DE2755849A1 - Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes - Google Patents

Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes

Info

Publication number
DE2755849A1
DE2755849A1 DE19772755849 DE2755849A DE2755849A1 DE 2755849 A1 DE2755849 A1 DE 2755849A1 DE 19772755849 DE19772755849 DE 19772755849 DE 2755849 A DE2755849 A DE 2755849A DE 2755849 A1 DE2755849 A1 DE 2755849A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
light
wavelength
angle
refractive index
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19772755849
Other languages
English (en)
Inventor
Knut Dipl Phys Enke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Patentverwaltung GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Patentverwaltung GmbH filed Critical Philips Patentverwaltung GmbH
Priority to DE19772755849 priority Critical patent/DE2755849A1/de
Publication of DE2755849A1 publication Critical patent/DE2755849A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/43Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length by measuring critical angle

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

  • "Verfahren und Anordnung zur kontinuierlichen Messung von
  • Brechungsindizes" Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Anordnung zur kontinuierlichen Messung von Brechungsindizes in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge.
  • Die bekannteste und bislang genaueste Methode, Brechungsindizes zu messen, ist die, von der zu untersuchenden Substanz ein Prisma anzufertigen, den Keilwinkel des Prismas und den minimalen Ablenkwinkel eines hindurchgeschickten Lichtstrahles zu messen. Über eine einfache Formel, die sich aus dem Snellius'schen Brechungsgesetz herleitet, kann man den Brechungsindex mit einer Genauigkeit von etwa + 0,00001 berechnen. Nach dieser Methode kann man aber nur transparente Proben messen, da bei undurchsichtigen Prismen der Lichtstrahl in dem Prisma "steckenbleibt, so daß man keinen Ablenkwinkel messen kann.
  • Eine andere, ebenfalls bekannte Methode zur Ermittlung des Brechungsindex nutzt das Aufsuchen des Brewsterwinkels aus.
  • Dieser ist wie folgt definiert: Als Brewsterwinkel bezeichnet man denJenigen Einfallswinkel eines auf eine plane Fläche fallenden Lichtstrahles, der auf dem gebrochenen Strahl senkrecht steht, wie es in Fig. 1 dargestellt ist. Der Brewsterwinkel aB ist mit dem Brechungsindex über die Formel verknüpft. Für den einfachen Fall, daß der Lichtstrahl von Luft (nO = 1) kommend auf ein lichtbrechendes Medium fällt, erhält man n = tanaB (2) Man könnte den Brewsterwinkel durch Ausmessen der Strahlgeometrie und durch wiederholtes Verändern des Einfallswinkels, bis die Brewsterbedingung erfüllt ist, ermitteln. Das ist aber sehr viel umständlicher als die Prismenmethode. Man macht sich deshalb die Tatsache zunutze, daß unpolarisiertes Licht nach Reflexion unter dem Brewsterwinkel vollständig polarisiert ist, wobei die Polarisationsrichtung senkrecht auf der Einfallsebene (= Papierebene) steht. Bestrahlt man umgekehrt die Probe mit in der Einfallsebene polarisiertem Licht, so ist die Intensität des reflektierten Lichtes null. Das entspricht der gekreuzten Stellung beim Durchgang von Licht durch zwei Polaristatoren. Den genauen Verlauf der reflektierten Lichtintensität bei Veränderung des Einfallswinkels von 0 Grad (senkrechte Inzidenz) bis zu 90 Grad zeigt z.B. Fig. 2 eines Aufsatzes von W. R. Hunter "Errors in using the Reflectance vs Angle of Incidence Method for Measuring Optical Constants" in der Zeitschrift 'Journal of the OPTICAL SOCIETY of AMERICA', Band 55, Oktober 1965, Seiten 1197 bis 1204.
