DE2808119C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein elektronenoptisches
System gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Es ist bereits ein Elektronenfokussierungs-Projektions-
und Abtastsystem bekannt (US-PS 33 19 110), bei dem eine
Glühkathode Elektronen emittiert, welche mittels einer
Gitterelektrode und einer Anodenelektrode derart gesteuert
werden, daß sie durch eine Apertur-Elektrode
als divergierender Strahl in einen Laufraum gelangen.
Eine Einzellinse fokussiert den Strahl unter Bildung
eines reellen Bildes in einem
Fokussierungsprojektions-
und Abtast-Hohlraum. Der Strahl gelangt dann durch einen Laufraum
und wird schließlich auf eine Zielfläche fokussiert.
Bei einer anderen Ausführungsform dieses bekannten Systems
wird ein virtuelles Bild, nicht jedoch ein reelles Bild
gebildet. In jedem Falle ist bei dem bekannten System ein
gemischtes elektronenoptisches System geschaffen, bei dem
ein Elektronenstrahl nach der Ablenkung nahezu parallel
zu der ursprünglichen Bahn und
rechtwinklig auf der Zielfläche landet.
Die dazu getroffenen Maßnahmen genügen jedoch
nicht, um eine Landungsfehler-Korrektur vornehmen zu
können, wenn
elektrische und magnetische
Feldfehler auftreten.
Es ist ferner bekannt ("Proceedings of the IRE", Vol. 35,
1947, Seiten 1273 bis 1279),
transversale Geschwindigkeitskomponenten der Elektronen eines Elektronenstrahls
in einem Orthicon, die durch eine Verzögerungslinse hervorgerufen werden,
mit Hilfe einer geeignet angeordneten Ablenkspule aufzuheben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein elektronenoptisches
System der eingangs genannten Art so weiterzubilden,
daß auf relativ einfache Weise durch unterschiedliche
Einflüsse entstehende Abbildungsfehler weitgehend
aufgehoben sind.
Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe durch die
im Patentanspruch gekennzeichnete Maßnahme.
Die Erfindung zeichnet sich durch den Vorteil eines besonders
geringen Aufwands aus.
Anhand der Figuren wird die Erfindung nachstehend
an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.
Fig. 1 zeigt in einer dreidimensionalen Ansicht den
Bahnverlauf eines Elektronenstrahls in einem
theoretisch gleichförmigen magnetischen Feld
und in einem theoretisch gleichförmigen elektrischen
Feld eines elektronenoptischen Systems vom
Mischfeldtyp.
Fig. 2 zeigt in einer rechtwinklig zur Längsachse Z des
elektronenoptischen Systems verlaufenden Ebene
eine graphische Projektion der Elektronenstrahlbahn,
wie sie in Fig. 1
ist.
Fig. 3 zeigt eine schematische Längsschnittansicht eines
Vidikons mit einem elektronenoptischen System vom Mischfeldtyp
gemäß der Erfindung.
Fig. 4A bis 4E veranschaulichen schematisch Abweichungen
längs der Achse des magnetischen Feldes und des elektrischen
Feldes eines elektronenoptischen
Systems vom Mischfeldtyp.
Fig. 5 zeigt eine graphische Darstellung der Strahlauftreffehler,
die die in Fig. 4A bis 4E dargestellten magnetischen
und elektrischen Feldänderungen begleiten.
In einem elektronenoptischen System
vom Mischfeldtyp, welches ein magnetisches
Feld -B z und ein elektrisches Feld -E y parallel zu der
Z-Achse bzw. der Y-Achse gemäß Fig. 1 enthält und bei dem
die betreffenden Felder in Richtung längs der Z-Achse
gleichförmig sind, wird die Elektronenbewegung durch die
nachstehenden Gleichungen beschrieben:
wobei ein Punkt über x oder y eine Differentiation in bezug
auf die Zeit t angibt.
Eine Integration der obigen Gleichungen für Elektronen mit
dem Ursprung O in Fig. 1 führt bei einer Ursprungsgeschwindigkeit
(₀, ₀, ₀)=(v₀ tan R cos Φ, V₀ tan R sin Φ,
v₀) zu:
wobei α=e Ey/m, ω=e Bz/m, R der halbe Strahlwinkel
und v₀ die axiale Geschwindigkeit am Ursprungspunkt O bedeuten.
Die Elektronen,
die am Ursprungspunkt O gemäß Fig. 1 dieselbe axiale
Geschwindigkeit v₀ besitzen, fliegen in Z-Richtung mit
konstanter Geschwindigkeit
weit bezüglich der magnetischen und elektrischen Felder angenommen
ist, daß diese keine Kräfte auf die Elektronen in
Richtung der Z-Achse ausüben. In der X-Y-Ebene bewegen sich
die Elektronen jedoch in verschiedenen Zykloidenbahnen
und zwar in Abhängigkeit davon, ob die
Elektronen am Ursprungspunkt O der Öffnung axial gerichtet
sind oder nicht. Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist,
in der eine Projektion der Hauptstrahlbahn in der XY-Ebene
veranschaulicht ist und in der die Pfeile F e in voll ausgezogenen
Linien Kräfte infolge des elektrischen oder elektrostatischen
Feldes darstellen und in der die durch gestrichelte
Linien angedeuteten Pfeile F b auf das magnetische Feld
zurückgehende Kräfte veranschaulichen, wird der Strahl zunächst
durch das elektrostatische Feld E y nach oben abgelenkt.
Dabei wird eine Bewegung zu der Seite hin
und dann nach unten durch das magnetische Feld B z bewirkt,
wobei die Abwärtsbewegung durch das elektrische oder elektrostatische
Feld verlangsamt wird. Demgemäß wird am Ende eines
Zyklus die Geschwindigkeitskomponente in der XY-Ebene Null
werden.
Aus Vorstehendem dürfte ersichtlich sein, daß das elektrische
oder elektrostatische Feld als Ablenkungsfeld
wirkt. Wenn t=2n π/ω ist und wenn n
eine ganze Zahl ist, dann konvergieren die Elektronen des
Elektronenstrahls zu einem fokussierten Fleck. Im Falle des
beschriebenen elektronenoptischen Systems mit einem gemischten
Feld ist die Brennebene von der Mitte zu den Kanten
hin eben, da das elektrostatische Feld E y keine Auswirkung
auf die Fokussierungswirkung hat, was bedeutet, daß
das System frei von einer Ablenkungs-Defokussierung ist.
Obwohl das elektrostatische Feld eine Verschiebung des
Elektronenstrahls bewirkt, beispielsweise in Richtung der
X-Achse, tritt überdies keine Änderung in Richtung des einfallenden
Strahles auf. Wenn der Strahl in axialer Richtung
am Ursprungspunkt O oder der Öffnung Φ gerichtet wird, trifft
demgemäß der Hauptstrahl auf die Zielfläche in einer Richtung
auf, die rechtwinklig zur Ebene der betreffenden Zielfläche
verläuft, was bedeutet, daß in dem Fall ein normales
Auftreffen des Strahles erreicht ist, daß die Ebene der
Zielfläche bzw. Bildfläche rechtwinklig zur Z-Achse verläuft.
Schließlich ist die Ablenkung des Strahls durch das elektrostatische
Feld E y direkt proportional zu der Stärke des
elektrostatischen Feldes, was bedeutet, daß die Ablenkung
der Abtastung frei von geometrischen Verzerrungen ist.
Sämtliche vorstehenden Eigenschaften sind insbesondere in
einem elektronenoptischen System für eine Kameraröhre von
Vorteil. Ein rechtwinkliges oder normales Auftreffen des
Strahles, was von höchster Wichtigkeit im Falle einer
Kameraröhre ist, wird jedoch lediglich unter idealisierten
Bedingungen in dem beschriebenen elektronenoptischen System
mit dem gemischten Feld erzielt, d. h. dann, wenn das magnetische
Feld und das elektrische Feld gleichförmig sind, und
zwar längs der Z-Achse. Derartige ideale Bedingungen,
nämlich gleichförmige magnetische und elektrische
Felder, können in der Praxis nicht ohne weiteres erzielt
werden. Daraus folgt, daß eine erhebliche Schwierigkeit zu
erwarten ist beim praktischen Gebrauch des elektronenoptischen
Systems, wie es in der US-PS 33 19 110 angegeben ist.
Die Gründe dafür, weshalb die magnetischen und elektrischen
Felder nicht ohne weiteres gleichförmig gemacht werden
können, und die Gründe für die Beseitigung des Auftreffehlers
gemäß der Erfindung werden nunmehr unter Bezugsnahme
auf Fig. 3 erläutert werden, in der eine vidikonartige Röhre
10 mit einem ein gemischtes Feld bzw. Mischfeld verwendenden
elektronenoptischen System gemäß der Erfindung dargestellt
ist. Die vidikonartige Röhre 10 ist als insbesondere
einen länglichen Glaskolben 11 mit einer Zielflächen-
bzw. Bildschirmstruktur 12 an einem Ende enthaltend dargestellt.
Diese Bildschirmstruktur umfaßt ein benachbartes
Gitter 13 in einer Ebene, die rechtwinklig zu der Längsachse
Z des Röhrenkolbens verläuft. Eine Elektronenkanonenanordnung
14 ist in geeigneter Weise in dem Röhrenkolben 11
in Abstand von der Bildflächenanordnung bzw. -struktur 12
dargestellt; sie enthält als Elektronenstrahlquelle eine
Kathode 15, von der Elektronen unter der Steuerung einer
Gitterelektrode 16 emittiert werden. Die emittierten Elektronen
werden mittels einer Anodenelektrode 17 beschleunigt,
die auf einem geeigneten positiven Potential bezogen auf die
Kathode 15 gehalten wird. Neben der Anode 17 ist eine Elektrode
18 vorgesehen, die eine Öffnung 19 aufweist, welche
ein reelles Objekt des elektronenoptischen Systems festlegt
und mit der Z-Achse des Röhrenkolbens 11 zusammenfällt. Der
Durchmesser der Öffnung 19 ist vergleichbar mit der gewünschten
Punkt- bzw. Fleckgröße des Elektronenstrahls auf
der Bildfläche 12.
Das elektronenoptische System der vidikonartigen Röhre 10
ist als eine Magnetspule bzw. Zylinderspule 20 enthaltend
dargestellt, die sich um den Röhrenkolben 11 über einen
nennenswerten Teil der Länge dieses Röhrenkolbens zwischen
der Elektrode 18 und der Bildschirmanordnung 12 erstreckt.
Außerdem ist ein elektrostatisches Joch 21 vorgesehen, das
an dem Röhrenkolben 11 angebracht oder auf dessen Innenfläche
gebildet sein kann, und zwar zwischen der Elektrode
18 und der Bildschirm- bzw. Zielflächenanordnung 12. Die
Magnetspule 20 wird in geeigneter Weise von einer Speisequelle
(nicht dargestellt) gespeist, die an den Anschlüssen
20 a und 20 b angeschlossen ist. Die betreffende Magnetspule
erzeugt ein konstantes Magnetfeld, das parallel zur
Achse Z innerhalb des Röhrenkolbens 11 verläuft. Sofern
erwünscht, kann ein Permanentmagnet anstelle der Magnetspule
20 verwendet werden, um ein konstantes Magnetfeld
bereitzustellen.
Das elektrostatische Joch 21 kann von dem Typ sein, wie
er in der US-PS 33 19 110 angegeben ist, um gleichzeitig
horizontale und vertikale Ablenkkräfte auf den Elektronenstrahl
auszuüben. Das Joch 21 kann so beispielsweise Paare
aus miteinander verschachtelten horizontalen und vertikalen
Ablenkelektroden, die an der Innenfläche des Röhrenkolbens
11 angebracht oder gebildet sind, und zwar durch
Plattieren, Überziehen oder dgl. Das elektrostatische
Joch 21 erzeugt auf die Zuführung geeigneter Gegentaktspannungen
oder Ablenksignale zu den Anschlüssen 21 a und
21 a′ sowie zu den Anschlüssen 21 b und 21 b′ ein drehbares
biaxiales elektrisches Feld, welches rechtwinklig zu dem
magnetischen Feld verläuft, das von der Magnetspule 20 erzeugt
wird. Ein derartiges elektrisches Feld verläuft im
wesentlichen diagonal, d. h., daß es weitgehend frei von
jeglichen Komponenten längs der Z-Achse ist, die sonst dazu
neigen würden, eine Defokussierung und Drehung des Strahles
zu bewirken. Es dürfte aus vorstehendem ersichtlich sein,
daß die Magnetspule 20 und das elektrostatische Joch 21 sich
kreuzende Felder, und zwar ein magnetisches Feld und ein
elektrisches Feld, erzeugen, die sich generell in miteinander
übereinstimmender Weise innerhalb des Röhrenkolbens 11
zwischen der Elektrode 18 und der Bildschirmanordnung 12
erstrecken. Das magnetische Feld ist statisch oder konstant,
während das elektrische Feld dynamisch ist oder sich in
Übereinstimmung mit den Ablenksignalen ändert, die den
Anschlüssen 21 a, 21 a′, 21 b und 21 b′ zugeführt werden. Obwohl
den Anschlüssen des elektrostatischen Joches 21 sich ändernde
Ablenksignale oder Gegentaktspannungen zugeführt werden,
kann das Potential für das relativ lange Joch gemittelt
werden, was zu einer Oberflächenpotentialverteilung entsprechend
dem Kosinusgesetz führt und dadurch eine räumlich
gleichförmige elektrische Feldverteilung innerhalb des
Raumes 22 hervorruft, der von dem Joch 21 umschlossen ist.
Im Falle der vidikonartigen Röhre 10 sind gleichförmige
magnetische und elektrische Felder, die zuvor für die
theoretische Erzielung eines normalen bzw. senkrechten
Auftreffens eines Elektronenstrahls auf der Bildschirmanordnung
12 unterstellt worden sind, praktisch nicht realisiert.
So ist insbesondere das von der Magnetspule 20 endlicher
Länge erzeugte Magnetfeld in der axialen Richtung
ungleichförmig, und zwar aufgrund von ausladenden Feldbereichen
oder Fransen, die an den gegenüberliegenden Enden des
Magnetfeldes auftreten. Im Falle des von dem elektrostatischen
Joch 20 erzeugten elektrischen oder elektrostatischen
Feldes weist ein derartiges elektrisches Feld feldfreie Bereiche
an seinen gegenüberliegenden Enden auf, und zwar durch
den Abschluß des elektrischen Feldes durch die Elektrode 18,
die die ein Objekt festlegende bzw. begrenzende Öffnung 19
enthält, bzw. durch das Gitter 13 der Bildschirmanordnung
12. Der Einfluß der Elektrode 18 und des Gitters 13 auf das
elektrische Feld reicht in den Raum 22 über eine Strecke
hinein, die gleich etwa dem einfachen oder doppelten Radius
des Raumes 22 ist. Die vorstehenden Ungleichmäßigkeiten des
elektrischen Feldes und des magnetischen Feldes beeinflussen
in starkem Ausmaß die Eigenschaft des normalen bzw.
senkrechten Auftreffens des Elektronenstrahls der Röhre.
Zur Erzielung eines Verständnisses bezüglich des Ausmaßes,
in welchem das normale Auftreffen des Elektronenstrahls bei
der vidikonartigen Röhre 10 beeinflußt ist, sind die Auftreffehler,
die sich aus den feldfreien Bereichen an den
gegenüberliegenden Enden des elektrischen Feldes ergeben,
und die Auftreffehler, die sich aus den sich aufweitenden
Feldbereichen an den gegenüberliegenden Enden des Magnetfeldes
ergeben, individuell untersucht worden. Zum Zwecke
einer derartigen Untersuchung hat der Raum 22 einen Durchmesser
von 24 mm besessen, der Abstand von der Öffnung bzw.
Aperture 19 zu dem Gitter 13 betrug 110 mm, der Begrenzungsdurchmesser
der Apertur 19 betrug 30 µm, das Elektronenstrahl-
Beschleunigungspotential betrug 500 V, die angelegte
Ablenkspannung betrug 100 V ss , und der Strahl wurde um
etwa 3 mm in Richtung der X-Achse abgelenkt.
Bei der Untersuchung der Auftreffehler des Strahls sind
diese Fehler durch Verhältnisse der Geschwindigkeiten des
Hauptstrahls in der X-Richtung bzw. Y-Richtung zu der Geschwindigkeit
in der Z-Richtung an dem Gitter 13 der Bildschirmanordnung
12 ausgedrückt worden. Ferner ist bei einer
vereinfachten elektrischen Feldverteilung angenommen worden,
daß diese feldfreie Bereiche an den Enden des Raumes 22 und
einen gleichförmigen elektrischen Feldbereich zwischen
derartigen feldfreien Bereichen umfaßt. Außerdem ist angenommen
worden, daß jegliche axiale Komponente des elektrischen
oder elektrostatischen Feldes vernachlässigbar ist,
so daß jeder feldfreie Bereich des elektrischen Feldes die
Fokussierungsbedingung nicht verändert.
Wenn bezüglich der Magnetspule angenommen wird, daß es sich
dabei um eine unendlich lange Spule handelt, so daß das
Magnetfeld gleichförmig ist, wie dies in Fig. 4A und 4B
dargestellt ist, dann kann die Elektronenbewegung in dem
ungleichförmigen elektrischen Feld, das in das gleichförmige
Magnetfeld hineinreicht, analytisch aufgelöst werden als den
nachstehenden Auftreffehler enthaltend:
Dabei ist L=a+b+c, und diese Größe gibt den Abstand von der Apertur bzw.
Öffnung 10 zu dem Gitter 13 der Bildschirmanordnung 12 an.
Die Größe a ist die Länge des feldfreien Bereiches
neben der Öffnung 19, b ist die Länge des gleichförmigen
Bereiches des elektrischen Feldes zwischen den feldfreien
Bereichen, und c ist die Länge des feldfreien Bereiches
neben dem Gitter 13.
Die den ersten Bedingungen gemäß Fig. 4A und 4B entsprechenden
Fehlergrößen sind in Fig. 5 alsKurven 23 A bzw. 23 B gesondert
dargestellt. In jedem Falle besitzt der feldfreie
Bereich eine Länge, die etwa 10% der Gesamtlänge L des
Raumes 22 ausmacht. Deshalb ist der Fehler /=-0,1 so
groß, daß die Verwendung des in ein Magnetfeld von sogar
unendlicher Länge in einer Kameraröhre eingeführten bzw.
eingetauchten Joches 21 ausgeschlossen ist.
Die Ursachen der Auftreffehler können in der
Eigenschaft der Abweichungen des elektrischen oder elektrostatischen
Feldes von einem gleichförmigen
Zustand
interpretiert werden. Wenn der feldfreie Bereich des
elektrostatischen Feldes nahe der Bildschirmanordnung 12
vorhanden ist, ist die kollimierende Wirkung durch das
elektrostatische Feld reduziert. Befindet sich somit ein
Elektron in einem derartigen feldfreien Bereich, so bewegt
sich das betreffende Elektron längs eines kreisförmigen
Segments, ohne die Größe seiner Geschwindigkeit zu ändern,
und der Auftreffehler liegt, wie dies durch die Kurve 23 A
in Fig. 5 veranschaulicht ist, im dritten Quadranten.
Wenn sich der feldfreie Bereich des elektrischen oder
elektrostatischen Feldes nahe der Öffnung 19 in der Elektrode
18 befindet, vervollständigt ein Elektron nicht gänzlich
eine Bewegungszykloide an dem Gitter 13 der Bildschirmanordnung
12, da sich nämlich das betreffende
Elektron längs einer geraden Bahn während seines Vorhandenseins
in dem feldfreien Bereich bewegt. Deshalb liegt, wie
dies durch die Kurve 23 B in Fig. 5 veranschaulicht ist, der
Auftreffehler im vierten Quadranten.
Die Elektronenbewegung in einem gemischten Feld, bestehend
aus einem ungleichförmigen Magnetfeld und einem gleichförmigen
elektrostatischen Feld, ist ebenfalls mittels
Rechnersimulationen untersucht worden. In Verbindung mit
vorstehendem ist eine Magnetspule mit halber unendlicher
Länge angenommen worden, und der Effekt eines sich erweiternden
Feldbereichs an jedem Ende ist gesondert überprüft
worden. Die Ergebnisse sind als Kurven 23 C bzw. 23 D
in Fig. 5 dargestellt. Wenn der sich erweiternde Magnetfeldbereich
nahe der Zielfläche bzw. Bildfläche liegt, wie dies
in Fig. 4C dargestellt ist, dann befindet sich der resultierende
Auftreffehler, wie dies die Kurve 23 C in Fig. 5
veranschaulicht ist, im ersten Quadranten. Dies ergibt
sich aufgrund der Tatsache, daß eine tangentiale Kraft
auf den Strahl bzw. Elektronenstahl durch die radiale
Magnetfeldkomponente ausgeübt wird. Wenn der sich erweiternde
Magnetfeldbereich nahe der Öffnung 19 liegt, wie dies in
Fig. 4D veranschaulicht ist, dann befindet sich der resultierende
Auftreffehler, wie dies durch die Kurve 23 D in
Fig. 5 veranschaulicht ist, im zweiten Quadranten.
Auf der Grundlage der vorstehenden Untersuchungen und
Simulationen der individuell berücksichtigten Ungleichförmigkeiten
der magnetischen und elektrischen Felder sind
die folgenden Eigenschaften eines elektronenoptischen
Systems mit gemischtem Feld festgelegt worden:
- 1) Die aus den Ungleichförmigkeiten der Felder resultierenden Auftreffehler können durch Vektorgrößen ausgedrückt werden die Richtungen der die feldfreien Bereiche an den gegenüberliegenden Enden des elektrischen Feldes und die sich erweiternden Feldbereiche an den gegenüberliegenden Enden des magnetischen Feldes angebenden bzw. darstellenden Vektoren liegen in vier unterschiedlichen Quadranten. Die Größen der Vektorwerte nehmen mit zunehmender Länge der feldfreien Bereiche oder sich erweiternden Feldbereiche zu.
- 2) Der resultierende Auftreffehler oder Gesamtauftreffehler in einem tatsächlichen elektronenoptischen System mit einem gemischten Feld ist angenähert durch die vektorielle Summe der vier Vektoren gegeben, die die Auftreffehler aufgrund der feldfreien Bereiche des elektrischen Feldes bzw. der sich erweiternden Feldbereiche des magnetischen Feldes ergeben.
- 3) Die Größen der Vektoren sind etwa direkt proportional dem elektrischen oder elektrostatischen Feld.
Auf der Grundlage der vorstehenden Ausführungen sind gemäß
der vorliegenden Erfindung die Länge und die Lage der
Magnetspule 20 und die Konfiguration und die Lage des
elektrostatischen Jochs 21 so gewählt oder festgelegt,
daß trotz Vorhandenseins von feldfreien Bereichen an gegenüberliegenden
Enden des elektrischen Feldes und trotz Vorhandenseins
von sich erweiternden Feldbereichen an gegenüberliegenden
Enden des magnetischen Feldes, wie dies in
Fig. 4E dargestellt ist, die durch derartige Ungleichförmigkeiten
in den elektrischen und magnetischen Feldern hervorgerufenen
Auftreffehler weitgehend einander aufgehoben sind,
wodurch ein elektronenoptisches System mit einem gemischten
Feld geschaffen ist, welches weitgehend frei von einem Auftreffehler
ist. Dies bedeutet, daß ein System mit einem
normalen bzw. senkrechten Auftreffen des Elektronenstrahls
auf der Bildschirmanordnung geschaffen ist, und zwar obwohl
die magnetischen und elektrischen Felder ungleichförmig
sind.
Es ist festgestellt worden, daß in einer vidikonartigen
Röhre, wie sie oben unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben
worden ist, die Auftreffehler infolge der Ungleichförmigkeit
des Magnetfeldes weitgehend die Auftreffehler aufgrund
der Ungleichförmigkeit des elektrischen Feldes aufheben,
so daß Auftreffehler /=0,006 und /=0,003 erzielt
werden, was keine nennenswerte Abweichungen von dem gewünschten
normalen bzw. senkrechten Auftreffen des Strahls
darstellt.
Claims (1)
- Elektronenoptisches System (10) mit einem Röhrenkolben (11), in welchem ein Bildschirm (12) rechtwinklig zur Röhrenkolbenachse (Z) verläuft, mit einer in dem Röhrenkolben (11) enthaltenen Elektronenkanone (14), die einen Elektronenstrahl auf den Bildschirm (12) richtet und die eine Elektrode (18) umfaßt, welche ein elektronenoptisches Systemobjekt (19) festlegt, das in Richtung der Röhrenkolbenachse (Z) im Abstand vom Bildschirm (12) vorgesehen ist, mit einem Magnetfeld-Generator (20), der ein zeitlich konstantes Magnetfeld längs der Röhrenkolbenachse (Z) in einem Raum (22) zwischen dem Systemobjekt und dem Bildschirm (12) erzeugt, und mit Elektroden (21), die innerhalb dieses Raumes (22) ein veränderbares, elektrisches Feld (E) rechtwinklig zum magnetischen Feld erzeugen, wobei das elektrische Feld (E) eine Ablenkung des Elektronenstrahls längs zweier Koordinatenrichtungen in einer zur Röhrenkolbenachse (Z) senkrechten Ebene ermöglicht, derart, daß ein fokussiertes Bild des Systemobjekts auf der Bildschirmoberfläche erzeugt wird und gleichzeitig ein Abrastern des Bildschirms (12) erfoglt, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetfeld-Generator (20) und die Elektroden (21) zur Erzeugung des elektrischen Ablenkfeldes (E) so dimensioniert und aufeinander abgestimmt sind, daß die Auftreffehler (23 A, 23 B), welche durch die unvermeidlichen inhomogenen Randfehler der Elektroden (21) entstehen, und die Auftreffehler (23 C, 23 D), welche durch die unvermeidlichen inhomogenen Randfelder des Magnetfeld-Generators (20) entstehen, einander weitgehend aufheben.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2050477A JPS53105316A (en) | 1977-02-25 | 1977-02-25 | Pick up unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2808119A1 DE2808119A1 (de) | 1978-09-07 |
DE2808119C2 true DE2808119C2 (de) | 1990-01-11 |
Family
ID=12028979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782808119 Granted DE2808119A1 (de) | 1977-02-25 | 1978-02-24 | Elektronenoptisches system |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4205253A (de) |
JP (1) | JPS53105316A (de) |
CA (1) | CA1084978A (de) |
DE (1) | DE2808119A1 (de) |
FR (1) | FR2382089A1 (de) |
GB (1) | GB1583637A (de) |
NL (1) | NL188667C (de) |
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FR2823907A1 (fr) * | 2001-09-06 | 2002-10-25 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de focalisation d'un faisceau d'electrons |
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-
1977
- 1977-02-25 JP JP2050477A patent/JPS53105316A/ja active Granted
-
1978
- 1978-02-21 CA CA297,423A patent/CA1084978A/en not_active Expired
- 1978-02-22 US US05/880,209 patent/US4205253A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-02-23 GB GB7349/78A patent/GB1583637A/en not_active Expired
- 1978-02-24 DE DE19782808119 patent/DE2808119A1/de active Granted
- 1978-02-24 FR FR7805428A patent/FR2382089A1/fr active Granted
- 1978-02-27 NL NLAANVRAGE7802162,A patent/NL188667C/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL188667B (nl) | 1992-03-16 |
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NL188667C (nl) | 1992-08-17 |
FR2382089A1 (fr) | 1978-09-22 |
NL7802162A (nl) | 1978-08-29 |
DE2808119A1 (de) | 1978-09-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |