zur Bildung einer Weilenfront mit gleichmäßiger Intensitätsverteilung aus einem aufgeweiteten Laserstrahl |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS54128748A (de) |
DE (1) | DE2817129C2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3044470A1 (de) * | 1980-11-26 | 1982-06-03 | Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich | Verfahren zur moeglichst gleichmaessigen ausleuchtung einer flaeche ausgehend von einem parallelstrahlenbuendel und vorrichtung der laser-diagnostik |
JPS61163681A (ja) * | 1985-01-12 | 1986-07-24 | Kiichiro Kagawa | マイクロビ−ム形成用のレ−ザ−装置 |
JPH0199017A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-17 | Fuji Electric Co Ltd | 光学系におけるガウス分布光線の均一化装置 |
US4896952A (en) * | 1988-04-22 | 1990-01-30 | International Business Machines Corporation | Thin film beamsplitter optical element for use in an image-forming lens system |
-
1978
- 1978-04-19 DE DE19782817129 patent/DE2817129C2/de not_active Expired
-
1979
- 1979-03-09 JP JP2684579A patent/JPS54128748A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2817129B1 (de) | 1979-09-27 |
JPS54128748A (en) | 1979-10-05 |
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