  • Am Brewsterwinkel hat die parallel zur Einfallsebene polarisierte Reflexionskomponente Rp ein Minimum. Dieses Minimum kann man in der Weise ermitteln, daß man eine Lichtquelle, ein Polarisationsfilter, die Probe und einen Detektor auf einem Goniometer befestigt und die Intensität des reflektierten Lichtstrahles in Abhängigkeit vom Einfallswinkel mißt.
  • Bei Anwendung von Lock-In-Technik erreicht man ftlr den Brechungsindex n Genauigkeiten von Ant+0,005.Wenn man den Brechungsindex als Funktion der Lichtwellenlänge X ermitteln will, muß man für Jede neue Wellenlänge das Intensitätsminimum neu ausmessen, was eine zeitraubende Prozedur ist. Auf diese Weise erhält man eine Wertetabelle für n und X, die umso umfangreicher ist, je enger bezüglich X die Meßwerte gesetzt werden.
  • Starke Schwankungen des Brechungsindex zwischen zwei Meßwerten gehen dabei verloren.
  • Diese Methode ist somit nicht nur sehr aufwendig, sondern birgt auch die Gefahr von Fehlern in sich. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur kontinuierlichen Messung des Brechungsindex sowie eine Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens zu schaffen.
  • Dies geschieht erfindungsgemäß dadurch, daß ein Lichtstrahl stetig veränderter Wellenlänge auf die zu untersuchende Probe gelenkt wird, daß die Probe einer Winkelmodulation in der Einfallsebene des Lichtstrahls unterworfen und ständig auf den Brewsterwinkel nachgeführt wird, und daß aus der Wellenlänge des Lichtes und aus der Position der Probe im Brewsterwinkel Meßgrößen abgeleitet werden, aus denen die Funktion n = f (X) mit n = Brechungsindex und X = Wellenlänge des Lichtes gebildet wird.
  • Dazu sei bemerkt, daß die Anwendung einer Winkelmodulation zur Bestimmung optischer Größen an sich bereits bekannt ist, so z.B.
  • aus dem Aufsatz von A. Balzarotti, P. Picozzi und S. Santucci "New Method for Determining the Optical Constants by the Angular Modulation of Reflectance", in der Zeitschrift 'SURFACE SCIENCE', Band 37 (1973), Seiten 994 bis 1001, und dem Aufsatz von P. Picozzi, S Santucci und A. Balzarotti "Determination of the Optical Constants of the Si-SiO2 System by the Method of the Angular Modulation of Reflectance" in der gleichen Zeitschrift, Band 45 (1974), Seiten 227 bis 237.
  • Das vorgeschlagene Verfahren hat den Vorteil, daß die Meßergebnisse nicht als eine Tabelle von vielen Meßpunkten vorliegen, sondern als kontinuierliches Spektrum ähnlich den Transmissions-oder Absorptionsspektren herkömmlicher Spektrofotometer.
  • Zwar liefert es eine geringere Genauigkeit als die bekannte Prismenmethode, ist dafür aber auch bei undurchsichtigen Materialien anwendbar, wie z.B. bei Eisengranaten, Lacken und sogar einigen Metallen, wie z.B. Germanium und Silizium, vorausgesetzt, ihr Extinktionskoeffizient k ist nicht wesentlich größer als etwa 0,5.
  • Eine zur Durchführung des vorgeschlagenen Verfahrens besonders geeignete Anordnung ergibt sich aus der nachfolgenden Beschreibung an Hand der Figuren 2 bis 7. Darin zeigen Fig. 2 schematisch den prinzipiellen Aufbau einer Anordnung zur Durchführung des Verfahrens, Fig. 3 einen typischen Verlauf des Ausgangssignals einer solchen Anordnung nach Fig. 2, Fig. 4 eine mit dem vorgeschlagenen Verfahren gewonnene Darstellung des Brechungsindex in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge, Fig. 5 den prinzipiellen Aufbau einer zur Durchführung geeigneten Anordnung, Fig. 6 eine ausführlichere Darstellung eines Beispiels für eine Anordnung, und Fig. 7 ein vergrößertes Detail der Anordnung nach Fig. 6.
  • Ein von einer Lichtquelle 4 ausgehender Strahl unpolarisierten Lichtes gelangt über ein Polarisationsfilter 18 auf eine zu messende Probe 6, die auf einem Winkelmodulator 7 befestigt ist, dessen Achse senkrecht auf der Einfallsebene des Lichtes steht.
  • Der Winkelmodulator 7 wird mit einer Wechselspannung einer festen Frequenz etwa zwischen 1 und 1000 Hz, abhängig von der Art des Winkelmodulators und dem Trägheitsmoment von Probenhalter (nicht eingezeichnet) und Probe, gespeist, die die Achse des Winkelmodulators in Rotationsschwingungen um ihre Ruhelage versetzt. Dabei liegt die Auslenkung der Probe in der Größenordnung von maximal + 50. Einfalls- und Ausfallwinkel des Lichtstrahles liegen bei dieser Anordnung nicht mehr fest, sondern schwanken periodisch um den eingestellten Wert. Das von der Probe reflektierte Licht gelangt auf einen Detektor 5. Dessen Ausgangssignal Ua ist das Abbild einer an einer nahezu parabelförmigen Kennlinie gespiegelten Eingangsspannung, die sich als die Winkelmodulation ze repräsentiert, wie Fig. 3 zeigt. Man erkennt deutlich, daß die Ausgangssignale Ua auf beiden Seiten des Brewsterwinkels aB frequenzgleich, aber um 1800 gegeneinander phasenverschoben sind. Am Brewsterwinkel aB verschwindet die mit dem Eingangssignal frequenzgleiche Komponente des Ausgangssignals. Statt dessen bleibt ein Signal doppelter Frequenz übrig. Eingangs- und Ausgangssignal kann man als Referenz- bzw.
  • Nutzsignal einem Lock-In-Verstärker anbieten und erhält ein Lock-In-Ausgangssignäl UL, das am Brewsterwinkel aB sein Vorzeichen umkehrt.
  • Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer solchen Messung, die an einer Yttriumeisengranatprobe (YIG) vorgenommen wurde. Neben dieser Meßkurve sind einzelne Meßwerte zum Vergleich aus der Literatur eingezeichnet mit folgender Zuordnung: Offene Kreise: Johnson, B., Walton, A.K., "The infra-red refractive index of garnet ferrites": BRITISH JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, Vol. 16 (1965), Seiten 475 bis 477; geschlossener Kreis: Warner, J., wThe refractive indices of some garnet crystals at 1.15 zum": MATERIALS RESEARCH BULLETIN, Vol. 9 (1974), Seiten 507 bis 510; offene Dreiecke: McCollum, B.C., Bekebrede, W.R., Kestigian, M., Smith, A.B., Refractive index measurements on magnetic garnet films": APPLIED PHYSICS LETTERS, Vol. 23 (1973), Seiten 702 bis 703; geschlossene Dreiecke: Gorban, N.Y., Odarich, V.A., "Optical constants of yttrium iron garnet in the intense absorption region": ZHURNAL PRIKLADNOI SPEKTROSKOPII, Vol. 23 (1975), Seiten 1106 bis 1109.
  • Das Prinzip einer vollständigen Anordnung zeigt Fig. 5. Der von der-Lichtquelle 4 ausgehende Lichtstrahl L gelangt über einen kontinuierlich abstimmbaren Monochromator 8 auf ein Goniometer 9 mit Probenhalter, Winkelmodulator und Probenschlitten für einen veränderbaren Einfallswinkel und weiter auf den Detektor 5. Die Ausgangsspannung eines Oszillators 10 bewirkt eine Winkelmodulation der Probe. Ein aus dem Monochromator 8 abgeleitetes und der Wellenlänge des Lichts entsprechendes erstes Signal gelangt auf den X-Eingang eines X-Y-Schreibers 11, dessen Y-Eingang ein dem Brewsterwinkel aB entsprechendes Signal zugeführt wird.
  • Dem Oszillator 10 wird außerdem ein Referenzsignal entnommen, das gemeinsam mit einem dem Detektor 5 entnommenen Nutzsignal den Eingängen eines Lock-In-Verstärkers 12 zugeführt wird, dessen Ausgangsspannung über einen PID-Regler 13 dem Goniometer 9 zur Verstellung des Einfallswinkels zugeführt wird.
  • Der PID-Regler 13 hat die Aufgabe, mechanische Trägheiten des Meßsystems zu minimieren, und er steuert einen Gleichstrommotor, der - bei richtiger Polung - das Goniometer 9 ständig in den Brewsterwinkel «B hineindreht und dort auch hält, wenn aufgrund von Dispersion des zu untersuchenden Materials sich dessen Brechungsindex mit der Lichtwellenlänge X ändert.
  • Der Nulldurchgang des Lock-In-Ausgangssignals UL ist sehr viel schärfer definiert als das relativ flache Intensitätsininimum der reflektierten Lichtkomponente Rp (Fig. 3), so daß die Genauigkeit des gemessenen Brechungsindex etwa An = + 0,001 beträgt.
  • Fig. 6 zeigt ein Beispiel einer vollständigen Anordnung zur Durchführung des vorgeschlagenen Verfahrens. Das Licht der Lichtquelle 4, die z.B. eine Halogen- oder Xe-Hochdrucklampe sein kann, wird mittels eines Kondensors 14, 14' auf den Eintrittsspalt des Monochromators 8 abgebildet. Dessen Austrittsspalt wird mittels eines Hohlspiegels 15, eines Planspiegels 16, einer ersten Linse 17, eines Polarisationsprismas 18 und einer zweiten Linse 19 auf die Oberfläche der zu messenden Probe 6 abgebildet. Das Polarisationsprisma 18 ist so orientiert, daß nur solches Licht, welches parallel zur Einfallsebene (Papierebene) schwingt, unter dem Einfallswinkel a auf die Probe 6 fällt. Von dieser läuft der Lichtstrahl zu einer dritten Linse 20, die ihn auf den Detektor 5 fokussiert, der z.B. ein Photomultiplier, eine Photodiode oder eine PbS-Zelle sein kann.
  • Fig. 7 ist ein vergrößerter Ausschnitt von Fig. 6 und zeigt den mechanischen Aufbau des schan erwähnten Goniometers.
  • Der Einfallswinkel a des Lichtstrahls wird durch Verdrehen einer Spindel 21 mittels eines Motors 22 verändert. Dabei fährt ein Probenschlitten 23 mit dem Winkelmodulator, dem Probenhalter und der Probe, durch Führungsstangen 24 und 25 geführt, vor oder zurück.
  • Die unter dem Probenschlitten 23 zusammenlaufenden Führungsstangen 34 und 35 sorgen dafür, daß die Grundplatte 28 mit dem Planspiegel 16, den Linsen 17 und 19 sowie dem Polarisationsprisma 18 sowie eine den Detektor 5 tragende Platte 29 bei Jedem Einfallswinkel a mit ihrer optischen Achse auf die Probe 6 ausgerichtet bleiben. Dabei ist der Planspiegel 16 derart befestigt, daß er Jeweils nur um die halbe Winkeländerung verdreht wird, die die Platte 28, auf der er befestigt ist, bei einer Anderung des Winkels a erfährt. Parallel zur Spindel 21 ist ein abgreifbarer Widerstand 26 angeordnet, der an eine Gleichspannung gelegt ist. Ein mit dem Probenschlitten 23 mechanisch verbundener Abgriff 27 greift eine der jeweiligen Stellung des Probenschlittens 23 entsprechende Gleichspannung ab und führt diese auf den Y-Eingang des X-Y-Schreibers 11.
  • Dabei ist die abgegriffene Gleichspannung ein Maß für den Brechungsindex n. Eine zweite Gleichspannung, die der Stellung des Monochromators 8 und damit der Wellenlänge X des Lichtes entspricht, gelangt auf den X-Eingang des Schreibers 11.
  • Die Ausgangsspannung des Niederfrequenz-Oszillators 10 bewirkt einmal die Winkelmodulation der Probe und gelangt außerdem als Referenzsignal - zugleich mit dem dem Detektor 5 entnommenen Nutzsignal - auf den Lock-In-Verstärker 12, dessen Ausgangsspannung über den PID-Regler den Motor 22 steuert.
  • Die Platten 28 und 29, auf denen die optischen Elemente 16 bis 19 bzw. der Detektor 5 angeordnet sind, sind um Drehpunkte 30 bzw. 31 schwenkbar, während die Führungsstangen 34 bzw. 35 verschiebbar gelagert sind.
  • Parallel zur Spindel 21 ist eine Skala 32 mit einer Ablesevorrichtung 33 angeordnet, an der die augenblickliche Lage a der Probe abgelesen werden und der Widerstand 26 geeicht werden können. Aus dieser Lage a und dem Abstand b der Detektorachse von der Spindelachse läßt sich der Brechungsindex n berechnen mit n = tan a = b/a, vorausgesetzt a = aB. Das Ausgangssignal des Lock-In-Verstärkers 12 steuert über den PID-Regler 13 den Motor 22 an, der die Spindel 21 und damit den Winkel a so weit verstellt, bis a = aB und das Ausgangssignal am Lock-In-Verstärker 12 gleich Null sind. Durch diese Art von Rückkopplung wird erreicht, daß das Goniometer immer den Brewsterwinkel aB anzeigt.
  • Leerseite

Claims (6)

  1. PATENTANSPRUCHE: Verfahren zur kontinuierlichen Messung von Brechungsindizes in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge, dadurch gekennzeichnet, daß ein Lichtstrahl stetig veränderter Wellenlänge auf die zu untersuchende Probe gelenkt wird, daß die Probe einer Winkelmodulation in der Einfallsebene des Lichtstrahls unterworfen und ständig auf den Brewsterwinkel nachgeführt wird, und daß aus der Wellenlänge des Lichtes und aus der Position der Probe im Brewsterwinkel Meßgrößen abgeleitet werden, aus denen die Funktion n = f (X) mit n = Brechungsindex und X = Wellenlänge des Lichtes gebildet wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßgrößen den Eingängen eines Zwei-Koordinaten-Schreibers zugeführt werden.
  3. 3. Anordnung zur burchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (4), deren Licht Uber eine Optik (14, 14') auf einen abstimmbaren Monochromator (8) fällt, dessen Austrittsspalt über eine weitere Optik (15, 16, 17, 19) und ein Polarisationsprisma (18) auf der Probe (6) abgebildet wird, ferner durch einen das reflektierte Licht empfangenden Detektor (5) sowie durch eine Einrichtung (21, 22, 23,24,25) zur gleichzeitigen Nachführung der zweiten Optik (16, 17, 18, 19) und des Detektors (5) mit der Probe (6) im Brewsterwinkel (alb) und durch einen die Probe beeinflussenden Winkelmodulator (7).
  4. 4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Monochromator (8) mit Mitteln zur Ableitung eines der Lichtwellenlänge (X) entsprechenden ersten Signals und der Probenschlitten (23) mit Mitteln zur Ableitung eines der Position derProbe entsprechenden zweiten Signals versehen sind, und daß beide Signale auf die Eingänge eines X-Y-Schreibers (11) geführt sind.
  5. 5. Anordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Nachführung der Probe eine von einem Motor (22) getriebene Spindel (21) ist und mit dem Probenschlitten (23) Führungsstangen (24, 25,34,35) für das zweite optische System (16, 17, 18, 19) und den Detektor (5) verbunden sind.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch 3 bis 5, gekennzeichnet durch eine Regelschleife, enthaltend einen vom Ausgangssignal des Detektors (5) und vom Ausgangssignal eines die Winkelmodulation bewirkenden Oszillators (10) gesteuerten Lock-In-Verstärker (12) und einen PID-Regler (13).
DE19772755849 1977-12-15 1977-12-15 Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes Withdrawn DE2755849A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772755849 DE2755849A1 (de) 1977-12-15 1977-12-15 Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772755849 DE2755849A1 (de) 1977-12-15 1977-12-15 Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2755849A1 true DE2755849A1 (de) 1979-06-21

Family

ID=6026164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772755849 Withdrawn DE2755849A1 (de) 1977-12-15 1977-12-15 Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2755849A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3023132A1 (de) * 1979-06-20 1981-02-19 Waters Associates Inc Mit lichtablenkung arbeitendes geraet, wie refraktometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3023132A1 (de) * 1979-06-20 1981-02-19 Waters Associates Inc Mit lichtablenkung arbeitendes geraet, wie refraktometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0019088B1 (de) Ellipsometrisches Verfahren und ellipsometrische Vorrichtung zur Untersuchung der physikalischen Eigenschaften der Oberfläche einer Probe
DE3419463C1 (de) Vorrichtung zur Erfassung von Stoffeigenschaften von Probenoberflaechen
EP0011708B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ebenheit, der Rauhigkeit oder des Krümmungsradius einer Messfläche
DE3889026T2 (de) Dickenmessgerät für Schichten.
DE69938134T2 (de) Spektroskopisches ellipsometer
DE69106067T2 (de) Verfahren, Vorrichtung und Zelle zum Detektieren des Winkels der optischen Drehung in einer Lösung mit zeitabhängiger Konzentration.
DE3787320T2 (de) Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht.
EP0195039B1 (de) Messanordnung zur analyse elektromagnetischer strahlung
DE10154008C1 (de) Verfahren und Anordnung zur spannungsoptischen Analyse von Festkörpern
EP0011723A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur interferometrischen Messung von sich ändernden Schichtdicken
EP0476088A1 (de) Ein akusto-optisches abstimmbares zweistrahl-spektrometer.
DE1472207B2 (de) Vorrichtung zur Messung des zirkulären Dichroismus
DE4105192C2 (de) Verfahren zum Bestimmen von Oberflächenrauhigkeiten und dergleichen
DE2755849A1 (de) Verfahren und anordnung zur kontinuierlichen messung von brechungsindizes
DE1280580B (de) Verfahren zur Bestimmung des relativen Brechnungsindex von lichtdurchlaessigen Stoffen in bezug auf ein Medium mit bekanntem Brechungsindex
EP0499074B1 (de) Polarisationsinterferometer mit Schmalbandfilter
DE1598919A1 (de) Messgeraet fuer den zirkularen Dichroismus von Materialproben
DE4209537A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung von polarisiertem licht
DE102015201909B4 (de) Verfahren und System zum Ermitteln eines optischen Gangunterschieds zwischen in einem doppelbrechenden Objekt entstehenden Teillichtwellen
DE2544417A1 (de) Geraet zur unterscheidung zwischen natuerlichen und kuenstlichen edelsteinen
EP0736171A1 (de) Schnelles spektroskopisches ellipsometer
DE931197C (de) Refraktometer
EP0508558B1 (de) Apparat für ellipsometrische Untersuchungen von Materialien
DE1472207C (de) Vorrichtung zur Messung des zirkulären Dichroismus. Zusatz su: 1209772
DE19721044C2 (de) Anordnung zur Messung von polarisationsabhängigen optischen Parametern rotierender Proben mittels optischer Reflexion

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee